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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Sensoranordnung sowie
auf ein Verfahren zur Taupunktmessung auf Basis von miniaturisierten
Peltierelementen.
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Sensoranordnungen
und Verfahren zur Taupunktmessung bzw. zur Bestimmung des Zeitpunkts einer
eintretenden Kondensation von Feuchtigkeit in der Umgebungsluft
sind aus dem Stand der Technik bereits bekannt. Die bekannten Taupunktsensoren bzw.
-nachweisverfahren lassen sich nach ihrem Prinzip in optische Sensoren
bzw. Verfahren (Streulichtmessung bzw. Reflektionsmessung), akustische Sensoren
bzw. Verfahren und kapazitive Sensoren bzw. Verfahren untergliedern.
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Bei
den optischen Sensoren (wie z.B. bei Taupunktspiegeln) wird die
Kondensatbildung optisch erfasst, wobei entweder das direkt reflektierte Licht
gemessen und eine Intensitätsabschwächung bei
Kondensation registriert wird oder das durch die Kondensation erzeugte
Streulicht gemessen wird. Nachteile der optischen Messverfahren
sind die hohen Kosten sowie die hohe Empfindlichkeit der Anordnung
gegenüber
Verunreinigungen: Mikroskopische Verunreinigungen wie Salze können beispielsweise
zu einer Änderung
des Wasserdampfdruckes und somit zu Messfehlern führen.
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Die
akustischen Taupunktsensoren bzw. -nachweisverfahren basieren auf
einem ähnlichen Prinzip
wie die Taupunktspiegel, nur dass bei diesen Sensoren bzw. Verfahren
die Detektion der Kondensation auf der gekühlten Oberfläche durch
Surface-Acoustic-Wave-Technology
(kurz: SAW) erfolgt. Nachteile dieser Sensoren bzw. Verfahren bestehen in
der komplizierten Messtechnik, die für die Auswertung des Messsignals
notwendig ist.
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Bei
den kapazitiven Sensoren bzw. Verfahren wird die Änderung
der relativen Dielektrizitätskonstante
im Streufeld eines Kondensators bei der Betauung des Umfeldes ausgewertet.
Solche Sensoren bestehen im Wesentlichen aus einem Chip, meist versehen
mit einer kammförmig
verzahnten Elektrodenstruktur (sogenannter Interdigitalkondensator, kurz:
IDK) für
die Kapazitätsmessung,
einem Temperaturfühler
sowie einem Peltierelement zur Kühlung des
Chips. Schlägt
sich Wasser auf der Sensoroberfläche
nieder, verursacht dieses aufgrund seiner großen Dielektrizitätskonstante
eine schlagartige Änderung
der Sensorkapazität,
da die Dielektrizitätskonstante
von Wasser wesentlich größer als
die Dielektrizitätskonstante
von Luft ist ε Luft / r ≈ 1.
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Zur
Kühlung
der zu betauenden Sensoroberfläche
werden bei den Sensorandordnungen nach dem Stand der Technik hauptsächlich Peltierelemente
eingesetzt. Dazu werden die sensorisch aktiven Bauelemente (wie
z.B. der Sensorchip bzw. die Spiegel) auf den Peltierelementen aufgebracht
bzw. befestigt (beispielsweise durch Aufkleben). Durch das Aufbringen
eines solchen sensorisch aktiven Bauelementes (beispielsweise des
Spiegels bzw. des Sensorchips) ergibt sich eine große thermische
Masse der Anordnung, welche zu hohen Zeitkonstanten bei der Kondensatbildung
führt.
Das Verdunsten der Feuchtigkeit von der Sensoroberfläche geschieht
in der Regel durch Abschalten oder Aufheizen des Peltierelementes.
Daher ergibt sich für
die Taupunktmessgeräte
bzw. Anordnungen nach dem Stand der Technik auch eine hohe Zeitkonstante
für die
Verflüchtigung
der Oberflächenfeuchtigkeit.
Insgesamt ergibt sich somit für
die Taupunktmessgeräte
nach dem Stand der Technik eine hohe Zeitkonstante und eine niedrige
Messfrequenz.
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Ein
weiteres Problem bei den Taupunktmessgeräten nach dem Stand der Technik
ist die Eisbildung. Besonders bei hohen Feuchtewerten gefriert bei
zu schneller Abkühlung
die kondensierte Feuchtigkeit und es bildet sich eine dünne Eisschicht
(siehe hierzu beispielsweise auch die Patentschrift
DE 102 16 895 A1 ). Diese
Eisschicht kann aufgrund der geringen Dielektrizitätskonstante ε Eis / r ≈ 3 nur schwer
von der umgebenden Luft unterschieden werden bzw. bei der Verwendung
von Taupunktspiegeln sind aufwendige Korrekturen notwendig.
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Heutzutage
verwendete kapazitive Streufeldsensoren bzw. Taupunktmessanordnungen
haben darüber
hinaus den Nachteil, dass nur eine relativ geringe Kapazität gemessen
wird. Hierdurch erhöht
sich der messtechnische Aufwand sowie die Anfälligkeit der Apparaturen für Messfehler.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es daher ausgehend vom Stand der
Technik, eine Sensoranordnung zur Taupunktmessung und ein entsprechendes
Taupunktmessverfahren zur Verfügung zu
stellen, welche bzw. welches eine deutlich reduzierte Ansprechzeit
bzw. eine deutlich erhöhte
Messfrequenz erlaubt. Aufgabe der erfindungsgemäßen Sensoranordnung und des
erfindungsgemäßen Messverfahrens
ist darüber
hinaus eine Erhöhung der
Messempfindlichkeit.
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Die
erfindungsgemäße Aufgabe
wird durch ein Taupunktsensorelement gemäß Patentanspruch 1 sowie ein
Verfahren zur Taupunktbestimmung nach Patentanspruch 21 gelöst. Vorteilhafte
Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Sensors sowie des erfindungsgemäßen Verfahrens
werden in den jeweiligen abhängigen
Patentansprüchen
beschrieben.
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Bei
der erfindungsgemäßen Sensoranordnung
werden eine Elektrodenstruktur, ein Temperaturfühler und ein aktiv beheizbares
Heizelement direkt auf bzw. unmittelbar angrenzend an ein Peltierelement
aufgebracht bzw. angeordnet. Das Aufbringen bzw. die Anordnung geschieht
hierbei auf der Kaltseite des Peltierelementes. Besonders geeignet sind
miniaturisierte Peltierelemente, welche vorteilhafterweise in Dünnschichttechnik
gefertigt sind. Solche sind aus der
DE 198 45 104 A1 bekannt.
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Die
erfindungsgemäße Sensoranordnung hat
den Vorteil, dass aufgrund ihrer geringen thermischen Masse und der
daraus resultierenden geringen Ansprechzeit (Millisekundenbereich)
die Zeitkonstante für
die Kondensatbildung erheblich reduziert werden kann. Durch das
Aufbringen des aktiv beheizbaren Heizelementes direkt auf die Kaltseite
des Peltierelementes kann zudem die Feuchtigkeit auf der Oberfläche sehr
schnell verdunstet werden und durch ein erneutes Abkühlen wiederum
sehr schnell ein neuer Messzyklus begonnen werden. Aufgrund der
reduzierten Ansprechzeit und der verkürzten Verdunstungsperioden
wird die maximale Messfrequenz somit deutlich gesteigert. Dies bringt
speziell bei Einsätzen
in Steuerungs- und Regelvorgängen
große Vorteile.
Zudem wird durch das direkte Aufbringen der sensorisch aktiven Strukturen
(Elektrodenstruktur sowie Temperaturfühler und Heizelement) eine kompaktere
Bauform des Sensorelementes erreicht, da kein zusätzlicher
Chip für
die Elektrodenstruktur mehr notwendig ist.
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In
einer vorteilhaften Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Sensorelementes
wird durch Erzeugung und Verwendung eines möglichst homogenen elektrischen
Feldes zur Messung der Dielektrizitätskonstanten die zu messende
Kapazität
erheblich erhöht.
Dies geschieht durch eine geeignete Strukturierung der Elektroden:
Um einen möglichst
hohen homogenen Anteil des angelegten elektrischen Feldes zu erreichen,
liegt der Wert des Verhältnisses
der Dicke (in Richtung senkrecht zur Sensoroberfläche) der
Interdigitalelektroden zum Abstand der einzelnen Interdigitalelektroden
voneinander (in Richtung parallele zur Sensoroberfläche) vorzugsweise
im Bereich von 0.5 bis 10 und ist hierbei insbesondere bevorzugt größer als
1.0.
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Ein
solches Dicken-zu-Abstandsverhältnis kann
durch die photolitographische Strukturierung von speziellen Photoresists
mit einem sehr hohen Aspektverhältnis
oder durch besondere Ätzverfahren erreicht
werden.
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Aufgrund
dieses erfindungsgemäßen Dicken-zu-Abstandsverhältnisses
der Interdigitalelektroden sind die elektrisch leitenden Interdigitalelektroden
vorteilhafterweise mit einer dünnen
elektrisch isolierenden Schicht bedeckt. Hierdurch werden Kurzschlüsse, welche
durch Tropfenbildung verursacht werden könnten, verhindert. Diese zur
Passivierung verwendete dünne
elektrisch isolierende Schicht kann beispielsweise aus Polymeren
oder gassensitiven Metalloxiden, insbesondere aus SiO2 oder
Si3N4 bestehen.
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Das
erfindungsgemäße Dicken-zu-Abstandsverhältnis der
Interdigitalelektroden hat den Vorteil einer erhöhten Homogenität des zur
Messung der Dielektrizitätskonstanten
verwendeten elektrischen Feldes, wodurch die zu messende Kapazität sowie
die Messempfindlichkeit deutlich erhöht werden. Hierdurch reduziert
sich der messtechnische Aufwand sowie die Anfälligkeit für Messfehler.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltungsvariante werden zur Vermeidung
von Messfehlern aufgrund eintretender Eisbildung erfindungsgemäß zwei Elektrodenstrukturen,
vorteilhafterweise zwei identische Elektrodenstrukturen, auf die
Kaltseite eines Peltierelements aufgebracht, wobei sich unter einer
der Elektrodenstrukturen eine zusätzliche thermisch isolierende
Schicht befindet. Diese Schicht weist eine geringe spezifische Wärmeleitfähigkeit auf.
Unter der anderen Elektrodenstruktur befindet sich keine solche
thermisch isolierende Schicht. Durch eine solche Anordnung entsteht
während
des Abkühlvorgangs
zwischen den beiden Elektrodenstrukturen ein Temperaturgra dient,
d.h. die Elektrodenstrukturen befinden sich kontinuierlich auf einem unterschiedlichen
Temperaturniveau (der benötigte Temperaturgradient
kann über
die Dicke der thermisch isolierenden Schicht eingestellt werden).
Aus diesem Grund findet eine Vereisung zuerst auf der Elektrodenstruktur
ohne thermisch isolierende Unterlage statt (Referenzelektrode).
Der Eintritt der Vereisung auf der Elektrodenstruktur ohne thermisch
isolierende Unterlage kann dann mit entsprechenden Verfahren (beispielsweise
resistiv oder optisch) detektiert werden. Bei der beschriebenen
Anordnung wird solange abgekühlt,
bis auf der Elektrodenstruktur ohne zusätzliche thermisch isolierende
Schicht eine Vereisung eintritt. Diese Vereisung bzw. deren Eintrittszeitpunkt
wird bestimmt und das solchermaßen
bestimmte Messsignal bzw. der Zeitpunkt der Vereisung wird dazu
verwendet, den Abkühlprozess des
Peltierelementes so zu verlangsamen, dass eine Eisbildung auf der
zweiten Elektrode (die im Gegensatz zu der als Referenzelektrode
verwendeten Elektrodenstruktur ohne thermisch isolierende Schicht
als Messelektrode verwendet wird) verhindert wird.
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Vorteil
dieser Anordnung ist, wie bereits beschrieben die Vermeidung von
Messfehlern aufgrund von eintretender Eisbildung.
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Weitere
Vorteile der erfindungsgemäßen Taupunktsensoren
bestehen darin, dass ein erfindungsgemäßer Taupunktsensor keine weiteren
Bauteile benötigt
und speziell bei Verwendung von Dünnschichtpeltierelementen auf
Waverbasis produziert werden kann. Aus diesem Grund kann vorteilhafterweise
die Ansteuer- und Auswertesteuerelektronik monolithisch integriert
werden. Letzteres bewirkt vor allem bei höheren Stückzahlen einen enormen Kostenvorteil.
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Erfindungsgemäße Taupunktsensoren
können
wie in einem der nachfolgenden Beispiele beschrieben ausgeführt sein
oder verwendet werden. In den Beispielen werden für dieselben
oder sich entsprechenden Bestandteile bzw. Bauteile der Taupunktsensoren
identische Bezugszeichen verwendet.
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Es
zeigt 1 den prinzipiellen erfindungsgemäßen Sensoraufbau.
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Es
zeigt 2 einen Schnitt durch den Sensoraufbau von 1 zur
näheren
Erläuterung
der Elektrodenstruktur.
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Es
zeigt 3 einen Schichtaufbau und eine Sensoranordnung
zur Vermeidung von Messfehlern aufgrund von Vereisung.
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Es
zeigt 4 Temperaturverläufe der Anordnung aus 3.
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1 erläutert den
prinzipiellen Aufbau und die prinzipielle Sensoranordnung eines
erfindungsgemäßen Taupunktsensors.
In dreidimensionaler Ansicht ist zunächst ein Dünnschichtpeltierelement skizziert.
Dieses weist eine Warmseite 3 auf, auf der insgesamt fünf thermoelektrische
Schenkel 2a aus Wismuttellurid Bi2Te3 und fünf
thermoelektrische Schenkel 2b aus Bleitellurid in Form
langgestreckter Quader jeweils abwechselnd an ihren Langseiten miteinander
in Reihenschaltung verbunden sind. Auf der thermoelektrischen Einheit 2 (welche
aus den beiden genannten oder allgemein aus unterschiedlichen thermoelektrischen
Materialien besteht) ist die Kaltseite 1 des Peltierelementes
skizziert. Kaltseite 1, thermoelektrische Einheit 2 und
Warmseite 3 des Peltierelementes sind jeweils vereinfacht
als flache Quader dargestellt. Die Dimension des gezeigten Dünnschichtpeltierelements
(Größe der Oberfläche bzw.
der Kaltseite 1 in der Ebene senkrecht zur Richtung von
Warmseite 3 zu Kaltseite 1) beträgt 0.6 mm × 0.6 mm
(generell beträgt
die genannte Dimension eines im Rahmen der Erfindung eingesetzten
Peltierelementes bevorzugt kleiner 5 mm × 5 mm, bevorzugt kleiner als
1 mm × 1
mm und insbesondere bevorzugt kleiner als 1 μm x 1 μm).
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Die
Kaltseite 1 des Peltierelementes besteht aus einer Grundstruktur 1d,
welche unmittelbar angrenzend an die thermoelektrischen Einheit 2 oberhalb
dieser thermoelektrischen Einheit 2 angeordnet ist. Unmittelbar
angrenzend an die Grundstruktur 1d ist oberhalb der Grundstruktur 1d eine
dünne Isolationsschicht 1a angeordnet.
Die Kaltseite weist darüber
hinaus eine dünne
funktionale Schicht 1b auf, welche unmittelbar angrenzend
an die Isolationsschicht 1a oberhalb der Isolationsschicht 1a angeordnet
ist. Die funktionale Schicht 1b ist aufgebracht, um die
Bekeimung der Sensoroberfläche
zu reduzieren, wodurch eine vorzeitige Kondensatbildung und eine
daraus resultierende Verfälschung
des Messergebnisses unterdrückt
wird. Die Isolationsschicht 1a weist hier eine Dicke von
100 nm auf und besteht aus SiO2. Sie kann
auch aus Si3N4 bestehen.
Generell ist die Isolationsschicht 1a bevorzugt mindestens
10 nm und höchstens
2 μm, insbesondere
bevorzugt 50 bis 300 nm dick. Unter dem Begriff Dicke wird hier
wie im folgenden sofern nichts anderes gesagt die Ausdehnung in
Richtung senkrecht zur Oberfläche
der Kaltseite 1 bzw. in Richtung von der Warmseite 3 zur Kaltseite 1 verstanden.
Die funktionale Schicht 1b weist eine Dicke von 100 nm
auf. Generell ist diese Schicht bevorzugt mindestens 10 nm und höchstens 2 μm dick, besonders
be vorzugt zwischen 50 und 300 nm dick. Die funktionale Schicht 1b besteht
aus einem Polymer. Sie kann auch aus SiO2 oder
ganz generell aus hydrophoben und/oder hydrophilen Materialien bestehen
oder diese aufweisen. Die Grundstruktur 1d besteht aus
Si, kann jedoch auch aus Keramik bestehen. Sie ist 800 μm dick. Ihre
Dicke liegt generell bevorzugt zwischen 100 μm und 4 mm, insbesondere zwischen
500 μm und
1000 μm.
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Erfindungsgemäß sind eine
Elektrodenstruktur 4, ein aktiv beheizbares Heizelement 5 und
ein Temperaturfühler 6 unmittelbar
angrenzend an bzw. direkt auf der funktionalen Schicht 1b angeordnet. Das
im dargestellten Fall U-förmige
aktive Heizelement 5 umschließt hierbei die Elektrodenstruktur 4 bzw.
die Elektrodenstruktur 4 ist innerhalb des Innenraums des „U" angeordnet. Generell
sind für
die Elektrodenanordnung 4 jedoch beliebige, je nach Anordnung
angepasste Elektrodengeometrien möglich. Rechts neben dem aktiven
Heizelement 5 ist an der geöffneten Seite des „U" der Temperaturfühler 6 angeordnet.
An den beiden Enden des balkenförmigen Temperaturfühlers 6 sind
als Verdickungen die Ansteuerkontakte des Temperaturfühlers 6 zu
erkennen. Die beiden Verdickungen an den Enden des U-förmigen aktiven
Heizelements 5 sind ebenfalls Ansteuer- bzw. Verbindungskontakte.
Die Elektrodenstruktur 4 besteht aus zwei einzelnen kammförmigen Elektroden 4a und 4b.
Diese beide Elektroden 4a und 4b sind versetzt
zueinander so angeordnet, dass ihre Enden bzw. die „Zinken" der Kammstruktur reißverschlußförmig ineinander
greifen. In der Schnittebene A-A senkrecht zur Sensoroberfläche erscheinen
somit die einzelnen Enden der kammförmigen Elektroden 4a und 4b jeweils
abwechselnd nebeneinander angeordnet. An ihrem dem Temperaturfühler 6 zugewandten
Ende weisen die Elektroden 4a und 4b ebenfalls
eine Verdickung auf (Ansteuerkontakt).
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Im
dargestellten Fall bestehen die Elektroden 4a und 4b aus
Platin, das aktive Heizelement 5 besteht aus Platin und
der Temperaturfühler 6 besteht
ebenfalls aus Platin. Die Basis des dargestellten Sensorelements
ist das miniaturisierte Peltierelement 1, 2, 3.
Da die Grundstruktur 1d der Kaltseite aus einem elektrisch
leitenden Material besteht (da das vorliegende Peltierelement in
Dünnschicht
gefertigt ist), wird zur Vermeidung von elektrischen Kurzschlüssen die
dünne Isolationsschicht 1a aufgebracht.
Direkt auf der Isolationsschicht 1a befindet sich die dünne funktionale
Schicht 1b, auf der wiederum direkt die Strukturen 4, 5 und 6 aufgebracht
sind. Die Elektrodenstrukturen 4 befinden sich somit direkt auf
der Kaltseite 1 des Peltierelementes. Das aktive Heizelement 5 und
der Temperaturfühler 6 zur
Bestimmung der aktuellen Oberflächentemperatur
befinden sich ebenfalls direkt auf der Kaltseite 1.
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2 als
Schnitt in der Ebene A-A durch die in 1 dargestellte
Anordnung (Schnittebene senkrecht zur Oberfläche des Sensorelementes) zeigt
die Elektrodenstruktur 4 genauer. Zur vereinfachten Darstellung
ist in der Schnittdarstellung der 2 der Schnitt
durch das aktive Heizelement 5 und durch den Temperaturfühler 6 nicht
gezeigt. Zudem sind auch nicht alle angeschnittenen Elektrodenabschnitte
der Elektroden 4a und 4b gezeigt. Unmittelbar
auf der dünnen
funktionalen Schicht 1b sind mehrere nebeneinander angeordnete
Elektrodenabschnitte 4 gezeigt. Aufgrund des reißverschlussförmigen Ineinandergreifens
der Elektroden 4a und 4b (siehe 1)
gehören
die gezeigten Elektrodenabschnitte abwechselnd zu der Elektrode 4a und
der Elektrode 4b. Die Elektroden bzw. Elektrodenabschnitte
sind mit einer dünnen
Isolationsschicht 4c versehen. Die Isolationsschicht 4c umgibt
die Elektroden bzw. Elektrodenabschnitte mit Ausnahme der unmittelbar
an die funktionale Schicht 1b angrenzenden Seite der Elektroden
vollständig.
Bei der Isolationsschicht 4c handelt es sich im dargestellten
Fall um eine polymerbasierte Isolatorschicht. Die Dicke der Elektroden bzw.
der Elektrodenstrukturen 4a, 4b in Richtung senkrecht
zur Sensoroberfläche
ist mit d gekennzeichnet. Der Abstand zweier benachbarter Elektrodenstrukturen 4a und 4b in
der Schnittebene A-A ist mit a gekennzeichnet.
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Um
einen möglichst
hohen homogenen Anteil des angelegten elektrischen Feldes zu erreichen, sind
im dargestellten Fall die Elektroden so strukturiert, dass diese
ein Dicken-zu-Abstandsverhältnis d/a
von nahezu 1 oder höher
aufweisen. Im vorliegenden Fall beträgt das Verhältnis d/a 4.0. Aufgrund der
beschriebenen Elektrodenanordnung wird der Messeffekt vorwiegend
durch Änderung
des homogenen Feldanteils hervorgerufen und nicht wie bei den bekannten
Anordnungen nach dem Stand der Technik durch Änderung der Streufeldkapazität. Dadurch
sind ein größerer Messeffekt
und genauere Messergebnisse möglich.
Aufgrund des ver gleichsweise geringen Abstandes a sind zur Vermeidung von
Kurzschlüssen
infolge zu großer
Wassertropfen die Elektroden 4 mit der dünnen elektrisch
isolierenden Schicht 4c versehen. Bei der in den 1 und 2 gezeigten
Anordnung ist der Zeitpunkt der eintretenden Kondensation der Feuchtigkeit
in der Umgebungsluft anhand einer Kapazitätsänderung der auf der Sensoroberfläche bzw.
Kaltseite 1 des Peltierelementes aufgebrachten Elektroden 4a und 4b ermittelbar.
Alternativ hierzu kann dieser Zeitpunkt auch anhand einer Widerstandsänderung
der Elektroden 4a und 4b ermittelt werden. Eine
weitere Möglichkeit
besteht in der Ermittlung des Zeitpunkts durch optische Verfahren,
welche auf der Sensoroberfläche angewendet
werden (beispielsweise Messung von reflektiertem Licht oder von
Streulicht). Mit dem aktiven Heizelement 5 wird die Sensoroberfläche beheizt,
um auf der Oberfläche
kondensierte Feuchtigkeit wieder zu verdunsten. Das Heizelement 5 ist hierbei
unabhängig
vom Peltierelement 1, 2, 3 ansteuerbar
und betreibbar.
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3 zeigt
eine weitere erfindungsgemäße Sensoranordnung,
welche der Vermeidung von Messfehlern aufgrund von Vereisung dient.
Die gezeigte Anordnung ist grundsätzlich bis auf eine zweite
Aktivstruktur (bestehend aus Elektrodenstruktur, Heizelement und
Temperaturfühler)
sowie eine zusätzliche
thermisch isolierende Schicht identisch mit der in 1 und 2 gezeigten
Anordnung. Die zusätzliche
thermisch isolierende Schicht 1c ist auf einer Hälfte der
Oberfläche
des Peltierelementes bzw. dessen Kaltseite 1 zwischen der
elektrisch isolierenden Schicht 1a und der funktionalen
Schicht 1b und unmittelbar angrenzend an diese beiden Schichten angeordnet.
In der in 3 rechts dargestellten Hälfte des
Peltierelementes weist dessen Kaltseite somit einen vierlagigen
Aufbau aus Grundstruktur 1d, darauf angeordneter elektrisch
isolierender Schicht 1a, darauf angeordneter thermisch
isolierender Schicht 1c und darauf angeordneter Funktionalschicht 1b auf.
In der in 3 links dargestellten Hälfte weist
die Kaltseite 1 des Peltierelementes demgegenüber einen
dreilagigen Schichtaufbau bestehend aus Grundstruktur 1d,
elektrisch isolierender Schicht 1a und funktionaler Schicht 1b auf
(wie in der in den 1 und 2 dargestellten
Sensoranordnung). Die in der rechten Hälfte der dargestellten Sensoranordnung
zwischen elektrisch isolierender Schicht 1a und funktionaler
Schicht 1b eingebrachte thermische Isolationsschicht 1c weist
eine an den benötigten Temperaturgradient
angepasste Dicke (in Richtung senkrecht zur Sensoroberfläche) auf.
Generell ist die thermische Isolationsschicht 1c somit
so auszugestalten, dass der benötigte
Temperaturgradient über ihre
Schichtdicke eingestellt wird.
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Der
die Isolationsschicht 1c aufweisende Teil bzw. Abschnitt
der Sensoranordnung bzw. der Kaltseite 1 wird im Folgenden
auch mit dem Bezugszeichen 1B gekennzeichnet, der die thermisch
isolierende Schicht nicht aufweisende Teil bzw. Abschnitt des Sensors
bzw. die entsprechende Hälfte
der Kaltseite 1 wird im Folgenden auch mit dem Bezugszeichen 1A gekennzeichnet.
Im Teilbereich 1A bzw. im Nicht-Isolationsbereich ist wie
bereits in den 1 und 2 ge zeigt
oberhalb der funktionalen Schicht 1b und unmittelbar an
diese angrenzend eine erste Aktivstruktur bestehend aus erster Elektrodenstruktur 4 (mit
zwei Elektroden 4a und 4b), erstem aktiven Heizelement 5 und
erstem Temperaturfühler 6 angeordnet.
Unmittelbar oberhalb der funktionalen Schicht 1b des Teilbereichs 1B bzw.
des Isolationsbereichs ist eine zweite Aktivstruktur bestehend aus zweiter
Elektrodenstruktur 4',
zweitem aktiven Heizelement 5' und zweitem Temperaturfühler 6' unmittelbar
angrenzend an die funktionale Schicht 1b angeordnet. Die
beiden Aktivstrukturen 4, 5, 6 und 4', 5', 6' entsprechen
in ihrem Aufbau und in ihrer Anordnung bzw. in ihrer Geometrie den
entsprechenden in den 1 und 2 gezeigten
Elementen. Die Elektrodenstruktur 4 des Teilbereichs 1A dient
als Referenzelektrodenstruktur. Die Elektrodenstruktur 4' des Teilbereichs 1B dient
als Messelektrodenstruktur. Die zusätzliche thermisch isolierende
Schicht 1c befindet sich somit im Schichtaufbau unterhalb
der zweiten Elektrodenstruktur 4' bzw. der Messelektrodenstruktur 4'.
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Wird
das dargestellte Sensorelement abgekühlt, so entsteht durch die
lediglich im Bereich der Messelektrodenstruktur 4' eingebrachte
thermisch isolierende Schicht 1c während des Abkühlvorgangs ein
Temperaturgradient zwischen der Messelektrode 4' und der Referenzelektrode 4.
Aufgrund dieses Temperaturunterschiedes bzw. dieses Temperaturgradienten
findet auf der Referenzelektrode 4 zuerst eine Vereisung
statt. Das Eintreten der Eisbildung auf der Referenzelektrode 4 wird
mit entsprechenden Verfahren (z.B. mit re sistiven Verfahren) festgestellt und
dient als Signal zur Verlangsamung des Abkühlvorgangs.
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Wird
somit eine Vereisung der Referenzelektrodenstruktur 4 bzw.
des Teilbereiches 1A festgestellt, so wird ab diesem Zeitpunkt
die weitere Abkühlung
des Sensorelementes so verlangsamt, dass eine Vereisung der Messelektrode 4' verhindert
wird. Hierbei ist darauf zu achten, dass das Peltierelement 1, 2, 3 nicht
im Impulsbetrieb betrieben wird. Vorteilhafterweise wird das Peltierelement 1, 2, 3 während des
Abkühlvorgangs
mit einem rampenförmigen Strom
betrieben, wie er in 4 (siehe nachfolgend) dargestellt
ist. Aufgrund der beim rampenförmigen Strom
erfolgenden stetigen Abkühlung
der Sensorstrukturen erfolgt kein Temperaturausgleich zwischen der
Messelektrode 4' und
der Referenzelektrode 4, wodurch der Temperaturgradient
aufrechterhalten bleibt.
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4 zeigt
einen Temperaturverlauf über
die Zeit bei der in 3 dargestellten Sensoranordnung mit
Messelektrode und Referenzelektrode. Hierbei ist der Zeitverlauf
während
des bzw. über
den Abkühlvorgang
dargestellt. Die dargestellten Diagramme zeigen auf der Abszisse
die Zeit t und auf der Ordinate die Temperatur des Peltierelementes
P (4A) bzw. der Messelektrode M sowie
der Referenzelektrode R ( 4B) in Kelvin
(T[K]). Die Elektroden M und R bzw. das Peltierelement P werden
durch einen rampenförmigen
Strom (Kühlleistung
beim Peltierelement proportional zum Strom) soweit abgekühlt, bis zum
Zeitpunkt t0 auf der Referenzelektrode R
eine Vereisung (Eispunkt) stattfindet. Die Temperatur T des Eispunktes
ist im Diagramm der 4B durch Ep gekennzeichnet. Ab dem Zeitpunkt t0 wird die Abkühlung des Peltierelementes
bzw. der Elektroden verlangsamt (sichtbar an der geringeren Steigung
der Temperaturverlaufskurven im Zeitbereich t > t0 im Vergleich
zum Zeitbereich t < t0). Ab dem Zeitpunkt t0 verläuft die
Abkühlung
somit langsamer, bis schließlich
auf der Messelektrode M die gewünschte
Betauung eintritt (Zeitpunkt t1) und somit über die
Temperatur Tp der Messelektrode M zu diesem
Zeitpunkt t1 der Taupunkt ermittelt werden
kann. Eine mögliche
Betriebsart dieses Verfahrens wird im Folgenden kurz beschrieben:
Der Messzyklus beginnt mit einer Kühlphase des miniaturisierten
Peltierelementes 1, 2, 3. Aufgrund der
Abkühlung
erfolgt zuerst (besonders bei hohen Feuchtewerten) eine Eisbildung
auf der Referenzelektrode 4. Der Abkühlvorgang wird danach soweit
verlangsamt weiter fortgeführt,
bis bei der Messelektrode 4' eine
Betauung eintritt (Zeitpunkt t1). Dieser
Betauungsvorgang wird im dargestellten Fall über den Kapazitätsanstieg
der Messelektrode 4' festgestellt.
Zu diesem Zeitpunkt t1 wird mit Hilfe des
Temperaturfühlers 6' der Taupunkt
Tp bzw. die am Taupunkt vorliegende Temperatur
Tp bestimmt. Nachdem der Taupunkt Tp bestimmt wurde, wird das Peltierelement
sofort ausgeschaltet und die Oberflächenfeuchtigkeit mittels aktiviertem
Heizelement 5' verdunstet
sowie die Eisschicht mittels aktiviertem Heizelement 5 abgetaut
und ebenfalls verdunstet. Anschließend beginnt der beschriebene Messzyklus
erneut.