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Die
Erfindung betrifft eine Wirbelstromsensoranordnung, insbesondere
zur Weg- oder Winkelmessung gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1, sowie ein Verfahren zur Weg- oder Winkelmessung
mittels eines Wirbelstromsensors gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs
12.
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Wirbelstromsensoren
werden heute insbesondere als Näherungssensoren
zur Abstandsmessung oder zur Positionsbestimmung beweglicher Teile
eingesetzt. Aus dem Stand der Technik bekannte Wirbelstromsensoren
umfassen üblicherweise
einen Sensor mit einer Spule, die mit einem leitfähigen Geber
zusammenwirkt und arbeiten im wesentlichen nach folgendem Prinzip:
Die
Spule wird mit einem hochfrequenten Strom betrieben und erzeugt
in ihrer näheren
Umgebung ein hochfrequentes magnetisches Feld, das im Geber Wirbelströme hervorruft.
Die Wirbelströme
erzeugen ihrerseits wiederum ein dem Magnetfeld der Spule entgegengesetztes
magnetisches Feld. Je nach Abstand zwischen Sensor und Geber, der
Leitfähigkeit sowie
der im Feldbereich befindlichen Geberfläche ist dieses Gegenfeld unterschiedlich
groß.
Die Spule zeigt somit je nach Abstand, Leitfähigkeit und Fläche eine
unterschiedliche Ersatzinduktivität bzw. eine unterschiedliche
komplexe Impedanz. Die Induktivität der Spule kann auf verschiedene
Weise, z.B. durch Messung der Resonanzfrequenz eines aus der Spule und
einem Kondensator bestehenden LC-Schwingkreises ermittelt und daraus
der Abstand bestimmt werden.
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Die
aus dem Stand der Technik bekannten Wirbelstromsensoren dienen üblicherweise
zur Abstandsmessung oder Positionsbestimmung. Wirbelstromsensoren,
die zur Weg- oder Winkelmessung eingesetzt werden können, sind
aus dem Stand der Technik dagegen nicht bekannt.
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Es
ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Wirbelstromsensor
zur Weg- oder Winkelmessung zu schaffen. Dabei sollte ein zurückgelegter
Winkel bzw. Weg im gesamten Messbereich eindeutig dargestellt werden
können.
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Gelöst wird
diese Aufgabe gemäß der Erfindung
durch die im Patentanspruch 1 sowie im Patentanspruch 12 angegebenen
Merkmale. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand
von Unteransprüchen.
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Ein
wesentlicher Aspekt der Erfindung besteht darin, eine Wirbelstromsensoranordnung
mit einem Geber zu realisieren, der zwei periodische Spuren aufweist,
von denen die eine eine erste Anzahl von Periodensegmenten und die
andere eine unterschiedliche zweite Anzahl von Periodensegmenten aufweist.
Die Spuren werden jeweils von einem Sensor abgetastet und aus den
Sensorsignalen jeweils ein Messwert (z.B. ein Winkel φ1, φ2) bestimmt.
Aus der Differenz der Messwerte lässt sich dann der absolute
Wert der Messgröße (Weg
oder Winkel) nach dem Noniusprinzip bestimmen. Der Vorteil von zwei abgetasteten
Spuren mit einer unterschiedlichen Anzahl von Segmenten besteht
somit darin, dass die Sensorsignale der beiden Sensoren nach dem
Noniusprinzip ausgewertet werden können. Durch diese Art der Signalauswertung
kann eine Weg- oder Winkelinformation über den gesamten Messbereich
eindeutig ermittelt werden.
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Die
Spuren sind vorzugsweise derart gebildet, dass sich die komplexe
Impedanz der Spule und somit ein entsprechendes Sensorsignal der
Sensoren mit zurückgelegtem
Weg stetig ändert.
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Zu
diesem Zweck kann eine Spur eine in Bewegungsrichtung variierende
Geometrie, Leitfähigkeit,
eine variierende wirksame Fläche,
eine variierende Dotierung, ein variierendes Verhältnis an
leitfähigen
zu nicht-leitfähigen
Bereichen (z.B. Lochspur oder Spur mit leitfähigen und nicht-leitfähigen Streifen)
oder eine andere variierende Eigenschaft aufweisen, die eine kontinuierliche Änderung
der komplexen Spulenimpedanz während
des Abtastens bewirkt.
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Die
Spur kann z.B. aus einem leitfähigen
Material bestehen, das in definierten Abständen nichtleitende Bereiche
(z.B. Löcher)
aufweist, deren Dichte oder Größe sich
in Bewegungsrichtung ändert.
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Gemäß einer
anderen Ausführungsform
der Erfindung ist die dem Sensor gegenüberliegende wirksame Fläche der
Spur kontinuierlich zu- oder abnehmend gebildet. Unter dem Begriff „wirksame
Fläche" wird dabei diejenige
Fläche
der leitfähigen
Spur verstanden, die zur Erzeugung von Wirbelströmen und damit zur Erzeugung
eines dem Feld der Spule entgegengerichteten Feldes beiträgt.
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Bezüglich des
Gebers wird darauf hingewiesen, dass die beiden Spuren des Gebers
nicht auf dem gleichen Träger
angeordnet sein müssen.
Vielmehr können
die Spuren auch räumlich
getrennt voneinander angeordnet sein. Unter dem Begriff "Geber" ist daher jede Geberanordnung,
wie z.B. zwei Geberräder,
zu verstehen, die wenigstens zwei Spuren mit unterschiedlicher Segmentzahl
aufweisen.
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Bei
Betrieb des Wirbelstromsensors bewegen sich Sensor und Geber vorzugsweise
in gleichbleibendem Abstand relativ zueinander in Bewegungsrichtung.
Dies hat den Vorteil, dass bei der Auswertung der Spuleninduktivität bzw. Spulenimpedanz der
Abstand zwischen Spule und Geber nicht berücksichtigt werden muss und
somit die Auswertung einfacher ist. Da sich das Gegenfeld mit zunehmendem
Abstand abschwächt,
müsste
andernfalls der Abstand berücksichtigt
werden.
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Um
die Messanordnung gegen eine mögliche
Variation des Abstands unempfindlich zu machen, kann die Signalauswertung
z.B. nach dem Differenzprinzip durchgeführt werden. D.h. es wird der Messwert
aus der Differenz zweier Sensorsignale ermittelt, wobei die Sensoren
mechanisch gekoppelt sind und somit die gleiche Abstandsänderung
bei einer Bewegung mitmachen. Der Einfluss des Abstandes kürzt sich
bei der Differenzbildung heraus. Eine mögliche Messanordnung kann z.B.
einen ersten Sensor umfassen, der eine erste Spur, und einen zweiten
Sensor, der eine zweite (z.B. komplementäre) Spur abtastet. Die Spuren
sind vorzugsweise so gestaltet, dass sich das Differenzsignal bei
Abtastung kontinuierlich ändert.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung ist die Spur derart gestaltet, dass sich die Impedanz
der Spule bzw. ein entsprechendes Sensorsignal mit zurückgelegtem
Weg sinusförmig ändert. Dies
erlaubt eine besonders einfache Auswertung des Sensorsignals.
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Die
Geberspur hat vorzugsweise eine stetige, insbesondere sinusähnliche
laterale Kontur. Die Spur ist ferner vorzugsweise bezüglich einer
in Bewegungsrichtung verlaufenden Mittellinie symmetrisch gebildet.
Durch diese Gestalt verändert
sich die komplexe Impedanz der Spule sinusförmig und kann somit einfach
ausgewertet werden.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung unterscheidet sich die Anzahl der Segmente der beiden
Spuren genau um ein Segment. Dies hat den Vorteil, dass die Differenz
der aus den Sensorsignalen der beiden Sensoren ermittelten Messwerte
genau die gesuchte absolute Weg- bzw. Winkelinformation ergibt.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung wird aus den Sensorsignalen jeweils eine Größe ermittelt,
die eine Weg- oder Winkelinformation repräsentiert. (Diese Grösse muss
nicht über den
gesamten Messbereich eindeutig sein). Die eindeutige Weg- oder Winkelinformation
wird schließlich aus
der Differenz der beiden Größen ermittelt.
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Im
Rahmen der Messwertbestimmung wird vorzugsweise aus der Differenz
der beiden Sensorgrößen (φ1, φ2) eine
Segmentnummer eines Segments ermittelt, das gerade von einem der
Sensoren abgetastet wird, und unter Berücksichtigung der Segmentnummer
der absolute Weg bzw. Winkel ermittelt. Auf diese weise kann die
Messgenauigkeit wesentlich erhöht
werden.
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Bei
Verwendung einer erfindungsgemäßen Wirbelstromsensoranordnung
zur Winkelmessung sind die beiden Spuren vorzugsweise auf unterschiedlichen
Geberrädern
angeordnet. Dabei können die
Spuren z.B. auf einer Seitenfläche
oder der Umfangsfläche
der Geberräder
angeordnet sein. Die Geberräder
befinden sich an derselben Welle und erfahren den gleichen Drehwinkel.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung umfasst jeder Sensor zwei Spulen, die vorzugsweise um
90° bezüglich eines
Segments versetzt angeordnet sind. (Ein Segment entspricht 360°). Durch
eine Arcustangens-Berechnung oder eine äquivalente Auswertung ist es
daher sehr einfach möglich,
aus beiden Sensorsignalen die relative Lage zu bestimmen. Eine äquivalente
Auswertung ist z.B. die Berechnung mittels eines tabellarischen
Verfahrens (look-up-table)
oder mittels eines iterativen Verfahrens (z.B. CORDIC-Algorithmus).
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Die
Spuren können
z.B. durch Aufbringen einer leitfähigen Folie auf einen nicht-leitfähigen Körper oder
durch Bedampfen eines nicht-leitfähigen Körpers hergestellt werden. Alternativ
kann sie auch aus einem massiven leitfähigen Material, z.B. durch Fräsen oder
Gießen,
hergestellt werden. In diesem Fall steht die Spur z.B. um 2–3 mm aus
dem massiven Material hervor.
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Geeignete
Materialien, aus denen eine Spur hergestellt sein kann, sind insbesondere
Aluminium oder Kupfer.
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Die
Sensorspule bzw. -spulen können
z.B. aus Draht gewickelt oder auf einer Platine, einer flexiblen
Leiterplatte (z.B. als Polyimidfolie) oder einem temperaturbeständigen Substrat,
wie z.B. Keramiksubstrat (Hybridtechnik), oder als gedruckte Ausführung (Printspule)
realisiert sein.
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Die
Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft
näher erläutert. Es
zeigen:
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1 eine
Rückansicht
einer Wirbelstromsensoranordnung mit einer Geberspur zur Darstellung
des Messprinzips;
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2 den
Signalverlauf der Sensorsignale A, B innerhalb einer Periode;
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3 eine
Wirbelstromsensoranordnung mit zwei Spuren zur Wegmessung;
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4 eine
Seitenansicht der Anordnung von 3;
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5a, 5b ein
Geberrad mit drei bzw. vier Segmenten;
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6 eine
Aufsicht auf eine Wirbelstromsensoranordnung mit zwei Geberrädern; und
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7a, 7b Ausführungsformen
eines Gebers mit leitenden und nicht-leitenden Bereichen (Lochblech-Geber).
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1 dient
zur Erläuterung
des grundsätzlichen
Messprinzips einer Wirbelstromsensoranordnung und zeigt einen Sensor 1 mit
zwei Spulen 2, 3 und einen Geber 4 mit
einer leitfähigen
Spur 5, die vom Sensor 1 abgetastet wird. (Die
Spur ist leitfähig aber
vorzugsweise nichtferromagnetisch.) Sensor 1 und Geber 4 sind
hierzu relativ zueinander in Längs- bzw.
Bewegungsrichtung C des Gebers 4 bewegbar.
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Der
Geber 4 ist in diesem Ausführungsbeispiel als Geberband
realisiert, das z.B. entlang eines zu messenden Weges angeordnet
werden kann. Der Sensor ist am beweglichen Teil der Messanordnung befestigt
und tastet die Spur 5 des Gebers 4 ab. Die Sensoranordnung 1, 4 arbeitet
im wesentlichen nach folgendem Prinzip:
Die Spulen 2, 3 werden
jeweils von einem transienten oder wechselförmigen HF-Strom durchflossen,
dessen Frequenz z.B. in einem Bereich zwischen 500kHz und 10MHz
liegt. Dadurch wird in der näheren
Umgebung der Spulen 2, 3 ein ebenso hochfrequentes
magnetisches Feld erzeugt, das wiederum in der leitfähigen Spur 5 des
Gebers 4 Wirbelströme induziert.
Die Wirbelströme
erzeugen ihrerseits wiederum ein dem Magnetfeld der Spulen entgegengesetztes
Magnetfeld.
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Je
nach Größe der den
Spulen 2, 3 gegenüberliegenden leitfähigen Fläche sind
die induzierten Wirbelströme
unterschiedlich groß.
Somit ist auch das Gegenfeld unterschiedlich stark. Dabei gilt grundsätzlich der
Zusammenhang, dass das Gegenfeld bei kleiner wirksamer Fläche klein
und bei großer wirksamer
Fläche
der Spur 5 groß ist.
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Durch
das entgegengesetzte Magnetfeld verändern sich die Ersatzinduktivitäten bzw.
komplexen Impedanzen der Spulen 2, 3 bezüglich ihrer
Anschlussklemmen. Steht einer Spule 2, 3 z.B. ein
Knoten 7 (kleine Fläche)
gegenüber,
so hat diese Spule 2, 3 eine große Ersatzinduktivität und somit
eine betragsmäßig große komplexe
Impedanz. Steht der Spule hingegen ein Bauch 8 (große Fläche) gegenüber, so
weist diese Spule 2, 3 eine kleine Ersatzinduktivität und somit
eine betragsmäßig kleine
komplexe Impedanz auf. Die Induktivitätsänderung kann durch eine Auswerteeinheit 13 (siehe 4)
erfasst werden, die beispielsweise die Resonanzfrequenz eines LC-Schwingkreises,
bestehend aus jeweils einer Spule 2, 3 und einer
(parasitären)
Kapazität
ermittelt und daraus die Messgröße (Weg
oder Winkel) bestimmt.
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Wie
zu erkennen ist, ist die Spur 5 periodisch und umfasst
mehrere Segmente 11. Die leitfähige Spur 5 ist außerdem derart
gestaltet, dass sich ihre wirksame Fläche, d.h. die zur Erzeugung
eines Gegenfeldes beitragende Fläche,
mit zurückgelegtem Weg
s sinusförmig ändert. Die
Spur hat ferner eine sinusförmige
Kontur 9 und ist bezüglich
einer in Längsrichtung
C verlaufenden Mittelachse symmetrisch gebildet. Dadurch wird die
Messanordnung gegen einen seitlichen Offset des Sensors 1 bezüglich der Mitte
der Spur 5 relativ unempfindlich.
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2 zeigt
den Verlauf der Ersatzinduktivitäten
der Spulen 2, 3 bei Abtastung einer vollen Periode
(zwischen s0 und s1) der leitfähigen
Spur 5. Dabei bezeichnet A den Verlauf der Ersatzinduktivität bzw. komplexen
Impedanz der ersten Spule 2 und B den entsprechenden Verlauf
der zweiten Spule 3.
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Da
die zweite Spule 3 in einem Abstand von 90° (eine Periode
entspricht 360°)
in Längsrichtung
C der sinusähnlichen
Kontur 8 angeordnet ist, zeigt die erste Spule 2 eine
cosinusförmige
Impedanzänderung
und die zweite Spule 3 eine sinusförmige Impedanzänderung.
Die Position des Sensors 1 relativ zur Spur 5 kann
somit durch Arcustangens-Berechnung in einfacher Weise ermittelt
werden.
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Ein
Nachteil der in 1 dargestellten Auswertung besteht
darin, dass sie nur innerhalb einer Periode eindeutig ist.
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3 zeigt
eine Wirbelstromsensoranordnung, mit der ein Weg S eindeutig und
kontinuierlich bestimmt werden kann. Die Anordnung umfasst zwei Spuren 5, 6,
die jeweils von einem Sensor 1a, 1b abgetastet
werden, wobei jeder Sensor einen Messwert (z.B. einen Phasenwinkel φ) liefert.
Aus den beiden Messwerten (φ1, φ2) lässt sich
dann unter Anwendung des Noniusprinzips die relative Position S
bestimmten.
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Die
Signalauswertung nach dem Noniusprinzip funktioniert dabei wie folgt:
Bezeichnet
man den Winkel innerhalb einer Periode (z.B. von Knoten 7 zu
Knoten 7) als Periodenwinkel φ, der Werte zwischen φ = 0 und
360° annehmen kann,
und ψ als
einen absoluten Winkel (mit ψ =
0° am Anfang
des Messbereichs und ψ =
360° am
Ende des Messbereichs), so gilt für die Spur 5 mit p
Segmenten 11: φ1 = p·ψ undfür die Spur 6 mit p
+ n Segmenten (p, n ganzzahlig): φ2 = (p +
n)·ψ
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Bildet
man nun die Differenz der Periodenwinkel φ1, φ2, so ergibt sich ein resultierender
Winkel φerg, mit φerg = φ2 – φ1 = (p +
n)·ψ – p·ψ = n·ψ, d.h. φerg = n·ψ
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Wenn
sich die beiden Spuren nur um ein Segment 11 unterscheiden,
gilt n = 1 und somit φerg = ψ
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Im
Falle er Wegmessung von 2 kann dieser absolute Winkel ψ einfach
in einen gesuchten Weg s umgerechnet werden, z.B. mit S
= ψ·L/360°. wobei
L die Länge
des Messbereichs ist.
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4 zeigt
eine Seitenansicht der Anordnung von 3. Wie zu
erkennen ist, umfasst die Sensoranordnung einen zweiteiligen Geber 4a, 4b mit
jeweils einer bandförmigen,
leitfähigen
Spur 5, 6, die von jeweils einem Sensor 1a, 1b abgetastet
wird. Sensor 1a, 1b und Geber 4a, 4b sind
dabei durch einen Luftspalt d voneinander beabstandet.
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Jeder
der Sensoren 1a, 1b umfasst zwei Spulen 2, 3,
deren Signale A, B an die Auswerteeinheit 13 übertragen
werden. Diese berechnet daraus die Phasenwinkel φ1 bzw. φ2 und unter Anwendung des Nonius-Prinzips
einen Winkel ψ bzw.
einen Weg s, wie vorstehend beschrieben wurde.
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5a zeigt
ein Geberrad zur Winkelmessung mit einer Spur 5. Die Fläche der
Spur 5 ist derart gestaltet, dass sich die Ausgangssignale
der Sensoren 1a, 1b möglichst sinusförmig ändern.
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Die
Spur 5 hat im vorliegenden Fall drei Segmente 11,
die jeweils einen mechanischen Winkel ψ von 120° abdecken.
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5b zeigt
ein Geberrad 12 mit einer Spur 6, die vier Segmente 11 aufweist.
Jedes der Segmente 11 entspricht einem mechanischen Winkel
von 90°.
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Die
Spuren 5, 6 sind im dargestellten Ausführungsbeispiel
auf zwei unterschiedlichen Geberrädern 12 angeordnet,
können
aber auch auf einem einzigen Geberrad 12 angeordnet sein.
Statt auf den Seitenflächen
der Geberräder 12 können die
Spuren 5, 6 auch auf der Umfangsfläche vorgesehen
werden.
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6 zeigt
die beiden Geberräder 12 der 5a, 5b,
die übereinander
an einer Welle 14 angeordnet sind. Die Welle 14 zusammen
mit den Geberrädern 12 kann
in Richtung des Pfeils D rotieren. Jede Spur wird dabei von einem
Sensor (nicht gezeigt) abgetastet.
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Die
relative Lage der Geberräder 12 zueinander
ist grundsätzlich
beliebig, da jeder Offset, soweit bekannt, durch entsprechende Signalauswertung
herausgerechnet werden kann. Vorzugsweise sind die Geberräder 12 jedoch
parallel angeordnet, wobei vorzugsweise ein Knotenpunkt 7 der
einen Spur 5 und ein Knotenpunkt der anderen Spur 6 in Richtung
der Welle 14 fluchtend gegenüber liegen.
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Die
Bestimmung des mechanischen Winkels ψ erfolgt wie vorstehend bezüglich der 2–4 beschrieben.
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Fehlerbetrachtung
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Bei
der Weg- oder Winkelberechnung, wie sie vorstehend beschrieben wurde,
wirkt sich ein Winkelfehler im Periodenwinkel φ1 oder φ2 1:1 als Fehler im Weg s oder
im mechanischen Winkel ψ aus.
Damit wird der Fehler p-mal so groß dargestellt, wie er eigentlich
ist. Dies wird im folgenden Beispiel verdeutlicht:
Ein Fehler
von beispielsweise 3° im
Periodenwinkel φ1
oder φ2
bedeutet im Weg s bzw. im mechanischen Winkel ψ nur einen Fehler von 3°/p. Mit z.B.
p = 8 folgt daraus φerr = 3°/8
= 0,375°mech. Im Ergebniswinkel φerg bzw.
im mechanischen Winkel ψ erscheint dieser
Fehler aber vollständig
als 3°mech.
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Um
den Fehler in der Weg- und Winkelmessung zu reduzieren, wird der
Weg s bzw. der mechanische Winkel ψ nicht unmittelbar aus dem
Ergebniswinkel φerg bestimmt. Aus dem Ergebniswinkel φerg = φ2 – φ1 wird vorzugsweise
nur die Information entnommen, welches der p Periodensegmente 11 gerade
abgetastet wird. D.h., es wird eine Segmentennummer nseg bestimmt.
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Der
gesuchte mechanische Winkel ψ kann nun
aus der Segmentnummer (gezählt
werden die Segmente nseg = 0, 1, 2 ...n)
und der relativen Position innerhalb des gerade abgetasteten Segments 11 bestimmt
werden. Somit gilt: ψ = nsegi·φsegi + φi/p;
mit i = 1, 2
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Dabei
ist φseg der Winkel eines ganzen Segments 11,
also φseg = 360°/p.
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Die
aus dem Ergebniswinkel φerg = φ2 – φ1 bestimmte
Segmentnummer nseg wird vorzugsweise nochmals
durch eine Plausibilitätsabfrage
auf ihre Richtigkeit überprüft. Vorzugsweise
wird der Ergebniswinkel φerg = φ2 – φ1 oder die
Segmentnummer mit dem sensierten relativen Winkel φ1 bzw. φ2 verglichen
und auf Plausibilität
hin überprüft. Dies
wird durch folgendes Beispiel deutlicher:
Angenommen wird eine
Spur 5 mit vier Segmenten mit den Segmentnummern nseg = 0, 1, 2, 3. Jedes Segment hat daher
einen mechanischen Winkel von φseg = 90° mechanisch.
Bei einem Ergebniswinkel φerg von z.B. 179° ergibt sich daraus die Segmentnummer 1.
Der Sensor 1a müsste
in diesem Fall also den Endbereich des zweiten Segments (nseg = 1) abtasten. Ergibt jedoch das Sensorsignal
einen Phasenwinkel von z.B. φ1
= 2°, so
kann daraus geschlossen werden, dass sich der Sensor nicht im zweiten
Segment sondern am Anfang des dritten Segments (nseg =
2) befindet. Der mechanische Winkel ψ ist somit nicht 179° mechanisch,
sondern ψ =
2·90° + 2°/4 = 180,5° mechanisch.
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Die
Segmentnummer nseg lässt sich somit durch Vergleich
mit dem Phasenwinkel φ1
bzw. φ2 korrigieren.
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Die 7a, 7b zeigen
Ausführungsformen
von Geberrädern 4,
die als Lochblech realisiert sind. Die Löcher 15 bilden dabei
nicht-leitfähige
Bereiche, deren Abstand sich in Bewegungsrichtung kontinuierlich ändert. Dadurch ändert sich
die Leitfähigkeit
ortsabhängig
und damit auch die Stärke
der Wirbelströme.
Das Geberrad 4a hat in diesem Ausführungsbeispiel drei Segmente
und das Geberrad 4b vier Segmente. Die Knoten 7 sind
dabei durch eine enge Anordnung und die Bäuche 8 als weiter
beabstandete Anordnung der Löcher 15 gekennzeichnet.
Alternativ könnte
z.B. auch die Größe der Löcher 15 variieren,
wodurch der gleiche Effekt erzielt werden kann.
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Die
Geber 4 könnten
auch aus einer photoresist beschichteten Leiterplatte hergestellt
sein, aus der unterschiedlich viele bzw. unterschiedlich große Löcher freigeätzt sind,
so dass sich die resultierende Leitfähigkeit kontinuierlich mit
dem Weg ändert.
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- 1
- Sensor
- 2
- Erste
Spule
- 3
- Zweite
Spule
- 4a,
4b
- Geber
- 4
- Spur
- 5
- Spur
- 6
- Spur
- 7
- Knoten
- 8
- Bauch
- 9
- Laterale
Kontur
- 10
- Träger
- 11
- Segment
- 12
- Geberrad
- 13
- Auswerteeinheit
- 14
- Welle
- 15
- Löcher
- A,
B
- Sensorsignale
- C
- Bewegungsrichtung
- D
- Rotationsrichtung
- s
- Weg
- ψ
- mechanischer
Winkel
- φ
- Phasenwinkel