DE102005001334B4 - Compartment system of a longitudinal vacuum coating system - Google Patents

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Abstract

Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage, gebildet aus einem kanalartigen und evakuierbarem Anlagengehäuse, in welchem durch eine, sich in den Innenraum erstreckende, rechtwinklig zu den Gehäuseaußenwänden angeordnete Zwischenwand oder mehrere solcher Zwischenwände Kompartments derart abgeteilt sind, dass das zu beschichtende Substrat in einer Transportebene mittels eines Transportsystems durch das Anlagengehäuse hindurch bewegbar ist, und in dessen oberer und/oder unterer Gehäuseaußenwand mit Deckeln verschließbare Öffnungen ausgebildet sind, wobei an einem Deckel eine in eine Kompartment ragende Beschichtungsquelle montiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenwand oder die Zwischenwände an einem Deckel montiert und durch die Öffnung, welche der Deckel verschließt, aus dem Anlagengehäuse entnehmbar sind.Kompartmentsystem one elongated Vacuum coating system, formed of a channel-like and evacuatable Conditioning case in which by a, extending into the interior, at right angles arranged to the housing outer walls intermediate wall or more such partitions compartments are partitioned so that the substrate to be coated in a Transport level by means of a transport system through the plant housing through is movable, and in the upper and / or lower housing outer wall with lids closable openings are formed, wherein on a lid projecting into a compartment Coating source is mounted, characterized in that the Partition or the partitions mounted on a lid and through the opening, which closes the lid off Removable from the system housing are.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft ein Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage, gebildet aus einem kanalartigen und evakuierbaren Anlagengehäuse, in welchem durch zumindest eine, sich in den Innenraum erstreckende, rechtwinklig zu den Gehäuseaußenwänden angeordnete Zwischenwand Kompartments derart abgeteilt sind, dass das zu beschichtende Substrat in einer Transportebene mittels eines Transportsystems durch das Anlagengehäuse hindurch bewegbar ist, und in dessen oberer und/oder unterer Gehäuseaußenwand mit Deckeln verschließbare Öffnungen ausgebildet sind, wobei an einem Deckel eine in eine Kompartment ragende Beschichtungsquelle montiert ist.The The invention relates to a compartment system of an elongated vacuum coating system, formed from a duct-like and evacuated plant housing, in which by at least one, extending into the interior, arranged at right angles to the housing outer walls intermediate wall Compartments are partitioned so that the substrate to be coated in a transport plane by means of a transport system through the plant housing is movable, and in the upper and / or lower housing outer wall with Lid lockable openings are formed, with a lid in a compartment protruding coating source is mounted.

Derartige Vakuumbeschichtungsanlagen dienen zur ein- oder beidseitigen Beschichtung flacher Substrate. Zu diesem Zweck weist die Vakuumbeschichtungsanlage bei einseitiger Beschichtung auf einer Seite des Substrats oder bei gleichzeitig realisierter beidseitiger Beschichtung auf beiden Seiten des Substrats Magnetrons mit Magnetronumgebung als Beschichtungsquellen auf. Mittels Zwischenwänden, welche ein- oder beidseitig des Substrats bis nahezu an das Substrat in den Innenraum der Anlage hineinragen, ist die Vakuumbeschichtungsanlage in zwei in Transportrichtung aufeinander folgende Kompartments unterteilt. Die Kompartments lassen sich entweder direkt über einen am Kompartment vorhandenen Vakuumanschluss oder indirekt über eine Saugöffnung in der Zwischenwand evakuieren.such Vacuum coating systems serve for single or double-sided coating flat substrates. For this purpose, the vacuum coating system with one-sided coating on one side of the substrate or at the same time realized on both sides coating on both Pages of Magnetron substrate with magnetron environment as coating sources on. By means of partitions, which one or both sides of the substrate to almost to the substrate protrude into the interior of the system, is the vacuum coating system divided into two consecutive in the transport direction Kompartments. The compartments can either be directly via an existing on the compartment Vacuum connection or indirectly via a suction opening evacuate in the intermediate wall.

Die Anzahl und die Anordnung der entweder der Beschichtung, der Evakuierung, der Gasseparation oder anderen Zwecken dienenden Kompartments innerhalb einer Vakuumbeschichtungsanlage variiert entsprechend der herzustellenden Schicht oder Schichtsysteme. Die Eigenschaften eines Schichtsystems werden dabei von der Art und der Reihenfolge der Einzelschichten bestimmt und sind sehr differenziert einstellbar. Bei einem komplexen Schichtsystem, dessen Einzelschichten unter deutlich voneinander abweichenden Beschichtungsparametern und Beschichtungsatmosphären aufzutragen sind, haben die Beschichtungsanlagen häufig enorme Dimensionen, insbesondere sofern dies in einem einzigen Durchlauf erfolgen soll. Um den anlagentechnischen Aufwand zu verringern und dennoch im Rahmen der vorhandenen Anlage flexibel auf die Anforderungen an die Schichtsysteme reagieren zu können, wird die Konditionierung der einzelnen, vorhandenen Kompartments einer Vakuumbeschichtungsanlage variierbar gestaltet.The Number and arrangement of either the coating, the evacuation, the gas separation or other compartments serving within a vacuum coating plant varies according to the manufactured Layer or layer systems. The properties of a layer system be aware of the nature and order of the individual layers determined and are very differentiated adjustable. In a complex layer system, its individual layers under significantly different coating parameters and coating atmospheres be applied, the coating plants often have enormous Dimensions, especially if this is done in a single pass should be done. To reduce the plant engineering effort and nevertheless flexible in the context of the existing plant to the requirements To be able to react to the coating systems, the conditioning the individual, existing compartments of a vacuum coating system variably designed.

Neben den Möglichkeiten der Umrüstung einer Vakuumbeschichtungsanlage ist jedoch der dafür erforderliche Aufwand ein weiterer, wesentlicher Gesichtspunkt. Jeder Arbeitsgang im Inneren der Anlage ist zeitaufwendig und bringt Verunreinigungen der Beschichtungsatmosphäre mit sich, die sich in der Anlaufphase bis zur Einstellung stabiler Beschichtungsparameter widerspiegeln.Next the possibilities the conversion However, a vacuum coating system is required for this Expenditure another, essential aspect. Every operation Inside the plant is time consuming and brings impurities the coating atmosphere with itself, which in the start-up phase until the setting more stable Reflect coating parameters.

Solche, umrüstbare Beschichtungsanlagen sind in den deutschen Offenlegungsschriften 197 33 940 und 197 36 318 beschrieben. In beiden Schriften sind längserstreckte Anlagen offenbart, die durch feste Querschotts in mehrere Abschnitte unterteilt sind. Diese Querschotts weisen Öffnungen auf, durch welche das Substrat durch die Anlage transportiert wird, sowie Ausnehmungen, welche durch verstellbare Leitbleche zu einem Kompartment hin verschlossen werden können, um so das eine oder das andere benachbarte Kompartment zu evakuieren. Zu diesem Zweck ist in der Beschichtungsanlage gemäß der DE 197 33 940 A1 stets mittig über einem Querschott eine Vakuumpumpe angeschlossen, die durch variable Gestaltung der Saugräume beide benachbarte Abteilungen evakuieren kann. In der Beschichtungsanlage gemäß DE 197 36 318 A1 hingegen sind am Anfang und am Ende jeder der durch das Querschott gebildeten Abteilungen je eine Vakuumpumpe angeschlossen, jedoch die beiden unmittelbar benachbarten Pumpen gegeneinander versetzt, um die Länge der Abteilung zu verringern.Such convertible coating systems are described in German Offenlegungsschriften 197 33 940 and 197 36 318. In both documents elongate systems are disclosed, which are divided by solid transverse bulkheads into several sections. These transverse bulkheads have openings through which the substrate is transported through the system, as well as recesses, which can be closed by adjustable baffles to a compartment out so as to evacuate one or the other adjacent compartment. For this purpose, in the coating system according to the DE 197 33 940 A1 always centrally connected via a transverse bulkhead, a vacuum pump, which can evacuate both adjacent departments by variable design of the suction chambers. In the coating system according to DE 197 36 318 A1 however, at the beginning and at the end of each of the compartments formed by the transverse bulkhead, one vacuum pump is connected, but the two immediately adjacent pumps are offset from one another to reduce the length of the compartment.

Das weiteren weist in beiden Anlagen jeder zwischen zwei Querschotts gebildete Abschnitt der Vakuumbeschichtungsanlage in seiner oberen Außenwandung eine Öffnung auf, welche von einem demontierbaren Rahmen eingefasst und mit einem Deckel dicht verschließbar ist. An dem Rahmen sind Wandteile und Arme derart befestigt, das sie zum einen die Abschnitte der Anlage in Kompartments unterteilen und zum anderen die für die Kathodenumgebung notwendigen Teile und Aggregate aufnehmen können, wie beispielsweise Kühlmittelrohre, die Prozessgasführung, Blenden und Abschirmungen oder zumindest Teile davon. An dem Deckel wiederum sind die Kathoden montierbar. Mit dieser Konstruktion werden die Kathoden mit dem Deckel entnommen und die Kathodenumgebung sowie die weiteren Wandteile sind mit dem Rahmen demontierbar.The another one has in each case between two transverse bulkheads formed section of the vacuum coating system in its upper outer wall an opening on which framed by a removable frame and with a Lid closed tightly is. To the frame wall parts and arms are fixed, the On the one hand, they subdivide the sections of the system into compartments and the other for the cathode environment can accommodate necessary parts and aggregates, such as for example, coolant pipes, the process gas guidance, Blinds and shields or at least parts of them. On the lid in turn, the cathodes are mountable. With this construction will be removed the cathodes with the lid and the cathode environment as well the other wall parts are removable with the frame.

In beiden Vakuumbeschichtungsanlagen erweist es sich als sehr nachteilig, dass die Abfolge der Abschnitte durch die Querschotts unveränderlich ist, so dass insbesondere in einer vorhandenen Anlage die Anzahl der in einem Durchgang realisierbaren Teilschichten begrenzt sind. Ferner gestaltet sich die Montage und Demontage des Rahmens, welcher die gesamten Innenaufbauten eines Beschichtungskompartments zu tragen hat, als kompliziert.In Both vacuum coating systems, it proves to be very disadvantageous that the sequence of sections through the transverse bulkhead unchanging is, so that in particular in an existing plant the number the part-layers that can be realized in one pass are limited. Furthermore, the assembly and disassembly of the frame, which designed to carry the entire internal structures of a coating department has, as complicated.

Auch in der Beschichtungsanlage, welche in der DE 195 40 255 A1 offenbart ist und in der auf jede Beschichtungsabteilung eine Evakuierungsabteilung mit Sauföffnungen in beide benachbarte Beschichtungsabteilungen folgt, ist die Abfolge der Abteilungen unveränderlich. In der DE 195 40 053 A1 sind zwar die zwei zur Beschichtung verwendeten Kathoden in verschiedenen Abteilungen der in eine Vielzahl davon unterteilten Beschichtungsanlage einsetzbar, jedoch sind die Trennwände zwischen den Abteilungen wiederum und somit die Anzahl der Abteilungen fixiert.Also in the coating plant, which in the DE 195 40 255 A1 and in each coating section an evacuation section with spout openings in both adjacent layers departments, the sequence of departments is constant. In the DE 195 40 053 A1 For example, although the two cathodes used for coating can be used in different sections of the coating machine divided into a plurality of them, the partitions between the sections are again fixed and thus the number of sections is fixed.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein System von Kompartments einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage anzugeben, das in seiner Anzahl und seinen Abmessungen flexibel den Anforderungen verschiedenster ein- und beidseitiger Beschichtungsprozesse zu gestalten ist und dabei eine stabile, differenzierbare und prozessoptimierte Beschichtungsatmosphäre gewährleistet.Of the Invention is therefore the object of a system of compartments one elongated Vacuum coating system, in its number and its Dimensions flexible to the requirements of a wide variety of single and double-sided To design coating processes is a stable, differentiable and process-optimized coating atmosphere guaranteed.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Zwischenwand zur Abtrennung der Kompartments an einem Deckel montiert und durch die Öffnung, welche der Deckel verschließt, aus dem Anlagengehäuse entnehmbar ist.These Task is inventively characterized solved, that the partition wall to separate the compartments on a lid mounted and through the opening, which closes the lid, from the plant housing is removable.

Erfindungsgemäß wird das kanalartige Anlagengehäuse ausschließlich durch die nichtstationären, an Deckeln befestigten Zwischenwände in die einzelnen Kompartments unterteilt, ohne dass durch feste Einbauten Zwänge in der Unterteilung entstehen. Dies bietet den großen Vorteil, eine einzelne, bestehende Anlage flexibel durch den Anwender selbst zu konditionieren, um sowohl auf wechselnde Anforderungen an ein Schichtsystem als auch auf Weiterentwicklungen reagieren zu können.According to the invention channel-like system housing exclusively through the non-stationary, attached to lids intermediate walls subdivided into the individual compartments without being fixed by Built-in constraints arise in the subdivision. This offers the great advantage a single, existing plant flexible by the user himself to be conditioned to both changing requirements Shift system as well as to be able to react to further developments.

Mit der Unterteilung allein durch die an den Deckeln montierten Zwischenwände wird das Prinzip, dass ein genügend großer Strömungswiderstand den Ausgleich benachbarter Atmosphären verhindert, nicht nur für den Bereich genutzt, in welchem das Substrat durch die Anlage hindurch bewegt wird, sondern auch dort, wo die Zwischenwand an die seitlichen Außenwandungen des Anlagengehäuses stößt oder auch ein geringer Abstand zwischen der Zwischenwand und Außenwandung vorhanden ist.With the subdivision is made solely by the partitions mounted on the covers the principle that one is sufficient greater Flow resistance the Compensation of adjacent atmospheres prevents, not only for used the area in which the substrate passes through the plant is moved, but also where the partition to the side outer walls of the plant housing or also a small distance between the intermediate wall and outer wall is available.

Ebenso ist es mit der erfindungsgemäßen Anordnung von zwei, in Transportrichtung nacheinander angeordneten oder auch von vier, einen Raum umfassenden Zwischenwänden möglich, ein kleineres Kompartment vollständig mit den an einem Deckel montierten Zwi schenwänden zu bilden, so das dessen maximale Größe durch die Deckelabmessungen bestimmt ist. Mit solch einem Kompartment lässt sich ein Platz sparendes Evakuierungskompartment oder auch ein Beschichtungskompartment mit gegebenenfalls geringerem Abschirmungsaufwand realisieren.As well it is with the inventive arrangement of two, arranged one after the other in the direction of transport or also of four, a space-enclosing partitions possible, a smaller compartment Completely with the mounted on a cover inter mediate walls to form, so that maximum size through the lid dimensions is determined. With such a compartment let yourself a space-saving evacuation compartment or even a coating compartment realize with possibly less shielding effort.

Darüber hinaus ist auch eine weitere Unterteilung insbesondere in unmittelbar aneinander grenzende Evakuierungskompartments möglich, wobei das erste dieser Kompartments ein, in Transportrichtung betrachtet, vorheriges und das zweite ein nachfolgendes Beschichtungskompartment eigenständig evakuieren kann. Diese getrennte Evakuierung bietet hinsichtlich der Leistung und der Stabilität Vorteile bei gleichzeitig minimalem Platzbedarf. So wird es auch möglich, in einer bestehenden Vakuumbeschichtungsanlage die anlagentechnischen Voraussetzungen für das Einfügen einzelner, zusätzlicher Teilschichten zu schaffen.Furthermore is also a further subdivision, especially in close proximity to each other bordering evacuation compartments possible, with the first of these Compartments, viewed in the direction of transport, previous and the second evacuate a subsequent coating compartment independently can. This separate evacuation offers in terms of performance and stability Advantages while minimizing space requirements. So it also becomes possible in an existing vacuum coating plant the technical equipment Requirements for the insertion single, additional To create partial layers.

Die erfindungsgemäße Montage einer oder mehrerer Zwischenwände am Deckel gestattet es selbstverständlich auch, in Vakuumbeschichtungsanlagen, deren Konstruktion die beidseitige Beschichtung von Substraten vorsieht, die Bildung der verschiedensten Kompartments mittels der nichtstationären Zwischenwände sowohl oberhalb als auch unterhalb des Substrats vorzunehmen.The inventive assembly one or more partitions Of course, on the lid it is also possible, in vacuum coating systems, to whose construction provides the double-sided coating of substrates, the formation of various compartments by means of non-stationary partition walls both above and below the substrate.

Sofern entsprechend weiterer besonders vorteilhafter Ausgestaltungen der Erfindung die Zwischenwand am Deckel lösbar montiert ist und/oder die Zwischenwand eine Saugöffnung aufweist, welche günstiger Weise auch verschließbar sein kann, können einzelne Deckel individuell den technischen Erfordernissen angepasst werden. Damit steht dem Anwender gewissermaßen ein Baukastensystem zur Verfügung, mit dem ein leeres Anlagengehäuse seinen Anforderungen entsprechend vor Ort zu vervollständigen ist.Provided according to further particularly advantageous embodiments of Invention, the partition wall is detachably mounted on the lid and / or the Partition wall a suction opening which has cheaper Way also lockable can be individual lids individually adapted to the technical requirements become. This provides the user with a kind of modular system, with an empty plant housing according to its requirements, to be completed on site.

Für die Erfüllung der der Erfindung zugrunde liegenden Aufgabenstellung ist es auch dienlich, dass die Zwischenwand an dem Deckel montiert ist, welcher auch die Magnetronkathode trägt. In einem solchermaßen gebildeten Beschichtungskompartment sind die weiteren, erforderlichen Einbauten der Magnetronumgebung ebenfalls am Deckel oder auch an den Zwischenwänden selbst montierbar, so dass mit den Aufbauten des Deckels ein eigenständiges Beschichtungskompartment gebildet ist, das nahezu vollständig außerhalb der Anlage montiert und anschließend in das Anlagengehäuse eingelassen werden kann.For the fulfillment of The object underlying the invention, it is also beneficial that the intermediate wall is mounted on the lid, which is also the magnetron cathode wearing. In such a way formed coating compartment are the other required Installations of the magnetron environment also on the lid or on the partitions self-mountable, so that with the superstructures of the lid an independent coating compartment is formed, almost completely outside mounted and then embedded in the system housing can be.

Aufgrund der beschriebenen verschiedensten möglichen Gestaltungen des komplettierten Deckels ist es selbstverständlich, dass für die wesentlichen Kombinationsmöglichkeiten der Aufbauten am Deckel dessen Konstruktion entsprechend angepasst ist.by virtue of the described various possible designs of the completed Lids are a matter of course that for the essential combination options the superstructures on the lid its construction adapted accordingly is.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist an der dem Deckel gegenüberliegenden Ende der Zwischenwand eine sich parallel zur Transportebene erstreckende Trennwand montiert, so dass auch Gasseparationskompartments in das Kompartmentsystem eingefügt werden können, wobei es darüber hinaus dienlich ist, wenn diese Trennwand Saugöffnungen aufweist. Diese Saugöffnungen können, ebenso wie die Saugöffnungen in den Zwischenwänden auch verschließbar ausgeführt sein. Durch diese parallel zur Transportebene und damit zum Substrat angeordnete Trennwand wird in unmittelbarer Umgebung des Substrats ein Kanal geschaffen, der als Strömungswiderstand fungiert und somit einen Ausgleich der Atmosphären der benachbarten Kompartments verhindert.In a further embodiment of the invention, a dividing wall extending parallel to the transport plane is mounted on the end of the intermediate wall opposite the cover so that gas separation compartments can also be inserted into the partition wall Compartment system can be inserted, wherein it is also useful if this partition has suction openings. These suction openings, as well as the suction openings in the intermediate walls can also be designed to be closable. By this parallel to the transport plane and thus to the substrate arranged partition a channel is created in the immediate vicinity of the substrate, which acts as a flow resistance and thus prevents a balancing of the atmospheres of the neighboring compartments.

Von Vorteil ist es ebenso, wenn die Breite der Zwischenwand und/oder die Breite der Trennwand einstellbar sind. Damit können Zwischenwände auch durch kleinere Öffnung in der Außenwandung der Vakuumbeschichtungsanlage eingeführt und anschließend auf die Breite des Innenraumes des Anlagengehäuses erweitert werden. Diese Erweiterung und deren Fixierung sind mittels verschiedener, geeigneter Konstruktionen möglich, beispielsweise durch teleskopartig zusammengefügte Teilwände oder durch Auseinanderklappen von mit Gelenken verbundenen Teilwänden.From It is also advantageous if the width of the partition and / or the width of the partition are adjustable. This can also be through walls smaller opening in the outer wall introduced the vacuum coating system and then on the width of the interior of the plant housing to be extended. These Extension and its fixation are by means of various suitable constructions possible, for example, by telescopically joined partial walls or by unfolding of hinged part walls.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispie les näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt inThe Invention will be explained in more detail below with reference to a Ausführungsbeispie les. The associated Drawing shows in

1 die schematische Darstellung eines Abschnittes eines erfindungsgemäßen Kompartmentsystems und 1 the schematic representation of a portion of a Kompartmentsystems invention and

2 die schematische Darstellung eines Deckels mit montierten Aufbauten. 2 the schematic representation of a lid with mounted structures.

Das erfindungsgemäße Kompartmentsystem einer Vakuumbeschichtungsanlage, von der in 1 ein Abschnitt dargestellt ist, wird in einem horizontal angeordneten, kanalartigen Anlagengehäuse installiert, welches aus einer horizontalen unteren 1 und einer sich parallel dazu erstreckenden oberen Außenwandung 2 sowie zwei, in der 1 nicht dargestellten, parallel und lotrecht zueinander angeordneten seitlichen Außenwandungen besteht. Ein Substrat 3 wird auf einem Transportsystem 4 in Transportrichtung 5 durch das Anlagengehäuse hindurch bewegt. Sowohl in der unteren 1, als auch der oberen Außenwandung 2 sind Öffnungen 6 vorhanden, die im Ausführungsbeispiel gleichgroß und in gleichmäßigen Abständen ausgeführt sind. Jede dieser Öffnungen 6 ist durch einen Deckel 7 dicht verschlossen.The compartment system according to the invention of a vacuum coating system, of which in 1 a section is shown, is installed in a horizontally arranged, channel-like plant housing, which consists of a horizontal lower 1 and a parallel outer upper wall 2 as well as two, in the 1 not shown, parallel and perpendicular to each other arranged lateral outer walls. A substrate 3 is on a transport system 4 in the transport direction 5 moved through the system housing. Both in the bottom 1 , as well as the upper outer wall 2 are openings 6 present, which are executed in the embodiment of the same size and at regular intervals. Each of these openings 6 is through a lid 7 tightly closed.

Die Deckel 7, welche die Öffnungen 6 in der oberen Außenwand 2 im dargestellten Ausschnitt des Kompartmentsystem verschließen, sind abwechselnd mit einer Magnetronkathode 8 und mit erfindungsgemäßen Zwischenwänden 9 ausgeführt, so dass sich oberhalb des Substrats 3 Evakuierungs- 10 und Beschichtungskompartments 11 abwechseln. Zu diesem Zweck ist an einem Deckel 7 eine Magnetronkathode 8 einschließlich der nicht näher dargestellten Magnetronumgebung so montiert, dass die Magnetronkathode 8 dem Substrat 3 gegenüber liegend in das Anlagengehäuse ragt.The lids 7 which the openings 6 in the upper outer wall 2 in the illustrated section of the compartment system, are alternately with a magnetron cathode 8th and with partitions according to the invention 9 executed, so that above the substrate 3 evacuation 10 and coating compartments 11 alternate. For this purpose is on a lid 7 a magnetron cathode 8th including the magnetron environment not shown mounted so that the magnetron cathode 8th the substrate 3 opposite lying in the plant housing.

An dem in Transportrichtung 5 betrachtet vorigen und nächsten Deckel 7 sind jeweils drei gleich lange und gleichmäßig beabstandete, senkrecht zur oberen Außenwandung 2 und zur Transportrichtung 5 in das Anlagengehäuse ragende Zwischenwände 9 montiert, welche sich bis nahezu an das Substrat 3 und in Betrachtungsrichtung bis an die seitlichen Außenwandungen des An lagengehäuses erstrecken. Die letzte Zwischenwand 9 des vor der Magnetronkathode 8 liegenden Deckels 7 und die erste Zwischenwand 9 dahinter begrenzen auf diese Weise das Beschichtungskompartment 11.At the in the transport direction 5 considered previous and next cover 7 are each three equal length and evenly spaced, perpendicular to the upper outer wall 2 and to the transport direction 5 in the plant housing projecting intermediate walls 9 mounted, which almost to the substrate 3 and in the direction of view to the lateral outer walls of the housing housing extend. The last partition 9 in front of the magnetron cathode 8th lying lid 7 and the first partition 9 behind this limit the coating compartment in this way 11 ,

An ihrem dem Substrat 3 zugewandten Ende sind die drei, an einem Deckel 7 angeordneten Zwischenwände 9 durch eine Trennwand 12 miteinander verbunden, welche infolge dessen parallel zum Deckel 7 und zum Substrat 3 angeordnet ist. Die drei Zwischenwände 9, der Deckel 7, die Trennwand 12 und die seitlichen Außenwandungen des Anlagengehäuses bilden somit zwischen dem Substrat 3 und der Trennwand 12 ein Tunnel 13 und zwischen den Zwischenwänden 9 wiederum zwei Kompartments mit einem gemeinsamen Deckel 7. Auf diesem Deckel 7 ist über jedem Kompartment oberhalb des Anlagengehäuses jeweils eine Vakuumpumpe 14 oder, je nach zur Verfügung stehenden Platz, ein Vakuumpumpenanschluss angeordnet, so dass diese beiden Kompartments als Evakuierungskompartments 10 dienen und durch die in der, in Transportrichtung 5 betrachtet, ersten und letzten Zwischenwand 9 angeordneten Saugöffnungen 15 das vorhergehende und das nachfolgende Beschichtungskompartment 11 evakuieren.At her the substrate 3 facing the end are the three, on a lid 7 arranged partitions 9 through a partition 12 connected together, which as a result parallel to the lid 7 and to the substrate 3 is arranged. The three partitions 9 , the lid 7 , the partition 12 and the lateral outer walls of the plant housing thus form between the substrate 3 and the partition 12 a tunnel 13 and between the partitions 9 again two compartments with a common lid 7 , On this lid 7 is above each unit above the system housing each a vacuum pump 14 or, depending on the available space, a vacuum pump connection arranged so that these two compartments as evacuation compartments 10 serve and through in the, in the transport direction 5 considered, first and last partition 9 arranged suction openings 15 the preceding and the subsequent coating compartment 11 evacuate.

Unterhalb des Substrats 3, zwei benachbarten Evakuierungskompartments 10 gegenüber liegend, ist ein Gasseparationskompartment 16 ausgebildet, indem an dem Deckel 7 zwei weitere Zwischenwände 9 senkrecht zur unteren 1 und seitlichen Außenwandung sowie senkrecht zur Transportrichtung 5 mit maximalem Abstand zueinander montiert sind, welche sich ebenfalls bis nahezu an das Substrat 3 erstrecken. Parallel zum Substrat 3 und mit einem solchen Abstand zum Substrat 3 angeordnet, dass die ungehinderte Funktion des Transportsystems 4 gewährleistet ist, verbindet eine weitere Trennwand 12 beide Zwischenwände 9. Sowohl diese beiden Zwischenwände 9 als auch diese Trennwand 12 weisen Saugöffnungen 15 auf, wobei die Saugöffnungen 15 der Zwischenwände 9 verschlossen und jene der Trennwand 12 offen sind.Below the substrate 3 , two adjacent evacuation compartments 10 Opposite, is a gas separation compartment 16 trained by the lid 7 two more intermediate walls 9 perpendicular to the lower one 1 and lateral outer wall and perpendicular to the transport direction 5 are mounted with a maximum distance to each other, which also extends almost to the substrate 3 extend. Parallel to the substrate 3 and with such a distance to the substrate 3 arranged that the unimpeded function of the transport system 4 guaranteed, connects another partition 12 both partitions 9 , Both these partitions 9 as well as this partition 12 have suction openings 15 on, with the suction holes 15 the partitions 9 closed and those of the partition 12 are open.

Mittels einer Vakuumpumpe oder eines Vakuumanschlusses 14, welche ebenfalls an diesem Deckel 7 jedoch außerhalb des Anlagengehäuses montiert ist, kann dieses Kompartment und der Tunnel 13, den die Trennwand 12 zum Substrat 3 hin bildet, evakuiert und somit eine Gasseparation zwischen den beiden benachbarten Beschichtungskompartments 11 realisiert werden.By means of a vacuum pump or a vacuum connection 14 , which also on this cover 7 however, mounted outside the plant housing, this compartment and the tunnel can 13 the partition 12 to the substrate 3 forms, evacuated and thus a gas separation between the two adjacent coating compartments 11 will be realized.

Der in 2 dargestellte Deckel 7 weist eine weitere, mögliche Variation der Ausrüstung auf. An diesem Deckel 7, der insbesondere dem Verschluss von Öffnungen 6 in der oberen Außenwandung 2 dient, ist eine Beschichtungsquelle 8 in Form einer Doppelrohrkathodenanordnung einschließlich der nicht näher dargestellten Kathodenumgebung befestigt. Die beiden seitlich von der Beschichtungsquelle 8 montierten Zwischenwände 9 begrenzen wiederum in Transportrichtung 5 ein Beschichtungskompartment 11, welches durch die Saugöffnungen 15 in den Zwischenwänden 9 evakuierbar ist.The in 2 illustrated lid 7 has another, possible variation of the equipment. On this lid 7 in particular, the closure of openings 6 in the upper outer wall 2 serves is a coating source 8th attached in the form of a double tube cathode assembly including the cathode environment, not shown. The two sides of the coating source 8th mounted partitions 9 limit in turn in the transport direction 5 a coating compartment 11 which passes through the suction openings 15 in the partitions 9 is evacuable.

11
untere Außenwandunglower outer wall
22
obere Außenwandungupper outer wall
33
Substratsubstratum
44
Transportsystemtransport system
55
Transportrichtungtransport direction
66
Öffnungopening
77
Deckelcover
88th
Beschichtungsquelle, MagnetronkathodeCoating source, magnetron
99
Zwischenwandpartition
1010
EvakuierungskompartmentEvakuierungskompartment
1111
Beschichtungskompartmentcoating compartment
1212
Trennwandpartition wall
1313
Tunneltunnel
1414
Vakuumpumpe oder Vakuumpumpenanschlussvacuum pump or vacuum pump connection
1515
Saugöffnungsuction opening
1616
GasseparationskompartmentGasseparationskompartment

Claims (9)

Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage, gebildet aus einem kanalartigen und evakuierbarem Anlagengehäuse, in welchem durch eine, sich in den Innenraum erstreckende, rechtwinklig zu den Gehäuseaußenwänden angeordnete Zwischenwand oder mehrere solcher Zwischenwände Kompartments derart abgeteilt sind, dass das zu beschichtende Substrat in einer Transportebene mittels eines Transportsystems durch das Anlagengehäuse hindurch bewegbar ist, und in dessen oberer und/oder unterer Gehäuseaußenwand mit Deckeln verschließbare Öffnungen ausgebildet sind, wobei an einem Deckel eine in eine Kompartment ragende Beschichtungsquelle montiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenwand oder die Zwischenwände an einem Deckel montiert und durch die Öffnung, welche der Deckel verschließt, aus dem Anlagengehäuse entnehmbar sind.Compartment system of a longitudinally extending vacuum coating system, formed from a channel-like and evacuated plant housing, in which by a, extending into the interior, arranged at right angles to the housing outer walls intermediate wall or more such intermediate walls compartments are partitioned so that the substrate to be coated in a transport plane by means of a transport system through the plant housing through is movable, and in the upper and / or lower housing outer wall with closures closable openings are formed, wherein on a lid a projecting into a compartment coating source is mounted, characterized in that the intermediate wall or the intermediate walls mounted on a lid and through the opening which closes the lid, can be removed from the plant housing. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenwand am Deckel lösbar montiert ist.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to claim 1, characterized in that the intermediate wall on the lid solvable is mounted. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenwand eine Saugöffnung aufweist.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to claim 1 or 2, characterized in that the intermediate wall a suction opening having. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugöffnung verschließbar ist.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to claim 3, characterized in that the suction opening is closable. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenwand an dem Deckel montiert ist, welcher auch die Beschichtungsquelle trägt.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to one of the claims 1 to 4, characterized in that the intermediate wall on the lid is mounted, which also carries the coating source. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtungsquelle eine Magnetronkathode ist.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to claim 5, characterized in that the coating source a Magnetron cathode is. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass an der dem Deckel gegenüberliegenden Ende der Zwischenwand eine sich parallel zur Transportebene erstreckende Trennwand montiert ist.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to one of the claims 1 to 4, characterized in that on the opposite side of the lid End of the intermediate wall extending parallel to the transport plane Partition is mounted. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennwand eine Saugöffnung aufweist.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to claim 7, characterized in that the partition wall has a suction opening. Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite der Zwischenwand und/oder die Breite der Trennwand einstellbar ist.Compartment system of a longitudinal vacuum coating system according to one of the claims 1 to 8, characterized in that the width of the intermediate wall and / or the width of the partition is adjustable.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1820880A1 (en) * 2006-02-01 2007-08-22 Applied Materials GmbH & Co. KG Pumping means for a vacuum coating assembly and vacuum coating assembly
DE102007057644A1 (en) * 2007-11-28 2009-06-04 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Vacuum chamber on a frame basis for coating systems
DE102009029902A1 (en) 2009-02-25 2010-09-02 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vacuum coating system for coating substrates in a continuous process, comprises vacuum chambers, which have a compartment system having two compartments arranged one behind other in a flow direction of the substrate and transport openings
DE102010038747B4 (en) * 2010-07-30 2016-06-16 Von Ardenne Gmbh Cooling unit of a continuous treatment plant for disc-shaped substrates
DE102014107637B4 (en) * 2014-05-30 2021-05-20 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Vacuum chamber
DE102015116781A1 (en) * 2015-10-02 2017-04-06 Von Ardenne Gmbh Transport system arrangement and processing plant

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19540053A1 (en) * 1995-10-27 1997-04-30 Leybold Ag Substrate coating device for application of non-conductive layers using magnetron sputtering
DE19540255A1 (en) * 1995-10-28 1997-04-30 Leybold Ag Apparatus for film coating a substrate
DE19733940A1 (en) * 1997-08-06 1999-02-11 Leybold Systems Gmbh Installation for coating plate shaped substrates with thin layers by cathode sputtering
DE19736318A1 (en) * 1997-08-21 1999-02-25 Leybold Systems Gmbh Installation for coating plate shaped substrates with thin layers by cathode sputtering

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4303462C2 (en) * 1992-03-30 1994-03-31 Leybold Ag Multi-chamber coating system
DE19834592A1 (en) * 1998-07-31 2000-02-03 Leybold Systems Gmbh Device for coating plate-shaped substrates
DE10004786C2 (en) * 1999-09-14 2002-11-07 Ardenne Anlagentech Gmbh Vacuum coating system
DE10320985B4 (en) * 2003-05-09 2005-03-24 Interpane Entwicklungs- Und Beratungsgesellschaft Mbh & Co.Kg Device for coating a substrate with a suction chamber separated from the vacuum chamber

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19540053A1 (en) * 1995-10-27 1997-04-30 Leybold Ag Substrate coating device for application of non-conductive layers using magnetron sputtering
DE19540255A1 (en) * 1995-10-28 1997-04-30 Leybold Ag Apparatus for film coating a substrate
DE19733940A1 (en) * 1997-08-06 1999-02-11 Leybold Systems Gmbh Installation for coating plate shaped substrates with thin layers by cathode sputtering
DE19736318A1 (en) * 1997-08-21 1999-02-25 Leybold Systems Gmbh Installation for coating plate shaped substrates with thin layers by cathode sputtering

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