DE10133525A1 - Sensor mit Selbst-Test-Funktion - Google Patents

Sensor mit Selbst-Test-Funktion

Info

Publication number
DE10133525A1
DE10133525A1 DE2001133525 DE10133525A DE10133525A1 DE 10133525 A1 DE10133525 A1 DE 10133525A1 DE 2001133525 DE2001133525 DE 2001133525 DE 10133525 A DE10133525 A DE 10133525A DE 10133525 A1 DE10133525 A1 DE 10133525A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
bridge
measuring
sensor according
switching device
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2001133525
Other languages
English (en)
Other versions
DE10133525B4 (de
Inventor
Peter Wirth
Manfred Abendroth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE2001133525 priority Critical patent/DE10133525B4/de
Publication of DE10133525A1 publication Critical patent/DE10133525A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10133525B4 publication Critical patent/DE10133525B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/04Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2268Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R17/00Measuring arrangements involving comparison with a reference value, e.g. bridge
    • G01R17/10AC or DC measuring bridges

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor und insbesondere einen Drucksensor mit einer Messbrücke (1), deren Diagonalspannung (U¶CD¶) zur Ermittlung der Messgröße abgegriffen wird. Zur Überprüfung der Funktionsfähigkeit der einzelnen Brückenelemente (R1-R4) wird vorgeschlagen, eine Schalteinrichtung (2) vorzusehen, mit der die Messbrücke (1) zwischen einem Messbetrieb und einem Testbetrieb umgeschaltet werden kann, wobei sich die relative Anordnung der Brückenelemente (R1-R4) zueinander ändert. Eine wesentliche Eigenschaft der Schaltung besteht darin, dass die Diagonalspannung der Messbrücke (1) im Testbetrieb insbesondere unabhängig von einer Veränderung der Messgröße ist.

Description

    Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft einen Sensor, und insbesondere einen Drucksensor, mit einer Messbrücke, deren Diagonalspannung zur Ermittlung der Messgröße ausgewertet wird.
  • In modernen Systemen werden Sensoren immer häufiger und in immer größerer Anzahl eingesetzt, wobei insbesondere die Anzahl von sicherheitskritischen Applikationen ständig zunimmt. Derartige Sensoren müssen hohe Anforderungen an Ausfallsicherheit und Eigenüberwachung bzw. Selbstdiagnose erfüllen, um in sicherheitskritischen Anwendungen Fehlfunktionen schnell erkennen zu können.
  • Insbesondere im Automobilbereich sind eine Reihe sicherheitstechnischer Anwendungen gegeben, wie z. B. bei der Fahrdynamik-Regelung, der elektrohydraulischen Bremse, etc., bei denen ein schnelles Erkennen einer Sensor-Fehlfunktion unerläßlich ist. Bei den genannten Anwendungsbeispielen wird eine mechanische Größe - Druck (bzw. Kraft) - in eine elektrische Größe - Strom oder Spannung - umgeformt. Üblicherweise werden hierzu kapazitive oder resistive Sensoren verwendet.
  • Bei einem resistiven Drucksensor z. B. werden durch mechanische Verformung auf einer Membran angeordnete Widerstände verändert. Als Messelemente dienen üblicherweise Filmwiderstände (Dehnungs-Messstreifen), zunehmend auch polykristalline Halbleiter, mit denen ein größerer Messeffekt erzielt werden kann.
  • Die Messelemente sind in der Regel in einer Brückenschaltung (Wheatstone-Messbrücke) angeordnet, deren Diagonalspannung als Maß für die eigentliche Messgröße (Druck) dient.
  • Es ist bekannt, die Eigensicherheit solcher Sensoren dadurch zu verbessern, dass zum eigentlichen Signalpfad, der durch die Diagonalspannung der Vollbrücke gespeist wird, ein zweiter, paralleler Signalpfad errichtet wird, der nur von einem Ast der Wheatstone-Brücke gespeist wird. Die Wheatstone-Brücke ist dabei durch zwei Festwiderstände zu einer Halbbrücke ergänzt. Die Diagonalspannung der Halbbrücke weist jedoch nur die halbe Druckempfindlichkeit gegenüber der Vollbrücke auf.
  • Die Diagonalspannungen der Halb- und Vollbrücke gelangen auf zwei nahezu identische Signalpfade, die sich nur durch den Verstärkungsfaktor unterscheiden, da bei der Halbbrücke auf Grund der halben Empfindlichkeit eine doppelte Verstärkung vorgesehen werden muß. Beide Signalpfade werden in einem Abgleichprozeß bezüglich Empfindlichkeit und Offset sowohl gegenüber dem Druck als auch gegenüber der Temperatur abgeglichen, so dass im Idealfall am Ausgang des Sensors zwei identische Ausgangssignale zur Verfügung stehen.
  • Driftet eine der beiden Anordnungen in Folge von Veränderungen der Brücke oder der Elektronik (Alterung), so ergibt sich eine Differenz der beiden Ausgangssignale. Überschreitet die Differenz einen zulässigen Wert, wird durch eine Schaltung dafür gesorgt, dass das Ausgangssignal des Drucksensors einen unplausiblen Wert annimmt. Dieser kann von einer nachgeordneten Steuereinheit als Fehler erkannt werden.
  • Der wesentliche Nachteil eines Vergleiches von Signalen einer Vollbrücke mit denen einer Halbbrücke besteht hauptsächlich darin, dass das Halbrückensignal im Mittel eine doppelte Drift bei Alterung aufweist. Dadurch besteht die Möglichkeit, dass die Überwachung ansprechen kann, obwohl durch die Vollbrücke Alterungsdriften gut kompensiert werden. Weiterhin ist es schwierig den Temperaturgang der Halbbrücke zu kompensieren, da sich durch die Einbeziehung von zwei Festwiderständen in Verbindung mit zwei Polysilizium- Widerständen Nichtlinearitäten ergeben, die den Überwachungsbereich einschränken.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Sensor mit einer zuverlässigeren Selbstdiagnosefunktion zu schaffen.
  • Gelöst wird diese Aufgabe durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
  • Der wesentliche erfinderische Gedanke besteht darin, den Sensor mit einer Schalteinrichtung auszustatten, mit der die Messbrücke zwischen einem Messbetrieb und einem Testbetrieb umgeschaltet werden kann. In beiden Betriebsarten sind dabei nur die Brückenelemente der Messbrücke an der Signalgewinnung beteiligt und es ändert sich nur die relative Anordnung der Brückenelemente zueinander. Dadurch wird ein unterschiedlicher Temperaturgang oder ein unterschiedliches Alterungsverhalten in den Betriebsarten Messen und Testen vermieden.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Schalteinrichtung derart gebildet, dass die im Messbetrieb in Serie geschalteten Brückenelemente, d. h. die Brückenelemente eines Astes der Messbrücke, im Testbetrieb parallel zueinander geschaltet sind.
  • Die Schalteinrichtung umfaßt vorzugsweise zwei Schalter, die mit den Mittenknoten der Brücke, d. h. den Knoten, an denen die Diagonalspannung abgegriffen wird, verbunden sind.
  • Ferner sind vorzugsweise zwei Konstantstromquellen vorgesehen, die mittels der Schalter zu- und abgeschaltet werden können. Die Stromquellen sind bei geschlossenen Schaltern jeweils zwischen einen der Mittenknoten und Masse geschaltet. Im Testbetrieb ist die Diagonalspannung der Messbrücke insbesondere unabhängig von einer Veränderung der Messgröße (Druck).
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfaßt die Schalteinrichtung einen dritten Schalter, der den im Messbetrieb mit Masse verbundenen Knoten der Messbrücke im Testbetrieb auf Versorgungsspannung umschaltet.
  • Die Messbrücke ist vorzugsweise eine Wheatstone-Messbrücke und insbesondere eine Vollbrücke. In einem Ast der Messbrücke befinden sich vorzugsweise Sensorelemente, die auf eine Änderung der Messgröße gegensinnig reagieren. Beispielsweise sind Widerstände vorgesehen, die sich bei Druckeinwirkung vergrößern bzw. verkleinern.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung umfaßt der Signalpfad für den Testbetrieb eine Offset- Korrekturschaltung, eine Empfindlichkeits-Korrekturschaltung sowie ein Abtast- und Halteglied. Der am Ausgang dieser Kalibrierkette ausgegebene Wert wird vorzugsweise auf Null eingestellt.
  • Die erfindungsgemäße Schalteinrichtung umfaßt ferner einen vierten Schalter, der im wesentlichen symmetrisch zum dritten Schalter angeordnet ist.
  • Das Umschalten zwischen der Betriebsart Messen und Testen erfolgt vorzugsweise in einem bestimmten Tastverhältnis.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
  • Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Sensors in der Betriebsart "Messen"; und
  • Fig. 2 eine schematische Darstellung des Sensors von Fig. 1 in der Betriebsart "Testen".
  • In der Prinzipschaltung von Fig. 1 ist beispielhaft ein Drucksensor dargestellt, der eine Druck-Messbrücke 1 aus insgesamt vier Widerständen R1-R4 umfasst. Die Widerstände, die sich bei Druckeinwirkung vergrößern, sind mit (+) gekennzeichnet, diejenigen, die sich bei Druckeinwirkung verkleinern, mit (-).
  • In der dargestellten Betriebsart "Messen" befinden sich die vier Schalter S1-S4 der Schalteinrichtung 2 in der Schaltposition "1". Die Schalter S1, S2 sind jeweils mit einem Mittenknoten C, D der Messbrücke verbunden, an denen die Brückendiagonalspannung abgegriffen wird.
  • Die Schalter S3, S4 sind an den Knoten D bzw. A der Messbrücke 1 angeschlossen. Der Knoten A der Brücke 1 liegt dabei auf Versorgungsspannung Ubatt, während der Knoten B auf Masse liegt. Die Brückendiagonalspannung UCD hat in Folge von Fertigungstoleranzen bei der Herstellung der Polysiliziumwiderstände einen Offset-Spannungswert, der temperaturabhängig ist. Ebenso ist auch die Empfindlichkeit der Brückenanordnung temperaturabhängig. Aus diesem Grunde ist es erforderlich, die Brückenschaltung bezüglich Offset und Empfindlichkeit in Abhängigkeit von Druck und Temperatur zu kalibrieren. Zu diesem Zweck sind ein Komparator 5, ein Offset-Korrekturschaltkreis 6, ein Empfindlichkeits- Korrekturschaltkreis 7 und ein Abtast- und Halteglied 8 vorgesehen. Der in der Messphase bei Schalterstellung "1" ermittelte Druckwert wird in der S&H-Schaltung 8 zwischengespeichert und steht für eine Abfrage durch ein nachgeschaltetes Steuergerät (nicht gezeigt) zur Verfügung.
  • Verändern sich ein oder mehrere Brückenwiderstände R1-R4 durch Drift (z. B. das Ablösen von der Membran oder dgl.), entsteht eine Diagonalspannung UCD, die durch die Kalibrierschaltung 6, 7, 8 als Ausgangsspannung ausgegeben wird. Dabei ist oftmals nicht erkennbar, ob diese Spannung eine Folge einer Druckänderung oder eines Defektes ist. Zur Feststellung eines Defektes wird die Messbrücke 1 mittels der Schalteinrichtung 2 in die Betriebsart "Testen" umgeschaltet.
  • Wie in Fig. 2 dargestellt ist, befinden sich die Schalter S1-S4 in der Betriebsart "Testen" in der Schaltposition "2". Dabei liegt an den Knoten A und B der Brücke 1 das identische Potential, nämlich die Versorgungsspannung Ubatt. Der Schalter S4 liegt in beiden Schaltpositionen auf Versorgungsspannung und ist nur aus Symmetriegründen vorgesehen, um insbesondere einen nicht symmetrischen Abfall der Betriebsspannung beim Umschalten der Schalteinrichtung 2 zu vermeiden.
  • Mit den Schaltern S1, S2 werden an den Mittenknoten C und D die Konstantstromquellen 3, 4 zugeschaltet, die zwei identische Ströme I1, I2 nach Masse abziehen. Das Verhältnis I1/I2 der Konstantstromquellen 3, 4 sollte sich dabei über Temperatur und Lebensdauer nicht ändern, da dieses Verhältnis direkt in die Empfindlichkeit der Anordnung eingeht. In der dargestellten Schaltstellung errechnet sich die Diagonalspannung UCD wie folgt:


  • Für I1 = I2 = I gilt:


  • Liegen an den Knoten A und B infolge des Schaltens der Batteriespannung unterschiedliche Potentiale und bezeichnet man deren Differenzen ΔUB, ergibt sich für die Brückenspannung ΔUCD:


  • Wie zu erkennen ist, wirken sich Potentialunterschiede in dieser Betriebsart nur gering aus.
  • Die wichtigste Eigenschaft dieser Schaltung besteht darin, dass sich bei Einwirkung eines Druckes und der daraus resultierenden symmetrischen Änderung der Brückenwiderstände die Diagonalspannung UCD nicht ändert, sondern ständig 0 V bleibt. Voraussetzung hierfür ist, dass sich alle Widerstände R1-R4 in idealer Weise symmetrisch ändern. Da dies aber in der Praxis nie der Fall ist, muß auch in der Betriebsart "Testen" das Signal bezüglich Offset und Empfindlichkeit in Abhängigkeit von der Temperatur kalibriert werden. Im Unterschied zur Betriebsart "Messen" wird der Wert am Ausgang der Kalibrierschaltung (Schaltkreise 9-12) auf 0 V gestellt wird.
  • Die Kalibrierschaltung für die Betriebsart "Testen" umfaßt einen Komparator 9, eine Offset-Korrekturschaltung 10, eine Empfindlichkeits-Korrekturschaltung 11 sowie ein Abtast- und Halteglied 12.
  • Zum abwechselnden Messen und Testen wird die Messbrücke 1 kontinuierlich zwischen den beiden Betriebsarten umgeschaltet. Hierzu ist ein Taktgeber 13 vorgesehen, der die Schalter S1-S4 der Schalteinrichtung 2 ansteuert.
  • Bedingt durch das alternierende Umschalten der Messbrücke 1 steht am Ausgang des Drucksensors das Drucksignal nicht kontinuierlich, sondern nur zeitweise zur Verfügung. Es bleibt dem konkreten Anwendungsfall vorbehalten, ein geeignetes Tastverhältnis zwischen den Betriebsarten "Messen" und "Testen" und eine dazugehörige geeignete Umschaltfrequenz festzulegen.
  • Ein gültiger Druckmesswert liegt insbesondere dann vor, wenn in der nachfolgenden Testphase der Sensorausgang Null anzeigt. Bezugszeichenliste 1 Messbrücke
    2 Schalteinrichtung
    3, 4 Stromquellen
    5 Komparator
    6 Offset-Korrekturschaltung
    7 Empfindlichkeits-Korrekturschaltung
    8 Abtast- und Halteglied
    9 Komparator
    10 Offset-Korrekturschaltung
    11 Empfindlichkeits-Korrekturschaltung
    12 Abtast- und Halteglied
    13 Taktgeber
    S1-S4 Schalter
    R1-R4 Widerstände
    I1, I2 Ströme
    A-D Knoten
    Ubatt Versorgungsspannung

Claims (13)

1. Sensor, insbesondere zum Messen von Druck, mit einer Messbrücke (1), deren Diagonalspannung zur Ermittlung der Messgröße ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schalteinrichtung (2) vorgesehen ist, mit der die Messbrücke (1) zwischen einem Messbetrieb und einem Testbetrieb umgeschaltet werden kann, wobei sich die schaltungstechnische Anordnung der Brückenelemente (R1-R4) zueinander ändert.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schalteinrichtung (2) derart angeordnet ist, dass die im Messbetrieb in Serie geschalteten Brückenelemente (R1, R2; R3, R4) im Testbetrieb parallel zueinander geschaltet sind.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schalteinrichtung (2) zwei Schalter (S1, S2) umfasst, die mit den Mittenknoten (C, D) der Messbrücke (1) verbunden sind, an denen die Diagonalspannung abgegriffen wird.
4. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Konstantstromquellen (3, 4) vorgesehen sind, die mittels der beiden Schalter (S1, S2) zu- und abgeschaltet werden können.
5. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Stromquellen (3, 4) zwischen die Mittenknoten (C, D) und Masse geschaltet sind.
6. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schalteinrichtung (2) derart angeordnet ist, dass die Diagonalspannung der Messbrücke (1) im Testbetrieb von einer Veränderung der Messgröße unabhängig ist.
7. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schalteinrichtung (2) einen dritten Schalter (S3) aufweist, der den im Messbetrieb mit Masse verbundenen Knoten (B) der Messbrücke (1) im Testbetrieb auf Versorgungsspannung (Ubatt) umschaltet.
8. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschalten zwischen der Betriebsart Messen und der Betriebsart Testen in einem bestimmten Tastverhältnis erfolgt.
9. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messbrücke (1) eine Wheatstone- Brücke ist.
10. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messbrücke (1) eine Vollbrücke ist.
11. Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Konstantstromquellen (3, 4) gleich groß sind.
12. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor für den Testbetrieb eine Offset-Korrekturschaltung (10), eine Empfindlichkeits- Korrekturschaltung (11) und eine Abtast- und Halte- Schaltung (12) aufweist.
13. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schalteinrichtung (2) einen vierten Schalter (S4) aufweist, der aus Symmetriegründen vorgesehen ist.
DE2001133525 2001-07-11 2001-07-11 Sensor mit Selbst-Test-Funktion Expired - Fee Related DE10133525B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001133525 DE10133525B4 (de) 2001-07-11 2001-07-11 Sensor mit Selbst-Test-Funktion

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001133525 DE10133525B4 (de) 2001-07-11 2001-07-11 Sensor mit Selbst-Test-Funktion

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10133525A1 true DE10133525A1 (de) 2003-01-30
DE10133525B4 DE10133525B4 (de) 2010-08-05

Family

ID=7691304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2001133525 Expired - Fee Related DE10133525B4 (de) 2001-07-11 2001-07-11 Sensor mit Selbst-Test-Funktion

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10133525B4 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1473516A1 (de) * 2003-04-28 2004-11-03 Vaillant GmbH Vorrichtung und Verfahren zur Fehlerüberwachung einer Auswerteschaltung
EP1586909A1 (de) * 2004-02-20 2005-10-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Messbrücke
DE102007025001A1 (de) * 2007-05-30 2008-12-04 Infineon Technologies Ag Messbrückenanordnung, Verfahren zum Testen einer Messbrücke, Testanordnung zum Testen einer Messbrücke, Verfahren zum Herstellen einer getesteten Messbrückenanordnung und Computerprogramm
GB2489941A (en) * 2011-04-11 2012-10-17 Melexis Tessenderlo Nv Fault detection in difference measurement circuit-based sensors by changing the read-out configuration
DE102004016425B4 (de) * 2004-04-02 2014-03-20 Sick Ag Schaltungsanordnung
EP2752672A1 (de) * 2013-01-04 2014-07-09 Linear Technology Corporation Verfahren und System zum Messen des Widerstandes einer resistiven Struktur

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6489081B2 (ja) * 2016-08-05 2019-03-27 株式会社デンソー センサ装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4024402C1 (de) * 1990-08-01 1991-10-31 Dr.Ing.H.C. F. Porsche Ag, 7000 Stuttgart, De
DE4412982C1 (de) * 1994-04-15 1995-09-07 Audi Ag Vorrichtung zur Fehlerüberprüfung von Wheatston'schen Meßbrücken
JPH102915A (ja) * 1996-06-13 1998-01-06 Mitsubishi Electric Corp 半導体センサ
JP3587428B2 (ja) * 1997-10-08 2004-11-10 本田技研工業株式会社 故障診断回路
DE19806753A1 (de) * 1998-02-18 1999-09-02 Telefunken Microelectron Sensormodul
DE19852502A1 (de) * 1998-11-13 2000-05-18 Philips Corp Intellectual Pty Verfahren zur Offset-Kalibrierung eines magnetoresistiven Winkelsensors

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1473516A1 (de) * 2003-04-28 2004-11-03 Vaillant GmbH Vorrichtung und Verfahren zur Fehlerüberwachung einer Auswerteschaltung
EP1586909A1 (de) * 2004-02-20 2005-10-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Messbrücke
DE102004056133B4 (de) * 2004-02-20 2007-04-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Meßbrücke
DE102004016425B4 (de) * 2004-04-02 2014-03-20 Sick Ag Schaltungsanordnung
DE102007025001B4 (de) * 2007-05-30 2017-03-23 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Testen einer Messbrücke, Messbrückenanordnung, Testanordnung zum Testen einer Messbrücke, Verfahren zum Herstellen einer getesteten Messbrückenanordnung und Computerprogramm
DE102007025001A1 (de) * 2007-05-30 2008-12-04 Infineon Technologies Ag Messbrückenanordnung, Verfahren zum Testen einer Messbrücke, Testanordnung zum Testen einer Messbrücke, Verfahren zum Herstellen einer getesteten Messbrückenanordnung und Computerprogramm
US7928743B2 (en) 2007-05-30 2011-04-19 Infineon Technologies Ag Measuring bridge arrangement, method of testing a measuring bridge, test arrangement for testing a measuring bridge, method of producing a tested measuring bridge arrangement, and computer program
US9766280B2 (en) 2011-04-11 2017-09-19 Melexis Technologies N.V. Sensor readout with redundancy-checking
US9535103B2 (en) 2011-04-11 2017-01-03 Melexis Technologies N.V. Sensor readout with redundancy-checking
GB2489941A (en) * 2011-04-11 2012-10-17 Melexis Tessenderlo Nv Fault detection in difference measurement circuit-based sensors by changing the read-out configuration
US9977064B2 (en) 2011-04-11 2018-05-22 Melexis Technologies Sa Sensor readout with redundancy-checking
US10067173B2 (en) 2011-04-11 2018-09-04 Melexis Technologies Sa Method for sensor readout with redundancy-checking
CN103913639A (zh) * 2013-01-04 2014-07-09 凌力尔特公司 测量阻性结构电阻的方法和系统
US8947101B2 (en) 2013-01-04 2015-02-03 Linear Technology Corporation Method and system for measuring the resistance of a resistive structure
EP2752672A1 (de) * 2013-01-04 2014-07-09 Linear Technology Corporation Verfahren und System zum Messen des Widerstandes einer resistiven Struktur
CN103913639B (zh) * 2013-01-04 2018-05-18 凌力尔特公司 测量阻性结构电阻的方法和系统

Also Published As

Publication number Publication date
DE10133525B4 (de) 2010-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1010987B1 (de) Hallsensor
DE69316136T2 (de) Halbleitermessaufnehmer mit Schaltung zur Feststellung von Fehlern
DE69423100T2 (de) Dehnungsmessaufnehmer mit integrierter temperaturerfassung
EP1586909B1 (de) Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Messbrücke
DE102004014728B4 (de) Einheit zum Erfassen einer physikalischen Größe
DE102007027652B4 (de) Betriebsverfahren und Schaltungsanordnung für einen kapazitiven mikromechanischen Sensor mit analoger Rückstellung
DE102015102853A1 (de) Magnetfeldsensor
EP0658755A1 (de) Verfahren zum Auswerten der Ausgangssignale zweier Drucksensoren, Druckmessanordnung mit zwei Druckmesssensoren und Druckmesskopf
DE602005005616T2 (de) Integrierter Drucksensor und Herstellungsverfahren
DE10053188A1 (de) Sensor für eine physikalische Grösse mit Diagnosefunktion
DE102014108511A1 (de) Widerstandsmessung
EP0686232B1 (de) Kombination von lambda-sonden
WO2009083328A1 (de) Drucksensor und verfahren zu dessen kalibrierung
DE10133525A1 (de) Sensor mit Selbst-Test-Funktion
EP1106981A2 (de) Kapazitiver Wandler
EP1019690B1 (de) Sensor und verfahren zum betreiben des sensors
EP2548032B1 (de) Piezoresistives mikromechanisches sensorbauelement und entsprechendes messverfahren
DE10230198A1 (de) Sensor mit einer Heizeinrichtung und Verfahren
EP3640652B1 (de) Verfahren zum betrieb eines batteriesensors und batteriesensor
DE112014004697T5 (de) Beschleunigungssensor
DE102004026971B4 (de) Mikromechanischer Sensor mit Fehlererkennung
EP2543979A2 (de) Druckmessumformer
WO2004005858A1 (de) Messeinrichtung mit plausibilitätskontrolle
DE10304024B4 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zur Überprüfung einer Drucksensoranordnung
EP0727644B1 (de) Sensoranordnung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8364 No opposition during term of opposition
R084 Declaration of willingness to licence
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee