DE10127042A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung von Substraten in einem Behandlungsfluid, wobei die Substrate (21) in einen Träger eingebracht werden, so daß die Substrate im Bereich einer unteren Hälfte ihrer Kanten an mindestens zwei Punkten auf am Träger vorgesehenen Stützelementen (8) stehen, wobei ein Trägergegenelement in eine zum Träger gegenüberliegende Stellung gebracht wird, so daß die Substrate (21) an mindestens zwei weiteren Punkten im Bereich ihrer oberen Hälfte ihrer Kanten in am Trägergegenelement vorgesehene Halteelemente (16) eingreifen, und wobei die Stütz- (8) und Trägerelemente (16) beim Herausheben des Trägers und des Trägergegenelements aus dem Behandlungsfluid derart bewegt werden, daß die Substrate (21) zum Zeitpunkt des Durchtritts durch die Flüssigkeitsoberfläche (FO) mit den Stütz- (8) oder Halteelementen (16) lediglich in Punkt- oder Linienkontakt sind.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten.

Die Erfindung betrifft allgemein das Gebiet der Oberflächen­ behandlung von Substraten, wie Wafern oder auch Silizium­ scheiben für die Photovoltaik, mit Lösungen. Zur Herstellung des jeweils gewünschten Produkts sind eine Vielzahl naßchemi­ scher Behandlungen erforderlich. Zwischen den einzelnen Be­ handlungsschritten muß das Substrat jeweils gespült und rück­ standsfrei getrocknet werden. Dazu werden die Substrate in kassettenartigen Trägern oder Horden aufgenommen und in ein Behandlungsfluid eingetaucht und nachfolgend wieder herausge­ hoben. Die Seitenwände solcher Träger sind üblicherweise kammartig geschlitzt, so daß die Substrate in einem vorgege­ benen Abstand nebeneinander gehalten werden. Um ein möglichst rückstandsfreies Trocknen zu ermöglichen, sind die Schlitze deutlich breiter ausgeführt als die Dicke der darin aufgenom­ menen Substrate. Um ein vollständig trockenes Herausheben der Substrate aus dem Behandlungsfluid zu gewährleisten ist man bestrebt, die Kontaktbereiche zwischen Träger und darin auf­ genommenen Substraten möglichst klein, d. h. die Länge der Schlitze so kurz wie möglich zu halten.

Aus der WO 98/14282 ist ein Verfahren zum Behandeln von Subs­ traten bekannt. Dabei werden die Substrate in einem zweitei­ ligen Träger aufgenommen. Beim Herausheben aus einem Behand­ lungsfluid werden die Substrate zunächst von einem ersten Teil des Trägers teilweise aus dem Behandlungsfluid herausge­ hoben. Sie werden anschließend von einem zweiten Teil des Trägers übernommen, welcher zuvor vollständig aus dem Behand­ lungsfluid herausgehoben worden ist. - Das vorgeschlagene Verfahren eignet sich insbesondere zum Behandeln von Wafern für die Halbleiterindustrie. Beim Behandeln von für die pho­ tovoltaisch vorgesehenen Siliziumscheiben wird eine vollstän­ dige Trocknung und Reinigung derselben häufig nicht erreicht. Die vorgenannten Siliziumscheiben sind dünner als die Waver ausgebildet. Sie verkippen im Träger, so daß es zur Berührung zweier benachbarter Substrate kommen kann. Im Bereich der Be­ rührungspunkte wird durch Kapillarkräfte Behandlungsfluid ge­ halten und beim Herausheben mitgeschleppt. In diesen Berei­ chen bilden sich durch die Verdampfung des Behandlungsfluids unerwünschte Ablagerungen.

Die US 5,299,901 beschreibt eine Vorrichtung zur Übergabe ei­ ner Vielzahl von Wavern an einen Träger, welcher in ein Be­ handlungsfluid eingetaucht wird. Auch hier kann es bei der Verwendung dünner Substrate dazu kommen, daß Behandlungsfluid beim Herausheben an Kontaktpunkten der Substrate herausge­ schleppt wird.

Nach dem Stand der Technik tritt das weitere Problem auf, daß u. a. bei Ätzschritten Wasserstoff im Behandlungsfluid sich bildet. Durch an der Oberfläche der Substrate adsorbierte Wasserstoff-Gasbläschen kann es zum Aufschwimmen insbesondere von dünnen Substrate kommen.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile nach den Stand der Technik zu beseitigen. Es sollen insbesondere ein Verfah­ ren und eine Vorrichtung zur Behandlung von Substraten sowie eine Einrichtung zur Aufnahme von Substraten angegeben wer­ den, mit denen universell Substrate unterschiedlicher Dicke vollständig trocken aus einem Behandlungsfluid herausgehoben werden können.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1, 9 und 19 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 8, 10 bis 18 und 20 bis 29.

Nach Maßgabe der Erfindung ist ein Verfahren zur Behandlung von Substraten in einem Behandlungsfluid vorgesehen, wobei die Substrate in einen Träger eingebracht werden, so daß die Substrate im Bereich einer unteren Hälfte ihrer Kanten auf mindestens zwei am Träger vorgesehenen Stützelementen abge­ stützt sind, wobei ein Trägergegenelement in eine zum Träger gegenüberliegende Stellung gebracht wird, so daß die Substra­ te im Bereich einer oberen Hälfte ihrer Kanten mit mindestens zwei am Trägergegenelement vorgesehenen Halteelementen gehal­ ten werden, und wobei die Stütz- und Halteelemente beim Her­ ausheben des Trägers und des Trägergegenelements aus dem Be­ handlungsfluid derart bewegt werden, daß die Substrate zum Zeitpunkt des Durchtritts durch die Flüssigkeitsoberfläche mit den Stütz- oder Halteelementen lediglich im Punkt- oder Linienkontakt sind.

Das vorgeschlagene Verfahren ermöglicht universell die Trocknung von Substraten unterschiedlichster Dicke. Durch das Vorsehen des Trägergegenelements wird ein Aufschwimmen der Substrate sicher vermieden. Die Bewegung der Stütz- und Hal­ teelemente beim Herausheben der Substrate stellt sicher, daß kein Behandlungsfluid insbesondere in Schlitzen der Stütz- und Halteelemente beim Herausheben herausgeschleppt wird. Das vorgeschlagene Verfahren ist einfach und kostengünstig durch­ führbar.

Die Substrate können auf den Stützelementen an mindestens zwei Punkten abgestützt sein. Sie können an den Stützelemen­ ten auch in darin vorgesehenen schlitzartigen Ausnehmungen gehalten sein. Die Halteelemente dienen dazu, die Substrate zu jeder Zeit beim Herausheben in einer vorgegebenen Position zu halten. Sie verhindern ein Aufschwimmen oder Verkippen der Substrate. Dazu können die Substrate im Bereich einer oberen Hälfte ihrer Kanten an den Halteelementen anliegen. Sie wer­ den in diesem Fall klemmend gehalten. Sie können aber auch in an den Halteelementen vorgesehenen schlitzartigen Ausnehmun­ gen gehalten werden.

Die Stütz- und Halteelemente können so bewegt werden, daß die Substrate beim Durchtritt durch die Flüssigkeitsoberfläche mit den Stütz- und Halteelementen lediglich im Punkt- oder Linienkontakt sind. Ein solcher minimaler Kontakt beim Durch­ tritt durch die Flüssigkeitsoberfläche erleichtert das Ab­ fliesen des Behandlungsfluids vom Substrat.

Nach einer Ausgestaltung des Verfahrens ist es auch möglich, daß die Stütz- und Halteelemente beim Herausgeben des Trägers und des Trägergegenelements aus dem Behandlungsfluid derart bewegt werden, daß zum Zeitpunkt ihres Durchtritts durch die Flüssigkeitsoberfläche ein Kontakt oder Eingriff mit den Sub­ straten vermieden wird.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung ist jedes Substrat auf vier parallelen zueinander angeordneten Stützelementen abge­ stützt und wird durch vier parallel zueinander angeordnete Halteelemente gehalten. Diese Verfahrensvariante eignet sich insbesondere zum Behandeln von quadratisch ausgebildeten Sub­ straten. Sie werden an jeder ihrer Kanten durch jeweils zwei Stütz- oder Halteelemente abgestützt bzw. gehalten.

Beim Herausheben können jeweils zwei einander gegenüberlie­ gende Stütz- oder Halteelemente gleichzeitig bewegt werden. Die Stütz- oder Halteelemente können gedreht oder lateral be­ wegt werden. Die laterale Bewegung kann mittels einer Kurven­ platte bewirkt werden, welche im Eingriff mit den Stütz- oder Haltelementen ist. Selbstverständlich ist es auch möglich, daß die laterale Bewegung mittels elektrisch oder pneumatisch betreibbarer Spreizmittel durchgeführt wird. Die laterale oder die Drehbewegung können automatisch gesteuert werden.

Die vorgenannten Merkmale ermöglichen jederzeit einen siche­ ren Halt insbesondere quadratischer Substrate. Die Substrate werden jederzeit an zumindest drei Punkten abgestützt oder gehalten. Ein Verkippen oder Aufschwimmen der Substrate beim Herausheben aus dem Behandlungsfluid wird sicher vermieden.

Nach weiterer Maßgabe der Erfindung ist eine Einrichtung zur Aufnahme von Substraten vorgesehen, mit einem Träger, auf dem die Substrate im Bereich einer unteren Hälfte ihrer Kanten abstützbar sind und einem mit dem Träger verbindbaren Träger­ gegenelement zum randlichen Halten der Substrate im Bereich einer oberen Hälfte ihrer Kanten in einer vorgegebenen Stel­ lung. Durch das Vorsehen eines Trägergegenelements zum Halten der Substrate im Bereich einer oberen Hälfte ihrer Kanten wird sicher vermieden, daß die Substrate bei der Behandlung aufschwimmen oder beim Herausheben aus dem Behandlungsfluid verkippen.

Vorteilhafterweise weist der Träger zum Abstützen der Sub­ strate mehrere parallel angeordnete Stützelemente und das Trägergegenelement zum randlichen Halten der Substrate mehre­ re parallel angeordnete Halteelemente auf. Die Anzahl der Stütz- und Halteelemente kann so gewählt sein, daß die Sub­ strate an zwei, drei, vier oder mehr Punkten abgestützt und an ebenso vielen Punkten im Bereich der oberen Hälfte ihrer Kanten gehalten werden.

Nach einem weiteren Ausgestaltungsmerkmal ist vorgesehen, daß die Stütz- und/oder Halteelemente nebeneinanderliegende schlitzartige Ausnehmungen zum kantenseitigen Eingriff der Substrate aufweisen. Damit wird ein sicherer Halt der Sub­ strate gewährleistet. Die Breite der schlitzartigen Ausneh­ mungen ist zweckmäßigerweise so gewählt, daß Substrate jeder handelsüblichen Dicke darin aufgenommen werden können. Die Breite und die Form der schlitz- oder kerbartigen Ausnehmun­ gen ist in jedem Fall so ausgebildet, daß ein Herausschleppen von Behandlungsfluid beim Herausheben durch die Flüssigkeits­ oberfläche sicher vermieden wird.

Nach einer weiteren Ausgestaltung weist der Träger zwei unte­ re mit den Trägerelementen verbundene Halteplatten auf. Das Trägergegenelement weist zweckmäßigerweise zwei mit den Hal­ teelementen verbundene obere Halteplatten auf. Die oberen und die unteren Halteplatten sind so ausgeführt, daß der Träger mit dem Trägergegenelement verrastbar ist, wobei die Halte­ platten im verrasteten Zustand einen Spalt zwischeneinander bilden, so daß bei Herausheben des mit dem Träger verrasteten Trägergegenelements ein sicherer Ablauf des Behandlungsfluids gewährleistet ist.

Die Stütz- und/oder die Haltelemente können an Federzungen der unteren bzw. oberen Halteplatten befestigt sein. Des wei­ teren können die Stütz- und/oder Halteelemente die Halteplat­ ten durchgreifende Endabschnitte aufweisen.

Die Stütz- und/oder die Halteelemente können vorteilhafter­ weise an ihren Enden auch mit Hebels versehen sein. Von den Hebeln können sich stabförmige Anschnitte erstrecken, welche zur Steuerung der Bewegung der Stütz- und/oder der Halteele­ mente in die Kurvenplatten eingreifen. In diesem Fall können die Abschnitte so angeordnet sein, daß sie beim Durchtritt der Substrate durch die Flüssigkeitsoberfläche noch in das Behandlungsfluid eingetaucht sind. Dadurch wird die Gesamt­ fläche der Stütz- und/oder Trägerelemente beim Durchtritt durch die Flüssigkeitsoberfläche verringert.

Die Stütz- oder Halteelemente sind zweckmäßigerweise stabför­ mig ausgebildet. Sie können drehbar, vorzugsweise exzen­ trisch, gehalten sein. Nach einem weiteren Ausgestaltungs­ merkmal sind die Stütz- und die Halteelemente aus einem hy­ drophoben Material, vorzugsweise aus PFA, hergestellt. Die Stütz- und Halteelemente können aber auch mit einem hydropho­ ben Material beschichtet sein. Auch eine solche Beschichtung kann aus dem Kunststoff PFA gebildet sein.

Eine Einrichtung mit den vorgenannten Merkmalen gewährleistet jederzeit einen sicheren Halt der darin aufgenommenen Sub­ strate. Sie ist ferner dazu geeignet, die Stütz- und Träger­ elemente unabhängig voneinander so zu bewegen, daß die Sub­ strate zum Zeitpunkt des Durchtritts durch die Flüssigkeits­ oberfläche mit den Stütz- oder Halteelementen lediglich im Punkt- oder Linienkontakt sind. Es kann auch sein, daß beim Durchtritt durch die Flüssigkeitsoberfläche jeglicher Kontakt der Stütz- oder Trägerelemente mit dem Substrat vermieden wird. Die vorgeschlagene Einrichtung gewährleistet ein voll­ ständig trockenes Herausgeben der Substrate aus dem Behand­ lungsfluid.

Nach weiterer Maßgabe der Erfindung ist eine Vorrichtung zur Behandlung von Substraten mit einem Behälter zur Aufnahme ei­ nes Behandlungsfluids vorgesehen, wobei Mittel zum Außerkon­ taktbringen von Stütz- und Halteelementen einer erfindungsge­ mäßen Einrichtung vorgesehen sind. Die erfindungsgemäße Vor­ richtung ermöglicht ein vollständig trockenes Herausheben der Substrate in Zusammenwirken der erfindungsgemäßen Einrich­ tung.

Nach einer besonders kostengünstigen Variante weisen die Mit­ tel an den Querseiten des Behälters angebrachte Kurvenplatten zum Eingriff von Endabschnitten der Stütz- und Halteelemente auf. Die fest mit dem Behälter verbundenen Kurvenplatten kön­ nen mehrere zur Führung der Endabschnitte geeignete schlitz­ artige Ausnehmungen aufweisen, die im Bereich der vorgegebe­ nen Höhe des Behälters Kurven aufweisen können. Die vorgege­ bene Höhe, bei welcher die Mittel das Außerkontaktbringen der Stütz- und Halteelemente mit den Substraten bewirken, ent­ spricht der einzustellenden Flüssigkeitsoberfläche des Be­ handlungsfluids im Behälter. Durch die Kurven wird bei einem z. B. elektromotorisch bewirkten Anheben des Trägers bzw. Trä­ gerelements aus dem Behälter eine laterale Auslenkung der Stütz- und Halteelemente bewirkt und so ein Außerkontaktbrin­ gen mit den Substraten sicher gewährleistet.

Zweckmäßigerweise sind die Stütz- und Halteelemente und die Halteplatten so ausgebildet, daß sie in der Stellung beim Herausnehmen aus dem Behälter im wesentlichen keine schöpfen­ den oder horizontale Flächen aufweisen, so daß sie nach den Durchtritt durch die Flüssigkeitsoberfläche vollständig troc­ ken sind.

Als Mittel zum Bewegen der Stütz- und Halteelemente kann auch ein Mittel zum Drehen derselben vorgesehen sein. Es ist auch möglich als Mittel zum Bewegen elektrisch oder pneumatisch betreibbare Spreizmittel vorzusehen. Sofern insbesondere elektrisch betreibbare Mittel vorgesehen sind, kann auch eine Einrichtung zur automatischen Steuerung der Dreh- oder Spreizbewegung vorgesehen sein.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Querschnittsansicht einer Vorrichtung,

Fig. 2 einen Längsschnitt durch die Vorrichtung gemäß Fig. 1,

Fig. 3 eine Querschnittsansicht eines Trägers,

Fig. 4 eine Querschnittsansicht eines Trägergegenele­ ments und

Fig. 5a-f Zustandsbilder beim Herausheben der Substrate mittels der Vorrichtung gemäß Fig. 1 bis 4.

In den Fig. 1 und 2 sind Schnittansichten einer erfindungsge­ mäßen Vorrichtung gezeigt. Ein Behälter 1 zur Aufnahme des Behandlungsfluids ist umgeben von einem Überlaufbehälter 2. Mit 3 ist ein im Behälter 1 aufgenommenes Diffusorrohr be­ zeichnet. An den beiden Querseiten des Behälters 1 sind, vor­ zugsweise aus Kunststoff hergestellte, Kurvenplatten 4 befe­ stigt. Ein oberer Abschnitt der Kurvenplatten 4 ragt über ei­ ne mit FO bezeichnete Flüssigkeitsoberfläche hinaus.

Eine insbesondere aus Fig. 3 deutlich erkennbare untere Hal­ teplatte 5 eines Trägers weist durch schlitzartige erste Aus­ nehmungen 6 gebildete erste Federzungen 7 auf, an deren frei­ en Enden stabförmig ausgebildete Stützelemente 8 durch dort vorgesehene Durchbrüche oder Ausnehmungen geführt sind. Die Stützelemente 8 erstrecken sich mit ihren Endabschnitten 9 in schlitzartige Führungen 10 der Kurvenplatten 4 (siehe auch Fig. 2 und 5a-f). Die unteren Halteplatten 5 weisen ferner zwei Rastzungen 11 mit Auskehlungen 12 auf.

Eine insbesondere aus Fig. 4 ersichtliche obere Halteplatte 13 eines Trägergegenelements weist durch schlitzartige zweite Ausnehmungen 14 gebildete weitere Federzungen 15 auf, an de­ ren freien Enden jeweils stabförmig ausgebildete Halteelemen­ te 16 durch dort vorgesehene Durchbrüche oder Ausnehmungen geführt sind. Die Halteelemente 16 erstrecken sich mit ihren weiteren Endabschnitten 17 in die schlitzartigen Führungen 10 der Kurvenplatten 4. An den oberen Halteplatten 13 sind fer­ ner mit 18 bezeichnete spitz zulaufende Abstandshalter und, vorzugsweise in Form von Rollen, ausgebildete Rastelemente 19 vorgesehen. Die Rastelemente 19 dienen zum Eingriff in die Auskehlungen 12. Dadurch kann das aus den oberen Halteplatten 13 und den Halteelementen 16 gebildete Trägergegenelement mit dem aus den unteren Halteplatten 5 und den Stützelementen 8 gebildeten Träger lösbar verbunden werden. Die unteren Halte­ platten 5 sind im Behälter 1 auf Vorsprüngen 20 abgestützt.

Sowohl die Stützelemente 8 als auch die Halteelemente 16 wei­ sen (hier nicht gezeigte) kammartige ausgebildete Schlitze zum Einstellen bzw. Halten von Substraten 21 auf.

Zum Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden bis zu 150 Substrate 21 nebeneinander in die Stützelemente 8 des Trägers gestellt. Anschließend wird in gegenüberliegender An­ ordnung das Trägergegenelement aufgesetzt. Dabei verrastet die obere Halteplatte 13 durch Eingriff der Rastelemente 19 in die Auskehlungen 12. Die Halteelemente 16 greifen mit ih­ ren Schlitzen in die Substrate 21 im Bereich einer oberen Hälfte deren Kanten ein. Die solchermaßen beladene Trägerein­ richtung wird anschließend in den Behälter 1 eingesetzt. Da­ bei greifen die Endabschnitte 9 und die weiteren Endabschnit­ te 17 in die Führungen 10 der Kurvenplatten 4 ein. Die Endab­ schnitte 9 und die weiteren Endabschnitte 17 werden beim Ab­ senken oder Anheben der Trägereinrichtung relativ zum Behäl­ ter 1 in den Führungen 10 so geführt, daß jeweils die im Be­ reich der Flüssigkeitsoberfläche FO befindlichen Stütz- 8 oder Halteelemente 16 von der Kante der Substrate 21 wegbe­ wegt werden, so daß kein Kontakt mehr mit den Substraten 21 besteht. Dieser Vorgang ist in der Fig. 5 schematisch ge­ zeigt. Darin sind die jeweils von der Kante des Substrats 21 wegbewegten Stütz- 8 bzw. Halteelemente 16 schwarz gekenn­ zeichnet. Eine obere Hälfte der Substrate 21 ist mit HO, eine untere Hälfte mit HU bezeichnet. Die hier quadratisch ausge­ bildeten Substrate 21 sind während des Herausnehmens aus dem Behälter 1 an jeweils mindestens 6 Punkten kantenseitig abge­ stützt und gehalten.

Die Bewegung der Stütz- 8 oder Halteelemente 16 kann anstelle der Kurvenplatten 4 selbstverständlich auch durch andere Mit­ tel erfolgen. Beispielsweise können die Stütz- 8 oder Halte­ elemente 16 exzentrisch drehbar gelagert sein. Sie können in diesen Fall durch eine Rotation von den Kanten der Substrate 21 wegbewegt werden. Ferner ist es möglich, anstelle der Kur­ venplatten 4 z. B. pneumatisch betreibbare Spreitzmittel vor­ zusehen.

Die Halteplatten 5, 13 sowie die Stütz- 8 und die Halteele­ mente 16, die Rastmittel 19, Federzungen 11, Auskehlungen 12 sind so geformt, daß beim Herausheben der Trägereinrichtung ein vollständiges Abfließen des Behandlungsfluids gewährlei­ stet ist. Die Trägereinrichtung weist im in den Behälter 1 bzw. die Vorrichtung eingesetzten Zustand im wesentlichen keine schöpfenden oder horizontalen Flächen auf.

Die Anzahl der verwendeten Stütz- und Halteelemente 16 rich­ tet sich insbesondere nach der Geometrie der zu behandelnden Substrate 21. Bei runden Substraten ist eine Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit zwei Stützelementen 8 und zwei Halteelementen 16 denkbar. Bei einer geeigneten Anord­ nung der Stütz- 8 und Halteelemente 16 kann eine Halterung des Substrats 21 zu jeder Zeit des Herausheben an drei Punk­ ten realisiert werden.

Bezugszeichenliste

1

Behälter

2

Überlaufbehälter

3

Diffusorrohr

4

Kurvenplatte

5

untere Halteplatte

6

erste schlitzartige Ausnehmung

7

erste Federzungen

8

Stützelemente

9

Endabschnitt

10

Führung

11

Rastzunge

12

Auskehlung

13

obere Halteplatte

14

zweite schlitzartige Ausnehmung

15

weitere Federzungen

16

Halteelement

17

weiterer Endabschnitt

18

Abstandhalter

19

Rastelement

20

Vorsprung

21

Substrat
FO Flüssigkeitsoberfläche
HO obere Hälfte
HU untere Hälfte

Claims (25)

1. Verfahren zur Behandlung von Substraten in einem Behand­ lungsfluid,
wobei die Substrate (21) in einen Träger eingebracht werden, so daß die Substrate (21) im Bereich einer unteren Hälfte (HU) ihrer Kanten auf mindestens zwei am Träger vorgesehenen Stützelementen (8) abgestützt sind,
wobei ein Trägergegenelement in eine zum Träger gegenüberlie­ genden Stellung gebracht wird, so daß die Substrate (21) im Bereich einer oberen Hälfte (HO) ihrer Kanten mit mindestens zwei am Trägergegenelement vorgesehenen Halteelementen (16) gehalten werden,
und wobei die Stütz- (8) und Halteelemente (16) beim Heraus­ heben des Trägers und des Trägergegenelements aus dem Behand­ lungsfluid derart bewegt werden, daß die Substrate (21) zum Zeitpunkt des Durchtritts durch die Flüssigkeitsoberfläche (FO) mit den Stütz- (8) oder Halteelementen (16) lediglich im Punkt- oder Linienkontakt sind.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Stütz- (8) und Hal­ teelemente (16) beim Herausheben des Trägers und des Träger­ gegenelements aus dem Behandlungsfluid derart bewegt werden, daß zum Zeitpunkt ihres Durchtritts durch die Flüssigkeits­ oberfläche ein Kontakt oder Eingriff mit den Substraten (21) vermieden wird.

3. . Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei jedes Substrat (21) zeitweise auf vier parallel zueinander angeordneten Stützelementen (8) abgestützt und durch vier parallel zuein­ ander angeordnete Halteelemente (16) gehalten wird.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei beim Herausheben jeweils zwei einander gegenüberliegende Stütz- (8) oder Halteelemente (16) gleichzeitig bewegt wer­ den.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Stütz- (8) oder Halteelemente (16) gedreht oder lateral bewegt werden.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die laterale Bewegung mittels einer Kurvenplatte (4) bewirkt wird, welche im Eingriff mit den Stütz- und/oder Halteelemen­ ten (8, 9, 16, 17) ist.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die laterale Bewegung mittels elektrisch oder pneumatisch be­ treibbarer Spreitzmittel durchgeführt wird.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die laterale oder die Drehbewegung automatisch gesteuert wird.

9. Einrichtung zur Aufnahme von Substraten (21) mit einem Träger, auf dem die Substrate (21) im Bereich einer unteren Hälfte (HU) ihrer Kanten abstützbar sind und einem mit dem Träger verbindbaren Trägergegenelement zum randlichen Halten der Substrate im Bereich einer oberen Hälfte (HO) ihrer Kan­ ten in einer vorgegebenen Stellung.

10. Einrichtung nach Anspruch 9, wobei der Träger zum Ab­ stützen der Substrate (21) mehrere parallel angeordnete Stützelemente (8) und das Trägergegenelement zum randlichen Halten der Substrate (21) mehrere parallel angeordnete Hal­ teelemente (16) aufweist.

11. Einrichtung nach Anspruch 9 oder 10, wobei die Stütz- (8) und/oder Halteelemente (16) nebeneinaderliegende schlitz­ artige Ausnehmungen zum kantenseitigen Eingriff der Substrate (21) aufweisen.

12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei der Träger zwei mit den Stützelementen (8) verbundene untere Hal­ teplatten (5) aufweist.

13. Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei das Trägergegenelement zwei mit den Halteelementen (16) verbunde­ ne obere Halteplatten (13) aufweist.

14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, wobei die Stütz- (8) und/oder die Halteelemente (16) an Federzungen (7, 15) der unteren (5) bzw. oberen Halteplatten (13) befestigt sind.

15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, wobei die Stütz- (8) und/oder die Halteelemente (16) die Halteplatten (5, 13) durchgreifende Endabschnitte aufweisen.

16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 15, wobei die Stütz- (8) und/oder Halteelemente (16) stabförmig ausgebildet sind.

17. Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16, wobei Stütz- (8) und/oder Halteelemente (16) drehbar, vorzugsweise exzentrisch, gehalten sind.

18. Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 17, wobei die Stütz- (8) und die Halteelemente (16) aus einem hydrophoben Material, vorzugsweise aus PFA, hergestellt sind.

19. Vorrichtung zur Behandlung von Substraten (21) mit einem Behälter (1) zur Aufnahme eines Behandlungsfluids, wobei Mit­ tel zum Außerkontaktbringen von Stütz- (8) und Halteelementen (16) einer Einrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 18 vor­ gesehen sind.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, wobei die Mittel an den Querseiten des Behälters (1) angebrachte Kurvenplatten (4) zum Eingriff von Endabschnitten (9, 17) der Stütz- (8) und Halteelemente (16) aufweisen.

21. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, wobei die Kurven­ platten (4) mehrere zur Führung der Endabschnitte (9, 17) ge­ eignete schlitzartige Ausnehmungen (10) aufweisen, die im Be­ reich einer vorgegebenen Höhe (FO) des Behälters (1) Kurven aufweisen.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 21, wobei die Stütz- (8) und die Halteelemente (16) und die Halteplat­ ten (5, 13) so ausgebildet sind, daß sie in der Stellung beim Herausheben aus dem Behälter (1) im wesentlichen keine schöp­ fenden oder horizontale Flächen aufweisen, so daß sie nach dem Durchtritt durch die Flüssigkeitsoberfläche (FO) voll­ ständig trocken sind.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 22, wobei als Mittel zum Bewegen der Stütz- (8) oder Halteelemente (16) ein Mittel zum Drehen derselben vorgesehen ist.

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 23, wobei als Mittel zum Bewegen elektrisch oder pneumatisch betreibba­ re Spreizmittel vorgesehen sind.

25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 24, wobei eine Einrichtung zur automatischen Steuerung der Dreh- oder Spreizbewegung vorgesehen ist.