DE102004053906A1 - Adaptervorrichtung für eine Substrat-Arbeitsstation - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Adaptervorrichtung (1) für eine Substrat-Arbeitsstation. Die Substrat-Arbeitsstation weist mindestens einen Substratträger auf, welcher ein mit der Substrat-Arbeitsstation zu verarbeitendes Substrat zum Transport und/oder zum Handling von einer Seite her im Wesentlichen mittig aufnimmt. Auf möglichst einfache Weise sollen mit einer zur mittigen Aufnahme von Substraten ausgebildeten Substrat-Arbeitsstation auch Substrate bearbeitet werden können, die lediglich eine Kontamination am Randbereich zulassen. Die erfindungsgemäße Adaptervorrichtung (1) ist dadurch gekennzeichnet, dass die Adaptervorrichtung (1) an einem Substratträger der Substrat-Arbeitsstation reversibel adaptierbar ist. die Adaptervorrichtung (1) ist derart ausgebildet, dass das Substrat lediglich im Wesentlichen an seinem Randbereich von der Adaptervorrichtung (1) aufnehmbar ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung eine Substrat-Arbeitsstation.

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft eine Adaptervorrichtung für eine Substrat-Arbeitsstation. Die Substrat-Arbeitsstation weist mindestens einen Substratträger auf, welcher ein mit der Substrat-Arbeitsstation zu verarbeitendes Substrat zum Transport und/oder zum Handhaben von einer Seite her im Wesentlichen mittig aufnimmt. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung eine Substrat-Arbeitsstation.
• Bei den Substraten handelt es sich einerseits um scheibenförmige Wafer, die meistens aus Silizium oder Galliumarsenid bestehen. Substrate können andererseits auch Masken sein, also Glasplatten, auf denen Strukturen aufgebracht sind oder aufgebracht werden und die als Vorlage für die Belichtung der Wafer dienen.
• Bei der Herstellung von Halbleiter-Wafern werden zwischen bestimmten Herstellungsschritten die Substrate in Kassetten unterschiedlicher Art zu verschiedenen Arbeitsstationen transportiert und müssen dort in die jeweilige Arbeitsstation eingeführt werden. Der Transport kann manuell oder automatisiert erfolgen.
• Die Arbeitsstationen dienen unterschiedlichen Zwecken für die Behandlung der Substrate wie die Inspektion, Vermessung oder Bearbeitung der Substrate. Bei der Inspektion der Substrate werden diese insbesondere hinsichtlich unerwünschter Partikel auf den Substraten oder auf Fehler in den Strukturen auf oder in der Oberfläche der Substrate optisch inspiziert. Die Inspektion kann durch den Benutzer oder automatisiert mit Hilfe einer elektronischen Kamera erfolgen. Zur Inspektion dienende Substrat-Arbeitsstationen, auch Waferinspektionsgeräte genannt, sind beispielsweise unter den Bezeichnungen INS 3000 und INS 3300 der Anmelderin aus dem Stand der Technik bekannt. In solchen oder auch in separaten Arbeitsstationen können zudem Messungen auf den Substraten vorgenommen werden. Beispielsweise können die unerwünschten Partikel oder Strukturfehler automatisch erkannt und klassifiziert werden (Defektanalyse). Zudem können die Breiten, Abstände oder Dicken der Strukturen vermessen werden (CD-Analyse, Schichtdickenanalyse). Die Inspektions- und Messabläufe sind häufig vollautomatisiert, sowohl was die Handhabung bzw. das Handling der Substrate betrifft, als auch hinsichtlich der zu inspizierenden oder zu vermessenden Orte auf dem Substrat.
• Es werden im Allgemeinen hohe Anforderungen an das Handling der Substrate gestellt, wie hinsichtlich der Sicherheit, Geschwindigkeit und Sauberkeit des Handling. Zudem sollen auch Substrate mit unterschiedlichen Durchmessern verwendet und im Handling eingebracht werden können. Das Handling der Substrate bedeutet dabei insbesondere die Übergabe der Substrate von einem Substrat-Zuführungsmodul in eine Arbeitsstation, die örtlichen Veränderungen innerhalb der Arbeitsstation bzw. der Transport des Substrats und schließlich wieder zurück in das Substrat-Zuführungsmodul, gegebenenfalls mit entsprechender Sortierung.
• Zum Aufnehmen bzw. zum Handling eines Substrats dient ein so genannter Substratträger, wobei Substratträger zur temporären Halterung und Lagefixierung für die Kontrolle von Halbleitersubstraten in der Mikro- und Optoelektroniktechnologie unverzichtbare Hilfsmittel sind. Üblicherweise werden die zu kontrollierenden Substrate an einem Substratträger mittels Unterdruck oder Vakuum festgehalten bzw. fixiert. Bei den Fertigungsprozessen in der Halbleiterindustrie werden üblicherweise Substratträger eingesetzt die Substrate mit einer standardisierten Größe – etwa derzeit 50–300mm – fixieren können.
• Bislang werden Substraten durch Substratträger regelmäßig in zwei verschiedenen Arten aufgenommen bzw. gehandhabt. So nimmt einerseits ein Substratträger ein Substrat von unten bzw. einer Seite her in der Mitte auf und beaufschlagt das Substrat zu dessen Fixierung am Substratträger mit Unterdruck. Andererseits nimmt ein anderer spezieller Substratträger das Substrat durch Greifen des Substrats am Rand auf, es handelt sich hierbei um ein so genanntes Edgegripping beim Randhandling. Üblicherweise ist eine Substrat-Arbeitsstation lediglich mit einer Art von Substratträgern bestückt, beispielsweise mit Substratträgern zur mittigen Aufnahme eines Substrats. Dementsprechend können mit dieser Substrat-Arbeitsstation lediglich Substrate inspiziert bzw. kontrolliert oder bearbeitet werden, die eine mittige Kontamination des Substrats zulassen. Falls mit dieser Substrat-Arbeitsstation nun Substrate zu kontrollieren sind, welche lediglich eine Randkontamination zulassen, muss der bzw. die Substratträger der Substrat-Arbeitsstation in umfangreicher Weise ausgetauscht werden, mit anderen Worten muss die Substrat-Arbeitsstation umgebaut werden. Das ist aufwendig, zeitintensiv und entsprechend mit Ausfallzeiten in der Waferproduktion verbunden und daher teuer.
• Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, auf möglichst einfache Weise mit einer zur mittigen Aufnahme von Substraten ausgebildeten Substrat-Arbeitsstation auch Substrate bearbeiten zu können, die lediglich eine Kontamination am Randbereich zulassen.
• Erfindungsgemäß wird die voranstehende Aufgabe mit einer Adaptervorrichtung gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist eine solche Adaptervorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Adaptervorrichtung an einem Substratträger der Substrat-Arbeitsstation reversibel adaptierbar ist und dass die Adaptervorrichtung derart ausgebildet ist, dass das Substrat lediglich im Wesentlichen an seinem Randbereich von der Adaptervorrichtung aufnehmbar ist.
• Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, dass es nicht erforderlich ist, den bzw. die Substratträger auszutauschen oder die Substrat-Arbeitsstation umzubauen. Eine Umrüstung der Substrat-Arbeitsstation kann in ganz besonders vorteilhafter Weise nahezu vollständig entfallen, wenn einem Substratträger eine erfindungsgemäße Adaptervorrichtung reversibel zuordenbar ist. Hierbei wird durch die besondere Ausbildung der Adaptervorrichtung ein Substrat bei der Handhabung durch den Substratträger in Verbindung mit der Adaptervorrichtung lediglich am Randbereich kontaktiert und somit auch nur dort kontaminiert. Eine Kontamination des Substrats in seinem mittleren Bereich erfolgt weder durch den Substratträger noch durch die Adaptervorrichtung, da das Substrat mit dem Substratträger aufgrund der Adaptervorrichtung nicht in Kontakt kommt. Somit kann auf einfache Weise mit einer zur mittigen Aufnahme von Substraten ausgebildete Substrat-Arbeitsstation auch Substrate bearbeitet werden, die lediglich eine Kontamination am Randbereich zulassen.
• In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Adaptervorrichtung derart ausgebildet, dass sie ein Substrat von einer Seite her aufnimmt, vorzugsweise von der Unterseite her. Dementsprechend könnte beispielsweise das Substrat mit seinem Randbereich auf der Adaptervorrichtung durch Auflegen aufnehmen und somit vergleichbar zur konventionellen Randhandhabung durch eine Substrat-Arbeitsstation transportiert werden.
• Bevorzugt ist das Substrat an der Adaptervorrichtung reversibel fixierbar. Zur Fixierung könnte beispielsweise Unterdruck eingesetzt werden, wobei hierzu auf bekannte Technologie zurückgegriffen werden kann.
• Ganz besonders bevorzugt weist die Adaptervorrichtung mindestens einen Auflagebereich auf, mit dem ein Substrat durch Auflage aufnehmbar ist. Das Substrat könnte am Auflagebereich aufgrund seiner Gewichtskraft und/oder mittels Adhäsionskraft zwischen dem Substrat und dem Auflagebereich an der Adaptervorrichtung reversibel fixierbar sein. Hierdurch ist in vorteilhafter Weise eine einfache und wirkungsvolle temporäre Fixierung des Substrats an der Adaptervorrichtung gebildet. Das Material des Auflagebereichs könnte derart ausgewählt werden, dass die Adhäsionskraft zwischen Substrat und Auflagebereich einen vorgebbaren bzw. ausreichenden oder geeigneten Wert zur Handhabung in einer Substrat-Arbeitsstation aufweist.
• Nun könnte der Auflagebereich über einen gesamten Umfang ringförmig ausgebildet sein. Es wäre auch denkbar, dass der Auflagebereich einzelne Ring- oder Segmentabschnitte aufweist, die am äußeren Umfang der Adaptervorrichtung angeordnet bzw. vorgesehen sind. Die Segmentabschnitte könnten rechteck-, vieleck- oder kreisförmig ausgebildet sein. Die Segmentabschnitte könnten beispielsweise in radialer Richtung ausgerichtet sein. Es ist auch denkbar, die Segmentabschnitte in radialer Richtung verschiebbar anzuordnen. Dadurch kann die Adaptervorrichtung auf den Durchmesser der zu bearbeitenden Substrate eingestellt werden. Somit können in besonders vorteilhafter Weise Substrate unterschiedlicher Durchmesser von der Substrat-Arbeitsstation bearbeitet werden.
• Im Konkreten könnte der Auflagebereich Gummi, Peek, Metall und/oder Kunststoff aufweisen. Da Substrat-Arbeitsstationen üblicherweise in einem Reinraum betrieben werden, wird bevorzugt reinraumtaugliches Material für die Adaptervorrichtung und für den Auflagebereich verwendet.
• Falls bei einer Substrat-Arbeitsstation ein herkömmlicher Substratträger ein Substrat mit Hilfe von Unterdruck fixiert, könnte die erfindungsgemäße Adaptervorrichtung ein Mittel aufweisen, das den am Substratträger anlegbaren Unterdruck zur Fixierung des Substrats an der Adaptervorrichtung nutzt. Dieses Mittel könnte einen Kanal oder eine Verbindungsleitung aufweisen, mit welchem/welcher der am Substratträger anliegende Unterdruck zu einem Auflagebereich leitbar ist, an welchem das Substrat an der Adaptervorrichtung aufliegt.
• Die Adaptervorrichtung könnte Greif- und/oder Klammermittel aufweisen, mit welchen das Substrat greifbar oder klammerbar und somit an der Adaptervorrichtung fixierbar ist. Insoweit sind die Greif- und/oder Klammermittel an aus dem Stand der Technik bekannten Fixiermittel zur Randhandhabung von Wafern bzw. Substraten angelehnt. Ein solches Greif- und/oder Klammermittel könnte ebenfalls mittels Über- oder Unterdruck betätigbar sein. Es könnte auch in diesem Fall mindestens ein Kanal oder eine Verbindungsleitung vorgesehen sein, mit welchem/welcher der an einem Substratträger anlegbare Über- oder Unterdruck zu einem Greif- und/oder Klammermittel zu dessen mechanischer Betätigung leitbar ist.
• Zur reversiblen Adaption der erfindungsgemäßen Adaptervorrichtung an einem Substratträger ist in einer bevorzugten Ausführungsform die Adaptervorrichtung zumindest teilweise komplementär zu einem Substratträger ausgebildet. Hierdurch kann beispielsweise die Adaptervorrichtung relativ einfach an einem Substratträger adaptiert werden. Ganz besonders bevorzugt könnte die Adaptervorrichtung derart ausgebildet sein, dass ein Substratträger und eine daran adaptierte Adaptervorrichtung in einer Richtung senkrecht zur Substratoberfläche im Wesentlichen die Ausmaße des Substratträgers ohne Adaptervorrichtung aufweist. Hierdurch ist es in ganz besonders vorteilhafter Weise möglich, das Substrat zusammen mit der erfindungsgemäßen Adaptervorrichtung durch eine Substrat-Arbeitsstation zu befördern bzw. zu transportieren.
• Eine reversible Fixierung der Adaptervorrichtung an einem Substratträger könnte beispielsweise mittels mindestens einer Schraub-, Bajonett-, Rast- oder Unterdruckverbindung erfolgen.
• Damit eine automatisierte Bearbeitung der Substrate durch die Substrat-Arbeitsstation sichergestellt werden kann, sind üblicherweise Mittel vorgesehen, mit welchen festgestellt bzw. geprüft werden kann, ob ein Substrat gerade von einem Substratträger aufgenommen oder transportiert wird. Dementsprechend ist ein Sensormittel an der Substrat-Arbeitsstation und/oder an dem Substratträger und/oder an der Adaptervorrichtung vorgesehen, mit welchem die Präsenz eines Substrats an der Adaptervorrichtung detektierbar ist. Ein solches Sensormittel könnte derart ausgebildet sein, dass es ein elektrisches Signal erzeugt, wenn sich ein Substrat an der Adaptervorrichtung befindet. Das vom Sensormittel erzeugte elektrische Signal könnte dann an eine zentrale Steuereinheit der Substrat-Arbeitsstation übermittelt werden, die diese Information verarbeiten kann und eventuell vorliegende Störfälle entsprechend an einen Operator meldet oder vorgebbare Fehlerbehebungsroutinen ausführt.
• Das Sensormittel könnte die Präsenz eines Substrats optisch detektieren, beispielsweise durch eine Reflexionslichtmessung. Es kann jedoch auch zweckmäßig sein, die Präsenz eines Substrats elektronisch zu detektieren, beispielsweise kapazitiv oder induktiv. Letztendlich können die Sensormittel speziell auf die Substrat-Arbeitsstation und die Anforderungen daran abgestimmt werden.
• Weiterhin könnte die Präsenz eines Substrats an der Adaptervorrichtung anhand einer Druckmessung detektierbar sein. Dies wäre insbesondere dann relativ einfach realisierbar, wenn das Substrat mittels Unterdruck an der Adaptervorrichtung fixierbar ist. In diesem Fall würde die Präsenzmessung eines Substrats an der Adaptervorrichtung auf eine Messung eines Drucks hinauslaufen. Wenn beispielsweise ein vorgebbarer (Unter)-Druckwert nicht unterschritten wird, befindet sich kein Substrat an der Adaptervorrichtung oder aber es liegt nicht bestimmungsgemäß an der Adaptervorrichtung auf.
• Bevorzugt ist das Sensormittel derart ausgebildet, dass mit dem Sensormittel auch die Position des Substrats an der Adaptervorrichtung bestimmbar ist. Falls nämlich ein Substrat nicht mittig oder zentriert oder an der vorgesehenen Position an der Adaptervorrichtung positioniert ist, könnten entsprechende Bearbeitungsroutinen vorgesehen sein, mit welchen das Substrat mittig bezüglich der Adaptervorrichtung positioniert werden kann, beispielsweise durch eine erneute Aufnahme des Substrats.
• Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist eine dem Substrat zugewandte Seite im Wesentlichen eben ausgebildet und wäre hierdurch an die Form eines Substrats angepasst. Am äußeren Randbereich der Adaptervorrichtung könnten ein oder mehrere Vorsprünge abragen, an welchem bzw. welchen der äußere Rand des Substrats in radialer Richtung zur Anlage kommen kann. Durch diese Maßnahme kann eine mittige Anordnung des Substrats an der erfindungsgemäßen Adaptervorrichtung realisiert werden. Insbesondere könnte ein Vorsprung einen abgeschrägten Bereich aufweisen, mit welchen auf einfache und wirkungsvolle Weise eine Zentrierung des Substrats relativ zu der Adaptervorrichtung erzielbar ist.
• Grundsätzlich könnte die dem Substrat zugewandte Seite der erfindungsgemäßen Adaptervorrichtung im Wesentlichen oval, kreisrund, sternförmig oder kreuzförmig ausgebildet sein. Besonders bevorzugt ist – wie anhand eines Beispiels oben angedeutet – die Adaptervorrichtung derart ausgebildet, dass damit Substrate unterschiedlicher Größen oder Durchmesser aufnehmbar sind. Somit sind auch Substrate unterschiedlich für Größen mit einer Substrat-Arbeitsstation bearbeitbar.
• Nun ist es denkbar, dass gerade der umgekehrte Fall zu dem bislang Beschriebenen bezüglich einer Substrat-Arbeitsstation vorliegt, nämlich bei der mindestens ein Substratträger vorgesehen ist, welcher ein mit der Substrat-Arbeitsstation zu verarbeitendes Substrat zum Transport und/oder zum Handhaben von einer Seite her im Wesentlichen am Randbereich – also nicht mittig – aufnimmt. Dementsprechend wäre eine der eingangs genannten entsprechenden Aufgabe in entsprechender Weise durch die Merkmale des Patentanspruchs 22 gelöst, wonach nämlich eine erfindungsgemäße Adaptervorrichtung an einem Substratträger der Substrat-Arbeitsstation reversibel adaptierbar ist. Diese Adaptervorrichtung ist derart ausgebildet, dass das Substrat lediglich im Wesentlichen an einem mittigen Bereich von der Adaptervorrichtung aufnehmbar ist. Insoweit erfolgt eine Adaption eines am Randbereich des Substrats wirkenden Substratträgers auf einen mittig wirkenden modifizierten Substratträger. Dementsprechend kann die gemäß Patentanspruch 22 angegebene erfindungsgemäße Adaptervorrichtung in entsprechender Weise gemäß den Patentansprüchen 1 bis 21 weitergebildet werden.
• Hinsichtlich einer Substrat-Arbeitsstation wird die eingangs genannte Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 23 gelöst. Hiernach weist eine erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation mindestens einen Substratträger auf, der ein mit der Substrat-Arbeitsstation zu verarbeitendes Substrat zum Transport und/oder zum Handhaben von einer Seite her im Wesentlichen mittig aufnimmt.
• Erfindungsgemäß ist eine Adaptervorrichtung nach einem der Patentansprüche 1 bis 22 vorgesehen, welche an einem Substratträger der Substrat-Arbeitsstation reversibel adaptierbar ist. Hierdurch ist die erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation in ganz besonders vorteilhafter Weise vielseitig einsetzbar, da hiermit Substrate verarbeitet oder kontrolliert werden können, die entweder lediglich mittig oder lediglich am Randbereich von einem Substratträger aufgenommen und somit lediglich dort kontaminiert werden. Zur Vermeidung von Wiederholungen wird auf den vorangegangenen Teil der Beschreibung verwiesen.
• Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen jeweils in einer schematischen Darstellung
• 1 eine erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
• 2 eine zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung und
• 3 eine drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
• Gleiche oder ähnliche Bauteile sind in den Figuren mit den selben Bezugszeichen gekennzeichnet.
• 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Adaptervorrichtung 1, welche zur Aufnahme eines in den 1 bis 3 nicht gezeigten Substrats dient. Die Adaptervorrichtung 1 ist an einem ebenfalls in den 1 bis 3 nicht gezeigten Substratträger reversibel adaptierbar, und zwar mit seiner Unterseite. Die Adaptervorrichtung 1 weist einen Träger 2 und einem Auflagebereich 3 auf, auf welchem ein Substrat – gemäß der Darstellung aus 1 – von oben zur Auflage kommen kann. In einem solchen Fall ist das Substrat an der Adaptervorrichtung 1 sowohl aufgrund seiner Gewichtskraft als auch aufgrund der Adhäsionskraft zwischen dem Substrat und dem Auflagebereich 3 an der Adaptervorrichtung 1 reversibel fixierbar. Der Auflagebereich 3 ist am Randbereich der Adaptervorrichtung 1 bogenförmig ausgebildet und erstreckt sich nicht über den gesamten Umfang. Der Auflagebereich 3 ist im Wesentlichen streifenförmig ausgebildet und besteht aus reinraumtauglichem Peek.
• Die Adaptervorrichtung 1 aus 1 umfasst einen optischen Sensor 4, mit welchem die Präsenz eines Substrats auf der Adaptervorrichtung 1 detektierbar ist. Der optische Sensor 4 weist eine Lichtquelle 5 auf, die Licht unter einem flachen Winkel in Richtung des Substrats aussendet. Der optische Sensor 4 weist einen lichtempfindlichen Detektor 6 auf, der das von der Lichtquelle 5 ausgesendete und am Substrat reflektierte Licht detektieren kann.
• Die Adaptervorrichtung 1 gemäß 2 umfasst ebenfalls ein Träger 2, welcher vier Auflagebereiche 3 aufweist, die in Form von Segmentabschnitten ausgebildet sind. An jedem der vier Auflagebereiche 3 sind jeweils zwei Bohrungen 7 vorgesehen, die mit in 2 nicht gezeigten Unterdruckverbindungen verbunden sind, und durch welche ein auf dem Auflagebereichen 3 aufliegendes Substrat mit Unterdruck beaufschlagt werden kann, so dass hierdurch das Substrat an der Adaptervorrichtung 1 reversibel fixierbar ist. Die Präsenz eines Substrats an einer Adaptervorrichtung gemäß 2 wird aufgrund einer Druckmessung mit einem in 2 nicht gezeigten Drucksensor detektiert. Wenn nämlich der an sämtlichen Bohrungen 7 anliegende Unterdruck einen vorgebbaren Wert übersteigt, ist ein Substrat auf der Adaptervorrichtung 1 fixiert. Am äußeren Rand des Trägers 2 ragen jeweils Vorsprünge 8 ab, die jeweils einen nach innen gerichteten, abgeschrägten Bereich 9 aufweisen. Ein auf der Adaptervorrichtung 1 zur Auflage kommendes Substrat kommt mit seinem äußeren Rand in radialer Richtung an den abgeschrägten Bereichen 9 zur Anlage und wird hierdurch bezüglich der Adaptervorrichtung 1 bzw. des Trägers 2 zentriert. Die äußeren Maße des Substrats korrespondieren hierbei zu der räumlichen Anordnung der Vorsprünge 8 bzw. der abgeschrägten Bereiche 9.
• 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Adaptervorrichtung 1, die einen Träger 2 und drei Auflagebereiche 3 aufweist. Die Auflagebereiche 3 gemäß diesem Ausführungsbeispiel sind aus dem selben Material wie der Träger 2 hergestellt. Am Randbereich der Auflagebereiche 3 sind jeweils Klammern 10 vorgesehen, deren oberes Ende um eine am Träger 2 angeordnete und im Wesentlichen tangential ausgerichtete Achse von außen nach innen bzw. umgekehrt sich verschwenken lassen. Die Klammern 10 sind lediglich zur einfachen Darstellung in Form von Erhebungen bzw. Vorsprüngen gezeigt. Die Präsenz eines Substrats an der Adaptervorrichtung 1 aus 3 wird mit einem nicht gezeigten elektrischen Sensor detektiert.
• Abschließend sei ganz besonders darauf hingewiesen, dass die voranstehend erörterten Ausführungsbeispiele lediglich zur Beschreibung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken.

1

Adaptervorrichtung

2

Träger von (1)

3

Auflagebereich von (1)

4

optische Sensor

5

Lichtquelle von (3)

6

lichtempfindlicher Detektor von (3)

7

Bohrung

8

Vorsprung am Rand von (2)

9

abgeschrägter Bereich von (8)

10

Klammer

Claims (23)

1. Adaptervorrichtung für eine Substrat-Arbeitsstation, wobei die Substrat-Arbeitsstation mindestens einen Substratträger aufweist, welcher ein mit der Substrat-Arbeitsstation zu verarbeitendes Substrat zum Transport und/oder zum Handhaben von einer Seite her im Wesentlichen mittig aufnimmt, dadurch gekennzeichnet, dass die Adaptervorrichtung (1) an einem Substratträger der Substrat-Arbeitsstation reversibel adaptierbar ist und dass die Adaptervorrichtung (1) derart ausgebildet ist, dass das Substrat lediglich im Wesentlichen an seinem Randbereich von der Adaptervorrichtung (1) aufnehmbar ist.
2. Adaptervorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Aufnahme des Substrats von einer Seite her, vorzugsweise von der Unterseite her.
3. Adaptervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat an der Adaptervorrichtung (1) reversibel fixierbar ist, vorzugsweise mittels Unterdruck.
4. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch mindestens einen Auflagebereich (3), mit dem ein Substrat durch Auflage aufnehmbar ist, und dass vorzugsweise das Substrat am Auflagebereich (3) aufgrund der Gewichtskraft des Substrats und/oder mittels Adhäsionskraft des Substrats am Auflagebereich (3) an der Adaptervorrichtung (1) reversibel fixierbar ist.
5. Adaptervorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflagebereich (3) über einen gesamten Umfang ringförmig ausgebildet ist oder dass der Auflagebereich (3) einzelne Ring- oder Segmentabschnitte aufweist.
6. Adaptervorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Segmentabschnitte rechteck-, vieleck- oder kreisförmig ausgebildet sind.
7. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflagebereich (1) – vorzugsweise reinraumtaugliches – Gummi, Peek, Metall und/oder Kunststoff aufweist.
8. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei ein Substratträger zur Fixierung eines Substrats mit Unterdruck beaufschlagbar ist, gekennzeichnet durch ein Mittel (7), das den am Substratträger anliegenden Unterdruck zur Fixierung des Substrats an der Adaptervorrichtung (1) nutzt.
9. Adaptervorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel (7) einen Kanal oder eine Verbindungsleitung aufweist, mit welchem der am Substratträger anliegende Unterdruck zu einem Auflagebereich (3) leitbar ist, an welchem das Substrat an der Adaptervorrichtung (1) aufliegt.
10. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch ein Greif- und/oder Klammermittel (10), mit welchem das Substrat greifbar oder klammerbar ist, wodurch das Substrat an der Adaptervorrichtung (1) fixierbar ist.
11. Adaptervorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Greif- und/oder Klammermittel (10) mittels Über- oder Unterdruck betätigbar ist, wobei vorzugsweise mindestens ein Kanal oder eine Verbindungsleitung vorgesehen ist, mit welchem/welcher der am Substratträger anliegende Über- oder Unterdruck zu einem Greif- und/oder Klammermittel (10) leitbar ist.
12. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch eine zumindest teilweise komplementäre Ausbildung zu einem Substratträger, wobei vorzugsweise die Adaptervorrichtung (1) derart ausgebildet ist, dass ein Substratträger und die daran adaptierte Adaptervorrichtung (1) im Wesentlichen die Ausmaße des Substratträgers ohne Adaptervorrichtung (1) aufweist.
13. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch eine reversible Fixierung an einem Substratträger mittels mindestens einer Schraub-, Bajonett-, Rast- oder Unterdruckverbindung.
14. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, gekennzeichnet durch ein an der Substrat-Arbeitsstation und/oder an dem Substratträger und/oder an der Adaptervorrichtung (1) vorgesehenes Sensormittel (4, 5, 6), mit welchem die Präsenz eines Substrats an der Adaptervorrichtung (1) detektierbar ist.
15. Adaptervorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensormittel (4, 5, 6) die Präsenz eines Substrats optisch, beispielsweise durch eine Reflexionslichtmessung, oder elektronisch, beispielsweise kapazitiv oder induktiv, detektiert.
16. Adaptervorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Präsenz eines Substrats an der Adaptervorrichtung (1) anhand einer Druckmessung detektierbar ist, insbesondere wenn das Substrat mittels Unterdruck an der Adaptervorrichtung (1) fixierbar ist.
17. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Sensormittel (4, 5, 6) die Position des Substrats an der Adaptervorrichtung (1) bestimmbar ist.
18. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, gekennzeichnet durch eine dem Substrat zugewandte Seite, die im Wesentlichen eben ausgebildet ist, wobei am äußeren Randbereich der Adaptervorrichtung (1) ein Vorsprung (8) abragen kann, an welchem der äußere Rand des Substrats in radialer Richtung zur Anlage kommen kann.
19. Adaptervorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorsprung (8) abgeschrägte Bereiche (9) aufweist, mit welchen eine Zentrierung des Substrats relativ zu der Adaptervorrichtung (1) erzielbar ist.
20. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19, gekennzeichnet durch eine im Wesentlichen ovale, kreisrunde, sternförmige oder kreuzförmige Ausbildung der dem Substrat zugewandten Seite der Adaptervorrichtung (1).
21. Adaptervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Adaptervorrichtung (1) derart ausgebildet ist, dass damit Substrate unterschiedlicher Größen oder Durchmesser aufnehmbar sind.
22. Adaptervorrichtung für eine Substrat-Arbeitsstation, wobei die Substrat-Arbeitsstation mindestens einen Substratträger aufweist, welcher ein mit der Substrat-Arbeitsstation zu verarbeitendes Substrat zum Transport und/oder zum Handhaben von einer Seite her im Wesentlichen am Randbereich aufnimmt, dadurch gekennzeichnet, dass die Adaptervorrichtung (1) an einem Substratträger der Substrat-Arbeitsstation reversibel adaptierbar ist und dass die Adaptervorrichtung (1) derart ausgebildet ist, dass das Substrat lediglich im Wesentlichen an einem mittigen Bereich von der Adaptervorrichtung (1) aufnehmbar ist.
23. Substrat-Arbeitsstation mit mindestens einem Substratträger, der ein mit der Substrat-Arbeitsstation zu verarbeitendes Substrat zum Transport und/oder zum Handhaben von einer Seite her im Wesentlichen mittig aufnimmt, gekennzeichnet durch eine an einem Substratträger der Substrat-Arbeitsstation reversibel adaptierbare Adaptervorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 22.