DE10134549A1

DE10134549A1 - Messmikroskop

Info

Publication number: DE10134549A1
Application number: DE2001134549
Authority: DE
Inventors: Juergen Neumeier; Juergen Kreis
Original assignee: AUTRONIC MELCHERS GmbH
Current assignee: Instrument Systems GmbH
Priority date: 2001-07-16
Filing date: 2001-07-16
Publication date: 2003-02-06
Anticipated expiration: 2021-07-17
Also published as: DE10134549C2

Abstract

Beschrieben ist ein Meßmikroskop, in dessen Gehäuse (50) ein Blendenrad (70) drehbar gelagert ist, an welchem zentriert um eine Drehachse (72) ein schräg angeordneter Spiegel (96) und mehrere Meßfleckblenden angebracht sind. Das Blendenrad (70) ist durch einen fernsteuerbaren Motor (74) in vorgebbare Darstellungen bewegbar. In diesen Drehstellungen befindet sich wahlweise der Spiegel (96) oder eine der Meßfleckblenden (86) in dem Strahlengang (54) des Abbildungsobjektivs (52) des Meßmikroskops. Als Beobachtungs- oder Meßeinrichtung ist eine Videokamera vorgesehen, in dessen Objektiv das zu messende Licht mit Hilfe des Spiegels (96) in der Beobachtungsstellung umgelenkt wird. In der Meßstellung, in der sich eine der Meßfleckblenden (86) in dem Strahlengang (54) des Abbildungsobjektivs (52) und einer Feldlinse (64) befindet, wird der Meßfleck auf eine Eintrittsfläche (60) eines Lichtleiters abgebildet, der das Licht zu einer Auswerteeinrichtung weiterleitet. Diese Funktion kann auch durch die Videokamera (66) übernommen werden. Das Meßmikroskop hat einen sehr kompakten Aufbau. Alle seine Funktionen sind fernsteuerbar.

Description

Die Erfindung betrifft ein Meßmikroskop der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art.

Ein solches Meßmikroskop der Anmelderin ist z. B. aus ihrem Firmenprospekt DISPLAY MEASURING SYSTEM, DMS Series, PRODUCT SPECIFICATIONS, Version 4.0a, Rev. 15/11/2000, ©1985-2000, Autronic-Melchers GmbH, bekannt und in beigefügter Fig. 2 dargestellt. Fig. 2a zeigt ein solches Meßmikroskop im Längsschnitt. Das Meßmikroskop hat ein Gehäuse 20 mit einem Abbildungsobjektiv 22 zum Abbilden eines Bildes eines Objektes (nicht dargestellt) auf eine Endfläche eines Lichtleiters (nicht dargestellt). In dem Strahlengang 24 des Abbildungsobjektivs 22 ist gegenüber dem Abbildungsobjektiv eine Öffnung 24 vorgesehen, in die ein in Fig. 2b gezeigter Blendenadapter 26 eingesetzt werden kann. Der Blendenadapter 26 hat eine zentrische Bohrung 28, in der das Ende des Lichtleiters so befestigt wird, daß die Endfläche des Lichtleiters mit einer Innenfläche 30 des Blendenadapters 26 bündig ist. Auf der Innenfläche 30 ist eine Lochblende als Meßfleckblende angeordnet. Diese hat ein mittels Laser hergestelltes zentrisches Loch, mit welchem die effektiv wirksame Größe des Meßfleckes festgelegt wird, von dem Licht in den Lichtleiter eingekoppelt wird. An dem zu der Innenfläche 30 entgegengesetzten Ende trägt der Blendenadapter 26 eine Streulichtblende 34. Wenn eine bestimmte Vergrößerung erwünscht ist, kann der Blendenadapter 26 in das obere Ende eines Vergrößerungstubus 36 eingesetzt werden, der seinerseits in die Öffnung 24 eingesetzt wird. Dadurch wird die effektive Meßfleckgröße um den Vergrößerungsfaktor des Vergrößerungstubus 36 reduziert. Statt des Blendenadapters 26 mit oder ohne Vergrößerungstubus 36, der in Fig. 2d gezeigt ist, kann auch ein Tubus 38 eingesetzt werden, der eine Feldlinse 40 enthält und ebenso mit Lochblende 30 und Streulichtblende 34 ausgerüstet ist. Je nach gewünschter Meßfleckgröße werden somit wahlweise die in den Fig. 2b, 2c und 2d dargestellten Wechseladapter eingesetzt, die jeweils von Hand ausgewechselt werden müssen.

Weiter ist an dem Gehäuse 20 ein Okular 42 vorgesehen. Gegenüber dem Okular 42 ist in dem Gehäuse ein Klappspiegel 44 angeordnet, der mittels einer an dem Gehäuse außen vorgesehenen Handhabe aus der in Fig. 2a mit ausgezogenen Linie dargestellten Stellung in eine mit gestrichelten Linien dargestellte Stellung bewegbar ist. In der mit ausgezogenen Linien dargestellten Stellung befindet sich der Klappspiegel 44 in dem Strahlengang 24 des Abbildungsobjektivs 22 und lenkt diesen zur Objektbeobachtung in das Okular 42 ab. Das ist erforderlich, um das Meßmikroskop auf den Meßort einjustieren zu können. An dem Gehäuse ist in Fig. 2a links eine Schwalbenschwanzführung 46 mit einem manuellen Antrieb zur Höhenverstellung des Meßmikroskops vorgesehen, der im normalen Meßbetrieb aber nicht verwendet wird. Wenn der Klappspiegel 44 in der in Fig. 2a mit gestrichelten Linien dargestellten Stellung ist, befindet sich das Meßmikroskop in der Meßbetriebsart. Abhängig von der Meßfleckgröße, die mittels der Wechseladapter und geeigneter Lochblenden ausgewählt wird, befindet sich der Lichtleiter im Bild der Objektebene, wo auch die Meßfleckblende angebracht ist (Teilausleuchtung des Lichtleiterquerschnitts), oder es wird eine Eintrittspupille des Abbildungsobjektivs auf den Lichtleiterquerschnitt abgebildet, so daß die ausgeleuchtete Fläche unabhängig von der Meßfleckblende ist.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Einstellung verschiedener Meßfleckgrößen durch die Blendenwahl und die Umschaltung des Meßmikroskops zwischen Beobachtungsmodus und Meßmodus zu vereinfachen.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß durch ein Meßmikroskop mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.

Bei dem Meßmikroskop nach der Erfindung erfolgt das Umschalten zwischen Meßmodus und Beobachtungsmodus mit einem einzigen Element, nämlich dem Blendenrad, das lediglich in eine entsprechende Stellung gedreht zu werden braucht, da es sowohl verschiedene Meßfleckblenden (eingesetzt in Öffnungen einer großen Scheibe, die das Blendenrad bildet) zum Einstellen verschiedener Meßfleckgrößen als auch den Spiegel trägt, der den Strahlengang des Abbildungsobjektivs von der optischen Achse des Abbildungsobjektivs zur Seite knickt und auf die Beobachtungseinrichtung lenkt. Dadurch entfallen die umständliche Handhabung von Wechseladaptern und das zusätzliche Betätigen eines Klappspiegels.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung bilden die Gegenstände der Unteransprüche.

Wenn in einer vorteilhaften Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung eine Einrichtung vorgesehen ist zum fernsteuerbaren Drehen des Blendenrades um eine Drehachse in vorgegebene Drehstellungen, ist das Meßmikroskop selbst allenfalls noch von Hand in die gewünschte Höheneinstellung zu bringen. Blendenauswahl und Umschaltung zwischen Beobachtungsstellung und Meßstellung lassen sich fernsteuern.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung die fernsteuerbare Einrichtung ein Schrittmotor mit zugeordnetem Referenzschalter oder mit einem absoluten Drehgeber ist, kann das Blendenrad motorisch gedreht und präzise in vorgegebene Drehstellungen gebracht werden.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung das Blendenrad mehrere zentriert in bezug auf seine Drehachse angeordnete und zu seiner Drehachse parallele Bohrungen aufweist, die an ihren der Empfangseinrichtung zugewandten Enden mit den Meßfleckblenden ausrüstbar sind, lassen sich unterschiedliche Meßfleckblenden auf einfache Weise an dem Blendenrad befestigen.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung die Bohrungen jeweils an ihren von der Empfangseinrichtung abgewandten Ende mit einer Streulichtblende und gegebenenfalls mit einem Filter wie einem Grau- oder Farbfilter ausrüstbar sind, lassen sich auf ebenso einfache, aber präzise Art und Weise zusätzliche Blenden und Filter an dem Blendenrad anbringen.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung das Blendenrad eine Umfangsausnehmung hat, an der der Spiegel schräg zu dem Strahlengang des Abbildungsobjekts angebracht ist, kann dieser auf einfachere Weise die Funktion des im Stand der Technik erforderlichen Klappspiegels erfüllen.

Wenn in einer weiteren und ganz besonders vorteilhaften Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung die Beobachtungseinrichtung eine Videokamera ist, läßt sich nicht nur der Wechsel zwischen Beobachtungsstellung und Meßstellung fernsteuern, sondern es sind auch eine Bildaufnahme über die Videokamera sowie eine Fernbeobachtung über ein Monitorbild oder eine rechnergestützte Verarbeitung des beobachteten Objektbildes möglich, da die Videokamera das Okular ersetzt. Die Videokamera könnte aber auch direkt in dem Abbildungsstrahlengang des Abbildungsobjektivs angeordnet sein und so den im Stand der Technik verwendeten Lichtleiter ersetzen. Eine noch bessere Alternative wäre, einen flächigen einzelnen Lichtsensor statt des Lichtleiters einzusetzen.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung die Videokamera in dem Gehäuse und vorzugsweise parallel zu einer Längsachse des Abbildungsobjektivs angeordnet ist, hat sie immer eine definierte Lage in bezug auf den Abbildungsstrahlengang. Der Spiegel braucht den Abbildungsstrahlengang des Abbildungsobjektivs dann lediglich von der optischen Achse zur Seiten zu knicken, z. B. um 90 Grad. Das hierdurch erzeugte Bild der Meßobjektebene wird durch die Videokamera erfaßt. Hierzu ist es erforderlich, das Bild der Meßobjektebene nach dem Umlenken durch den Spiegel nochmals abzubilden und umzulenken, beispielsweise durch eine Zwischenlinse und einen weiteren Spiegel.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung zwischen dem Blendenrad und der Empfangseinrichtung ein Tubus angeordnet ist, läßt sich auf einfache Weise ein Lichtleiter mit definierter Stellung seiner Eintrittsfläche in bezug auf den Abbildungsstrahlengang des Abbildungsobjektivs in dem Gehäuse des Meßmikroskops positionieren.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung der Tubus ein Vergrößerungstubus ist, der eine Feldlinse zum Abbilden der Eintrittspupille des Abbildungsobjektivs auf die Empfangseinrichtung enthält, ist die ausgeleuchtete Fläche unabhängig von der Meßfleckblende.

Wenn in weiterer Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung der Tubus und das Objektiv der Videokamera in dem Gehäuse parallel zu der Drehachse des Blendenrades angeordnet sind, ergibt sich ein kompakter Aufbau, der einen einfachen Wechsel zwischen Beobachtungs- und Meßstellung durch Drehen des Blendenrades gestattet.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung die Empfangseinrichtung wenigstens ein Lichtleiter ist, dessen Eintrittsfläche in dem Strahlengang des Abbildungsobjektivs und der Feldlinse liegt, ergeben sich die vorstehend im Zusammenhang mit dem Tubus erläuterten Vorteile.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung der Lichtleiter zur Übertragung des zu messenden Lichts zu einem oder mehreren Sensoren vorgesehen ist, kann das Meßmikroskop nach der Erfindung in demselben Meßaufbau wie das bekannte Meßmikroskop eingesetzt werden.

Wenn in einer weiteren Ausgestaltung des Meßmikroskops nach der Erfindung die Meßfleckblenden in dem Blendenrad zentriert und dessen Drehachse angeordnete, kreisförmige Blenden sind, lassen sich die gleichen Meßfleckblenden wie bei dem bekannten Meßmikroskop einsetzen, die aber bei dem Meßmikroskop nach der Erfindung einfach durch Drehen des Blendenrades in Stellung gebracht werden können, so daß keinerlei Wechseladapter benötigt werden.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben.

Es zeigt:
Fig. 1a eine Längsschnittansicht eines Meßmikroskops nach der Erfindung,
Fig. 1b und 1c Ansichten in etwa nach der Linie 1b-1b bzw. 1c-1c in Fig. 1a und
Fig. 2 eine Längsschnittansicht eines bekannten Meßmikroskops (Fig. 2a) mit zugeordneten Wechseladaptern für verschiedene Meßfleckblenden (Fig. 2b-2d).
Fig. 1a zeigt im Längsschnitt ein Meßmikroskop nach der Erfindung. Das Meßmikroskop hat ein Gehäuse 50, das ein Abbildungsobjektiv 52 trägt. In dem Strahlengang (oder der Längsachse) 54 des Abbildungsobjektivs 52 ist als Empfangseinrichtung für ein durch das Abbildungsobjekt erzeugtes Bild eines Objekts (nicht dargestellt) ein Lichtleiter 56 angeordnet. In dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Lichtleiter in einen Tubus 58 so eingepaßt, daß eine Endfläche 60 des Lichtleiters 56 eine definierte Lage im Inneren des Tubus 58 hat. Ein zu dem Lichtleiter 56 entgegengesetztes Ende 62 des Tubus 58 liegt in einer Abbildungsebene des Abbildungsobjektivs. Der Tubus 58 enthält eine Feldlinse 64 zum Abbilden der Eintrittspupille des Abbildungsobjektivs 52 auf die Endfläche 60 des Lichtleiters 56. Als Beobachtungseinrichtung für das Objektbild ist bei dem Meßmikroskop nach der Erfindung statt des im Stand der Technik vorgesehenen Okulars 42 eine Videokamera 66 vorgesehen.
In dem Gehäuse 50 ist ein Blendenrad 70 drehbar gelagert. Zum Drehen des Blendenrades 70 um eine Drehachse 72 ist ein Motor 74 vorgesehen. Dieser ist mit einem Getriebe 76 gekuppelt, auf dessen Abtriebswelle 78 das Blendenrad 70 wie dargestellt befestigt ist. Auf einer zu dem Motor 74 entgegengesetzten Stirnseite 80 hat das Blendenrad 70 einen Lagerzapfen 82, mit welchem es in einem Wälzlager 84 in einer Wand des Gehäuses befestigt ist. Mit dem Motor 74 läßt sich das Blendenrad 70 in vorgegebene Drehstellungen bewegen. Zu diesem Zweck ist der Motor 74 vorzugsweise ein Schrittmotor mit einem zugeordneten mechanischen Referenzschalter, der in Fig. 1 lediglich schematisch angedeutet ist. Der Motor 74 könnte alternativ ein Schritt- oder Servomotor od. dgl. mit einem absoluten Drehgeber sein.
Das Blendenrad 70 weist mehrere zu seiner Drehachse 72 parallele Bohrungen 84 auf, die an ihren dem Lichtleiter 56 zugewandten Ende, das in einer Stirnseite 90 des Blendenrades liegt, mit einer kreisringförmigen dünnen Blendenscheibe 71 abgedeckt sind. Im Zentrum von jeder Bohrung 84 hat die Blendenscheibe 71 ein Loch 87. Die Löcher 87 bilden Meßfleckblenden 86 in der Blendenscheibe. Die einzelnen Meßfleckblenden 86 sind in der Draufsicht auf das Blendenrad 70 in Fig. 1c mit ihren unterschiedlich großen Löchern 87 zu erkennen. An ihrem anderen Ende, das in der Stirnseite 80 liegt, sind die Bohrungen 84 mit einer ebenfalls kreisringförmigen dünnen Blendenscheibe 73 abgedeckt und gegebenenfalls zusätzlich mit einem Filter wie einem Grau- oder Farbfilter ausgerüstet. Die Blendenscheibe 73 hat im Zentrum jeder Bohrung 84 ein Loch 89. Die verschieden großen Löcher 89, die in der Unteransicht des Blendenrades 70 in Fig. 1b zu erkennen sind, bilden Streulichtblenden 88. Die Löcher 89 werden wie die Löcher 87 mittels Laser hergestellt. Weiter haben das Blendenrad 70 und die Blendenscheibe 73 eine Umfangsausnehmung 92. Diese bildet in dem Blendenrad 70 eine Schrägfläche 94, an der ein Spiegel 96 angebracht ist. Das Blendenrad ist so ausgebildet und angeordnet, daß die Meßfleckblenden 86 in dem Bild der Meßebene liegen, das von dem Abbildungsobjektiv 52 erzeugt wird. Der Durchmesser der Löcher 87 wird durch den gewünschten Meßfleckdurchmesser auf dem Objekt und den Abbildungsmaßstab des Abbildungsobjektivs bestimmt. Der Spiegel 96 ist ein Oberflächenspiegel. In der dargestellten Stellung des Spiegels 96 knickt dieser den Abbildungsstrahlengang 54 des Abbildungsobjektivs 52 von der optischen Achse um 90 Grad zur Seite. Das hierdurch erzeugte Bild der Meßobjektebene wird in dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung durch eine Zwischenlinse 98 auf einem weiteren Spiegel 100 abgebildet, der es erneut um 90 Grad knickt und in ein Objektiv 102 der Videokamera 66 lenkt. Die Videokamera 66 könnte alternativ ein Makroobjektiv haben, so daß die Zwischenlinse 98 überflüssig wäre. Wichtig ist nur, daß die erste Zwischenbildebene auf dem Kamerachip abgebildet wird.
Die Fig. 1b und 1c zeigen das Blendenrad 70 in einer Unteransicht bzw. in Draufsicht.
Die Videokamera 66 ist in dem Gehäuse parallel zu der Längsachse 54 des Abbildungsobjektivs 52 und somit parallel zu der Drehachse 72 des Blendenrades 70 und parallel zu einer Längsachse des Tubus 58, die mit dem Abbildungsstrahlengang 54 des Abbildungsobjektivs zusammenfällt. Der Motor 74 liegt mit seiner Längsachse in der Drehachse 72 des Blendenrades 70. Aufgrund dieses Aufbaus ist das Meßmikroskop nach der Erfindung sehr kompakt ausgebildet. Auf der in Fig. 1 rechten Seite ist das Gehäuse 50 mit einer justierbaren Abdeckplatte 104 versehen. Diese trägt eine insgesamt mit 106 bezeichnete Einheit, welche die elektrischen Anschlüsse des Meßmikroskops, einer Motorsteuereinrichtung und eine Kamerasignalübertragungseinrichtung umfaßt, was alles hier im einzelnen nicht beschrieben zu werden braucht. Über den Lichtleiter 56 wird das zu messende Licht zu einem oder mehreren Sensoren (nicht dargestellt) übertragen, wie im Stand der Technik. Alternativ könnte diese Funktion durch die Videokamera 66 oder einen anderen geeigneten Lichtsensor übernommen oder ersetzt werden, wie oben dargelegt.
Im Stand der Technik ist an dem Meßmikroskop das Okular 42 vorgesehen, durch das zum Höheneinstellen des Meßmikroskops hindurchgeblickt werden muß. Bei dem Meßmikroskop nach der Erfindung ermöglicht die Bildaufnahme über die Videokamera 66 eine Fernbeobachtung über ein Monitorbild oder eine rechnergestützte Verarbeitung des Bildes. Das durch den Motor 74 angetriebene Blendenrad ermöglicht einen ferngesteuerten Wechsel zwischen Beobachtungsstellung und Meßstellung des Meßmikroskops. Die in Fig. 1a dargestellte Stellung ist die Beobachtungsstellung. Das Umschalten in die Meßstellung erfolgt durch Weiterdrehen des Blendenrades 70, bis sich die geeignete Meßfleckblende 86 in dem Strahlengang 54 befindet. Unabhängig von der Meßfleckgröße leuchtet das von dem Meßfleck aufgenommene und auf den Lichtleiter 56 übertragene Licht immer die ganze Endfläche 60 des Lichtleiters 56 aus. Erreicht wird das durch Wahl der passenden Meßfleckblende 86 und durch den Tubus 58 mit der Feldlinse 64. Bei dem Meßmikroskop nach der Erfindung ist der Beobachtungsstrahlengang zugleich ein Meßstrahlengang, da die Videokamera 66 auch Meßaufgaben übernehmen kann, beispielsweise Vermessen des Objekts, Auffinden des Meßortes usw.

Claims

1. Meßmikroskop
mit einem Gehäuse (50),
mit einem Abbildungsobjektiv (52),
mit einer in dem Strahlengang (54) des Abbildungsobjektivs (52) angeordneten Empfangseinrichtung (56), auf die ein Meßfleck durch das Abbildungsobjektiv (52) abgebildet wird,
mit einer Beobachtungseinrichtung (66) für ein Objektbild,
mit einem in dem Gehäuse (50) beweglich angeordneten Spiegel (96), der in den und aus dem Strahlengang (54) des Abbildungsobjektivs (52) bewegbar ist, um den Strahlengang (54) zur Beobachtungseinrichtung (66) umzulenken, und
mit wenigstens einer Meßfleckblende (86)
dadurch gekennzeichnet,
daß der Spiegel (96) und mehrere Meßfleckblenden (86) an einem in dem Gehäuse (50) drehbar gelagerten Blendenrad (70) angebracht und durch dieses wahlweise in den und aus dem Strahlengang (54) des Abbildungsobjektivs (52) bewegbar sind.

2. Meßmikroskop nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine fernsteuerbare Einrichtung (74) zum Drehen des Blendenrades (70) um eine Drehachse (72) in vorgegebene Drehstellungen.

3. Meßmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die fernsteuerbare Einrichtung (74) ein Schrittmotor mit zugeordnetem mechanischem Referenzschalter (82) ist.

4. Meßmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die fernsteuerbare Einrichtung (74) ein Schritt- oder Servomotor mit einem absoluten Drehgeber ist.

5. Meßmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Blendenrad (70) mehrere zentriert in bezug auf seine Drehachse (72) angeordnete und zu seiner Drehachse (72) parallele Bohrungen (84) aufweist, die an ihren der Empfangseinrichtung (56) zugewandten Enden mit den Meßfleckblenden (86) ausrüstbar oder ausgerüstet sind.

6. Meßmikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrungen (84) jeweils an ihrem von der Empfangseinrichtung (56) abgewandtem Ende mit einer Streulichtblende (88) und gegebenenfalls mit einem Filter wie einem Grau- oder Farbfilter ausrüstbar oder ausgerüstet sind.

7. Meßmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Blendenrad (70) eine Umfangsausnehmung (92) hat, in der der Spiegel (96) schräg zu dem Strahlengang (54) des Abbildungsobjektivs (52) angebracht ist.

8. Meßmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Beobachtungseinrichtung eine Videokamera (66) ist.

9. Meßmikroskop nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Videokamera (66) in dem Gehäuse (50) und vorzugsweise parallel zu einer Längsachse (54) des Abbildungsobjektivs (52) angeordnet ist.

10. Meßmikroskop nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Blendenrad (70) und der Empfangseinrichtung (56) ein Tubus (58) angeordnet ist.

11. Meßmikroskop nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Tubus (58) ein Vergrößerungstubus ist, der eine Feldlinse (64) zum Abbilden der Eintrittspupille des Abbildungsobjektivs (52) auf die Empfangseinrichtung (56) enthält.

12. Meßmikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Tubus (58) und das Objektiv (102) der Videokamera (66) in dem Gehäuse (50) parallel zu der Drehachse (72) des Blendenrades (70) angeordnet sind.

13. Meßmikroskop nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangseinrichtung wenigstens ein Lichtleiter (56) ist, dessen Eintrittsfläche (60) in dem Strahlengang (54) des Abbildungsobjektivs (52) und der Feldlinse (64) liegt.

14. Meßmikroskop nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtleiter (56) zur Übertragung des zu messenden Lichts zu einem oder mehreren Sensoren vorgesehen ist.

15. Meßmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfleckblenden (86) in dem Blendenrad (70) zentriert um dessen Drehachse (72) angeordnete, kreisförmige Blenden sind.