DE102004057897A1

DE102004057897A1 - Production method for creation of flat-panel monitors involves applying connecting medium on glass panel, putting other glass panel on edge, pre-heating of formed unit, evacuating intermediate area and cooling of unit

Info

Publication number: DE102004057897A1
Application number: DE200410057897
Authority: DE
Inventors: Reinhard Dr.-Ing. Schummers; Francisco Lopez; Dieter Dipl.-Ing. Johnen
Original assignee: Elino Industrie-Ofenbau Carl Hanf & Co KG GmbH; HANF CARL ELINO IND OFENBAU
Current assignee: ELINO INDUSTRIE-OFENBAU GMBH, 52355 DUEREN, DE
Priority date: 2004-12-01
Filing date: 2004-12-01
Publication date: 2006-06-08

Abstract

The method involves applying connecting medium on one glass panel (25,26) with partial hardening of connecting medium and forming edge from connecting medium which varies in height. Other glass panel is placed on edge by mechanical fixing with a natural interrupted gap. Formed units are preheated on first temperature and evacuation of intermediate area (27) during further heating of unit takes place. Further heating of connecting medium is done on temperature necessary for connection of natural interrupted gap and gas tight connection of glass panel is formed. Unit is cooled on ambient temperature and mechanical attachment is loosened if necessary. Independent claims are also included for the following: (A) Device for execution of the method; and (B) Device for evacuating intermediate area from units and for filling intermediate area with process gas.

Description

Die –vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von aus zwei über ein Verbindungsmedium, insbesondere eine Glasfritte, miteinander verbundenen Glaspaneelen, die einen Zwischenraum aufweisen, bestehenden Einheiten zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u.dgl.The present The invention relates to a method for producing two from one Connection medium, in particular a glass frit, interconnected Glass panels, which have a gap, existing units for the production of flat screens, flat discharge lamps and the like.

Es ist bekannt, derartige Einheiten herzustellen, indem zwei Glaspaneele mit einer Glasfritte bei Normaldruck und Luft miteinander verklebt werden. Als Glasfritte findet hierbei üblicherweise ein Bleioxidglas Verwendung. Zum Verkleben wird die Glasfritte erhitzt, bis sie in einen schmelzflüssigen Zustand gelangt. Beim Schmelzen und nachfolgendem Aushärten findet dabei eine Ausgasung statt, wobei unter anderem Sauerstoff entsteht, der sich im zwischen den beiden Glaspaneelen vorhandenen Zwischenraum sammelt.It It is known to produce such units by using two glass panels glued together with a glass frit at atmospheric pressure and air become. As a glass frit this usually takes a leaded-glass Use. For gluing, the glass frit is heated until it is in a molten one State passes. During melting and subsequent curing takes place an outgassing takes place, whereby, inter alia, oxygen is produced, in the intermediate space between the two glass panels collects.

Der zwischen den Glaspaneelen gebildete Zwischenraum muß dann evakuiert werden, um ihn mit einem Prozeßgas zu füllen, bei dem es sich üblicherweise um ein Edelgasgemisch, beispielsweise ein Neon/Xenon-Gemisch, handelt. Das Evakuieren muß dabei sehr sorgfältig durchgeführt werden, da keine Gasverunreinigungen zurückbleiben dürfen, die die Funktionsweise des hergestellten Flachbildschirmes etc. beeinträchtigen können. Zum Evakuieren ist am einem Glaspaneel ein sogenannter Pumpstengel angebracht, der eine im Glaspaneel vorgesehene Bohrung umschließt. Der Pumpstengel wird mit einer Leitung verbunden, über die der Zwischenraum zwischen den beiden Glaspaneelen evakuiert wird, wobei das in den Zwischenraum eingedrungene Frittegas mit abgeführt wird. Wie erwähnt, muß dieser Evakuierungsvorgang sehr sorgfältig erfolgen und dauert daher in der Regel ca. 4–10 h. Nach der Befüllung mit dem Prozeßgas wird die am Pumpstengel angebrachte Glasleitung abgeschmolzen, so daß ein charakteristischer Nippel am Produkt verbleibt.Of the Between the glass panels formed gap must then be evacuated be to him with a process gas to fill, which is usually is a noble gas mixture, for example, a neon / xenon mixture acts. The evacuation must be done very carefully carried out because there are no gas contaminants left behind, which of the produced flat screen, etc. can affect. To evacuate is on a glass panel, a so-called pump stems attached, the one enclosed in the glass panel hole encloses. The pump stem is with connected via a line which evacuates the gap between the two glass panels is, wherein the penetrated into the space frit gas with dissipated becomes. As mentioned, this must Evacuation process very carefully usually takes about 4-10 h. After filling with the process gas the glass tube attached to the exhaust tube is melted off, so the existence characteristic nipple remains on the product.

Dieses bekannte Verfahren hat den Nachteil, daß es sehr lange dauert, da das Evakuieren nur über den geringen Querschnitt der Bohrung und des Pumpstengels erfolgen kann. Des weiteren besteht bei diesem Verfahren die Gefahr, daß trotz der lange andauernden Evakuierung durch die Ausgasung der Glasfritte gebildete gasförmige Verunreinigungen im Zwischenraum zurückbleiben, so daß kein fehlerfreies Produkt entsteht. Schließlich sind die Energiekosten bei diesem bekannten Verfahren hoch, da die Evakuierung über einen relativ langen Zeitraum in einem Kammerofen unter Erhitzen durchgeführt wird, um eine Beschleunigung des Evakuierens zu erreichen.This known method has the disadvantage that it takes a very long time since the evacuation just over the small cross section of the bore and the exhaust tube gel done can. Furthermore, there is a risk in this method that despite the long-lasting evacuation through the outgassing of the glass frit formed gaseous Leave impurities in the space, so that no error-free Product is created. After all the energy costs are high in this known method, since the evacuation over a relatively long period of time in a chamber furnace under heating is carried out to to achieve an acceleration of evacuation.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der angegebenen Art zur Verfügung zu stellen, das besonders rasch und sicher durchgeführt werden kann.Of the The present invention is based on the object, a method the specified type available which are carried out particularly quickly and safely can.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren der angegebenen Art mit den folgenden Schritten gelöst:

a. Aufbringen des Verbindungsmediums auf mindestens ein Glaspaneel, zumindest teilweises Aushärten des Verbindungsmediums und Bilden einer in der Höhe variierenden Umrandung aus dem Verbindungsmedium;
b. Auflegen des anderen Glaspaneels auf die Umrandung unter Ausbildung eines natürlichen unterbrochenen Spaltes und mechanisches Aneinanderbefestigen der beiden Glaspaneele;
c. Vorerhitzen der gebildeten Einheit auf eine erste Temperatur;
d. Evakuieren des Zwischenraumes während weiterem Erhitzen der Einheit auf die zur Verbindung notwendige Temperatur des Verbindungsmediums durch den natürlichen unterbrochenen Spalt und damit gasdichtes Verbinden der Glaspaneele; und
e. Abkühlen der Einheit auf Raumtemperatur und ggf. Lösen der mechanischen Befestigung.

This object is achieved by a method of the type indicated with the following steps:

a. Applying the bonding medium to at least one glass panel, at least partially curing the bonding medium and forming a height varying border from the bonding medium;
b. Placing the other glass panel on the border to form a natural broken gap and mechanically securing the two glass panels together;
c. Preheating the formed unit to a first temperature;
d. Evacuating the gap during further heating of the unit to the temperature required for the connection of the connection medium through the natural interrupted gap and thus gas-tight connection of the glass panels; and
e. Cool the unit to room temperature and if necessary release the mechanical fastening.

Das vorstehend beschriebene und erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich gegenüber dem Stand der Technik im wesentlichen dadurch aus, daß nicht über den einen relativ geringen Querschnitt aufweisenden Pumpstengel evakuiert wird, sondern über den zwischen Glasfritte und Glaspaneel gebildeten naturgegebenen Spalt, so daß der eigentliche Evakuierungsvorgang wesentlich rascher ablaufen kann als beim Stand der Technik. Bei diesem Evakuierungsvorgang werden die durch die Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) gebildeten gasförmigen Verunreinigungen mit aus dem Zwischenraum abgeführt. Das Evakuieren des Zwischenraumes erfolgt während weiterem Erhitzen der Einheit auf die zur Verbindung notwendige Temperatur des Verbindungsmediums durch den natürlichen unterbrochenen Spalt, bis durch das Erreichen der Verbindungstemperatur (Aufschmelzen der Glasfritte) beide Glaspaneele miteinander verbunden (verklebt) sind. Es ist dabei davon auszugehen, daß die durch die Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) gebildeten gasförmigen Verunreinigungen vollständig mit aus dem Zwischenraum abgeführt worden sind. Um ganz sicher zu gehen, kann man vor dem nachfolgenden Befüllen des Zwischenraumes mit dem Prozeßgas über die Öffnung im Glaspaneel einen weiteren Evakuierungsschritt schalten, um die genannten Verunreinigungen zu entfernen, wobei dieser Schritt jedoch relativ rasch abgewickelt werden kann.The above-described and inventive method is characterized over the prior art essentially in that it is not evacuated via the relatively low cross-section having exhaust tube, but on the natural gap formed between glass frit and Glaspaneel, so that the actual evacuation process proceed much faster can as in the prior art. In this evacuation process, the gaseous contaminants formed by the outgassing of the bonding medium (the glass frit) are removed from the gap. The evacuation of the gap is carried out during further heating of the unit to the necessary connection temperature of the connecting medium through the natural gap interrupted until by reaching the bonding temperature (melting of the glass frit) both glass panels are connected (glued). It is to be assumed that the gaseous impurities formed by the outgassing of the connecting medium (the glass frit) have been completely removed with the space. In order to be quite sure, one can switch before the subsequent filling of the gap with the process gas through the opening in the glass panel another evacuation step to remove said impurities, wherein However, this step can be handled relatively quickly.

Bei einer Weiterentwicklung des erfindungsgemäßen Verfahrens, die für eine besonders gute Entfernung der gasförmi gen Verunreinigungen des Verbindungsmediums (der Glasfritte) sorgt, wird wie folgt vorgegangen:
Während oder vor dem Evakuieren des Zwischenraumes wird die gebildete Einheit auf eine zweite Temperatur erhitzt, die unterhalb der Verbindungstemperatur des Verbindungsmediums (Schmelztemperatur der Glasfritte) liegt und eine Gleichgewichtstemperatur darstellt, bei der die Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) im wesentlichen zum Stillstand gekommen ist. Diese Gleichgewichtstemperatur ist insbesondere vom verwendeten Verbindungsmedium (von der verwendeten Glasfritte), aber auch vom Glas der verwendeten Glaspaneele abhängig und ist von Fall zu Fall empirisch zu ermitteln.In a further development of the method according to the invention, which ensures a particularly good removal of the gaseous conditions impurities of the connection medium (the glass frit), the procedure is as follows:
During or prior to evacuation of the gap, the formed unit is heated to a second temperature that is below the bonding temperature of the bonding medium (glass frit temperature) and an equilibrium temperature at which the outgassing of the bonding medium (the glass frit) has substantially come to a standstill , This equilibrium temperature depends, in particular, on the bonding medium used (on the glass frit used), but also on the glass of the glass panels used, and must be determined empirically on a case-by-case basis.

Vor dem nachfolgenden Erhitzen der Einheit auf die Verbindungstemperatur (Schmelztemperatur der Glasfritte), um die Paneele zu verbinden (zu verkleben), wird dann der Zwischenraum der Einheit mit einem Inertgas geflu-tet, um einen Partialdruck im System aufzubauen, der be-wirkt, daß keine weitere Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) erfolgt. Eine derartige Ausgasung wäre schädlich, da die entstehenden Verunreinigungen im Zwischenraum eingeschlossen würden und auf sehr aufwendige Weise wieder aus diesem über die im Paneel vorgesehene Öffnung mit geringem Querschnitt entfernt werden müßten. Jedenfalls wird durch das in den Zwischenraum eingeführte Inertgas ein weiteres Ausgasen des Verbindungsmediums verhindert, so daß ohne wesentliche Verunreinigung des Zwischenraumes der Verbindungsvorgang (Verklebungsvorgang) beider Paneele stattfinden kann.In front subsequent heating of the unit to the bonding temperature (Melting temperature of the glass frit) to connect the panels (to glue), then the space of the unit with a Inert gas geflu-tet to build a partial pressure in the system, which works, that no further outgassing of the connecting medium (the glass frit) takes place. Such outgassing would be harmful, since the resulting impurities trapped in the space would and in a very elaborate way again from this over the opening provided in the panel with small cross-section would have to be removed. Anyway, through the introduced into the space Inert gas prevents further outgassing of the connection medium, so that without significant contamination of the gap of the connection process (Gluing process) of both panels can take place.

Als Gas zum Fluten des Zwischenraumes wird vorzugsweise das Prozeßgas oder ein Teil des Prozeßgases verwendet, so daß ein nachfolgendes Abziehen des zum Fluten verwendeten Inertgases zumindest im vollen Umfang nicht mehr erforderlich ist. Findet beispielsweise als Prozeßgas ein Neon-Xenon-Gasgemisch Verwendung, so wird vorzugsweise als Gas zum Fluten des Zwischenraumes Neon verwendet, das relativ preiswert ist. Dieses Neon wird dann später teilweise wieder abgezogen und durch die gewünschte Xenon/Neon-Mischung ersetzt.When Gas for flooding the gap is preferably the process gas or a part of the process gas used, so that a subsequent removal of the inert gas used for flooding at least in full is no longer necessary. Find, for example as a process gas a neon-xenon gas mixture Use, so is preferably used as a gas to flood the gap neon used, which is relatively inexpensive. This neon will become partial later withdrawn and replaced by the desired xenon / neon mixture.

Da das Fluten des Zwischenraumes über den zwischen Glasfritte und Glaspaneel gebildeten unterbrochenen Spalt erfolgt, läuft dieser Vorgang sehr rasch ab, so daß sich hierdurch keine wesentliche Verzögerung des Verfahrens ergibt. Das zum Fluten verwendete Inertgas wird dann durch das Verbinden (Verkleben) im Zwischenraum eingeschlossen, wobei, wie erwähnt, infolge des im Zwischenraum aufgebauten Partialdrucks keine weitere Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) mehr stattfindet. Die Einführung des Prozeßgases im Austausch bzw. teilweisen Austausch des im Zwischenraum befindlichen Inertgases erfolgt dann entweder im gleichen oder einem separaten Verfahren über eine Öffnung in einem Glaspaneel, die zur Einführung des Prozeßgases geöffnet und nach Beendigung der Einführung geschlossen wird. Nach dem Abkühlen wird die mechanische Befestigung der Glaspaneele gelöst, so daß eine fertige Einheit zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u.dgl. zur Verfügung steht.There the flooding of the gap over the intermittent gap formed between glass frit and glass panel done, runs This process very quickly, so that thereby no essential delay of the procedure. The inert gas used for flooding then becomes enclosed by bonding in the gap, whereby, as mentioned, no further due to the partial pressure built up in the interspace Outgassing of the connecting medium (the glass frit) takes place more. The introduction of the process gas in the exchange or partial exchange of the in-between space Inert gas is then either in the same or a separate Procedure over an opening in a glass panel, which opened for the introduction of the process gas and after completion of the introduction is closed. After cooling the mechanical attachment of the glass panels is released so that a finished Unit for the production of flat screens, flat discharge lamps etc.. to disposal stands.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird in einer oder mehreren Kammern durchgeführt, um die jeweiligen Verfahrensschritte auszuführen. So findet der Schritt des Vorerhitzens der gebildeten Einheit auf eine erste Temperatur in einer Kammer statt, die mit Luft oder Inertgas gefüllt ist. Der Schritt des Evakuierens des Zwischenraumes der Einheit findet vorzugsweise in einer nächsten Kammer statt, wobei ein Evakuieren bevorzugt bis auf einen Unterdruck von etwa 10^–5 – 10^–6 mbar erfolgt. Auch das nachfolgende weitere Erhitzen bis auf die Verbindungstemperatur des Verbindungsmediums (die Schmelztemperatur der Glasfritte) unter Fluten mit einem Inertgas wird vorzugsweise in einer anderen Kammer ausgeführt. Zum Befüllen mit dem Prozeßgas wird die Einheit vorzugsweise nochmals in eine andere Kammer überführt.The method according to the invention is carried out in one or more chambers in order to carry out the respective method steps. Thus, the step of preheating the formed unit to a first temperature takes place in a chamber filled with air or inert gas. The step of evacuating the interspace of the unit preferably takes place in a next chamber, wherein evacuation is preferably to a negative pressure of about 10 ^-5 - 10 ^-6 mbar. The subsequent further heating to the bonding temperature of the bonding medium (the melting temperature of the glass frit) while flowing with an inert gas is preferably carried out in another chamber. For filling with the process gas, the unit is preferably transferred again into another chamber.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird gegenüber dem bekannten Verfahren ein wesentlicher Zeitgewinn erreicht, da das Evakuieren nicht über den relativ geringen Querschnitt der im Paneel vorgesehenen Öffnung, sondern über den unterbrochenen Spalt zwischen Glaspaneel und Glasfritte durchgeführt wird. Da ferner auch das zum Fluten verwendete Gas über diesen Spalt eingeführt wird, erfolgt auch dieser Vorgang sehr rasch. Falls zum Fluten das später verwendete Prozeßgas eingesetzt wird, ist ein späterer Gasaustausch nicht mehr erforderlich, so daß das Verfahren besonders rasch abläuft. In den meisten Fällen wird man jedoch aus wirtschaftlichen Gründen zumindest einen Teil des zum Fluten verwendeten Inertgases durch das Prozeßgas austauschen, so daß lediglich dieser Austauschvorgang über die im Paneel vorgesehene Öffnung mit geringem Querschnitt durchgeführt werden muß. Wenn beispielsweise das Prozeßgas aus einem Ne on-Xenon-Gemisch mit einem sehr viel höheren Neonanteil besteht, wird zum Fluten das relativ billige Neon verwendet und später lediglich noch ein geringer Neonanteil durch das gewünschte Gasgemisch ausgetauscht, um das Prozeßgas zu erhalten. Diese Vorgehensweise hat den Vorteil, daß zum Fluten in der Gaskammer nicht das teure Xenon/Neon-Gemisch eingesetzt werden muß.With the method according to the invention, a significant time saving is achieved over the known method, since the evacuation is not carried out over the relatively small cross-section of the opening provided in the panel, but over the interrupted gap between glass panel and glass frit. Further, since the gas used for flooding is introduced via this gap, this process also takes place very quickly. If the later used process gas is used for flooding, a later gas exchange is no longer required, so that the process is particularly rapid. In most cases, however, it will replace for economic reasons, at least part of the inert gas used for flooding by the process gas, so that only this replacement process must be performed on the provided in the panel opening with a small cross-section. For example, if the process gas consists of a Ne on-xenon mixture with a much higher proportion of neon, the relatively cheap neon is used to flood and later exchanged only a small amount of neon through the desired gas mixture to obtain the process gas. This approach has the advantage that flooding in the gas chamber not the expensive xenon / neon Ge must be used mixed.

Darüber hinaus läßt sich mit dem erfindungsgemäßen Verfahren der Ausschuß reduzieren, da die Wahrscheinlichkeit eines Verbleibes von gasförmigen Verunreinigungen innerhalb des Zwischenraumes besonders gering ist. Durch den Evakuierungsschritt werden die Ausgasungen des Verbindungsmediums (der Glasfritte) mit aus dem Zwischenraum entfernt. Dies erfolgt vorzugsweise so lange, bis ein Gleichgewichtszustand erreicht ist und das Verbindungsmedium nicht mehr ausgast. In diesem Zustand sind somit sämtliche Ausgasungen aus dem Zwischenraum entfernt. Durch das nachfolgende Fluten des Zwischenraumes mit einem Inertgas wird beim Verbinden (Verkleben) ein weiteres Ausgasen verhindert, so daß keine gasförmigen Verunreinigungen mehr im Zwischenraum eingeschlossen werden. Das Verfahren garantiert somit mit großer Sicherheit einen verunreinigungsfreien Zwischenraum.Furthermore let yourself with the method according to the invention reduce the committee, because the probability of a fate of gaseous impurities within the space is particularly low. Through the evacuation step become the outgassing of the connection medium (the glass frit) with removed from the gap. This is preferably done as long as until an equilibrium state is reached and the connection medium no longer outgassing. In this state are thus all Outgassing removed from the gap. By the following Flooding of the gap with an inert gas is when connecting (Gluing) prevents further outgassing, so that no gaseous Contaminants are more trapped in the interspace. The Process thus guarantees with great certainty a pollution-free Gap.

Weitere Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich in bezug auf die Energiekosten, da die sehr langen und energieaufwendigen Heizzyklen der Kammerofenprozesse entfallen.Further Advantages of the method according to the invention arise in terms of energy costs, since the very long and energy-intensive heating cycles of the chamber furnace processes eliminated.

Wie erwähnt, ist die Temperatur, auf die die Einheit vor oder während des Evakuierens des Zwischenraumes erhitzt wird (Gleichgewichtstemperatur) von den verwendeten Glaspaneelen und dem verwendeten Verbindungsmedium abhängig. Die ent-sprechende Temperatur ist empirisch zu ermitteln. Bei den üblicherweise als Glasfritte verwendeten Bleioxidgläsern liegt sie etwa in einem Bereich von 350°C–400°C, wobei ein üblicher Wert etwa bei 390°C liegt, d.h. beträchtlich unter der Klebetemperatur der Glasfritte.As mentioned, is the temperature to which the unit before or during the Evacuation of the gap is heated (equilibrium temperature) of the glass panels used and the connection medium used dependent. The corresponding temperature is to be determined empirically. At the usual As a glass frit used lead oxide glasses it lies approximately in one Range from 350 ° C to 400 ° C, where a common one Value around 390 ° C is located, i. considerably below the sticking temperature of the glass frit.

Nach dem erfolgten Verbinden (Verkleben) der Einheit (vorzugsweise etwa bei 390°C) wird sie auf Raumtemperatur abgekühlt. Falls der Zwischenraum bereits mit dem Prozeßgas geflutet worden ist, ist an sich eine weitere Prozeßgasbefüllung oder ein Gasaustausch nicht mehr erforderlich. Wie erwähnt, wird dies jedoch in der Regel der Fall sein, so daß dann über die in einem Glaspaneel vorgesehene Öffnung vorzugsweise das zum Fluten verwendete Inertgas entfernt und durch das Prozeßgasgemisch ausgetauscht wird. Die hierzu in einem Glaspaneel vorgesehene Öffnung war während der vorangehenden Schritte vorzugsweise geschlossen und wird zur Durchführung dieses Schrittes nunmehr geöffnet. Nach Abschluß des Befüllvorganges wird die Öffnung dauerhaft geschlossen. Die zum Aneinandersetzen der beiden Glaspaneele verwendete mechanische Befestigung (Klemmeinrichtung) kann jetzt oder bereits nach dem Abkühlen der Einheit auf Raumtemperatur entfernt werden.To the successful connection (bonding) of the unit (preferably about at 390 ° C) it is cooled to room temperature. If the gap already with the process gas has been flooded, is itself a further process gas filling or a gas exchange is no longer necessary. As mentioned, will However, this will usually be the case, so then over in a glass panel provided opening Preferably, the inert gas used for flooding and removed by exchanged the process gas mixture becomes. The opening provided for this in a glass panel was while The foregoing steps are preferably closed and will be used to carry out this Step now open. To Completion of the filling process the opening becomes permanent closed. The used to put the two glass panels mechanical fastening (clamping device) can now or already after cooling the unit to room temperature.

Da beim erfindungsgemäßen Verfahren die in einem Glaspaneel vorgesehene Öffnung weder zum Evakuieren noch zum Fluten mit dem Inertgas benötigt wird, wird die Öffnung während dieser Verfahrensschritte geschlossen gehalten. Dies erfolgt vorzugsweise mit Hilfe eines geschlossenen Pumpsten gels, der eine solche Öffnung abdeckt. Der Pumpstengel wird vorzugsweise mit einer Glasfritte am Glaspaneel über der Öffnung befestigt, und zwar insbesondere zusammen mit dem Aufbringen des Verbindungsmediums (der Glasfritte) auf mindestens ein Glaspaneel zur Ausbildung der Umrandung und dem Aushärten oder beim Verbinden (Verkleben) der Paneele derselben. Er kann aber auch bereits vor Beginn des Verfahrens am Paneel angebracht worden sein. Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist zum Befüllen des Zwischenraumes mit dem Prozeßgas daher ein Glaspaneel vorzugsweise mit einem angeklebten Pumpstengel versehen. Zum Gasabpumpen und/oder Befüllen des Zwischenraumes der Einheit kann dieser, über der Öffnung angeordnete, bis auf den der Öffnung zugewandten Bereich geschlossene Pumpstengel geöffnet werden, und zwar an der hierzu im Pumpstengel vorgesehenen Sollbruchstelle, die durch Erhitzen, mechanische Beanspruchung und/oder den vom einzuführenden Gas ausgeübten Impuls zerstört wird. Nach Beendigung des Befüllvorgangs mit dem Prozeßgas wird der Pumpstengel durch Zuschmelzen geschlossen.There in the method according to the invention the opening provided in a glass panel neither for evacuation is still needed for flooding with the inert gas, the opening is during this Procedural steps kept closed. This is preferably done with the help of a closed pumping gels, which covers such an opening. The exhaust tube is preferably attached to the glass panel over the opening with a glass frit, in particular together with the application of the connection medium (the glass frit) on at least one glass panel to form the Bordering and curing or when bonding (gluing) the panels thereof. He can but even before the beginning of the procedure has been attached to the panel be. To carry out the method according to the invention is for filling the intermediate space with the process gas therefore preferably a glass panel with provided with a glued-on exhaust tube. For gas pumping and / or fill of the space of the unit can this, arranged above the opening, up on that of the opening closed area closed pump stems are opened, namely at the For this purpose provided in the exhaust tube predetermined breaking point by heating, mechanical stress and / or the gas to be introduced exerted Pulse destroyed becomes. After completion of the filling process with the process gas the pump stem is closed by melting.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann zum Herstellen von beliebigen Einheiten verwendet werden, die aus zwei über eine Glasfritte miteinander verbundenen Glaspaneelen bestehen, deren Zwischenraum mit einem Gas (Prozeßgas) befüllbar oder befüllt ist. Derartige Einheiten werden beispielsweise für die Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen, Hintergrundbeleuchtungen u.dgl. eingesetzt. Dir Erfindung deckt jedenfalls sämtliche möglichen Anwendungsgebiete ab.The inventive method can be used to manufacture any units that out of two over a glass frit interconnected glass panels, whose Interspace with a gas (process gas) can be filled or filled. Such units are used, for example, for the production of flat screens, flat discharge lamps, backlights and the like. used. In any case, the invention covers all of them potential Application areas.

Wie erwähnt, wird der Pumpstengel mit dem die Öffnung aufweisenden Glaspaneel verklebt, und zwar vorzugsweise während der Ausbildung der Umrandung. Das Schließen des Pumpstengels erfolgt durch Verschmelzen desselben oder der angeschlossenen Glasleitung, wobei dies insbesondere durch ein örtlich begrenztes Erhitzen erfolgt.As mentioned, is the pumping stem with the glass panel having the opening glued, preferably during the formation of the border. The closing the exhaust tube is made by merging the same or the connected Glass conduit, this being in particular by a localized heating he follows.

Das Verbindungsmedium (die Glasfritte) zur Ausbildung der Umrandung wird vorzugsweise berg- und talförmig aufgebracht, um nach dem Aufkleben des zweiten Glaspaneeles den natürlichen unterbrochenen Spalt zu erzielen, der zum Evakuieren und zum Einführen des zum Fluten verwendeten Gases benutzt wird. Dieser Spalt wird dabei von den jeweiligen Zwischenräumen zwischen den Tälern der Umrandung und dem aufgelegten Glaspaneel gebildet.The Connecting medium (the glass frit) to form the border is preferably mountain and valley applied after the gluing of the second Glaspaneeles the natural interrupted gap to be used for evacuation and insertion of the used for flooding gas is used. This gap will be there from the respective intervals between the valleys the border and the applied glass panel formed.

Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens. Diese Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Einrichtung zum Erhitzen, Evakuieren und Kühlen der Einheit und gemäß einer besonderen Ausführungsform eine nachgeschaltete Station zum Evakuieren und Befüllen mit Prozeßgas aufweist. Die Einrichtung ist vorzugsweise als Ofen ausgebildet, der in Förderrichtung mehrere nacheinander angeordnete und gegenseitig abgedichtete Behandlungskammern aufweist. Die herzustellende Einheit wird nacheinander durch die jeweiligen Behandlungskammern geführt und den entsprechenden Behandlungen unterzogen. Dabei ist das Fördermittel des Ofens, auf dem die Einheiten angeordnet und transportiert werden, nicht kritisch, so daß verschiedenartige Fördermittel zum Einsatz kommen können. Beispielsweise kann es sich hierbei um Rollen handeln. Wesentlich ist natürlich, daß das Fördermittel durch die verschiedenen Behandlungsschritte (Erhitzen, Evakuieren etc.) nicht beeinträchtigt wird.The invention further relates to an apparatus for carrying out the above-described Process. This device is characterized in that it comprises means for heating, evacuating and cooling the unit and, according to a particular embodiment, a downstream station for evacuating and filling with process gas. The device is preferably designed as a furnace having a plurality of successively arranged and mutually sealed treatment chambers in the conveying direction. The unit to be produced is successively passed through the respective treatment chambers and subjected to the appropriate treatments. In this case, the conveying means of the furnace on which the units are arranged and transported, not critical, so that various types of funding can be used. For example, these may be roles. It is essential, of course, that the funding is not affected by the various treatment steps (heating, evacuation, etc.).

Generell kann das erfindungsgemäße Verfahren mit einer geeigneten Einrichtung auf kontinuierliche oder diskontinuierliche Weise durchgeführt werden. Als kontinuierlich arbeitender Ofen ist ein Durchlauf/Durchstoßofen geeignet. Als diskontinuierlich arbeitender Ofen ist ein Kammerofen, Haubenofen, Hubherdofen, Drehringofen geeignet.As a general rule can the inventive method with a suitable device on continuous or discontinuous Be carried out manner. As a continuous furnace, a pass-through furnace is suitable. As a batch furnace is a chamber furnace, hood furnace, Hubherdofen, rotary oven suitable.

Es können mehrere zu behandelnde Einheiten übereinander angeordnet werden, um entsprechende Behandlungspakete zu bilden. Die Behandlungspakete können dann kontinuierlich oder diskontinuierlich behandelt werden, beispielsweise in einem speziellen Ofen, der eine Vielzahl von Herdwagenöfen umfassen kann, auf denen eine Retorte (Glocke) angeordnet ist, in der sich ein zu behandelndes Paket aus übereinander angeordneten Einheiten befindet. Diese Herdwagenöfen bewegen sich nacheinander durch einen Tunnel, in dem die entsprechenden Erhitzungs- und Kühlschritte durchgeführt werden. Jeder einzelne Herdwagenofen ist bereits mit entsprechenden Anschlüssen versehen, um innerhalb der Retorte den Evakuierungsschritt und/oder Flutungsschritt durchführen zu können. Bei dieser Einrichtung erfolgt somit das Evakuieren und Gasfluten innerhalb der Retorte, während das Erhitzen und Abkühlen auf indirekte Weise innerhalb des Tunnels erfolgt, den die einzelnen Herdwagenöfen durchlaufen.It can several units to be treated are arranged one above the other, to form appropriate treatment packages. The treatment packages can then treated continuously or discontinuously, for example in a special oven, which includes a variety of shuttle kilns can, on which a retort (bell) is arranged, in which a package to be treated from one another arranged units is located. These shuttle kilns move in succession a tunnel in which the appropriate heating and cooling steps carried out become. Every single bogie stove is already with corresponding connections provided within the retort the evacuation step and / or Perform flooding step to be able to. In this device thus takes place the evacuation and gas flooding inside the retort while heating and cooling is done indirectly within the tunnel that the individual shuttle kilns run through.

Die der Einrichtung zum Erhitzen, Evakuieren und Kühlen der Einheit nachgeschaltete Station besitzt vorzugsweise eine Evakuier/Befüllvorrichtung, die in abgedichteter Weise gegen ein Glaspaneel der Einheit gepreßt wird und einen die Paneelöfen oder den Pumpstengel umgreifenden Rohrkörper und einen Evakuierungsanschluß sowie einen Prozeßgasanschluß aufweist, die mit dem Rohrkörper in Verbindung stehen. Diese Evakuier/Befüllvorrichtung wird zum Evakuieren des Zwischenraumes der Einheit über die Öffnung und den Pumpstengel und zum Befüllen des Zwischenraumes mit Prozeßgas benutzt. Sie weist vorzugsweise eine Heizung zum Erhitzen des Pumpstengels auf, um auf diese Weise die am Pumpstengel vorgesehene Sollbruchstelle zu zerstören und dadurch den Pumpstengel zu öffnen. Dies schließt nicht aus, daß das Öffnen des Pumpstengels auch auf andere Weise erfolgen kann, wie vorstehend angedeutet.The the device downstream of the unit for heating, evacuating and cooling the unit Station preferably has an evacuating / filling device, which is sealed in Is pressed against a glass panel of the unit and one the panel furnaces or the pumping stem encompassing tubular body and an evacuation port and has a process gas connection, the with the tubular body keep in touch. This evacuating / filling device will be evacuated of the space of the unit over the opening and the pumping stem and for filling the gap with process gas used. It preferably has a heater for heating the exhaust tube in order to provide in this way the intended on the exhaust tube breaking point to destroy and thereby open the exhaust tube. This includes not that opening the Pumping gels can also be done in other ways, as above indicated.

Als Verbindungsmedium wird vorzugsweise eine geeignete Glasfritte eingesetzt, wie sie beispielsweise aus dem Stand der Technik bekannt ist. Die erwähnte „Verbindungstemperatur" ist die zum Verbinden der Glaspaneele notwendige Temperatur (Verklebetemperatur, Schmelztemperatur etc.). Bei der gebildeten Umrandung aus dem Verbindungsmedium handelt es sich beispielsweise um einen geschlossenen Strang aus der Glasfritte etc. Wesentlich ist, daß die Glaspaneele auf gasdichte Weise miteinander verbunden werden.When Connecting medium is preferably a suitable glass frit used as known for example from the prior art. The mentioned "connection temperature" is the one to connect the glass panels necessary temperature (sticking temperature, melting temperature Etc.). At the formed border from the connection medium acts For example, it is a closed strand of the glass frit etc. It is essential that the Glass panels are connected to each other in a gas-tight manner.

Der Zwischenraum der Einheit kann einem oder mehreren Spülvorgängen unterzogen und danach evakuiert und mit Inertgas oder Prozeßgas befüllt werden. Dies kann als Druckwechselspülung durchgeführt werden.Of the Interspace of the unit may undergo one or more flushes and then evacuated and filled with inert gas or process gas. This can be done as a pressure swing rinse.

Wie erwähnt, kann das Verbindungsmedium (die Glasfritte) zur Ausbildung der Umrandung berg- und talförmig aufgebracht werden, damit sich (nach dem Aushärten) der gewünschte natürliche unterbrochene Spalt ergibt. Es ist jedoch auch möglich, durch nachträgliches Ausschleifen der erhärteten Umrandung einen gewünschten Spalt herzustellen.As mentioned, can the connecting medium (the glass frit) to form the border mountain and valley be applied so that (after curing) the desired natural interrupted Gap results. However, it is also possible by subsequent Grinding the hardened Outline a desired one Gap produce.

Zu ergänzen ist noch, daß auch quasi-kontinuierlich arbeitende Öfen, beispielsweise Herdwagen-Durchlauföfen, für das erfindungsgemäße Verfahren geeignet sind.To complete is still that too quasi-continuous furnaces, For example, bogie conveyor ovens, for the inventive method are suitable.

Es versteht sich, daß die vorliegende Erfindung in bezug auf die zur Durchführung der Erfindung verwendeten Öfen entsprechende Be- und Entladeeinrichtungen, Ein- und Ausschleuseeinrichtungen, Gasumwälzeinrichtungen, Antriebseinrichtungen für das Fördermedium etc. mit abdeckt. Die nachgeschaltete Station kann ferner eine Zusatzheizung zum Aufheizen der Glaspaneele aufweisen.It understands that the present invention relating to the implementation of the Furnace used in the invention corresponding loading and unloading devices, infeed and outfeed devices, Gasumwälzeinrichtungen, Drive devices for the pumped medium etc. with covers. The downstream station may also have additional heating have for heating the glass panels.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigen:The Invention will be described below with reference to an embodiment in connection explained in detail with the drawing. Show it:

1 einen schematischen Längsschnitt durch einen Durchlaufofen; 1 a schematic longitudinal section through a continuous furnace;

2 einen schematischen Querschnitt durch die Vorkammer des Durchlaufofens; 2 a schematic cross section through the antechamber of the continuous furnace;

3 einen schematischen Querschnitt durch eine Evakuierungskammer des Durchlaufofens; 3 a schematic cross section through an evacuation chamber of the continuous furnace;

4 eine schematische Darstellung der dem Durchlaufofen nachgeschalteten Station zum Evakuieren und Befüllen mit Prozeßgas; 4 a schematic representation of the continuous furnace downstream station for evacuation and filling with process gas;

5 einen Vertikalschnitt durch einen Teil der Station zum Evakuieren und Befüllen im vergrößerten Maßstab; und 5 a vertical section through a part of the station for evacuation and filling on an enlarged scale; and

6 fünf Vertikalschnittansichten durch verschiedene Ausführungsformen von Pumpstengeln, die auf einem Glaspaneel angeordnet sind. 6 five vertical sectional views through various embodiments of exhaust stems, which are arranged on a glass panel.

Die in 1 dargestellte Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens weist eine Einrichtung zum Erhitzen, Evakuieren und Kühlen der Einheit sowie eine nachgeschaltete Station zum Evakuieren und Befüllen der Einheit mit Prozeßgas auf. Die Einrichtung ist als Durchlaufofen 1 ausgebildet, der in Förderrichtung mehrere nacheinander angeordnete und gegenseitig abgedichtete Behandlungskammern aufweist. Von links nach rechts in der Figur besitzt der Durchlaufofen eine Aufheizkammer 2, drei Evakuierungskammern 3, eine Flutungskammer 4, eine Verklebungskammer 5, eine Atmosphärentrennkammer 6 und eine Kühlkammer 7. Als Fördereinrichtung weist der Durchlaufofen 1 eine Rollenbahn auf, die sich aus einer Vielzahl von Rollen 8 zusammensetzt und durch sämtliche Kammern verläuft, wobei die entsprechenden Ein- und Austrittsöffnungen der jeweiligen Kammer gegenüber der umgebenden Atmosphäre bzw. gegenüber der benachbarten Kammer abgedichtet sind. In 1 ist gezeigt, wie sich mehrere zu behandelnde Einheiten 9 auf den Rollen 8 bewegen.In the 1 illustrated apparatus for performing the method according to the invention has a device for heating, evacuation and cooling of the unit and a downstream station for evacuating and filling the unit with process gas. The device is as a continuous furnace 1 formed, which has a plurality of successively arranged and mutually sealed treatment chambers in the conveying direction. From left to right in the figure, the continuous furnace has a heating chamber 2 , three evacuation chambers 3 , a flooding chamber 4 , a bonding chamber 5 , an atmospheric separation chamber 6 and a cooling chamber 7 , As a conveyor, the continuous furnace 1 a roller conveyor made up of a variety of rollers 8th composed and passes through all the chambers, wherein the respective inlet and outlet openings of the respective chamber are sealed against the surrounding atmosphere or with respect to the adjacent chamber. In 1 is shown as several units to be treated 9 on the rollers 8th move.

Die Einheiten 9 können den Durchlaufofen kontinuierlich oder diskontinuierlich durchlaufen. Die Steuerung der Laufbewegung kann über den Rollenantrieb der einzelnen Kammern erfolgen.The units 9 can go through the continuous furnace continuously or discontinuously. The control of the running movement can be done via the roller drive of the individual chambers.

2 zeigt einen Querschnitt durch die Aufheizkammer bzw. Vorkammer 2. In dem von den Kammerwänden umschlossenen Innenraum 10 wird über eine Strahlungs- und/oder Konvektionsheizung eine geeignete Atmosphäre zum Vorerhitzen der zu behandelnden Einheit 9 erzeugt. 2 shows a cross section through the heating chamber or pre-chamber 2 , In the interior enclosed by the chamber walls 10 is a radiation and / or convection heating a suitable atmosphere for preheating the unit to be treated 9 generated.

3 zeigt einen Querschnitt durch eine Evakuierungskammer 3. Mit Hilfe von Leitungen 11 wird über eine Vakuumpumpe 12 im Innenraum 13 der Kammer ein geeigneter Unterdruck erzeugt, um die in der Kammer befindliche Einheit zu evakuieren. 3 shows a cross section through an evacuation chamber 3 , With the help of cables 11 is via a vacuum pump 12 in the interior 13 the chamber generates a suitable negative pressure to evacuate the unit located in the chamber.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird so vorgegangen, daß eine geeignete Glasfritte auf ein Glaspaneel aufgetragen und ausgehärtet wird, so daß ein in der Höhe variierender Glasfrittenring gebildet wird. Auf diesen Glasfrittenring wird ein weiteres Glaspaneel gelegt, so daß zwischen dem Glasfrittenring und dem zweiten Glaspaneel ein unterbrochener Spalt gebildet wird. Beide Glaspaneele werden mechanisch aneinander befestigt und dann in den in 1 dargestellten Durchlaufofen eingeführt. Die gebildete Einheit 9 gelangt in die Aufheizkammer 2 des Ofens und wird dort in einer aus Luft oder Stickstoff bestehenden At mosphäre vorerhitzt, beispielsweise auf eine Temperatur zwischen 250°C und 350°C. Das Vorerhitzen erfolgt über einen geeigneten Zeitraum. Die vorerhitzte Einheit wird dann in die erste Evakuierungskammer 3 eingeführt und evakuiert, was über den zwischen Glaspaneel und Frittenring gebildeten Spalt erfolgt. Während des Evakuierens erfolgt ein Erhitzen der Einheit auf 350–390°C (Gleichgewichtstemperatur). Bei dieser Temperatur findet kein Ausgasen der Glasfritte mehr statt, wobei jedoch beide Glaspaneele noch nicht miteinander verklebt sind. Der in 1 dargestellte Durchlaufofen 1 besitzt drei hintereinandergeschaltete Evakuierungskammern 3, die beispielsweise den Zwischenraum der Einheit bis auf 10^–5 mbar evakuieren.In the method according to the invention, the procedure is such that a suitable glass frit is applied to a glass panel and cured, so that a variable in height glass frit ring is formed. On this glass frit ring another glass panel is placed so that an interrupted gap is formed between the glass frit ring and the second glass panel. Both glass panels are mechanically attached to each other and then into the in 1 introduced continuous furnace introduced. The educated unit 9 enters the heating chamber 2 of the furnace and is preheated there in an atmosphere consisting of air or nitrogen, for example, to a temperature between 250 ° C and 350 ° C. The preheating takes place over a suitable period. The preheated unit is then placed in the first evacuation chamber 3 introduced and evacuated, which takes place over the gap formed between the glass panel and frit ring. During evacuation, the unit is heated to 350-390 ° C (equilibrium temperature). At this temperature, no outgassing of the glass frit takes place more, but both glass panels are not yet glued together. The in 1 illustrated continuous furnace 1 has three evacuation chambers connected in series 3 , for example, evacuate the gap of the unit to 10 ^-5 mbar.

In der folgenden nachgeschalteten Kammer 4 wird der Zwischenraum der Einheit mit einem geeigneten Inertgas geflutet, bei dem es sich beispielsweise um einen Teil des später als Prozeßgas verwendeten Gasgemisches handeln kann. Im vorliegenden Fall findet eine Flutung mit Neon statt. In der nachfolgenden Verklebungskammer 5 wird die Einheit bis auf die Klebetemperatur der Glasfritte von 350°C–430°C erhitzt, so daß hier der eigentliche Klebevorgang stattfindet. Durch das vorherige Füllen des Zwischenraumes mit dem Inertgas wird eine weitere Ausgasung der Glasfritte unterdrückt.In the following downstream chamber 4 The space of the unit is flooded with a suitable inert gas, which may be, for example, a part of the gas mixture used later as a process gas. In the present case, a flooding with neon takes place. In the following bonding chamber 5 The unit is heated to the sticking temperature of the glass frit from 350 ° C-430 ° C, so that the actual bonding process takes place here. By previously filling the gap with the inert gas, further outgassing of the glass frit is suppressed.

Die verklebte Einheit durchwandert dann eine nachfolgende Atmosphärentrennkammer 6 und eine dieser nachfolgende Kühlkammer 7 und verläßt dann den in 1 gezeigten Durchlaufofen.The bonded unit then travels through a subsequent atmosphere separation chamber 6 and one of these subsequent cooling chambers 7 and then leave the in 1 shown continuous furnace.

Dem Durchlaufofen 1 nachgeschaltet ist eine Station 15 zum Evakuieren und Befüllen der Einheit mit Prozeßgas. Die verklebte Einheit 9 gelangt in die in 5 punktiert dargestellte Stellung und wird mit einer geeigneten Klemmvorrichtung 24 festgeklemmt. Die Klemmvorrichtung ist anhebbar und absenkbar, ferner verschwenkbar ausgebildet, wie dargestellt. Des weiteren weist die Station 15 eine Evakuier/Befüllvorrichtung 17 auf, die ebenfalls anhebbar und absenkbar sowie schwenkbar angeordnet ist und im in 5 dargestellten Zustand gegen das obere Paneel der Einheit 9 gepreßt ist. Die Evakuier/Befüllvorrichtung 17, die im übrigen auch vor- und zurückbewegbar angeordnet ist, ist im Detail in 5 dargestellt. Sie besitzt einen Rohrkörper 22, der von einer Heizung 21 umgeben ist, welche wiederum durch eine geeignete Isolierung 35 geschützt ist. Heizung 21 und Isolierung 35 bilden eine ringförmige Einheit, die den Rohrkörper 22 umgibt und am oberen und unteren Ende je eine geeignete Wasserkühlung 30, 31 mit entsprechenden Dichtringen aufweist. Unterhalb der unteren Wasserkühlung 30 befinden sich ein oder mehrere Dichtringe 23, über die sich die Vorrichtung auf dem oberen Glaspaneel 25 der zu behandelnden Einheit abstützt. In 5 ist die zu behandelnde Einheit 9 schematisch dargestellt, die neben dem oberen Glaspaneel 25 ein unteres Glaspaneel 26 und den mit dem Prozeßgas zu befüllenden Zwischenraum 27 aufweist. Im oberen Glaspaneel 25 befindet sich eine Öffnung 36, die von einem Pumpstengel 28 umgeben wird, der mit Hilfe einer Glasfritte 29 mit dem oberen Glaspaneel 25 verklebt ist. Das Ankleben des Pumpstengels 28 an das obere Glaspaneel 25 kann beispielsweise während des Zusammenklebens der beiden Glaspaneele erfolgen.The continuous furnace 1 Downstream is a station 15 for evacuating and filling the unit with process gas. The glued unit 9 enters the in 5 dotted position shown and is with a suitable clamping device 24 clamped. The clamping device can be raised and lowered, further formed pivotable, as shown. Furthermore, the station points 15 an evacuating / filling device 17 on, which is likewise raised and lowered as well as pivotally arranged and in 5 illustrated state against the upper panel of the unit 9 is pressed. The evacuation / filling device 17 , which is arranged, moreover, movable back and forth, is in detail in 5 shown. It has a tubular body 22 that of a heater 21 surrounded, which in turn by a suitable insulation 35 is protected. Hei Zung 21 and insulation 35 form an annular unit that forms the tubular body 22 surrounds and at the top and bottom of each a suitable water cooling 30 . 31 having corresponding sealing rings. Below the lower water cooling 30 There are one or more sealing rings 23 , about which the device on the upper glass panel 25 supports the unit to be treated. In 5 is the unit to be treated 9 shown schematically next to the upper glass panel 25 a lower glass panel 26 and the space to be filled with the process gas 27 having. In the upper glass panel 25 there is an opening 36 that from a pumping stem 28 surrounded by a glass frit 29 with the upper glass panel 25 is glued. The sticking of the exhaust tube 28 to the upper glass panel 25 can be done for example during the gluing of the two glass panels.

Wenn die Vorrichtung 17 auf die Einheit aufgesetzt ist, wie in 5 gezeigt, erstreckt sich der Pumpstengel 28 in den Rohrkörper 22. Vom Rohrkörper 22, der vorzugsweise aus Glas besteht, erstreckt sich eine Hauptleitung nach oben, die zu einem Verzweigungspunkt führt, von dem nach links ein Anschluß 19 zur Zuführung eines Prozeßgases, nach rechts ein Anschluß 20, der zur Vakuumpumpe führt, und nach oben ein Anschluß 21 zu einem Schauglas führen. Entsprechende Ventileinrichtungen, mit denen die jeweiligen Anschlüsse bzw. Anschlußleitungen geöffnet oder gesperrt werden können, sind nicht dargestellt.When the device 17 is placed on the unit, as in 5 shown, extends the exhaust tube 28 in the tubular body 22 , From the tubular body 22 , which is preferably made of glass, extends up a main line leading to a branching point, from the left to a terminal 19 for supplying a process gas, right a connection 20 leading to the vacuum pump, and up a port 21 lead to a sight glass. Corresponding valve devices, with which the respective terminals or connecting lines can be opened or locked, are not shown.

6 zeigt fünf verschiedene Ausführungsformen des Pumpstengels im Vertikalschnitt. Wie bereits erwähnt ist dieser Pumpstengel 28 mit einer Sollbruchstelle versehen, die zum Evakuieren des Zwischenraumes 27 der Einheit geöffnet wird. Diese Sollbruchstelle ist in 6 mit 40 bezeichnet und wird durch einen dünneren Wandabschnitt des Pumpstengels gebildet. 6 shows five different embodiments of the exhaust tube in vertical section. As already mentioned, this pumping stem is 28 provided with a predetermined breaking point, which is used to evacuate the gap 27 the unit is opened. This breaking point is in 6 With 40 and is formed by a thinner wall portion of the exhaust tube.

Wenn eine zu behandelnde Einheit in die Station 15 gelangt, wird sie über die Klemmeinrichtung 24 und die Evakuier/Befüllvorrichtung 17 festgeklemmt. Die Dichtringe 23 stellen eine dichte Verbindung zwischen dem Inneren des Rohrkörpers 22 und der Atmosphäre her. Über die Heizung 21 erfolgt nunmehr ein Erhitzen des Innenraumes des Rohrkörpers 22, um das Glas des Pumpstengels 28 auf Schmelztemperatur zu bringen. Infolge des entstehenden Differenzdruckes zwischen dem Innenraum des Rohrkörpers 22 und dem Innenraum des Pumpstengels 28 erfolgt ein Aufbrechen der Sollbruchstelle 40, so daß nunmehr der Zwischenraum 27 der Einheit 9 durch Betätigung der nichtgezeigten Vakuumpumpe weiter evakuiert werden kann. Nach ausreichender Evakuierung erfolgt das Befüllen des Zwischenraumes 27 mit dem Teil des noch fehlenden Prozeßgases. Nach Beendigung des Füllvorganges wird mit Hilfe der Heizung 21 der Pumpstengel durch Verschmelzen der Sollbruchstelle wieder geschlossen. Nach geeignetem Abkühlen kann die Klemmeinrichtung gelöst und die Einheit aus der Station entfernt werden.If a unit to be treated in the station 15 it passes through the clamping device 24 and the evacuating / filling device 17 clamped. The sealing rings 23 Make a tight connection between the interior of the pipe body 22 and the atmosphere. About the heater 21 now takes place heating the interior of the tubular body 22 to the glass of the exhaust hose 28 bring to melting temperature. As a result of the resulting differential pressure between the interior of the tubular body 22 and the interior of the exhaust tube 28 the breaking point is broken up 40 , so that now the gap 27 the unit 9 can be further evacuated by pressing the vacuum pump, not shown. After sufficient evacuation, the filling of the gap takes place 27 with the part of the still missing process gas. After the filling process is completed with the help of the heater 21 the pump stem closed by fusing the breaking point again. After proper cooling, the clamp can be released and the unit removed from the station.

Claims

Method for making two out of a Connection medium, in particular a glass frit, interconnected Glass panels, which have a gap, existing units for the production of flat screens, flat discharge lamps u. The like with the following steps: a. Applying the connection medium on at least one glass panel, at least partial curing of the Connecting medium and forming a varying height in the border the connection medium; b. Laying on the other glass panel on the border, forming a natural broken gap and mechanically securing the two glass panels together; c. Preheating the formed unit to a first temperature; d. Evacuating the gap during further heating the unit to that necessary for connection Temperature of the connecting medium through the natural broken gap and thus gas-tight connection of the glass panels; and e. Cooling the Unit at room temperature and, if necessary, release the mechanical fastening.

Method according to claim 1, characterized by following further steps: f. Fill the gap with the process gas via an opening in a glass panel; and G. Closing the panel opening and if necessary, release the mechanical attachment.

Method according to claim 2, characterized in that that before Step f. the space above the opening in the Glass panel is evacuated.

Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that as Connection medium is a glass frit is used.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the gap in step d. after or during further evacuation of the unit to a second temperature (equilibrium temperature) below the bonding temperature of the bonding medium, in particular melting temperature of the glass frit at which the outgassing of the bonding medium has substantially come to a standstill, is evacuated by the natural interrupted gap and with an inert gas during or before further heating. the unit is flooded to the bonding temperature of the bonding medium.

Method according to claim 5, characterized in that that as Inert gas the process gas or part of it is used.

Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that. Gap of the formed unit before step d. evacuated and filled with inert gas becomes.

Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that Interspace subjected to one or more rinses with inert gas or process gas and then evacuated and filled with inert gas or process gas (Alternating pressure flushing).

Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that Gas extraction and / or filling the space of the unit with the process gas arranged above the opening in a panel, except for the opening facing Area closed pump stem used with predetermined breaking point caused by heating, mechanical stress and / or by the introduced Gas exercised Pulse is destroyed.

Method according to claim 9, characterized in that that the Pumping stem with the opening having Glued glass panel.

Method according to claim 10, characterized in that that this Gluing the exhaust tube while the formation of the border or connecting the glass panels he follows.

Method according to one of claims 9-11, characterized that the Pump stem is closed by merging.

Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that Connecting medium applied to the formation of the outline mountain and valley becomes.

Apparatus for carrying out the method according to any one of claims 1-13, characterized in that it comprises means for heating, evacuating and cooling the unit ( 9 ).

Device according to claim 14, characterized in that it comprises a downstream station ( 15 ) for evacuation and filling with process gas.

Apparatus according to claim 14 or 15, characterized in that the device is used as a furnace ( 1 ) is formed, in the conveying direction a plurality of successively arranged and mutually sealed treatment chambers ( 2 - 7 ) having.

Apparatus according to claim 16, characterized in that the furnace ( 1 ) in the conveying direction at least one heating chamber ( 2 ), at least one evacuation chamber ( 3 ), at least one flooding chamber ( 4 ), at least one connecting chamber ( 5 ) and at least one cooling chamber ( 7 ) having.

Device according to one of claims 14-17, characterized in that the furnace ( 1 ) is designed as a continuous furnace, in particular pass / pusher furnace.

Device according to one of claims 14-17, characterized that the Furnace as a discontinuously operating furnace, in particular a chamber furnace, Hood furnace, Hubherdofen, Drehringofen, is formed.

Device according to one of claims 14-19, characterized that the Furnish a variety of stovetop ovens, each one on top arranged one or more to be treated units receiving retort and a tunnel for heating and / or cooling, which is of the shuttle kilns is passed through.

Device according to one of Claims 15-20, characterized in that the downstream station ( 15 ) an evacuating / filling device ( 17 ), which in a sealed manner against a glass panel ( 25 ) the unit ( 9 ) is pressed and a the panel opening or the pump stem ( 28 ) encompassing tubular body ( 22 ) and an evacuation port ( 20 ) and a process gas connection ( 19 ) which is connected to the tubular body ( 22 ) keep in touch.

Apparatus according to claim 21, characterized in that the evacuating / filling device ( 17 ) a heater ( 21 ) for heating the exhaust tube ( 28 ) owns.

Device according to one of claims 15-23, characterized that the downstream station an additional heater for heating the glass panels having.