WO2006058517A1 - Method and device for producing units for creating flat-panel monitors and the like, and device for evacuating/filling the intermediate space within such units - Google Patents

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WO2006058517A1
WO2006058517A1 PCT/DE2005/002112 DE2005002112W WO2006058517A1 WO 2006058517 A1 WO2006058517 A1 WO 2006058517A1 DE 2005002112 W DE2005002112 W DE 2005002112W WO 2006058517 A1 WO2006058517 A1 WO 2006058517A1
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evacuating
glass
unit
gap
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PCT/DE2005/002112
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Reinhard Schummers
Francisco Lopez
Dieter Johnen
Original Assignee
Elino Industrie-Ofenbau Carl Hanf Gmbh & Co.Kg
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    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/06Joining glass to glass by processes other than fusing
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    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/26Sealing together parts of vessels
    • H01J9/261Sealing together parts of vessels the vessel being for a flat panel display
    • HELECTRICITY
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    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing glass panels made of two interconnected via a connection medium, in particular a glass frit, which have a gap, existing units for the production of flat screens, flat discharge lamps and the like.
  • the exhaust tube is connected to a conduit through which the space between the two glass panels is evacuated, whereby the frit gas that has entered into the interspace is also removed. As mentioned, this evacuation process must be done very carefully and therefore usually takes about 4 - 10 h. After filling with the process gas attached to the exhaust tube glass tube is melted, so that a characteristic nipple remains on the product.
  • This known method has the disadvantage that it takes a very long time, since the evacuation can be done only over the small cross section of the bore and the exhaust tube. Furthermore, there is the danger in this method that despite the long-lasting evacuation by the outgassing of the glass frit formed gaseous impurities remain in the space, so that no error-free product is formed. Finally, the energy costs are high in this known method, since the evacuation over a relatively long period of time in a chamber furnace under heating is performed to achieve an acceleration of evacuation.
  • the present invention has for its object to provide a method of the type specified, which can be carried out particularly quickly and safely.
  • the formed unit is heated to a second temperature below the bonding temperature of the bonding medium (glass frit melting temperature) and an equilibrium temperature at which the outgassing of the bonding medium (the glass frit) substantially stops has come.
  • This equilibrium temperature depends in particular on the bonding medium used (on the glass frit used), but also on the glass of the glass panels used, and must be determined empirically on a case-by-case basis.
  • the space of the unit Prior to subsequently heating the unit to the bonding temperature (glass frit melting temperature) to bond the panels, the space of the unit is then flooded with an inert gas to build up a partial pressure in the system which acts. that no further outgassing of the connecting medium (the glass frit) takes place.
  • the inert gas introduced into the intermediate space prevents further outgassing of the connecting medium, so that, without substantial contamination of the intermediate space, the connecting element is prevented from escaping. Dungsvorgang (gluing process) of both panels can take place.
  • the process gas or a part of the process gas is preferably used, so that a subsequent removal of the inert gas used for flooding is no longer required, at least to the full extent.
  • a neon-xenon gas mixture is used as the process gas, neon is preferably used as the gas for flooding the interspace, which is relatively inexpensive. This neon is then later partially withdrawn and replaced by the desired xenon / neon mixture.
  • the method according to the invention is carried out in one or more chambers in order to carry out the respective method steps.
  • the step of preheating the formed unit to a first temperature takes place in a chamber filled with air or inert gas.
  • the step of evacuating the intermediate space of the unit is pre- preferably in a next chamber instead, wherein an evacuation preferably to a vacuum of about 10 "5 to 10" 6 is effected mbar.
  • the subsequent further heating to the bonding temperature of the bonding medium (the melting temperature of the glass frit) while flowing with an inert gas is preferably carried out in another chamber.
  • the unit is preferably transferred again into another chamber.
  • the process gas consists of a neon-xenon mixture with a much higher proportion of neon
  • the relatively cheap neon is used for flooding and later only a small amount of neon is replaced by the desired gas mixture in order to obtain the process gas.
  • This procedure has the advantage that the expensive xenon does not have to be used for flooding out of the gas chamber.
  • the evacuation step removes the outgassing of the bonding medium (glass frit) from the gap. This is preferably done until a state of equilibrium is reached and the compound medium no longer outgassed. In this state, all outgassing are thus removed from the intermediate space.
  • a further outgassing is prevented during bonding (bonding), so that no more gaseous impurities are trapped in the intermediate space. The process thus guarantees with great certainty a contamination-free intermediate space.
  • the temperature to which the unit is heated before or during the evacuation of the gap depends on the glass panels used and the bonding medium used. The corresponding temperature is to be determined empirically. With the commonly used as glass frit Bleioxidgläsern it is approximately in a range of 350 ° C-400 0 C, with a usual value is about 390 0 C, that is lent considerable below the sticking temperature of the glass frit.
  • the bonding (bonding) of the unit (preferably at about 390 ° C), it is cooled to room temperature. If the intermediate space has already been flooded with the process gas, a further process gas filling or gas exchange is no longer necessary per se. However, as mentioned above, this will usually be the case, so that the inert gas used for flooding is then preferably removed via the opening provided in a glass panel and replaced by the process gas mixture.
  • the opening provided for this purpose in a glass panel was preferably closed during the preceding steps and is now opened to carry out this step. After completion of the filling process, the opening is permanently closed.
  • the mechanical attachment (clamping device) used to put the two glass panels together can now or already be cooled to room temperature after the unit has cooled.
  • the opening provided in a glass panel is neither for evacuation nor for flooding is required with the inert gas, the opening is kept closed during these process steps.
  • This is preferably done by means of a closed exhaust tube, which covers such an opening.
  • the exhaust tube is preferably affixed to the glass panel over the opening with a glass frit, particularly along with the application of the bonding medium (the glass frit) to at least one glass panel to form the border and cure or bond the same to the panels. But he may also have been attached to the panel before the start of the process.
  • a glass panel is preferably provided with a glued-on exhaust tube for filling the intermediate space with the process gas.
  • this pump stem which is arranged above the opening and which faces the opening, can be opened, specifically at the predetermined breaking point provided in the exhaust tube by heating, mechanical stress and / or or the pulse applied by the gas to be introduced is destroyed.
  • the exhaust tube is closed by melting.
  • the inventive method can be used for the production of any units consisting of two interconnected via a glass frit glass panels whose space is filled or filled with a gas (process gas).
  • a gas process gas
  • Such units are, for example, for the manufacture of flat screens, flat discharge lamps, backlights and the like. used. You In any case, it covers all possible areas of application.
  • the exhaust tube is glued to the glass panel which has the opening, preferably during the formation of the border.
  • the closing of the exhaust tube is done by merging the same or the connected glass line, this is done in particular by a localized heating.
  • the bonding medium (the glass frit) for forming the border is preferably applied in a mountain and valley shape in order to achieve the natural interrupted gap after evacuation of the second glass pane, which is used to evacuate and to introduce the gas used for flooding. This gap is formed by the respective spaces between the valleys of the border and the glass panel.
  • the invention further relates to an apparatus for carrying out the method described above.
  • This device is characterized in that it comprises means for heating, evacuating and cooling the unit and, according to a particular embodiment, a downstream station for evacuating and filling with process gas.
  • the device is preferably designed as a furnace having a plurality of successively arranged and mutually sealed treatment chambers in the conveying direction.
  • the unit to be produced is successively passed through the respective treatment chambers and subjected to the appropriate treatments.
  • the funding of the Furnace on which the units are arranged and transported not critical, so that various types of funding can be used. For example, these may be roles. It is essential, of course, that the funding is not affected by the various treatment steps (heating, evacuation, etc.).
  • the method according to the invention can be carried out with a suitable device in a continuous or discontinuous manner.
  • a continuous furnace a pass-through furnace is suitable.
  • a batch furnace a chamber furnace, hood furnace, Hubherdofen, rotary kiln is suitable.
  • Several units to be treated can be stacked to form respective treatment packages.
  • the treatment packages can then be treated continuously or discontinuously, for example in a special oven, which may comprise a plurality of shuttle kilns on which a retort (bell) is placed, in which a package of units arranged one above another is located.
  • a special oven which may comprise a plurality of shuttle kilns on which a retort (bell) is placed, in which a package of units arranged one above another is located.
  • a retort retort
  • These shuttle kilns move in succession through a tunnel in which the corresponding heating and cooling steps are carried out.
  • Each individual shuttle kiln is already provided with corresponding connections in order to be able to carry out the evacuation step and / or flooding step within the retort.
  • evacuation and gas flooding within the retort occurs in this device, while heating and cooling occur indirectly within the tunnel through which the individual shuttle kilns
  • the station downstream of the unit for heating, evacuating and cooling the unit preferably has an evacuating / filling device, which is pressed in a sealed manner against a glass panel of the unit and has a tubular body enclosing the panel ovens or the Puinpstengel and an evacuation port and a process gas connection, which are in communication with the tubular body.
  • This evacuating / filling device is used for evacuating the interspace of the unit via the opening and the exhaust tube and for filling the intermediate space with process gas. It preferably has a heater for heating the exhaust tube in order to destroy in this way the provided on the exhaust tube predetermined breaking point and thereby open the exhaust tube. This does not exclude that the opening of the exhaust tube can also be done in other ways, as indicated above.
  • a suitable glass frit is preferably used, as it is known for example from the prior art.
  • the mentioned “bonding temperature” is the temperature necessary for bonding the glass panels (bonding temperature, melting temperature, etc.)
  • the formed border of the bonding medium is, for example, a closed strand of the glass frit, etc. It is essential that the glass panels be gas-tight be connected to each other.
  • the interspace of the unit may undergo one or more purge operations and thereafter evacuated and with inert gas or process gas to be filled. This can be done as a pressure swing rinse.
  • connection medium the glass frit
  • the connection medium can be applied in a mountain and valley shape to form the border, so that (after curing) the desired natural interrupted gap results.
  • the present invention with respect to the furnaces used for carrying out the invention corresponding loading and unloading, infeed and Ausschleuseleaneden, gas circulation means, drive means for the pumped medium, etc. covers.
  • the downstream station can also have an additional heater for heating the glass panels.
  • the present invention further relates to a device for evacuating the gap of consisting of two interconnected glass panels units and for filling the gap with a process gas for the production of flat screens, flat discharge lamps u. like.
  • a device of the type described above is to be created, with which both the evacuation of the gap and the filling of the same can be performed with process gas in a particularly simple, convenient and safe way.
  • This object is achieved by a device for evacuating the gap of existing two glass panels interconnected units and filling the gap with a process gas for the production of flat screens, flat discharge lamps u.
  • an evacuating / filling device having a cavity for receiving a exhaust tube of a Glaspaneeies a unit, connected to the cavity Evakuieranschluß and Be spallanschluß and a sealing means for placing on the glass panel around the exhaust tube around and
  • a single device which simultaneously serves to evacuate and fill the intermediate space. After evacuation is done with the device, the filling of the gap with the process gas.
  • the device has an evacuating / filling device with a cavity which, in the installed state of the device, receives the exhaust tube of a glass pane egg of a unit to be evacuated and filled. Via the evacuation connection connected to the cavity and the cavity attached to the cavity. closed filling connection, the evacuation process via the open exhaust tube, which is followed by the filling process via the exhaust tube.
  • the evacuating / filling device sealing device is placed on the glass panel around the exhaust tube in the installed state of the device so that a close fit of the evacuating / filling device to the glass panel is achieved and the cavity receiving the exhaust tube is sealed from the surrounding atmosphere.
  • the sealing device is compressed by the means for pressing the unit against each other and the evacuating / filling device in order to achieve the above-mentioned tight seal.
  • the evacuation and filling of the gap of the unit can thus be done with the inventively designed device in a simple, convenient, quick and safe manner, since only a single device must be fixed to the unit, wherein by the juxtaposition of unit and evacuating / filling with help the sealing device provided is achieved a tight seal around the exhaust tube around.
  • the evacuating / filling device has both a connection for evacuation and a connection for filling, it is possible to connect very rapidly, for example, a line leading to a process gas storage and a line leading to a vacuum pump.
  • suitable shut-off / valve devices a line can be blocked, so that the evacuation and filling operations can be carried out in succession.
  • the evacuating / filling device has a central tube for forming the cavity, to which the evacuation connection and filling connection are connected.
  • this central tube preferably surrounds the exhaust tube at a distance, so that it is not damaged by the fitting of the device designed according to the invention.
  • the envisaged sealing device prevents the ambient air from penetrating into the gap formed between the exhaust tube and the central tube.
  • a glass tube is used. The space within the tube is preferably evacuated before starting to open the sabot.
  • the evacuation and Bef Trentsanschluß expediently have a common portion which is connected to the central tube.
  • this common section preferably extends upwards from the central tube and then preferably divides into the laterally discharging evacuation connection and the laterally discharging filling connection.
  • the corresponding connections are expediently formed by pipe sockets which extend at right angles to the common section.
  • the evacuating / filling device has a heating device.
  • This heater preferably surrounds the central tube and serves to heat the exhaust tube to produce a differential pressure, reflow, and the like.
  • the exhaust tube may be provided, for example, in a targeted manner with a predetermined breaking point, which is then opened by actuation of the heater.
  • the heater is preferably surrounded by insulation and is suitably on the outside of the central tube. Suitable heaters are known in the art and need not be specifically explained here.
  • the heater is, as mentioned, preferably surrounded by an insulation.
  • the evacuating / filling device preferably has an upper and lower insulation which accommodates the heating device between them, which is in particular a cooling device through which, for example, a suitable cooling medium (water) flows. In this way it is prevented that thermal energy is delivered to the sealing device provided at the lower end of the evacuating / filling device and upwards to the evacuating / filling lines or connections.
  • the sealing device is preferably at the lower end (in the installed state) of the evacuating / filling device. It is expediently formed by at least one sealing ring, which in the installed state of the device presses against each other the unit and the evacuator / Be Stirllvorraum is compressed, so that the cavity is sealed airtight.
  • the device designed according to the invention is preferably provided with a device for lifting / lowering, pivoting and fore / aft movement of the evacuating / filling device and / or a pressing element of the device for pressing against one another.
  • a device for lifting / lowering, pivoting and fore / aft movement of the evacuating / filling device and / or a pressing element of the device for pressing against one another both the evacuating / filling device and the pressing member can be arbitrarily moved to be adapted to the position of a unit to be treated exactly.
  • the pressing element is preferably pressed from below against the lower glass panel of the unit, while the evacuating / filling device is pressed from above against the upper glass panel, thereby receiving the exhaust tube in the cavity formed in the device.
  • the evacuating / filling device can be moved very carefully from above against the upper glass panel in order to avoid contact with the pumping stem or even damage to it in this way.
  • the evacuating / filling device and the pressing element can be carefully moved away from the corresponding glass panels, after which the filled unit is discharged and a new unit to be treated is placed in the appropriate position between the evacuating / filling device and the pressing element can be performed.
  • the heating device provided according to the invention in the evacuation / filling device is preferably used not only for opening the exhaust tube, but also for closing the exhaust tube. same after completion of the filling process.
  • the exhaust tube is then heated so that its wall is at least locally melted in the area surrounding the opening, the molten glass of the exhaust tube closing the opening formed.
  • Figure 1 shows a schematic longitudinal section through a continuous furnace
  • Figure 2 is a schematic cross section through the pre-chamber of the continuous furnace
  • FIG. 3 shows a schematic cross section through an evacuation chamber of the continuous furnace
  • Figure 4 is a schematic side view of a device for evacuation and filling with process gas
  • Figure 5 is a vertical section of the means for evacuating and filling of Figure 4 on an enlarged scale
  • FIG. 6 shows five vertical sectional views through various embodiments of exhaust stems which are arranged on a glass panel.
  • the device shown in Figure 1 for carrying out the method according to the invention has a device for heating, evacuation and cooling of the unit and a downstream station for evacuating and filling the unit with process gas.
  • the device is designed as a continuous furnace 1, which has a plurality of successively arranged and mutually sealed treatment chambers in the conveying direction. From left to right in the figure, the continuous furnace has a heating chamber 2, three evacuation chambers 3, a flooding chamber 4, a bonding chamber 5, an atmosphere separation chamber 6 and a cooling chamber 7.
  • the continuous furnace 1 has a roller conveyor, which consists of a Assembled plurality of rollers 8 and passes through all the chambers, wherein the respective inlet and outlet openings of the respective chamber with respect to the surrounding atmosphere or against the adjacent chamber are sealed.
  • FIG. 1 shows how a plurality of units 9 to be treated move on the rollers 8.
  • the units 9 can pass through the continuous furnace continuously or discontinuously.
  • the motion control can be controlled via the roller drive of the individual chambers.
  • FIG. 2 shows a cross section through the heating chamber or prechamber 2.
  • a suitable atmosphere for preheating the unit 9 to be treated is generated by radiation and / or convection heating.
  • FIG. 3 shows a cross-section through an evacuation chamber 3.
  • a suitable vacuum is generated by means of a vacuum pump 12 in the interior 13 of the chamber in order to evacuate the unit located in the chamber.
  • the procedure is such that a suitable glass frit is applied to a glass panel and cured so that a glass frit ring varying in height is formed. Another glass panel is placed on this glass frit ring so that an interrupted gap is formed between the glass frit ring and the second glass panel. Both glass panels are mechanically fastened to one another and then introduced into the continuous furnace shown in FIG.
  • the formed unit 9 enters the heating chamber 2 of the furnace and is there preheated in an atmosphere consisting of air or nitrogen, for example to a temperature between 250 0 C and 350 ° C. The preheating takes place over a suitable period.
  • the preheated unit is then introduced into the first evacuation chamber 3 and evacuated, which takes place via the gap formed between glass panel and frit ring.
  • the continuous furnace 1 shown in Figure 1 has three evacuation chambers 3 connected in series, which evacuate, for example, the gap of the unit to 10 ⁇ 5 mbar.
  • the interspace of the unit is flooded with a suitable inert gas, which may be, for example, a part of the gas mixture used later as the process gas. In the present case, a flooding with neon takes place.
  • Verklebungscra 5 the unit is up to the bonding temperature of the glass frit of 350 0 C - 430 0 C is heated, so that here the actual gluing process det take place. By previously filling the gap with the inert gas, further outgassing of the glass frit is suppressed.
  • the bonded unit then passes through a subsequent atmosphere separation chamber 6 and a subsequent cooling chamber 7 and then leaves the continuous furnace shown in Figure 1.
  • the continuous furnace 1 is followed by a station / device 15 for evacuating and filling the unit with process gas.
  • the like has an evacuating / filling device 40 and a device for press-fitting a unit 9 and the evacuating / filling device 40 under compression of a sealing device.
  • the unit to be evacuated 9 is shown in Figure 4 only schematically with dashed lines and takes the horizontal position shown in Figure 4, in which they (for example) with the help of suitable funding (not shown) passes.
  • the unit 9 may have previously been subjected to a series of treatment steps, but these are not relevant to the invention described here.
  • the unit 9 is fixed by pressing from above the evacuating / filling device 40 against the upper panel 25 (see Figure 5) of the unit and from below a pressing member 25 against the lower panel 26 of the unit.
  • the pressing member 24 shown in Figure 4 is raised and lowered, pivotally mounted and moved back and forth to take a desired position with respect to the unit to be treated can.
  • the evacuation / filling device 40 the means for pressing together the unit 9 and the evacuating / filling device 40 is formed by a schematically illustrated lifting device 16, by means of which the evacuating / filling device 40 and the pressing element 24 are movable toward and away from one another to clamp the unit 9.
  • This lifting device is also rotatable or pivotable and arranged movable back and forth, so that the evacuating / filling device 40 and the pressing member 24 can perform corresponding movements. Both units can be coupled to one another in terms of movement, so that they perform corresponding movement processes, or else they can be moved individually in order to enable a relative movement between the two.
  • the corresponding These devices are shown only schematically in FIG. It is readily possible for those skilled in the art to construct appropriate equipment based on their expertise.
  • FIG. 5 shows the evacuation / filling device 40 in the operating state, i. in pressed against the upper panel 25 of the unit state.
  • the sealing means arranged at the lower end of the evacuating / filling device 40 which in this embodiment consists of two concentric sealing rings 23 which are arranged at a distance from each other, is in contact with the upper panel 25 and correspondingly compressed, to make the interior of the evacuating / filling device 40 airtight to the atmosphere.
  • the upper panel 25 of the unit is provided with a so-called exhaust tube 28, which is glued to the upper panel 25 via a glass frit ring 29.
  • This exhaust tube 28, which surrounds a provided in the upper panel 25 bore 36 airtight, is used to evacuate and fill the space between the two panels 25, 26 intermediate space 27 of the unit.
  • the evacuating / filling device 40 is moved from top to bottom against the upper panel 25 in such a way that it receives the pumping stem 28 in its interior without damaging it.
  • the evacuating / filling device 40 has a cylindrical glass tube 22, in the interior of which the exhaust tube 28 is arranged.
  • the glass tube 22 is surrounded by a heating device 21, which bears against the glass tube and serves to heat the interior of the glass tube or the exhaust tube 28.
  • the heater is surrounded by a cylindrically shaped insulation 35, which largely prevents heat emission radially outward.
  • the glass tube 22 is supported on a lower annular disc 30, which is hollow inside and is traversed by a suitable cooling medium (water) to form a suitable insulation down. With the annular disc 30, the sealing rings 23 are in contact.
  • the annular discs are connected via suitable sealing rings 41 with the central tube 22 in connection.
  • a common line section 17 In extension of the tube 22 upwards a common line section 17 is arranged, which is supported on the upper annular disc 31.
  • This common line section 17 leads to a crossing point 42, from which a line connection 19 for filling with process gas to the left, a line connection 20 to evacuate to the right and a line connection for a sight glass 21 upwards.
  • the connection 19 for filling and the connection 20 for evacuation can be connected to a suitable gas filling line as well as a suitable evacuation line leading to a vacuum pump.
  • suitable shut-off or ventilation not shown
  • the common line section 17 can be connected to one of the lines 19, 20, while the other connection or the other line is shut off.
  • the mode of operation of the evacuation / filling device 40 in particular the state of the exhaust tube 28, can be observed.
  • the exhaust tube 28 is shown closed in this embodiment. He has a suitable predetermined breaking point (not shown), with which the exhaust tube can be opened. This is done by operating the heater 21 by means of which the interior of the tube 22 is heated, so that there is a differential pressure between the interior of the tube 22 and the interior of the exhaust tube, which ultimately leads to breakage of the predetermined breaking point.
  • the interior of the tube 22 is evacuated.
  • a vacuum pump (not shown), wherein the gap 27 between the two panels 25, 26 via the bore 36, the exhaust tube 28, the interior of the tube 22, the interior of the common line section 17 and the Terminal 20 is evacuated.
  • the terminal 20 After completion of the evacuation phase, the terminal 20 is blocked and fed via the terminal 19, a process gas, with which the gap 27 is filled. After completion of the filling process takes place with the aid of the proposed heater 21, a melting of the predetermined breaking point surrounding glass of the exhaust tube 28 to close the predetermined breaking point again. After appropriate cooling, the evacuating / filling device 40 and the pressing member 24 are removed up and down from the unit, so that they can be subjected to further processing.
  • the said method steps can be observed via the sight glass 21, so that a careful monitoring of the procedures is possible.
  • FIG. 6 shows five different embodiments of the exhaust tube in vertical section.
  • this exhaust tube 28 is provided with a predetermined breaking point, which is opened to evacuate the gap 27 of the unit.
  • This predetermined breaking point is designated by 50 in FIG. 6 and is formed by a thinner wall section of the exhaust tube.

Abstract

The invention relates to a method and a device for producing units consisting of two glass panels which are interconnected by means of a connecting medium, especially a glass filter, and comprise an intermediate space, said units being used to create flat-panel monitors, flat discharge lamps and the like. The invention is characterised in that the intermediate space is evacuated before the gas-tight interconnection of the glass panels. According to the invention, the intermediate space is filled with the process gas via an opening in the glass panel. Especially a continuous furnace/pusher-type furnace is used as the inventive device. The invention also relates to a device for evacuating the intermediate space of the units and for filling the same with a process gas.

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Einheiten zur Fertigung von Flachbildschiπnen u. dgl. und Einrichtung zum Evakuieren/Befüllen des Zwischenraumes von derartigen EinheitenMethod and device for producing units for the production of flat screens and the like Like. And means for evacuating / filling the gap of such units
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von aus zwei über ein Verbindungsmedium, insbesondere eine Glasfritte miteinander verbundenen Glaspaneelen, die einen Zwischenraum aufweisen, bestehenden Einheiten zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u.dgl.The present invention relates to a method for producing glass panels made of two interconnected via a connection medium, in particular a glass frit, which have a gap, existing units for the production of flat screens, flat discharge lamps and the like.
Es ist bekannt, derartige Einheiten herzustellen, indem zwei Glaspaneele mit einer Glasfritte bei Normaldruck und Luft miteinander verklebt werden. Als Glasfritte findet hierbei üblicherweise ein Bleioxidglas Verwendung. Zum Verkleben wird die Glasfritte erhitzt, bis sie in einen schmelzflüssigen Zustand gelangt. Beim Schmelzen und nachfolgendem Aushärten findet dabei eine Ausgasung statt, wobei unter anderem Sauerstoff entsteht, der sich im zwi- sehen den beiden Glaspaneelen vorhandenen Zwischenraum sammelt. Der zwischen den Glaspaneelen gebildete Zwischenraum muß dann evakuiert werden, um ihn mit einem Prozeßgas zu füllen, bei dem es sich üblicherweise um ein Edelgasgemisch, beispielsweise ein Neon/Xenon-Gemisch, handelt. Das Evakuieren muß dabei sehr sorgfältig durchgeführt werden, da keine Gasverunreinigungen zurückbleiben dürfen, die die Funktionsweise des hergestellten Flachbildschirmes etc. beeinträchtigen können. Zum Evakuieren ist am einem Glaspa- neel ein sogenannter Pumpstengel angebracht, der eine imIt is known to produce such units by gluing two glass panels together with a glass frit under normal pressure and air. As a glass frit here usually a lead dioxide glass is used. For gluing, the glass frit is heated until it reaches a molten state. During the melting and subsequent hardening, outgassing takes place, whereby, inter alia, oxygen is formed, which collects in the intermediate space between the two glass panels. The gap formed between the glass panels must then be evacuated to fill it with a process gas, which is usually a noble gas mixture, such as a neon / xenon mixture. The evacuation must be carried out very carefully, since no gas contaminants may remain, which may affect the operation of the flat screen, etc. manufactured. To evacuate, a so-called pumping stem is attached to a glass panel, which has a so-called pump stem
Glaspaneel vorgesehene Bohrung umschließt. Der Pumpstengel wird mit einer Leitung verbunden, über die der Zwischenraum zwischen den beiden Glaspaneelen evakuiert wird, wobei das in den Zwischenraum eingedrungene Frittegas mit abgeführt wird. Wie erwähnt, muß dieser Evakuierungsvorgang sehr sorgfältig erfolgen und dauert daher in der Regel ca. 4 - 10 h. Nach der Befüllung mit dem Prozeßgas wird die am Pumpstengel angebrachte Glasleitung abgeschmolzen, so daß ein charakteristischer Nippel am Produkt verbleibt.Glass panel surrounds provided hole. The exhaust tube is connected to a conduit through which the space between the two glass panels is evacuated, whereby the frit gas that has entered into the interspace is also removed. As mentioned, this evacuation process must be done very carefully and therefore usually takes about 4 - 10 h. After filling with the process gas attached to the exhaust tube glass tube is melted, so that a characteristic nipple remains on the product.
Dieses bekannte Verfahren hat den Nachteil, daß es sehr lange dauert, da das Evakuieren nur über den geringen Querschnitt der Bohrung und des Pumpstengels erfolgen kann. Des weiteren besteht bei diesem Verfahren die Gefahr, daß trotz der lange andauernden Evakuierung durch die Ausgasung der Glasfritte gebildete gasförmige Verunreinigungen im Zwischenraum zurückbleiben, so daß kein fehlerfreies Produkt entsteht. Schließlich sind die Energiekosten bei diesem bekannten Verfahren hoch, da die Evakuierung über einen rela- tiv langen Zeitraum in einem Kammerofen unter Erhitzen durchgeführt wird, um eine Beschleunigung des Evakuierens zu erreichen.This known method has the disadvantage that it takes a very long time, since the evacuation can be done only over the small cross section of the bore and the exhaust tube. Furthermore, there is the danger in this method that despite the long-lasting evacuation by the outgassing of the glass frit formed gaseous impurities remain in the space, so that no error-free product is formed. Finally, the energy costs are high in this known method, since the evacuation over a relatively long period of time in a chamber furnace under heating is performed to achieve an acceleration of evacuation.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der angegebenen Art zur Verfügung zu stellen, das besonders rasch und sicher durchgeführt werden kann.The present invention has for its object to provide a method of the type specified, which can be carried out particularly quickly and safely.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren der angegebenen Art mit den folgenden Schritten gelöst:This object is achieved by a method of the type indicated with the following steps:
a. Aufbringen des Verbindungsmediums auf mindestens ein Glaspaneel, zumindest teilweises Aushärten desselben und Bilden einer in der Höhe variierenden Umrandung aus dem Verbindungsmedium;a. Applying the bonding medium to at least one glass panel, at least partially curing it, and forming a height varying border from the bonding medium;
b. Auflegen des anderen Glaspaneels auf die Umrandung unter Ausbildung eines natürlichen unterbrochenen Spaltes und mechanisches Aneinanderbefestigen der beiden Glaspaneele;b. Placing the other glass panel on the border to form a natural broken gap and mechanically securing the two glass panels together;
c. Vorerhitzen der gebildeten Einheit auf eine erste Tempe- > ratur;c. Preheating the formed unit to a first temperature;
d. Evakuieren des Zwischenraumes während weiterem Erhitzen der Einheit auf die zur Verbindung notwendige Temperatur des Verbindungsmediums durch den natürlichen unterbrochenen Spalt und damit gasdichtes Verbinden der Glaspaneele; undd. Evacuating the gap during further heating of the unit to the temperature required for the connection of the connection medium through the natural gap interrupted and thus gas-tight connection of the glass panels; and
e. Abkühlen der Einheit auf Raumtemperatur und ggf. Lösen der mechanischen Befestigung. Das vorstehend beschriebene und erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich gegenüber dem Stand der Technik im wesentlichen dadurch aus, daß nicht über den einen relativ geringen Querschnitt aufweisenden Pumpstengel evakuiert wird, sondern über den zwischen Glasfritte und Glaspaneel gebildeten naturgegebenen Spalt, so daß der eigentliche Evakuierungsvorgang wesentlich rascher ablaufen kann als beim Stand der Technik. Bei diesem Evakuierungsvorgang werden die durch die Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) gebildeten gasförmigen Verunreinigungen mit aus dem Zwischen- räum abgeführt. Das Evakuieren des Zwischenraumes erfolgt während weiterem Erhitzen der Einheit auf die zur Verbindung notwendige Temperatur des Verbindungsmediums durch den natürlichen unterbrochenen Spalt, bis durch das Erreichen der Verbindungstmeperatur (Aufschmelzen der Glasfritte) beide Glaspaneele miteinander verbunden (verklebt) sind. Es ist dabei davon auszugehen, daß die durch die Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) gebildeten gasförmigen Verunreinigungen vollständig mit aus dem Zwischenraum abgeführt worden sind. Um ganz sicher zu gehen, kann man vor dem nachfolgenden Befüllen des Zwischenraumes mit dem Prozeßgas über die Öffnung im Glaspaneel einen weiteren Evakuierungsschritt schalten, um die genannten Verunreinigungen zu entfernen, wobei dieser Schritt jedoch relativ rasch abgewickelt werden kann. Bei einer Weiterentwicklung des erfindungsgemäßen Verfahrens, die für eine besonders gute Entfernung der gasförmigen Verunreinigungen des Verbindungsmediums (der Glasfrit- te) sorgt, wird wie folgt vorgegangen:e. Cool the unit to room temperature and if necessary release the mechanical fastening. The above-described and inventive method is characterized over the prior art essentially in that it is not evacuated via the relatively low cross-section having exhaust tube, but on the natural gap formed between glass frit and Glaspaneel, so that the actual evacuation process proceed much faster can as in the prior art. In this evacuation process, the gaseous impurities formed by the outgassing of the connecting medium (the glass frit) are also removed from the intermediate space. The evacuation of the gap is carried out during further heating of the unit to the necessary connection temperature of the connecting medium through the natural gap interrupted until by reaching the Verbindungstmeperatur (melting of the glass frit) both glass panels are connected (glued). It is to be assumed that the gaseous impurities formed by the outgassing of the connecting medium (the glass frit) have been completely removed with the space. To be on the safe side, one can switch before the subsequent filling of the gap with the process gas through the opening in the glass panel another evacuation step to remove said impurities, but this step can be handled relatively quickly. In a further development of the method according to the invention, which ensures particularly good removal of the gaseous impurities of the connecting medium (the glass frit), the procedure is as follows:
Während oder vor dem Evakuieren des Zwischenraumes wird die gebildete Einheit auf eine zweite Temperatur erhitzt, die unterhalb der Verbindungstemperatur des Verbindungsmediums (Schmelztemperatur der Glasfritte) liegt und eine Gleichge- wichtstemperatur darstellt, bei der die Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) im wesentlichen zum Stillstand gekommen ist. Diese Gleichgewichtstemperatur ist insbesondere vom verwendeten Verbindungsmedium (von der verwendeten Glasfritte) , aber auch vom Glas der verwendeten Glaspaneele abhangig und ist von Fall zu Fall empirisch zu ermitteln.During or before evacuation of the gap, the formed unit is heated to a second temperature below the bonding temperature of the bonding medium (glass frit melting temperature) and an equilibrium temperature at which the outgassing of the bonding medium (the glass frit) substantially stops has come. This equilibrium temperature depends in particular on the bonding medium used (on the glass frit used), but also on the glass of the glass panels used, and must be determined empirically on a case-by-case basis.
Vor dem nachfolgenden Erhitzen der Einheit auf die Verbindungstemperatur (Schmelztemperatur der Glasfritte) , um die Paneele zu verbinden (zu verkleben) , wird dann der Zwischenraum der Einheit mit einem Inertgas geflu-tet, um einen Partialdruck im System aufzubauen, der be-wirkt, daß keine weitere Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) erfolgt. Eine derartige Ausgasung wäre schädlich, da die entstehenden Verunreinigungen im Zwischenraum eingeschlossen würden und auf sehr aufwendige Weise wieder aus diesem über die im Paneel vorgesehene Öffnung mit geringem Querschnitt entfernt werden müßten. Jedenfalls wird durch das in den Zwischenraum eingeführte Inertgas ein weiteres Ausgasen des Verbindungsmediums verhindert, s.o daß ohne wesentliche Verunreinigung des Zwischenraumes der Verbin- dungsvorgang (Verklebungsvorgang) beider Paneele stattfinden kann.Prior to subsequently heating the unit to the bonding temperature (glass frit melting temperature) to bond the panels, the space of the unit is then flooded with an inert gas to build up a partial pressure in the system which acts. that no further outgassing of the connecting medium (the glass frit) takes place. Such outgassing would be harmful because the resulting impurities would be trapped in the space and would have to be removed in a very expensive way again from this over the provided in the panel opening with a small cross-section. In any case, the inert gas introduced into the intermediate space prevents further outgassing of the connecting medium, so that, without substantial contamination of the intermediate space, the connecting element is prevented from escaping. Dungsvorgang (gluing process) of both panels can take place.
Als Gas zum Fluten des Zwischenraumes wird vorzugsweise das Prozeßgas oder ein Teil des Prozeßgases verwendet, so daß ein nachfolgendes Abziehen des zum Fluten verwendeten Inertgases zumindest im vollen Umfang nicht mehr erforderlich ist. Findet beispielsweise als Prozeßgas ein Neon- Xenon-Gasgemisch Verwendung, so wird vorzugsweise als Gas zum Fluten des Zwischenraumes Neon verwendet, das relativ preiswert ist. Dieses Neon wird dann später teilweise wieder abgezogen und durch die gewünschte Xenon/Neon-Mischung ersetzt.As the gas for flooding the gap, the process gas or a part of the process gas is preferably used, so that a subsequent removal of the inert gas used for flooding is no longer required, at least to the full extent. If, for example, a neon-xenon gas mixture is used as the process gas, neon is preferably used as the gas for flooding the interspace, which is relatively inexpensive. This neon is then later partially withdrawn and replaced by the desired xenon / neon mixture.
Da das Fluten des Zwischenraumes über den zwischen Glas- fritte und Glaspaneel gebildeten unterbrochenen Spalt erfolgt, läuft dieser Vorgang sehr rasch ab, so daß sich hierdurch keine wesentliche Verzögerung des Verfahrens ergibt. Das zum Fluten verwendete Inertgas wird dann durch das Verbinden (Verkleben) im Zwischenraum eingeschlossen, wobei, wie erwähnt, infolge des im Zwischenraum aufgebauten Partialdrucks keine weitere Ausgasung des Verbindungsmediums (der Glasfritte) mehr stattfindet. Die Einführung des Prozeßgases im Austausch bzw. teilweisen Austausch des im Zwischenraum befindlichen Inertgases erfolgt dann entweder im gleichen oder einem separaten Verfahren über eine Öffnung in einem Glaspaneel, die zur Einführung des Prozeßgases geöffnet und nach Beendigung der Einführung geschlossen wird. Nach dem Abkühlen wird die mechanische Befestigung der Glaspaneele gelöst, so daß eine fertige Einheit zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u.dgl. zur Verfügung steht.Since the flooding of the intermediate space takes place via the interrupted gap formed between glass frit and glass panel, this process takes place very rapidly, so that there is no significant delay in the process. The inert gas used for flooding is then enclosed by the bonding in the gap, wherein, as mentioned, due to the built-up in the intermediate space partial pressure no further outgassing of the connecting medium (the glass frit) takes place more. The introduction of the process gas in the exchange or partial replacement of the inert gas in the space then takes place either in the same or a separate process through an opening in a glass panel, which is opened to introduce the process gas and closed after completion of the introduction. After cooling, the mechanical attachment of the glass panels is released, so that a finished unit for Production of flat screens, flat discharge lamps and the like. is available.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird in einer oder mehreren Kammern durchgeführt, um die jeweiligen Verfahrensschritte auszuführen. So findet der Schritt des Vorerhitzens der gebildeten Einheit auf eine erste Temperatur in einer Kammer statt, die mit Luft oder Inertgas gefüllt ist. Der Schritt des Evakuierens des Zwischenraumes der Einheit findet vor- zugsweise in einer nächsten Kammer statt, wobei ein Evakuieren bevorzugt bis auf einen Unterdruck von etwa 10"5-10"6 mbar erfolgt. Auch das nachfolgende weitere Erhitzen bis auf die Verbindungstemperatur des Verbindungsmediums (die Schmelztemperatur der Glasfritte) unter Fluten mit einem Inertgas wird vorzugsweise in einer anderen Kammer ausgeführt. Zum Befüllen mit dem Prozeßgas wird die Einheit vorzugsweise nochmals in eine andere Kammer überführt.The method according to the invention is carried out in one or more chambers in order to carry out the respective method steps. Thus, the step of preheating the formed unit to a first temperature takes place in a chamber filled with air or inert gas. The step of evacuating the intermediate space of the unit is pre- preferably in a next chamber instead, wherein an evacuation preferably to a vacuum of about 10 "5 to 10" 6 is effected mbar. The subsequent further heating to the bonding temperature of the bonding medium (the melting temperature of the glass frit) while flowing with an inert gas is preferably carried out in another chamber. For filling with the process gas, the unit is preferably transferred again into another chamber.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird gegenüber dem be- kannten Verfahren ein wesentlicher Zeitgewinn erreicht, da das Evakuieren nicht über den relativ geringen Querschnitt der im Paneel vorgesehenen Öffnung, sondern über den unterbrochenen Spalt zwischen Glaspaneel und Glasfritte durchgeführt wird. Da ferner auch das zum Fluten verwendete Gas über diesen Spalt eingeführt wird, erfolgt auch dieser Vorgang sehr rasch. Falls zum Fluten das später verwendete Prozeßgas eingesetzt wird, ist ein späterer Gasaustausch nicht mehr erforderlich, so daß das Verfahren besonders rasch abläuft. In den meisten Fällen wird man jedoch aus wirtschaftlichen Gründen zumindest einen Teil des zum Fluten verwendeten Inertgases durch das Prozeßgas austauschen, so daß lediglich dieser Austauschvorgang über die im Paneel vorgesehene Öffnung mit geringem Querschnitt durchgeführt werden muß. Wenn beispielsweise das Prozeßgas aus einem Ne- on-Xenon-Gemisch mit einem sehr viel höheren Neonanteil be- steht, wird zum Fluten das relativ billige Neon verwendet und später lediglich noch ein geringer Neonanteil durch das gewünschte Gasgemisch ausgetauscht, um das Prozeßgas zu erhalten. Diese Vorgehensweise hat den Vorteil, daß zum Fluten aus der Gaskammer nicht das teure Xenon eingesetzt wer- den muß.With the method according to the invention, a significant time saving is achieved over the known method, since the evacuation is not carried out over the relatively small cross-section of the opening provided in the panel, but over the interrupted gap between glass panel and glass frit. Further, since the gas used for flooding is introduced via this gap, this process also takes place very quickly. If the later used process gas is used for flooding, a later gas exchange is no longer required, so that the process is particularly rapid. In most cases, however, for economic reasons, at least part of the inert gas used for flooding will be replaced by the process gas. so that only this exchange process over the provided in the panel opening with a small cross section must be performed. If, for example, the process gas consists of a neon-xenon mixture with a much higher proportion of neon, the relatively cheap neon is used for flooding and later only a small amount of neon is replaced by the desired gas mixture in order to obtain the process gas. This procedure has the advantage that the expensive xenon does not have to be used for flooding out of the gas chamber.
Darüber hinaus läßt sich mit dem erfindungsgemäßen Verfahren der Ausschuß reduzieren, da die Wahrscheinlichkeit eines Verbleibes von gasförmigen Verunreinigungen innerhalb des Zwischenraumes besonders gering ist. Durch den Evakuierungsschritt werden die Ausgasungen des Verbindungsmediums (der Glasfritte) mit aus dem Zwischenraum entfernt. Dies erfolgt vorzugsweise so lange, bis ein Gleichgewichtszustand erreicht ist und das Verbindungsmedium nicht mehr ausgast. In diesem Zustand sind somit sämtliche Ausgasungen aus dem Zwischenraum entfernt. Durch das nachfolgende Fluten des Zwischenraumes mit einem Inertgas wird beim Verbinden (Verkleben) ein weiteres Ausgasen verhindert, so daß keine gasförmigen Verunreinigungen mehr im Zwischenraum eingeschlossen werden. Das Verfahren garantiert somit mit großer Sicherheit einen verunreinigungsfreien Zwischenraum.In addition, can be reduced with the inventive method, the Committee, since the probability of fouling of gaseous contaminants within the gap is particularly low. The evacuation step removes the outgassing of the bonding medium (glass frit) from the gap. This is preferably done until a state of equilibrium is reached and the compound medium no longer outgassed. In this state, all outgassing are thus removed from the intermediate space. By the subsequent flooding of the intermediate space with an inert gas, a further outgassing is prevented during bonding (bonding), so that no more gaseous impurities are trapped in the intermediate space. The process thus guarantees with great certainty a contamination-free intermediate space.
Weitere Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich in bezug auf die Energiekosten, da die sehr langen und energieaufwendigen Heizzyklen der Kammerofenprozesse entfallen. Wie erwähnt, ist die Temperatur, auf die die Einheit vor oder während des Evakuierens des Zwischenraumes erhitzt wird (Gleichgewichtstemperatur) von den verwendeten Glaspa- neelen und dem verwendeten Verbindungsmedium abhängig. Die ent-sprechende Temperatur ist empirisch zu ermitteln. Bei den üblicherweise als Glasfritte verwendeten Bleioxidgläsern liegt sie etwa in einem Bereich von 350 °C-400 0C, wobei ein üblicher Wert etwa bei 390 0C liegt, d.h. beträcht- lieh unter der Klebetemperatur der Glasfritte.Other advantages of the method according to the invention arise in terms of energy costs, since the very long and energy-consuming heating cycles of the chamber furnace processes omitted. As mentioned, the temperature to which the unit is heated before or during the evacuation of the gap (equilibrium temperature) depends on the glass panels used and the bonding medium used. The corresponding temperature is to be determined empirically. With the commonly used as glass frit Bleioxidgläsern it is approximately in a range of 350 ° C-400 0 C, with a usual value is about 390 0 C, that is lent considerable below the sticking temperature of the glass frit.
Nach dem erfolgten Verbinden (Verkleben) der Einheit (vorzugsweise etwa bei 390 °C) wird sie auf Raumtemperatur abgekühlt. Falls der Zwischenraum bereits mit dem Prozeßgas geflutet worden ist, ist an sich eine weitere Prozeßgasbe- füllung oder ein Gasaustausch nicht mehr erforderlich. Wie erwähnt, wird dies jedoch in der Regel der Fall sein, so daß dann über die in einem Glaspaneel vorgesehene Öffnung vorzugsweise das zum Fluten verwendete Inertgas entfernt und durch das Prozeßgasgemisch ausgetauscht wird. Die hierzu in einem Glaspaneel vorgesehene Öffnung war während der vorangehenden Schritte vorzugsweise geschlossen und wird zur Durchführung dieses Schrittes nunmehr geöffnet. Nach Abschluß des Befüllvorganges wird die Öffnung dauerhaft ge- schlössen. Die zum Aneinandersetzen der beiden Glaspaneele verwendete mechanische Befestigung (Klemmeinrichtung) kann jetzt oder bereits nach dem Abkühlen der Einheit auf Raumtemperatur entfernt werden.After the bonding (bonding) of the unit (preferably at about 390 ° C), it is cooled to room temperature. If the intermediate space has already been flooded with the process gas, a further process gas filling or gas exchange is no longer necessary per se. However, as mentioned above, this will usually be the case, so that the inert gas used for flooding is then preferably removed via the opening provided in a glass panel and replaced by the process gas mixture. The opening provided for this purpose in a glass panel was preferably closed during the preceding steps and is now opened to carry out this step. After completion of the filling process, the opening is permanently closed. The mechanical attachment (clamping device) used to put the two glass panels together can now or already be cooled to room temperature after the unit has cooled.
Da beim erfindungsgemäßen Verfahren die in einem Glaspaneel vorgesehene Öffnung weder zum Evakuieren noch zum Fluten mit dem Inertgas benötigt wird, wird die Öffnung während dieser Verfahrensschritte geschlossen gehalten. Dies erfolgt vorzugsweise mit Hilfe eines geschlossenen Pumpstengels, der eine solche Öffnung abdeckt. Der Pumpstengel wird vorzugsweise mit einer Glasfritte am Glaspaneel über der Öffnung befestigt, und zwar insbesondere zusammen mit dem Aufbringen des Verbindugnsmediums (der Glasfritte) auf mindestens ein Glaspaneel zur Ausbildung der Umrandung und dem Aushärten oder beim Verbinden (Verkleben) der Paneele der- selben. Er kann aber auch bereits vor Beginn des Verfahrens am Paneel angebracht worden sein. Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist zum Befüllen des Zwischenraumes mit dem Prozeßgas daher ein Glaspaneel vorzugsweise mit einem angeklebten Pumpstengel versehen. Zum Gaspumpen und/oder Befüllen des Zwischenraumes der Einheit kann dieser, über der Öffnung angeordnete, bis auf den der Öffnung zugewandten Bereich geschlossene Pumpstengel geöffnet werden, und zwar an der hierzu im Pumpstengel vorgesehenen Sollbruchstelle, die durch Erhitzen, mechanische Beanspru- chung und/oder den vom einzuführenden Gas ausgeübten Impuls zerstört wird. Nach Beendigung des Befüllvorgangs mit dem Prozeßgas wird der Pumpstengel durch Zuschmelzen geschlossen.In the method according to the invention, the opening provided in a glass panel is neither for evacuation nor for flooding is required with the inert gas, the opening is kept closed during these process steps. This is preferably done by means of a closed exhaust tube, which covers such an opening. The exhaust tube is preferably affixed to the glass panel over the opening with a glass frit, particularly along with the application of the bonding medium (the glass frit) to at least one glass panel to form the border and cure or bond the same to the panels. But he may also have been attached to the panel before the start of the process. For carrying out the method according to the invention, therefore, a glass panel is preferably provided with a glued-on exhaust tube for filling the intermediate space with the process gas. For gas pumping and / or filling of the interspace of the unit, this pump stem, which is arranged above the opening and which faces the opening, can be opened, specifically at the predetermined breaking point provided in the exhaust tube by heating, mechanical stress and / or or the pulse applied by the gas to be introduced is destroyed. After completion of the filling process with the process gas, the exhaust tube is closed by melting.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann zum Herstellen von beliebigen Einheiten verwendet werden, die aus zwei über eine Glasfritte miteinander verbundenen Glaspaneelen bestehen, deren Zwischenraum mit einem Gas (Prozeßgas) befüllbar oder befüllt ist. Derartige Einheiten werden beispielsweise für die Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen, Hintergrundbeleuchtungen u.dgl. eingesetzt. Dir Erfin- dung deckt jedenfalls sämtliche möglichen Anwendungsgebiete ab.The inventive method can be used for the production of any units consisting of two interconnected via a glass frit glass panels whose space is filled or filled with a gas (process gas). Such units are, for example, for the manufacture of flat screens, flat discharge lamps, backlights and the like. used. You In any case, it covers all possible areas of application.
Wie erwähnt, wird der Pumpstengel mit dem die Öffnung auf- weisenden Glaspaneel verklebt, und zwar vorzugsweise während der Ausbildung der Umrandung. Das Schließen des Pumpstengels erfolgt durch Verschmelzen desselben oder der angeschlossenen Glasleitung, wobei dies insbesondere durch ein örtlich begrenztes Erhitzen erfolgt.As mentioned, the exhaust tube is glued to the glass panel which has the opening, preferably during the formation of the border. The closing of the exhaust tube is done by merging the same or the connected glass line, this is done in particular by a localized heating.
Das Verbindungsmedium (die Glasfritte) zur Ausbildung der Umrandung wird vorzugsweise berg- und talförmig aufgebracht, um nach dem Aufkleben des zweiten Glaspaneeies den natürlichen unterbrochenen Spalt zu erzielen, der zum Eva- kuieren und zum Einführen des zum Fluten verwendeten Gases benutzt wird. Dieser Spalt wird dabei von den jeweiligen Zwischenräumen zwischen den Tälern der Umrandung und dem aufgelegten Glaspaneel gebildet.The bonding medium (the glass frit) for forming the border is preferably applied in a mountain and valley shape in order to achieve the natural interrupted gap after evacuation of the second glass pane, which is used to evacuate and to introduce the gas used for flooding. This gap is formed by the respective spaces between the valleys of the border and the glass panel.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens. Diese Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Einrichtung zum Erhitzen, Evakuieren und Kühlen der Einheit und gemäß einer besonderen Ausführungsform eine nachgeschaltete Station zum Evakuieren und Befüllen mit Prozeßgas aufweist. Die Einrichtung ist vorzugsweise als Ofen ausgebildet, der in Förderrichtung mehrere nacheinander angeordnete und gegenseitig abgedichtete Behandlungskammern aufweist. Die herzustellende Einheit wird nacheinander durch die jeweili- gen Behandlungskammern geführt und den entsprechenden Behandlungen unterzogen. Dabei ist das Fördermittel des Ofens, auf dem die Einheiten angeordnet und transportiert werden, nicht kritisch, so daß verschiedenartige Fördermittel zum Einsatz kommen können. Beispielsweise kann es sich hierbei um Rollen handeln. Wesentlich ist natürlich, daß das Fördermittel durch die verschiedenen Behandlungsschritte (Erhitzen, Evakuieren etc.) nicht beeinträchtigt wird.The invention further relates to an apparatus for carrying out the method described above. This device is characterized in that it comprises means for heating, evacuating and cooling the unit and, according to a particular embodiment, a downstream station for evacuating and filling with process gas. The device is preferably designed as a furnace having a plurality of successively arranged and mutually sealed treatment chambers in the conveying direction. The unit to be produced is successively passed through the respective treatment chambers and subjected to the appropriate treatments. Here is the funding of the Furnace on which the units are arranged and transported, not critical, so that various types of funding can be used. For example, these may be roles. It is essential, of course, that the funding is not affected by the various treatment steps (heating, evacuation, etc.).
Generell kann das erfindungsgemäße Verfahren mit einer geeigneten Einrichtung auf kontinuierliche oder diskontinu- ierliche Weise durchgeführt werden. Als kontinuierlich arbeitender Ofen ist ein Durchlauf/Durchstoßofen geeignet. Als diskontinuierlich arbeitender Ofen ist ein Kammerofen, Haubenofen, Hubherdofen, Drehringofen geeignet.In general, the method according to the invention can be carried out with a suitable device in a continuous or discontinuous manner. As a continuous furnace, a pass-through furnace is suitable. As a batch furnace, a chamber furnace, hood furnace, Hubherdofen, rotary kiln is suitable.
Es können mehrere zu behandelnde Einheiten übereinander angeordnet werden, um entsprechende Behandlungspakete zu bilden. Die Behandlungspakete können dann kontinuierlich oder diskontinuierlich behandelt werden, beispielsweise in einem speziellen Ofen, die eine Vielzahl von Herdwagenöfen umfas- sen kann, auf denen eine Retorte (Glocke) angeordnet ist, in der sich ein zu behandelndes Paket aus übereinander angeordneten Einheiten befindet. Diese Herdwagenöfen bewegen sich nacheinander durch einen Tunnel, in dem die entsprechenden Erhitzungs- und Kühlschritte durchgeführt werden. Jeder einzelne Herdwagenofen ist bereits mit entsprechenden Anschlüssen versehen, um innerhalb der Retorte den Evakuierungsschritt und/oder Flutungsschritt durchführen zu können. Bei dieser Einrichtung erfolgt somit das Evakuieren und Gasfluten innerhalb der Retorte, während das Erhitzen und Abkühlen auf indirekte Weise innerhalb des Tunnels erfolgt, den die einzelnen Herdwagenöfen durchlaufen. Die der Einrichtung zum Erhitzen, Evakuieren und Kühlen der Einheit nachgeschaltete Station besitzt vorzugsweise eine Evakuier/Befüllvorrichtung, die in abgedichteter Weise ge- gen ein Glaspaneel der Einheit gepreßt wird und einen die Paneelöfen oder den Puinpstengel umgreifenden Rohrkörper und einen Evakuierungsanschluß sowie einen Prozeßgasanschluß aufweist, die mit dem Rohrkörper in Verbindung stehen. Diese Evakuier/Befüllvorrichtung wird zum Evakuieren des Zwi- schenraumes der Einheit über die Öffnung und den Pumpstengel und zum Befüllen des Zwischenraumes mit Prozeßgas benutzt. Sie weist vorzugsweise eine Heizung zum Erhitzen des Pumpstengels auf, um auf diese Weise die am Pumpstengel vorgesehene Sollbruchstelle zu zerstören und dadurch den Pumpstengel zu öffnen. Dies schließt nicht aus, daß das Öffnen des Pumpstengels auch auf andere Weise erfolgen kann, wie vorstehend angedeutet.Several units to be treated can be stacked to form respective treatment packages. The treatment packages can then be treated continuously or discontinuously, for example in a special oven, which may comprise a plurality of shuttle kilns on which a retort (bell) is placed, in which a package of units arranged one above another is located. These shuttle kilns move in succession through a tunnel in which the corresponding heating and cooling steps are carried out. Each individual shuttle kiln is already provided with corresponding connections in order to be able to carry out the evacuation step and / or flooding step within the retort. Thus, evacuation and gas flooding within the retort occurs in this device, while heating and cooling occur indirectly within the tunnel through which the individual shuttle kilns pass. The station downstream of the unit for heating, evacuating and cooling the unit preferably has an evacuating / filling device, which is pressed in a sealed manner against a glass panel of the unit and has a tubular body enclosing the panel ovens or the Puinpstengel and an evacuation port and a process gas connection, which are in communication with the tubular body. This evacuating / filling device is used for evacuating the interspace of the unit via the opening and the exhaust tube and for filling the intermediate space with process gas. It preferably has a heater for heating the exhaust tube in order to destroy in this way the provided on the exhaust tube predetermined breaking point and thereby open the exhaust tube. This does not exclude that the opening of the exhaust tube can also be done in other ways, as indicated above.
Als Verbindungsmedium wird vorzugsweise eine geeignete Glasfritte eingesetzt, wie sie beispielsweise aus dem Stand der Technik bekannt ist. Die erwähnte „Verbindungstemperatur" ist die zum Verbinden der Glaspaneele notwendige Temperatur (Verklebetemperatur, Schmelztemperatur etc.) . Bei der gebildeten Umrandung aus dem Verbindungsmedium handelt es sich beispielsweise um einen geschlossenen Strang aus der Glasfritte etc. Wesentlich ist, daß die Glaspaneele auf gasdichte Weise miteinander verbunden werden.As a bonding medium, a suitable glass frit is preferably used, as it is known for example from the prior art. The mentioned "bonding temperature" is the temperature necessary for bonding the glass panels (bonding temperature, melting temperature, etc.) The formed border of the bonding medium is, for example, a closed strand of the glass frit, etc. It is essential that the glass panels be gas-tight be connected to each other.
Der Zwischenraum der Einheit kann einem oder mehreren Spül- Vorgängen unterzogen und danach evakuiert und mit Inertgas oder Prozeßgas befüllt werden. Dies kann als Druckwechselspülung durchgeführt werden.The interspace of the unit may undergo one or more purge operations and thereafter evacuated and with inert gas or process gas to be filled. This can be done as a pressure swing rinse.
Wie erwähnt, kann das Verbindungsmedium (die Glasfritte) zur Ausbildung der Umrandung berg- und talförmig aufgebracht werden, damit sich (nach dem Aushärten) der gewünschte natürliche unterbrochene Spalt ergibt. Es ist jedoch auch möglich, durch nachträgliches Ausschleifen der erhärteten Umrandung einen gewünschten Spalt herzustellen.As mentioned, the connection medium (the glass frit) can be applied in a mountain and valley shape to form the border, so that (after curing) the desired natural interrupted gap results. However, it is also possible to produce a desired gap by subsequent grinding of the hardened border.
Zu ergänzen ist noch, daß quasi-kontinuierlich arbeitende Öfen, beispielsweise Herdwagen-Durchlauföfen, für das erfindungsgemäße Verfahren geeignet sind.It should also be added that quasi-continuously operating furnaces, for example stovepipe continuous furnaces, are suitable for the process according to the invention.
Es versteht sich, daß die vorliegende Erfindung in bezug auf die zur Durchführung der Erfindung verwendeten Öfen entsprechende Be- und Entladeeinrichtungen, Ein- und Ausschleuseeinrichtungen, Gasumwälzeinrichtungen, Antriebseinrichtungen für das Fördermedium etc. mit abdeckt. Die nach- geschaltete Station kann ferner eine Zusatzheizung zum Aufheizen der Glaspaneele aufweisen.It is understood that the present invention with respect to the furnaces used for carrying out the invention corresponding loading and unloading, infeed and Ausschleuseeinrichtungen, gas circulation means, drive means for the pumped medium, etc. covers. The downstream station can also have an additional heater for heating the glass panels.
Die vorliegende Erfindung betrifft ferner eine Einrichtung zum Evakuieren des Zwischenraumes von aus zwei miteinander verbundenen Glaspaneelen bestehenden Einheiten und zum Be- füllen des Zwischenraumes mit einem Prozeßgas zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u. dgl.The present invention further relates to a device for evacuating the gap of consisting of two interconnected glass panels units and for filling the gap with a process gas for the production of flat screens, flat discharge lamps u. like.
Erfindungsgemäß soll eine Einrichtung der vorstehend be- schriebenen Art geschaffen werden, mit der sowohl das Evakuieren des Zwischenraumes als auch das Befüllen desselben mit Prozeßgas auf besonders einfache, bequeme und sichere Weise durchgeführt werden kann.According to the invention, a device of the type described above is to be created, with which both the evacuation of the gap and the filling of the same can be performed with process gas in a particularly simple, convenient and safe way.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Einrichtung zum Evakuieren des Zwischenraumes von aus zwei miteinander verbundenen Glaspaneelen bestehenden Einheiten und Befüllen des Zwischenraumes mit einem Prozeßgas zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u. dgl. gelöst, mitThis object is achieved by a device for evacuating the gap of existing two glass panels interconnected units and filling the gap with a process gas for the production of flat screens, flat discharge lamps u. Like. solved, with
einer Evakuier/Befüllvorrichtung mit einem Hohlraum zur Aufnahme eines Pumpstengels eines Glaspaneeies einer Einheit, einem an den Hohlraum angeschlossenen Evakuieranschluß und Befüllanschluß und einer Dichtungseinrichtung zum Anordnen auf dem Glaspaneel um den Pumpstengel herum sowiean evacuating / filling device having a cavity for receiving a exhaust tube of a Glaspaneeies a unit, connected to the cavity Evakuieranschluß and Befüllanschluß and a sealing means for placing on the glass panel around the exhaust tube around and
einer Einrichtung zum Gegeneinanderpressen der Einheit und der Evakuier/Befüllvorrichtung unter Kompression der Dich- tungseinrichtung.a device for pressing the unit against each other and the evacuating / filling device under compression of the sealing device.
Bei der erfindungsgemäßen Lösung findet eine einzige Einrichtung Verwendung, die gleichzeitig zum Evakuieren und Befüllen des Zwischenraumes dient. Nach erfolgter Evakuie- rung wird mit der Einrichtung die Befüllung des Zwischenraumes mit dem Prozeßgas durchgeführt. Die Einrichtung besitzt eine Evakuier/Befüllvorrichtung mit einem Hohlraum, der im installierten Zustand der Einrichtung den Pumpstengel eines Glaspaneeies einer zu evakuierenden und zu befül- lenden Einheit aufnimmt. Über den an den Hohlraum angeschlossenen Evakuieranschluß und den an den Hohlraum ange- schlossenen Befüllanschluß erfolgt der Evakuiervorgang über den geöffneten Pumpstengel, woran sich der Befüllvorgang über den Pumpstengel anschließt. Die Dichtungseinrichtung der Evakuier/Befüllvorrichtung wird im installierten Zu- stand der Vorrichtung auf dem Glaspaneel um den Pumpstengel herum angeordnet, so daß ein dichter Anschluß der Evakuier/Befüllvorrichtung an das Glaspaneel erreicht wird und der den Pumpstengel aufnehmende Hohlraum gegenüber der umgebenden Atmosphäre abgedichtet ist. Die Dichtungseinrich- tung wird durch die Einrichtung zum Gegeneinanderpressen der Einheit und der Evakuier/Befüllvorrichtung komprimiert, um den vorstehend erwähnten dichten Abschluß zu erreichen.In the solution according to the invention, a single device is used, which simultaneously serves to evacuate and fill the intermediate space. After evacuation is done with the device, the filling of the gap with the process gas. The device has an evacuating / filling device with a cavity which, in the installed state of the device, receives the exhaust tube of a glass pane egg of a unit to be evacuated and filled. Via the evacuation connection connected to the cavity and the cavity attached to the cavity. closed filling connection, the evacuation process via the open exhaust tube, which is followed by the filling process via the exhaust tube. The evacuating / filling device sealing device is placed on the glass panel around the exhaust tube in the installed state of the device so that a close fit of the evacuating / filling device to the glass panel is achieved and the cavity receiving the exhaust tube is sealed from the surrounding atmosphere. The sealing device is compressed by the means for pressing the unit against each other and the evacuating / filling device in order to achieve the above-mentioned tight seal.
Das Evakuieren und Befüllen des Zwischenraumes der Einheit kann somit mit der erfindungsgemäß ausgebildeten Einrichtung in einfacher, bequemer, rascher und sicherer Weise erfolgen, da lediglich eine einzige Einrichtung an der Einheit fixiert werden muß, wobei durch das Aneinanderpressen von Einheit und Evakuier/Befüllvorrichtung mit Hilfe der vorgesehenen Dichtungseinrichtung ein dichter Abschluß um den Pumpstengel herum erreicht wird. Da die Evakuier/ Be- füllvorrichtung sowohl einen Anschluß zum Evakuieren als auch einen Anschluß zum Befüllen aufweist, können sehr rasch beispielsweise eine zu einem Prozeßgasspeicher füh- rende Leitung und eine zu einer Vakuumpumpe führende Leitung angeschlossen werden. Über geeignete Absperr/Ventileinrichtungen kann eine Leitung gesperrt werden, so daß die Evakuier- und Befüllvorgänge nacheinander durchgeführt werden können. Vorzugsweise besitzt die Evakuier/Befüllvorrichtung ein zentrales Rohr zur Ausbildung des Hohlraumes, an das der Evakuieranschluß und Befüllanschluß angeschlossen sind. Dieses zentrale Rohr umgibt im installierten Zustand der Einrichtung den Pumpstengel vorzugsweise mit Abstand, so daß dieser durch das Aufsetzen der erfindungsgemäß ausgebildeten Einrichtung nicht beschädigt wird. Die vorgesehene Dichtungseinrichtung verhindert, daß die Umgebungsluft in den zwischen dem Pumpstengel und dem zentralen Rohr gebil- deten Spalt eindringen kann. Erfindungsgemäß kommt vorzugsweise ein Glasrohr zum Einsatz. Der Raum innerhalb des Rohres wird vorzugsweise evakuiert, bevor mit dem Öffnen des Pumpenstengels begonnen wird.The evacuation and filling of the gap of the unit can thus be done with the inventively designed device in a simple, convenient, quick and safe manner, since only a single device must be fixed to the unit, wherein by the juxtaposition of unit and evacuating / filling with help the sealing device provided is achieved a tight seal around the exhaust tube around. Since the evacuating / filling device has both a connection for evacuation and a connection for filling, it is possible to connect very rapidly, for example, a line leading to a process gas storage and a line leading to a vacuum pump. By means of suitable shut-off / valve devices, a line can be blocked, so that the evacuation and filling operations can be carried out in succession. Preferably, the evacuating / filling device has a central tube for forming the cavity, to which the evacuation connection and filling connection are connected. In the installed state of the device, this central tube preferably surrounds the exhaust tube at a distance, so that it is not damaged by the fitting of the device designed according to the invention. The envisaged sealing device prevents the ambient air from penetrating into the gap formed between the exhaust tube and the central tube. According to the invention, preferably a glass tube is used. The space within the tube is preferably evacuated before starting to open the sabot.
Der Evakuier- und Befüllanschluß besitzen zweckmäßigerweise einen gemeinsamen Abschnitt, der an das zentrale Rohr angeschlossen ist. Dieser gemeinsame Abschnitt erstreckt sich in der Installationsstellung der Einrichtung vorzugsweise vom zentralen Rohr nach oben und teilt sich dann vorzugs- weise in den seitlich abführenden Evakuieranschluß und den seitlich abführenden Befüllanschluß auf. Die entsprechenden Anschlüsse werden zweckmäßigerweise von Rohrstutzen gebildet, die sich rechtwinklig zum gemeinsamen Abschnitt erstrecken.The evacuation and Befigungsanschluß expediently have a common portion which is connected to the central tube. In the installation position of the device, this common section preferably extends upwards from the central tube and then preferably divides into the laterally discharging evacuation connection and the laterally discharging filling connection. The corresponding connections are expediently formed by pipe sockets which extend at right angles to the common section.
In Weiterbildung der Erfindung besitzt die Evakuier/Befüllvorrichtung eine Heizeinrichtung. Diese Heizeinrichtung umgibt vorzugsweise das zentrale Rohr und dient zum Erhitzen des Pumpstengels, um durch Erzeugen eines Differenzdruckes, Aufschmelzen u. dgl. ein Öffnen des Pumpstengels zu erreichen, falls dieser von der Durchführung des Evakuier- und Befüllvorganges noch geschlossen sein sollte. Der Pumpstengel kann beispielsweise auf gezielte Weise mit einer Sollbruchstelle versehen sein, die dann durch Betätigung der Heizeinrichtung geöffnet wird.In a further development of the invention, the evacuating / filling device has a heating device. This heater preferably surrounds the central tube and serves to heat the exhaust tube to produce a differential pressure, reflow, and the like. Like. To achieve opening of the exhaust tube, if this of the implementation of evacuation and Filling process should still be closed. The exhaust tube may be provided, for example, in a targeted manner with a predetermined breaking point, which is then opened by actuation of the heater.
Die Heizeinrichtung wird vorzugsweise von einer Isolierung umgeben und liegt zweckmäßigerweise an der Außenseite des zentralen Rohres an. Geeignete Heizeinrichtungen sind dem Fachmann bekannt und brauchen an dieser Stelle nicht spezi- eil erläutert zu werden.The heater is preferably surrounded by insulation and is suitably on the outside of the central tube. Suitable heaters are known in the art and need not be specifically explained here.
Um die von der Heizeinrichtung abgegebene Wärmeenergie auf den zentralen Hohlraum zu konzentrieren, ist die Heizeinrichtung, wie erwähnt, vorzugsweise von einer Isolierung umgeben. Desweiteren besitzt die Evakuier/Befüllvorrichtung vorzugsweise eine obere und untere, die Heizeinrichtung zwischen sich aufnehmende Isolierung, bei der es sich insbesondere um eine Kühleinrichtung handelt, welche beispielsweise von einem geeigneten Kühlmedium (Wasser) durch- flössen wird. Auf diese Weise wird verhindert, daß Wärmeenergie an die am unteren Ende der Evakuier/Befüllvorrichtung vorgesehene Dichtungseinrichtung und nach oben an die Evakuier/Befülleitungen bzw. -anschlüsse abgegeben wird.In order to concentrate the heat energy emitted by the heater on the central cavity, the heater is, as mentioned, preferably surrounded by an insulation. Furthermore, the evacuating / filling device preferably has an upper and lower insulation which accommodates the heating device between them, which is in particular a cooling device through which, for example, a suitable cooling medium (water) flows. In this way it is prevented that thermal energy is delivered to the sealing device provided at the lower end of the evacuating / filling device and upwards to the evacuating / filling lines or connections.
Wie erwähnt, befindet sich die Dichtungseinrichtung vorzugsweise am unteren Ende (im installierten Zustand) der Evakuier/Befüllvorrichtung. Sie wird zweckmäßigerweise von mindestens einem Dichtungsring gebildet, der im installier- ten Zustand von der Einrichtung zum Gegeneinanderpressen der Einheit und der Evakuier/Befüllvorrichtung komprimiert wird, so daß der Hohlraum luftdicht abgeschlossen wird.As mentioned, the sealing device is preferably at the lower end (in the installed state) of the evacuating / filling device. It is expediently formed by at least one sealing ring, which in the installed state of the device presses against each other the unit and the evacuator / Befüllvorrichtung is compressed, so that the cavity is sealed airtight.
Desweiteren ist die erfindungsgemäß ausgebildete Einrich- tung vorzugsweise mit einer Einrichtung zum Heben/Senken, Verschwenken und Vor/Zurückbewegen der Evakuier/Befüllvorrichtung und/oder eines Preßelementes der Einrichtung zum Gegeneinanderpressen versehen. Mit dieser Einrichtung können sowohl die Evakuier/Befüllvorrichtung als auch das Preßelement beliebig bewegt werden, um an die Position einer zu behandelnden Einheit genau angepaßt zu werden. Das Preßelement wird vorzugsweise von unten gegen das untere Glaspaneel der Einheit gepreßt, während die Evakuier/ Be- füllvorrichtung von oben gegen das obere Glaspaneel gepreßt wird und dabei den Pumpstengel im in der Vorrichtung gebildeten Hohlraum aufnimmt. Es ist dabei insbesondere von Bedeutung, daß die Evakuier/Befüllvorrichtung von oben sehr vorsichtig gegen das obere Glaspaneel bewegt werden kann, um auf diese Weise einen Kontakt mit dem Pumpstengel oder sogar eine Beschädigung desselben zu vermeiden. Wenn der Evakuier/Befüllvorgang beendet ist, können die Evakuier/Befüllvorrichtung und das Preßelement vorsichtig wieder von den entsprechenden Glaspaneelen wegbewegt werden, wonach die befüllte Einheit abgeführt und eine neue zu behan- delnde Einheit in die entsprechende Position zwischen der Evakuier/Befüllvorrichtung und dem Preßelement geführt werden kann.Furthermore, the device designed according to the invention is preferably provided with a device for lifting / lowering, pivoting and fore / aft movement of the evacuating / filling device and / or a pressing element of the device for pressing against one another. With this device, both the evacuating / filling device and the pressing member can be arbitrarily moved to be adapted to the position of a unit to be treated exactly. The pressing element is preferably pressed from below against the lower glass panel of the unit, while the evacuating / filling device is pressed from above against the upper glass panel, thereby receiving the exhaust tube in the cavity formed in the device. It is of particular importance that the evacuating / filling device can be moved very carefully from above against the upper glass panel in order to avoid contact with the pumping stem or even damage to it in this way. When the evacuation / filling operation is completed, the evacuating / filling device and the pressing element can be carefully moved away from the corresponding glass panels, after which the filled unit is discharged and a new unit to be treated is placed in the appropriate position between the evacuating / filling device and the pressing element can be performed.
Die erfindungsgemäß in der Evakuier/Befüllvorrichtung vor- gesehene Heizeinrichtung dient vorzugsweise nicht nur zum Öffnen des Pumpstengels, sondern auch zum Verschließen des- selben nach beendetem Befüllvorgang. Der Pumpstengel wird dann so erhitzt, daß seine Wandung zumindest lokal in dem die Öffnung umgebenden Bereich aufgeschmolzen wird, wobei das aufgeschmolzene Glas des Pumpstengels die gebildete Öffnung verschließt.The heating device provided according to the invention in the evacuation / filling device is preferably used not only for opening the exhaust tube, but also for closing the exhaust tube. same after completion of the filling process. The exhaust tube is then heated so that its wall is at least locally melted in the area surrounding the opening, the molten glass of the exhaust tube closing the opening formed.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigen:The invention will now be explained in detail with reference to embodiments in conjunction with the drawings. Show it:
Figur 1 einen schematischen Längsschnitt durch einen Durchlaufofen;Figure 1 shows a schematic longitudinal section through a continuous furnace;
Figur 2 einen schematischen Querschnitt durch die Vorkammer des Durchlaufofens;Figure 2 is a schematic cross section through the pre-chamber of the continuous furnace;
Figur 3 einen schematischen Querschnitt durch eine Evakuierungskammer des Durchlaufofens;FIG. 3 shows a schematic cross section through an evacuation chamber of the continuous furnace;
Figur 4 eine schematische Seitenansicht einer Einrichtung zum Evakuieren und Befüllen mit Prozeßgas;Figure 4 is a schematic side view of a device for evacuation and filling with process gas;
Figur 5 einen Vertikalschnitt der Einrichtung zum Evakuieren und Befüllen der Figur 4 im vergrößerten Maßstab; undFigure 5 is a vertical section of the means for evacuating and filling of Figure 4 on an enlarged scale; and
Figur 6 fünf Vertikalschnittansichten durch verschiedene Ausführungsformen von Pumpstengeln, die auf einem Glaspaneel angeordnet sind. Die in Figur 1 dargestellte Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens weist eine Einrichtung zum Erhitzen, Evakuieren und Kühlen der Einheit sowie eine nachgeschaltete Station zum Evakuieren und Befüllen der Einheit mit Prozeßgas auf. Die Einrichtung ist als Durchlaufofen 1 ausgebildet, der in Förderrichtung mehrere nacheinander angeordnete und gegenseitig abgedichtete Behandlungskammern aufweist. Von links nach rechts in der Figur besitzt der Durchlaufofen eine Aufheizkammer 2, drei Evakuierungskammern 3, eine Flutungskammer 4, eine Verkle- bungskammer 5, eine Atmosphärentrennkammer 6 und eine Kühlkammer 7. Als Fördereinrichtung weist der Durchlaufofen 1 eine Rollenbahn auf, die sich aus einer Vielzahl von Rollen 8 zusammensetzt und durch sämtliche Kammern verläuft, wobei die entsprechenden Ein- und Austrittsöffnungen der jeweiligen Kammer gegenüber der umgebenden Atmosphäre bzw. gegenüber der benachbarten Kammer abgedichtet sind. In Figur 1 ist gezeigt, wie sich mehrere zu behandelnde Einheiten 9 auf den Rollen 8 bewegen.FIG. 6 shows five vertical sectional views through various embodiments of exhaust stems which are arranged on a glass panel. The device shown in Figure 1 for carrying out the method according to the invention has a device for heating, evacuation and cooling of the unit and a downstream station for evacuating and filling the unit with process gas. The device is designed as a continuous furnace 1, which has a plurality of successively arranged and mutually sealed treatment chambers in the conveying direction. From left to right in the figure, the continuous furnace has a heating chamber 2, three evacuation chambers 3, a flooding chamber 4, a bonding chamber 5, an atmosphere separation chamber 6 and a cooling chamber 7. As a conveyor, the continuous furnace 1 has a roller conveyor, which consists of a Assembled plurality of rollers 8 and passes through all the chambers, wherein the respective inlet and outlet openings of the respective chamber with respect to the surrounding atmosphere or against the adjacent chamber are sealed. FIG. 1 shows how a plurality of units 9 to be treated move on the rollers 8.
Die Einheiten 9 können den Durchlaufofen kontinuierlich oder diskontinuierlich durchlaufen. Die Steuerung der Lauf- bewegung kann über den Rollenantrieb der einzelnen Kammern erfolgen.The units 9 can pass through the continuous furnace continuously or discontinuously. The motion control can be controlled via the roller drive of the individual chambers.
Figur 2 zeigt einen Querschnitt durch die Aufheizkammer bzw. Vorkammer 2. In dem von den Kammerwänden umschlossenen Innenraum 10 wird über eine Strahlungs- und/oder Konvek- tionsheizung eine geeignete Atmosphäre zum Vorerhitzen der zu behandelnden Einheit 9 erzeugt. Figur 3 zeigt einen Querschnitt durch eine Evakuierungskammer 3. Mit Hilfe von Leitungen 11 wird über eine Vakuumpumpe 12 im Innenraum 13 der Kammer ein geeigneter Unter- druck erzeugt, um die in der Kammer befindliche Einheit zu evakuieren.FIG. 2 shows a cross section through the heating chamber or prechamber 2. In the interior space 10 enclosed by the chamber walls, a suitable atmosphere for preheating the unit 9 to be treated is generated by radiation and / or convection heating. FIG. 3 shows a cross-section through an evacuation chamber 3. By means of lines 11, a suitable vacuum is generated by means of a vacuum pump 12 in the interior 13 of the chamber in order to evacuate the unit located in the chamber.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird so vorgegangen, daß eine geeignete Glasfritte auf ein Glaspaneel aufgetra- gen und ausgehärtet wird, so daß ein in der Höhe variierender Glasfrittenring gebildet wird. Auf diesen Glasfritten- ring wird ein weiteres Glaspaneel gelegt, so daß zwischen dem Glasfrittenring und dem zweiten Glaspaneel ein unterbrochener Spalt gebildet wird. Beide Glaspaneele werden me- chanisch aneinander befestigt und dann in den in Figur 1 dargestellten Durchlaufofen eingeführt. Die gebildete Einheit 9 gelangt in die Aufheizkammer 2 des Ofens und wird dort in einer aus Luft oder Stickstoff bestehenden Atmosphäre vorerhitzt, beispielsweise auf eine Temperatur zwischen 250 0C und 350 °C. Das Vorerhitzen erfolgt über einen geeigneten Zeitraum. Die vorerhitzte Einheit wird dann in die erste Evakuierungskammer 3 eingeführt und evakuiert, was über den zwischen Glaspaneel und Frittenring gebildeten Spalt erfolgt. Während des Evakuierens erfolgt ein Erhitzen der Einheit auf 350 - 390 0C (Gleichgewichtstemperatur) . Bei dieser Temperatur findet kein Ausgasen der Glasfritte mehr statt, wobei jedoch beide Glaspaneele noch nicht miteinander verklebt sind. Der in Figur 1 dargestellte Durchlaufofen 1 besitzt drei hintereinandergeschaltete Evakuierungskammern 3, die beispielsweise den Zwischenraum der Einheit bis auf 10~5 mbar evakuieren. In der folgenden nachgeschalteten Kammer 4 wird der Zwischenraum der Einheit mit einem geeigneten Inertgas geflutet, bei dem es sich beispielsweise um einen Teil des spä- ter als Prozeßgas verwendeten Gasgemisches handeln kann. Im vorliegenden Fall findet eine Flutung mit Neon statt. In der nachfolgenden Verklebungskammer 5 wird die Einheit bis auf die Klebetemperatur der Glasfritte von 350 0C - 430 0C erhitzt, so daß hier der eigentliche Klebevorgang stattfin- det. Durch das vorherige Füllen des Zwischenraumes mit dem Inertgas wird eine weitere Ausgasung der Glasfritte unterdrückt.In the method according to the invention, the procedure is such that a suitable glass frit is applied to a glass panel and cured so that a glass frit ring varying in height is formed. Another glass panel is placed on this glass frit ring so that an interrupted gap is formed between the glass frit ring and the second glass panel. Both glass panels are mechanically fastened to one another and then introduced into the continuous furnace shown in FIG. The formed unit 9 enters the heating chamber 2 of the furnace and is there preheated in an atmosphere consisting of air or nitrogen, for example to a temperature between 250 0 C and 350 ° C. The preheating takes place over a suitable period. The preheated unit is then introduced into the first evacuation chamber 3 and evacuated, which takes place via the gap formed between glass panel and frit ring. During evacuation, the unit is heated to 350 - 390 0 C (equilibrium temperature). At this temperature, no outgassing of the glass frit takes place more, but both glass panels are not yet glued together. The continuous furnace 1 shown in Figure 1 has three evacuation chambers 3 connected in series, which evacuate, for example, the gap of the unit to 10 ~ 5 mbar. In the following downstream chamber 4, the interspace of the unit is flooded with a suitable inert gas, which may be, for example, a part of the gas mixture used later as the process gas. In the present case, a flooding with neon takes place. In the following Verklebungskammer 5 the unit is up to the bonding temperature of the glass frit of 350 0 C - 430 0 C is heated, so that here the actual gluing process det take place. By previously filling the gap with the inert gas, further outgassing of the glass frit is suppressed.
Die verklebte Einheit durchwandert dann eine nachfolgende Atmosphärentrennkammer 6 und eine dieser nachfolgende Kühlkammer 7 und verläßt dann den in Figur 1 gezeigten Durchlaufofen.The bonded unit then passes through a subsequent atmosphere separation chamber 6 and a subsequent cooling chamber 7 and then leaves the continuous furnace shown in Figure 1.
Dem Durchlaufofen 1 nachgeschaltet ist eine Stati- on/Einrichtung 15 zum Evakuieren und Befüllen der Einheit mit Prozeßgas.The continuous furnace 1 is followed by a station / device 15 for evacuating and filling the unit with process gas.
Die in Figur 4 schematisch in der Seitenansicht dargestellte Einrichtung 15 zum Evakuieren des Zwischenraumes von aus zwei miteinander verklebten oder verschmolzenen Glaspaneelen bestehenden Einheiten und zum Befüllen des Zwischenraumes mit einem Prozeßgas zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u. dgl. besitzt eine Evaku- ier/Befüllvorrichtung 40 und eine Einrichtung zum Gegenein- anderpressen einer Einheit 9 und der Evakuier/Befüllvor- richtung 40 unter Kompression einer Dichtungseinrichtung. Die zu evakuierende Einheit 9 ist in Figur 4 nur schematisch mit gestrichelten Linien dargestellt und nimmt die in Figur 4 dargestellte Horizontallage ein, in die sie beispielsweise mit Hilfe von geeigneten Fördermitteln (nicht gezeigt) gelangt. Die Einheit 9 kann vorher einer Reihe von Behandlungsschritten unterzogen worden sein, die jedoch für die hier beschriebene Erfindung keine Rolle spielen.The device 15 shown schematically in Figure 4 in side view for evacuating the gap of consisting of two glued together or fused glass panels units and for filling the gap with a process gas for the production of flat screens, flat discharge lamps u. The like has an evacuating / filling device 40 and a device for press-fitting a unit 9 and the evacuating / filling device 40 under compression of a sealing device. The unit to be evacuated 9 is shown in Figure 4 only schematically with dashed lines and takes the horizontal position shown in Figure 4, in which they (for example) with the help of suitable funding (not shown) passes. The unit 9 may have previously been subjected to a series of treatment steps, but these are not relevant to the invention described here.
In der in Figur 4 dargestellten Position wird die Einheit 9 fixiert, indem von oben die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 gegen das obere Paneel 25 (siehe Figur 5) der Einheit und von unten ein Preßelement 25 gegen das untere Paneel 26 der Einheit gepreßt werden. Das in Figur 4 dargestellte Preßelement 24 ist heb- und senkbar, verschwenkbar und vor- und zurückbewegbar angeordnet, um eine gewünschte Lage in bezug auf die zu behandelnde Einheit einnehmen zu können. Gleiches trifft für die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 zu. Bei der in Figur 4 dargestellten Ausführungsform wird die Einrichtung zum Gegeneinanderpressen der Einheit 9 und der Evakuier/Befüllvorrrichtung 40 von einer schematisch dargestellten Hubeinrichtung 16 gebildet, mittels der die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 und das Preßelement 24 aufeinander zu und voneinander weg bewegbar sind, um zwischen sich die Einheit 9 festzuklemmen. Diese Hubeinrichtung ist darüber hinaus drehbar bzw. schwenkbar und vor- und zurückbewegbar angeordnet, damit die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 und das Preßelement 24 entsprechende Bewegungen durchführen können. Beide Einheiten können bewegungsmäßig miteinander gekoppelt sein, so daß sie entsprechende Bewegungsvorgänge durchfüh- ren, oder aber auch individuell bewegbar sein, um eine Relativbewegung zwischen beiden zu ermöglichen. Die entspre- chenden Einrichtungen sind in Figur 1 nur schematisch dargestellt. Es ist für den Fachmann ohne weiteres möglich, aufgrund seines Fachwissen entsprechende Einrichtungen zu konstruieren.In the position shown in Figure 4, the unit 9 is fixed by pressing from above the evacuating / filling device 40 against the upper panel 25 (see Figure 5) of the unit and from below a pressing member 25 against the lower panel 26 of the unit. The pressing member 24 shown in Figure 4 is raised and lowered, pivotally mounted and moved back and forth to take a desired position with respect to the unit to be treated can. The same applies to the evacuation / filling device 40. In the embodiment shown in Figure 4, the means for pressing together the unit 9 and the evacuating / filling device 40 is formed by a schematically illustrated lifting device 16, by means of which the evacuating / filling device 40 and the pressing element 24 are movable toward and away from one another to clamp the unit 9. This lifting device is also rotatable or pivotable and arranged movable back and forth, so that the evacuating / filling device 40 and the pressing member 24 can perform corresponding movements. Both units can be coupled to one another in terms of movement, so that they perform corresponding movement processes, or else they can be moved individually in order to enable a relative movement between the two. The corresponding These devices are shown only schematically in FIG. It is readily possible for those skilled in the art to construct appropriate equipment based on their expertise.
Die Ausbildung der Evakuier/Befüllvorrichtung 40 ist am besten aus Figur 5 zu entnehmen. Figur 5 zeigt die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 im Betriebszustand, d.h. im gegen das obere Paneel 25 der Einheit gepreßten Zustand. In die- sem Zustand ist die am unteren Ende der Evakuier/Befüllvorrichtung 40 angeordnete Dichtungseinrichtung, die bei dieser Ausführungsform aus zwei konzentrischen Dichtungsringen 23 besteht, die im Abstand von einander angeordnet sind, in Kontakt mit dem oberen Paneel 25 und ent- sprechend komprimiert, um das Innere der Evakuier/Befüllvorrichtung 40 gegenüber der Atmosphäre luftdicht abzuschließen.The design of the evacuating / filling device 40 can be seen best from FIG. FIG. 5 shows the evacuation / filling device 40 in the operating state, i. in pressed against the upper panel 25 of the unit state. In this state, the sealing means arranged at the lower end of the evacuating / filling device 40, which in this embodiment consists of two concentric sealing rings 23 which are arranged at a distance from each other, is in contact with the upper panel 25 and correspondingly compressed, to make the interior of the evacuating / filling device 40 airtight to the atmosphere.
Wie man Figur 5 desweiteren entnehmen kann, ist das obere Paneel 25 der Einheit mit einem sogenannten Pumpstengel 28 versehen, der über einen Glasfrittenring 29 mit dem oberen Paneel 25 verklebt ist. Dieser Pumpstengel 28, der eine im oberen Paneel 25 vorgesehene Bohrung 36 luftdicht umgibt, dient zum Evakuieren und Befüllen des zwischen den beiden Paneelen 25, 26 befindlichen Zwischenraumes 27 der Einheit. Bei der Installation der Evakuier/Befüllvorrichtung 40 an der Einheit 9 wird die Evakuier/Befüllvorrichtung so von oben nach unten gegen das obere Paneel 25 bewegt, daß sie in ihrem Inneren den Pumpstengel 28 aufnimmt, ohne diesen zu beschädigen. Die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 weist ein zylindrisches Glasrohr 22 auf, in dessen Innenraum der Pumpstengel 28 angeordnet wird. Das Glasrohr 22 wird von einer Heizeinrichtung 21 umgeben, die am Glasrohr anliegt und zum Erhitzen des Innenraumes des Glasrohres bzw. des Pumpstengels 28 dient. Die Heizeinrichtung ist von einer zylindrisch geformten Isolierung 35 umgeben, die eine Wärmeabgabe radial nach außen weitgehend verhindert.As can further be seen from FIG. 5, the upper panel 25 of the unit is provided with a so-called exhaust tube 28, which is glued to the upper panel 25 via a glass frit ring 29. This exhaust tube 28, which surrounds a provided in the upper panel 25 bore 36 airtight, is used to evacuate and fill the space between the two panels 25, 26 intermediate space 27 of the unit. During installation of the evacuating / filling device 40 on the unit 9, the evacuating / filling device is moved from top to bottom against the upper panel 25 in such a way that it receives the pumping stem 28 in its interior without damaging it. The evacuating / filling device 40 has a cylindrical glass tube 22, in the interior of which the exhaust tube 28 is arranged. The glass tube 22 is surrounded by a heating device 21, which bears against the glass tube and serves to heat the interior of the glass tube or the exhaust tube 28. The heater is surrounded by a cylindrically shaped insulation 35, which largely prevents heat emission radially outward.
Das Glasrohr 22 stützt sich auf einer unteren Ringscheibe 30 ab, die innen hohl ist und von einem geeigneten Kühlmedium (Wasser) durchflössen wird, um eine geeignete Isolierung nach unten zu bilden. Mit der Ringscheibe 30 stehen die Dichtungsringe 23 in Kontakt. Eine obere Ringscheibe 31, die ebenfalls hohl ausgebildet ist und von einem geeigneten Kühlmedium (Wasser) durchflössen wird, bildet eine Isolierung nach oben. Die Ringscheiben stehen über geeignete Dichtungsringe 41 mit dem zentralen Rohr 22 in Verbindung.The glass tube 22 is supported on a lower annular disc 30, which is hollow inside and is traversed by a suitable cooling medium (water) to form a suitable insulation down. With the annular disc 30, the sealing rings 23 are in contact. An upper annular disc 31, which is also hollow and is traversed by a suitable cooling medium (water), forms an insulation upwards. The annular discs are connected via suitable sealing rings 41 with the central tube 22 in connection.
In Verlängerung des Rohres 22 nach oben ist ein gemeinsamer Leitungsabschnitt 17 angeordnet, der sich auf der oberen Ringscheibe 31 abstützt. Dieser gemeinsame Leitungsabschnitt 17 führt zu einem Kreuzungspunkt 42, von dem ein Leitungsanschluß 19 zum Befüllen mit Prozeßgas nach links, ein Leitungsanschluß 20 zum Evakuieren nach rechts und ein Leitungsanschluß für ein Schauglas 21 nach oben abführen. Der Anschluß 19 zum Befüllen und der Anschluß 20 zum Evakuieren sind an eine geeignete Gasbefülleitung sowie eine ge- eignete, zu einer Vakuumpumpe führende Evakuierungsleitung anschließbar. Mit Hilfe von geeigneten Absperr- bzw. Venti- leinrichtungen (nicht gezeigt) kann der gemeinsame Leitungsabschnitt 17 mit einer der Leitungen bzw. Anschlüsse 19, 20 in Verbindung gebracht werden, während der andere Anschluß bzw. die andere Leitung abgesperrt wird.In extension of the tube 22 upwards a common line section 17 is arranged, which is supported on the upper annular disc 31. This common line section 17 leads to a crossing point 42, from which a line connection 19 for filling with process gas to the left, a line connection 20 to evacuate to the right and a line connection for a sight glass 21 upwards. The connection 19 for filling and the connection 20 for evacuation can be connected to a suitable gas filling line as well as a suitable evacuation line leading to a vacuum pump. With the help of suitable shut-off or ventilation (not shown), the common line section 17 can be connected to one of the lines 19, 20, while the other connection or the other line is shut off.
Mit Hilfe des oben angeordneten Schauglases 21 läßt sich die Funktionsweise der Evakuier/Befüllvorrichtung 40, insbesondere der Zustand des Pumpstengels 28, beobachten.With the aid of the sight glass 21 arranged at the top, the mode of operation of the evacuation / filling device 40, in particular the state of the exhaust tube 28, can be observed.
Die in den Figuren 4 und 5 gezeigte Einrichtung funktioniert in der folgenden Weise:The device shown in Figures 4 and 5 operates in the following manner:
Nachdem die zu behandelnde Einheit 9 ihre Position eingenommen hat, werden von oben die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 und von unten das Preßelement 24 gegen die entsprechenden Paneele 25, 2β bewegt und gegen diese gepreßt, wodurch die Dichtungsringe 23 komprimiert werden. Der am oberen PA- , neel 25 angeordnete Pumpstengel 28 wird auf diese Weise vom Innenraum des Rohres 22 der Evakuier/Befüllvorrichtung 40 aufgenommen.After the unit to be treated 9 has taken its position, from above the evacuating / filling device 40 and from below the pressing member 24 against the corresponding panels 25, 2β moved and pressed against them, whereby the sealing rings 23 are compressed. The at the upper PA, neel 25 arranged exhaust tube 28 is received in this way from the interior of the tube 22 of the evacuating / filling device 40.
Der Pumpstengel 28 ist bei dieser Ausführungsform geschlossen dargestellt. Er besitzt eine geeignete Sollbruchstelle (nicht gezeigt) , mit der der Pumpstengel geöffnet werden kann. Dies geschieht durch Betrieb der Heizeinrichtung 21 mit Hilfe von der der Innenraum des Rohres 22 erhitzt wird, so daß sich ein Differenzdruck zwischen dem Innenraum des Rohres 22 und dem Innenraum des Pumpstengels ergibt, der letztendlich zum Bruch der Sollbruchstelle führt. Vor dem öffnen des Pumpenstengels 28 erfolgt ein Evakuieren des Innenraumes des Rohres 22. Nach dem Öffnen des Pumpstengels 28 folgt eine Evakuierungsphase des Paneelzwischenraumes 27 durch Betätigung einer Vakuumpumpe (nicht gezeigt) , wobei der Zwischenraum 27 zwischen den beiden Paneelen 25, 26 über die Bohrung 36, den Pumpstengel 28, den Innenraum des Rohres 22, den Innenraum des gemeinsamen Leitungsabschnittes 17 und den Anschluß 20 evakuiert wird. Nach Beendigung der Evakuierungsphase wird der Anschluß 20 gesperrt und über den Anschluß 19 ein Prozeßgas zugeführt, mit dem der Zwischenraum 27 befüllt wird. Nach Beendigung des Befüll- Vorganges erfolgt mit Hilfe der vorgesehenen Heizeinrichtung 21 ein Aufschmelzen des die Sollbruchstelle umgebenden Glases des Pumpstengels 28, um die Sollbruchstelle wieder zu verschließen. Nach entsprechendem Abkühlen werden die Evakuier/Befüllvorrichtung 40 und das Preßelement 24 nach oben und unten von der Einheit entfernt, so daß diese einer weiteren Bearbeitung unterzogen werden kann.The exhaust tube 28 is shown closed in this embodiment. He has a suitable predetermined breaking point (not shown), with which the exhaust tube can be opened. This is done by operating the heater 21 by means of which the interior of the tube 22 is heated, so that there is a differential pressure between the interior of the tube 22 and the interior of the exhaust tube, which ultimately leads to breakage of the predetermined breaking point. Before opening the pump stem 28, the interior of the tube 22 is evacuated. After opening the exhaust tube 28 is followed by an evacuation phase of the panel gap 27 by actuation of a vacuum pump (not shown), wherein the gap 27 between the two panels 25, 26 via the bore 36, the exhaust tube 28, the interior of the tube 22, the interior of the common line section 17 and the Terminal 20 is evacuated. After completion of the evacuation phase, the terminal 20 is blocked and fed via the terminal 19, a process gas, with which the gap 27 is filled. After completion of the filling process takes place with the aid of the proposed heater 21, a melting of the predetermined breaking point surrounding glass of the exhaust tube 28 to close the predetermined breaking point again. After appropriate cooling, the evacuating / filling device 40 and the pressing member 24 are removed up and down from the unit, so that they can be subjected to further processing.
Die genannten Verfahrensschritte können über das Schauglas 21 beobachtet werden, so daß eine sorgfältige Überwachung der Verfahrensabläufe möglich ist.The said method steps can be observed via the sight glass 21, so that a careful monitoring of the procedures is possible.
Figur 6 zeigt fünf verschiedene Ausführungsformen des Pumpstengels im Vertikalschnitt. Wie bereits erwähnt ist dieser Pumpstengel 28 mit einer Sollbruchstelle versehen, die zum Evakuieren des Zwischenraumes 27 der Einheit geöffnet wird. Diese Sollbruchstelle ist in Figur 6 mit 50 bezeichnet und wird durch einen dünneren Wandabschnitt des Pumpstengels gebildet.FIG. 6 shows five different embodiments of the exhaust tube in vertical section. As already mentioned, this exhaust tube 28 is provided with a predetermined breaking point, which is opened to evacuate the gap 27 of the unit. This predetermined breaking point is designated by 50 in FIG. 6 and is formed by a thinner wall section of the exhaust tube.
Wenn eine zu behandelnde Einheit in die Station 15 gelangt, wird sie über die Klemmeinrichtung 24 und die Evakuier/Be- füllvorrichtung 17 festgeklemmt. Die Dichtringe 23 stellen eine dichte Verbindung zwischen dem Inneren des Rohrkörpers 22 und der Atmosphäre her. Über die Heizung 21 erfolgt nunmehr ein Erhitzen des Innenraumes des Rohrkörpers 22, um das Glas des Pumpstengels 28 auf Schmelztemperatur zu bringen. Infolge des entstehenden Differenzdruckes zwischen dem Innenraum des Rohrkörpers 22 und dem Innenraum des Pumpstengels 28 erfolgt ein Aufbrechen der Sollbruchstelle 50, so daß nunmehr der Zwischenraum 27 der Einheit 9 durch Be- tätigung der nichtgezeigten Vakuumpumpe weiter evakuiert werden kann. Nach ausreichender Evakuierung erfolgt das Be- füllen des Zwischenraumes 27 mit dem Teil des noch fehlenden Prozeßgases . Nach Beendigung des Füllvorganges wird mit Hilfe der Heizung 21 der Pumpstengel durch Verschmelzen der Sollbruchstelle wieder geschlossen. Nach geeignetem Abkühlen kann die Klemmeinrichtung gelöst und die Einheit aus der Station entfernt werden. When a unit to be treated enters the station 15, it is sent via the clamping device 24 and the evacuator / operator. Filling device 17 clamped. The sealing rings 23 establish a tight connection between the interior of the tubular body 22 and the atmosphere. Heating of the interior of the tubular body 22 is now carried out via the heater 21 in order to bring the glass of the exhaust tube 28 to the melting point. As a result of the resulting differential pressure between the interior of the tubular body 22 and the interior of the exhaust tube 28 breaking the predetermined breaking point 50, so that now the gap 27 of the unit 9 by actuation of the vacuum pump, not shown, can be further evacuated. After sufficient evacuation, the filling of the intermediate space 27 with the part of the still missing process gas takes place. After completion of the filling operation, the pumping stem is closed again by means of the heating 21 by fusing the predetermined breaking point. After proper cooling, the clamp can be released and the unit removed from the station.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zum Herstellen von aus zwei über ein Verbindungsmedium, insbesondere eine Glasfritte, miteinander verbundenen Glaspaneelen, die einen Zwischenraum auf- weisen, bestehenden Einheiten zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u. dgl. mit den folgenden Schritten:1. A method for producing from two via a connection medium, in particular a glass frit, interconnected glass panels having a gap, existing units for the production of flat screens, flat discharge lamps u. The like with the following steps:
a. Aufbringen des Verbindungsmediums auf mindestens ein Glaspaneel, zumindest teilweises Aushärten desa. Applying the bonding medium to at least one glass panel, at least partially curing the
Verbindungsmediums und Bilden einer in der Höhe variierenden Umrandung aus dem Verbindungsmedium;Connecting medium and forming a height-varying border of the connection medium;
b. Auflegen des anderen Glaspaneels auf die Umrandung unter Ausbildung eines natürlichen unterbrochenenb. Laying the other glass panel on the border while forming a natural broken
Spaltes und mechanisches Aneinanderbefestigen der beiden Glaspaneele;Gap and mechanical attachment of the two glass panels;
c. Vorerhitzen der gebildeten Einheit auf eine erste Temperatur; d. Evakuieren des Zwischenraumes während weiterem Erhitzen der Einheit auf die zur Verbindung notwendige Temperatur des Verbindungsmediums durch den natürlichen unterbrochenen Spalt und damit gasdichtes Verbinden der Glaspaneele; undc. Preheating the formed unit to a first temperature; d. Evacuating the gap during further heating of the unit to the temperature required for the connection of the connection medium through the natural gap interrupted and thus gas-tight connection of the glass panels; and
e. Abkühlen der Einheit auf Raumtemperatur und ggf. Lösen der mechanischen Befestigung.e. Cool the unit to room temperature and if necessary release the mechanical fastening.
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachfolgenden weiteren Schritte:2. The method according to claim 1, characterized by the following further steps:
f. Befüllen des Zwischenraumes mit dem Prozeßgas über eine Öffnung in einem Glaspaneel; undf. Filling the gap with the process gas via an opening in a glass panel; and
g. Schließen der Paneelöffnung und ggf. Lösen der mechanischen Befestigung.G. Close the panel opening and, if necessary, release the mechanical fastening.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß vor Schritt f. der Zwischenraum über die Öffnung im3. The method according to claim 2, characterized in that before step f. the space above the opening in the
Glaspaneel evakuiert wird.Glass panel is evacuated.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Verbindungsmedium eine Glasfritte verwendet wird.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that a glass frit is used as the connecting medium.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenraum in Schritt d. nach oder während weiterem Evakuieren der Einheit auf eine zweite Temperatur (Gleichgewichtstemperatur) unterhalb der Verbindungstemperatur des Verbindungsme- diums, insbesondere Schmelztemperatur der Glasfritte, bei der die Ausgasung des Verbindungsmediums im wesentlichen zum Stillstand gekommen ist, durch den natürlichen unterbrochenen Spalt evakuiert wird und mit einem Inertgas während oder vor weiterem Erhitzen der Einheit auf die Verbindungstemperatur des Verbindungsmediums geflutet wird.5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the gap in step d. after or during further evacuation of the unit to a second temperature (equilibrium temperature) below the connection temperature of the connection membrane. Diums, in particular melting temperature of the glass frit, in which the outgassing of the connection medium has come to a standstill, evacuated by the natural interrupted gap and is flooded with an inert gas during or before further heating of the unit to the compound temperature of the connection medium.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Inertgas das Prozeßgas oder ein Teil hiervon verwendet wird.6. The method according to claim 5, characterized in that the process gas or a part thereof is used as the inert gas.
7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenraum der gebilde- ten Einheit vor Schritt d. evakuiert und mit Inertgas befüllt wird.7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the intermediate space of the unit formed before step d. evacuated and filled with inert gas.
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenraum einen oder mehreren Spülvorgängen mit Inertgas oder Prozeßgas unterzogen und danach evakuiert wird und mit Inertgas oder Prozeßgas befüllt wird (Druckwechselspülung) .8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the intermediate space is subjected to one or more rinsing operations with inert gas or process gas and then evacuated and filled with inert gas or process gas (pressure swing rinse).
9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, daß zum Gasabziehen und/oder Be- füllen des Zwischenraumes der Einheit mit dem Prozeßgas ein über der Öffnung in einem Paneel angeordneter, bis auf den der Öffnung zugewandten Bereich geschlossener Pumpenstengel mit Sollbruchstelle verwendet wird, die durch Erhitzen, mechanische Beanspruchung und/oder den vom einzuführenden Gas ausgeübten Impuls zerstört wird. 9. The method according to any one of the preceding claims, character- ized in that for gas removal and / or filling the gap of the unit with the process gas arranged above the opening in a panel, up to the opening facing area closed pump stem with predetermined breaking point is used, which is destroyed by heating, mechanical stress and / or the impulse to be introduced by the gas to be introduced.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Pumpstengel mit dem die Öffnung aufweisenden Glaspaneel verklebt wird.10. The method according to claim 9, characterized in that the pumping stem is glued to the glass panel having the opening.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Verkleben des Pumpstengels während der Ausbildung der Umrandung oder dem Verbinden der Glaspaneele erfolgt.11. The method according to claim 10, characterized in that the bonding of the exhaust tube during the formation of the border or connecting the glass panels takes place.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 - 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Pumpstengel durch Verschmelzen geschlossen wird.12. The method according to any one of claims 9 - 11, characterized in that the exhaust tube is closed by fusing.
13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungsmedium zur Ausbildung der Umrandung berg- und talförmig aufgebracht wird.13. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the connecting medium is applied to form the border mountain and valley-shaped.
14. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 - 13, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Einrichtung zum Erhitzen, Evakuieren und Kühlen der Einheit (9) umfaßt.14. A device for carrying out the method according to any one of claims 1-13, characterized in that it comprises means for heating, evacuating and cooling of the unit (9).
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine nachgeschaltete Station (15) zum Evakuieren und Befüllen mit Prozeßgas aufweist.15. The apparatus according to claim 14, characterized in that it comprises a downstream station (15) for evacuation and filling with process gas.
16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekenn- zeichnet, daß die Einrichtung als Ofen (1) ausgebildet ist, der in Förderrichtung mehrere nacheinander ange- ordnete und gegenseitig abgedichtete Behandlungskammern (2-7) aufweist.16. Device according to claim 14 or 15, characterized in that the device is designed as a furnace (1) which, in the conveying direction, has several successively attached arranged and mutually sealed treatment chambers (2-7).
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Ofen (1) in Förderrichtung mindestens eine Aufheizkammer (2), mindestens eine Evakuierungskammer (3), mindestens eine Flutungskammer (4), mindestens eine Verbindungskammer (5) und mindestens eine Kühlkammer (7) aufweist.17. The apparatus according to claim 16, characterized in that the furnace (1) in the conveying direction at least one heating chamber (2), at least one evacuation chamber (3), at least one flooding chamber (4), at least one connecting chamber (5) and at least one cooling chamber ( 7).
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 - 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Ofen (1) als kontinuierlich arbeitender Ofen, insbesondere Durchlauf/Durchstoßofen, ausgebildet ist.18. Device according to one of claims 14 - 17, characterized in that the furnace (1) is designed as a continuously operating furnace, in particular pass / pusher furnace.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 - 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Ofen als diskontinuierlich arbeitender Ofen, insbesondere Kammerofen, Haubenofen, Hubherdofen, Drehringofen, ausgebildet ist.19. Device according to one of claims 14-17, characterized in that the furnace is designed as a discontinuously operating furnace, in particular chamber furnace, hood furnace, Hubherdofen, Drehringofen.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 - 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung eine Vielzahl von Herdwagenöfen, auf denen jeweils eine eine oder mehrere zu behandelnde Einheiten aufnehmende Retorte angeordnet ist, und einen zum Erhitzen und/oder Abkühlen dienenden Tunnel, der von den Herdwagenöfen durchlaufen wird, aufweist.20. The device according to any one of claims 14-19, characterized in that the device is a plurality of shuttle kilns, on each of which one or more units to be treated receiving retort is arranged, and serving for heating and / or cooling tunnel, of the straddle kilns is traversed, has.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 - 20, dadurch gekennzeichnet, daß die nachgeschaltete Station (15) eine Evakuier/Befüllvorrichtung (17) besitzt, die in abgedichteter Weise gegen ein Glaspaneel (25) der Einheit (9) gepreßt wird und einen die Paneelöffnung oder den Pumpstengel (28) umgreifenden Rohrkörper (22) und einen Evakuierungsanschluß (20) sowie einen Prozeßgas- anschluß (19) aufweist, die mit dem Rohrkörper (22) in Verbindung stehen.21. Device according to one of claims 15 - 20, characterized in that the downstream station (15) has an evacuating / filling device (17) which in sealing manner against a glass panel (25) of the unit (9) is pressed and a the panel opening or the exhaust tube (28) embracing tube body (22) and an evacuation port (20) and a process gas connection (19) connected to the tubular body (22).
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Evakuier/Befüllvorrichtung (17) eine Heizung (21) zum Erhitzen des Pumpstengels (28) besitzt.22. The apparatus according to claim 21, characterized in that the evacuating / filling device (17) has a heater (21) for heating the exhaust tube (28).
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 - 23, dadurch gekennzeichnet, daß die nachgeschaltete Station eine Zusatzheizung zum Aufheizen der Glaspaneele aufweist.23. Device according to one of claims 15 - 23, characterized in that the downstream station has an additional heating for heating the glass panels.
24. Einrichtung zum Evakuieren des Zwischenraumes von aus zwei miteinander verbundenen Glaspaneelen bestehenden Einheiten und zum Befüllen des Zwischenraumes mit einem Prozeßgas zur Fertigung von Flachbildschirmen, flachen Entladungslampen u. dgl. mit24. Device for evacuating the gap of existing two glass panels interconnected units and for filling the gap with a process gas for the production of flat screens, flat discharge lamps u. Like. With
einer Evakuier/Befüllvorrichtung (40) mit einem Hohlraum (45) zur Aufnahme eines Pumpstengels (28) eines Glaspaneeies (25) einer Einheit (9), einem an den Hohl- räum (45) angeschlossenen Evakuieranschluß (20) und Be- füllanschluß (19) und einer Dichtungseinrichtung (23) zum Anordnen auf dem Glaspaneel (25) um den Pumpstengel (28) herum sowie einer Einrichtung zum Gegeneinanderpressen der Einheit (9) und der Evakuier/Befüllvorrichtung (40) unter Kompression der Dichtungseinrichtung (23) .an evacuating / filling device (40) having a cavity (45) for receiving a pump bar (28) of a glass pane egg (25) of a unit (9), an evacuation connection (20) connected to the hollow space (45) and filling connection (40); 19) and sealing means (23) for placement on the glass panel (25) around the exhaust tube (28) and a device for pressing together the unit (9) and the evacuating / filling device (40) under compression of the sealing device (23).
25. Einrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Evakuier/Befüllvorrichtung (20) ein zentrales Rohr (22) zur Ausbildung des Hohlraumes (45) aufweist, an das der Evakuieranschluß (20) und Befüllanschluß (19) angeschlossen sind.25. Device according to claim 24, characterized in that the evacuating / filling device (20) has a central tube (22) for forming the cavity (45), to which the evacuation connection (20) and filling connection (19) are connected.
26. Einrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Evakuier- und Befüllanschluß (20,19) einen gemeinsamen Abschnitt (17) aufweisen, der an das zentrale Rohr (22) angeschlossen ist.26. Device according to claim 25, characterized in that the evacuation and filling connection (20, 19) have a common section (17), which is connected to the central tube (22).
27. Einrichtung nach einem der Ansprüche 24 - 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Evakuier/Befüllvor-richtung (40) eine Heizeinrichtung (21) besitzt.27. Device according to one of claims 24 - 26, characterized in that the evacuating / Befüllvor-direction (40) has a heating device (21).
28. Einrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizeinrichtung (21) das zentrale Rohr (22) umgibt.28. Device according to claim 27, characterized in that the heating device (21) surrounds the central tube (22).
29. Einrichtung nach einem der Ansprüche 27 oder 28, da- durch gekennzeichnet, daß die Heizeinrichtung (21) von einer Isolierung (35) umgeben ist.29. Device according to one of claims 27 or 28, character- ized in that the heating device (21) is surrounded by an insulation (35).
30. Einrichtung nach einem der Ansprüche 27 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß die Evakuier/Befüllvorrichtung (40) eine obere und untere, die Heizeinrichtung (22) zwi- sehen sich aufnehmende Isolierung (Kühleinrichtung) (31,30) aufweist.30. Device according to one of claims 27 to 29, characterized in that the evacuating / filling device (40) has an upper and lower, the heating device (22) between See receiving insulation (cooling device) (31,30) has.
31. Einrichtung nach einem der Ansprüche 24 - 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Evakuier/Befüllvorrichtung (40! eine Sichteinrichtung (21) in das zentrale Rohr (22) aufweist.31. Device according to one of claims 24 - 30, characterized in that the evacuating / filling device (40!) Has a viewing device (21) in the central tube (22).
32. Einrichtung nach einem der Ansprüche 24 - 31, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungseinrichtung (23) von mindestens einem Dichtungsring gebildet wird.32. Device according to one of claims 24 - 31, characterized in that the sealing device (23) is formed by at least one sealing ring.
33. Einrichtung nach einem der Ansprüche 24 - 32, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Einrichtung (16) zum He- ben/Senken, Verschwenken und Vor/Zurückbewegen der Evakuier/Befüllvorrichtung (40) und/oder eines Preßelementes (24) der Einrichtung zum Gegeneinanderpressen besitzt. 33. Device according to one of claims 24 - 32, characterized in that it comprises means (16) for raising / lowering, pivoting and moving back / forth the evacuating / filling device (40) and / or a pressing element (24) of the device possesses for pressing against each other.
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