DE10124761A1 - Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung - Google Patents

Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung

Info

Publication number
DE10124761A1
DE10124761A1 DE2001124761 DE10124761A DE10124761A1 DE 10124761 A1 DE10124761 A1 DE 10124761A1 DE 2001124761 DE2001124761 DE 2001124761 DE 10124761 A DE10124761 A DE 10124761A DE 10124761 A1 DE10124761 A1 DE 10124761A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
magnetic field
sensor
sensors
field sensors
signals
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2001124761
Other languages
English (en)
Other versions
DE10124761B4 (de
Inventor
Jens Hauch
Klaus Ludwig
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE2001124761 priority Critical patent/DE10124761B4/de
Priority to EP02726095A priority patent/EP1390696A1/de
Priority to PCT/DE2002/001819 priority patent/WO2002095334A1/de
Publication of DE10124761A1 publication Critical patent/DE10124761A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10124761B4 publication Critical patent/DE10124761B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

Zur kontaktlosen linearen Positionsmessung ist eine Sensorzeile mit mindestens zwei Magnetfeldsensoren (2a-c) vorgesehen, die Signale abgeben, welche jeweils einen Maximalwert (6), einen Minimalwert (7) und einen dazwischenliegenden Halbpegel (8) aufweisen, wobei die Magnetfeldsensoren (2a-c) so beabstandet sind, dass ein Magnetfeldsensor (2a) einen Maximalwert (6) abgibt, wenn der unmittelbar benachbarte ein Signal mit Halbpegel (8) abgibt. Zur Auswertung werden die Signale zweier unmittelbar benachbarter Magnetfeldsensoren dividiert, und vom Ergebnis wird der Arcus-Tangens gebildet.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Sensorzeile zur Positionserfassung mit mindestens zwei Magnetfeldsensoren, die ein Magnetfeld detektieren und Signale abgeben, welche jeweils einen Maximalwert, einen Minimalwert und einen dazwischenliegenden Halbpegel aufweisen, und auf ein Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung zwischen zwei Bauteilen, mit der Verwendung zweier an einem ersten Bauteil befestigten Magnetfeldsensoren, die ein Magnetfeld detektieren und Signale abgeben, welche einen Maximalwert, einen Minimalwert und einen dazwischenliegenden Halbpegel aufweisen.
  • Das Prinzip solcher Sensoranordnungen ist im Stand der Technik zur kontaktlosen Positionsmessung bekannt. Dabei wird die Magnetfeldmessung eingesetzt, um durch Relativbewegungen zwischen Permanentmagnet und Magnetfeldsensor ein Abstandssignal zur Positionsmessung zu gewinnen. Ein Beispiel für eine solche Anwendung findet sich in der WO 00/09972, bei der ein Magnetfeldsensor als Positionssensor für einen elektromechanischen Stellantrieb für Gaswechselventile einer Brennkraftmaschine eingesetzt wird.
  • Der Messbereich, der mit einem solchen Messverfahren abgedeckt werden kann, hängt regelmäßig von den Eigenschaften des Magnetfeldsensors sowie des Permanentmagneten ab. Dabei ist die erreichbare Ortsauflösung gegenläufig zum Messbereich. Um bei gleichbleibender Auflösung einen größeren Messbereich abdecken zu können, ist es bekannt, mehrere Sensoren entlang einer Längsachse aufzureihen, so dass eine Sensorzeile erhalten wird.
  • Die in solchen Sensorzeilen verwendeten Magnetfeldsensoren sind insbesondere in Ausführungen verfügbar, bei denen in einem Nahbereich zwischen zwei Endpositionen das vom Magnetsensor abgegebene Signal annähernd linear verläuft, wodurch eine hohe Auflösung des Messsignals und eine präzise Positionsbestimmung möglich ist. Bei derartigen linearen Magnetfeldsensoren ist der Permanentmagnet in der Regel stabförmig ausgebildet. Er kann so ausgerichtet werden, dass seine Magnetachse senkrecht zur Bewegungsrichtung, mit der der Permanentmagnet über den Magnetfeldsensor bewegt wird, liegt.
  • Magnetsensoranordnungen zur Positionsmessung haben den Vorteil, dass nur geringer baulicher Aufwand nötig ist, insbesondere können die Sensoren und Permanentmagneten sehr klein gehalten werden. Darüber hinaus sind sie sehr robust und insbesondere verschmutzungsunanfällig. Zur Auswertung wird normalerweise das Ausgangssignal des Magnetfeldsensors, insbesondere wenn es, wie bei einem linearen Sensor, proportional zur gemessenen Feldstärke ist, mittels einer festen Kalibrationskurve innerhalb eines vorgegebenen Arbeitsbereiches, der im wesentlichen den vorerwähnten linearen Zusammenhang wiedergibt, umgesetzt. Zur Auswertung der Magnetfeldsensoren einer Sensorzeile wird dabei jeweils so zwischen den Signalen der einzelnen Magnetfeldsensoren umgeschaltet, dass das Signal eines jeden Sensors im Bereich optimaler Auflösung und Signalstärke ausgewertet wird.
  • Dabei müssen jedoch Signalschwankungen durch Einbautoleranzen hinsichtlich der gegenseitigen Lage von Permanentmagnet und Magnetfeldsensor so gering wie möglich gehalten werden, da die Signale der Magnetfeldsensoren stark vom Abstand des Permanentmagneten abhängen, mit dem dieser über die Sensorzeile geführt wird. Auch sind Magnetfeldmessungen bei Anwendungen, bei denen starke Temperaturunterschiede auftreten können, nicht besonders vorteilhaft, da Temperaturänderungen zum einen in der Regel eine Änderung des Abstandes zwischen Magnetfeldsensor und Permanentmagnet mit sich bringen und zum anderen die Koerzitivkraft der meisten Permanentmagneten stark von der Temperatur abhängt. Für Anwendungen, bei denen die dadurch bedingten Fehler nicht tolerierbar sind, bzw. bei denen deren Vermeidung zu unverhältnismäßig hohen Kosten führen würde, sind andere Sensoren bekannt, beispielsweise mit optischen Sensorkonzepten. Diese sind jedoch in der Regel teurer und haben andere Nachteile, wie Verschmutzungsanfälligkeit. Auch ist es möglich, nach Temperaturmessungen eine Fehlerkorrektur vorzunehmen. Dies ist aber ebenfalls aufwendig.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, bei einer kontaktlosen Positionsmessung der eingangs erwähnten Art mit zwei Magnetfeldsensoren die Messgenauigkeit zu steigern und die erwähnten Fehlereinflüsse hinsichtlich Temperaturabhängigkeit und mechanischer Bauteiletoleranzen zu verringern.
  • Diese Aufgabe wird mit Hilfe einer Sensorzeile zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung mit mindestens zwei Magnetfeldsensoren, die ein Magnetfeld detektieren und die Signale abgeben, welche einen Maximalwert, einen Minimalwert und einen dazwischenliegenden Halbpegel aufweisen, erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Magnetfeldsensoren so beabstandet sind, dass ein Magnetfeldsensor einen Maximalwert abgibt, wenn der unmittelbar benachbarte Magnetfeldsensor ein Signal mit Halbpegel abgibt.
  • Diese Sensoranordnung ermöglicht eine besonders vorteilhafte Signalauswertung mit günstigem Signal/Rausch-Verhältnis. Die Staffelung der Magnetfeldsensoren ist erfindungsgemäß nicht mehr von der bloßen Ausdehnung der Sensoren abhängig, wie man eigentlich erwarten würde, sondern wird auf das von den Sensoren abgegebene Signal bezogen. Mithin spielen die Empfindlichkeit der Magnetfeldsensoren und die Ausdehnung sowie die Feldstärke der Magnetfeldquelle eine Rolle. Die Beabstandung der Magnetfeldsensoren ist somit vorzugsweise anwendungsabhängig zu wählen.
  • Die Magnetfeldsensoren der erfindungsgemäßen Sensorzeile können prinzipiell auf unterschiedlichste Magnetfeldquellen abgestimmt sein. Dazu eignen sich sowohl bereits vorhandene Magnetfeldquellen als auch speziell zu Messzwecken eingerichtete. Vorteilhaft und wirtschaftlich ist es, wenn die Magnetfeldsensoren einer Sensorzeile, die an einem ersten Bauteil befestigbar ist, auf einen an einem zweiten Bauteil befestigten Permanentmagneten eingestellt sind und Signale abgeben, die von dessen Lage abhängig sind. Vorteilhaft ist es, dass die Beabstandung der Magnetfeldsensoren in der Sensorzeile passend zur Ausdehnung der Magnetfeldquelle, beispielsweise eines Permanentmagneten, gewählt wird.
  • Prinzipiell sind für die erfindungsgemäße Sensorzeile alle geeigneten Magnetfeldsensoren tauglich, die ein entsprechendes Signal abgeben, das zwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert mit dazwischenliegendem Halbpegel schwankt, wenn der Permanentmagnet über die Magnetfeldsensoren geführt wird. Besonders hohe Messgenauigkeiten ergaben sich mit linearen Hallsensoren, weshalb es zu bevorzugen ist, lineare Hallsensoren als Magnetfeldsensoren zu verwenden.
  • Die Aufgabe wird zudem gelöst durch ein Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung unter Verwendung einer erfindungsgemäßen Sensorzeile, bei dem die Signale zweier unmittelbar benachbarter Magnetfeldsensoren dividiert und vom Ergebnis der Arcus-Tangens gebildet wird als ein Abstandssignal, das die seitliche Lage des Permanentmagneten bezüglich der beiden Magnetfeldsensoren, deren Signale dividiert werden, wiedergibt.
  • Die Erfindung erreicht dann ohne Rückgriff auf externe Kennlinien oder weitere Sensorik eine weitgehende Unabhängigkeit hinsichtlich Temperatur- oder mechanischer Dejustagefehler. Überraschenderweise zeigte sich, dass die erfindungsgemäße Rechenregel für das erste und das zweite Magnetfeldsensorsignal über einen relativ großen Arbeitsbereich eine gerade Kennlinie ergibt, die so gut wie vollständig unabhängig vom Abstand zwischen Permanentmagnet und Magnetfeldsensor ist.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren ergibt sich weiter der Vorteil, dass unabhängig von der örtlichen Lage der Magnetfeldquelle sofort nach Aufnahme des Verfahrens ein gültiges Signal vorliegt. Eine vorherige Bewegung der Magnetfeldquelle, beispielsweise über den kompletten Messbereich eines Magnetfeldsensors, wie beim Stand der Technik, ist nicht erforderlich. Das erfindungsgemäße Verfahren erreicht also sogenannte "True Power On" Eigenschaften, was insbesondere bei automobilen Anwendungen äußerst vorteilhaft ist.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren kann weiter der Aufwand, der zur genauen Justage des Abstandes zwischen Magnetfeldquelle und den Magnetfeldsensoren erforderlich ist, stark vermindert werden, wodurch der Anwendungsbereich für derartige kontaktlose Positionsmeßsysteme stark vergrößert wird. Darüber hinaus sinkt die Fehlerempfindlichkeit auf Bewegungen der Magnetfeldquelle, die nicht parallel zu der Ebene verlaufen, in der sich der Magnetfeldsensor befindet. Somit sind durch das erfindungsgemäße Verfahren Magnetfeldmessungen nun nicht nur für geradlinige Bewegungen, sondern auch für leicht bogenförmige oder schräg verlaufende Bewegungen tauglich.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren liefert in einem gewissen Arbeitsbereich einen linearen Zusammenhang zwischen dem errechneten Abstandssignal und der Position der Magnetfeldquelle bezüglich der Magnetfeldsensoren. Zur Vergrößerung des Arbeitsbereiches können drei oder mehrere Magnetfeldsensoren gestaffelt werden, um einen größeren Messbereich abzudecken. Dabei werden jeweils zwei Abstandssignale aus den Signalen zweier benachbarter Magnetfeldsensoren gebildet und in einer Hysterese ausgewertet. Somit kann durch eine Sensorzeile, in der mehr als zwei Magnetfeldsensoren entlang einer Längsachse beabstandet aufgereiht sind, auf der sich die Magnetfeldquelle bewegt, ein nahezu beliebig großer Messbereich abgedeckt werden. Damit werden die Vorteile des erfindungsgemäßen Messverfahrens auch über eine große Messstrecke, die größer als der Arbeitsbereich zweier Magnetfeldsensoren ist, ausgenutzt.
  • Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielhalber noch näher erläutert. In der Zeichnung zeigt:
  • Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Sensorzeile zur kontaktlosen Positionsmessung,
  • Fig. 2 eine Kurvenschar eines Magnetfeldsensors, über den in verschiedenen Abständen ein Permanentmagnet geführt wird,
  • Fig. 3 Kurvenscharen zweier beabstandeter Magnetfeldsensoren, über die in verschiedenen Abständen ein Permanentmagnet geführt wird,
  • Fig. 4 Beispiele für die Kurven dreier gestaffelter Magnetfeldsensoren in einer Sensorzeile und
  • Fig. 5 Beispiele für die Auswertung der Abstandsignale zweier benachbarter Magnetfeldsensoren mittels einer Hystereseschleife.
  • Eine schematische Darstellung zur kontaktlosen Positionsmessung mittels Magnetfeldsensoren, die an einem ersten Bauteil befestigt sind, und einem Permanentmagneten, der an einem relativ zum ersten Bauteil beweglichen zweiten Bauteil befestigt ist, zeigt Fig. 1. Die dort dargestellte Sensorzeile 1 weist mehrere lineare Hallsensoren 2a, 2b und 2c auf, die in einem Sensorabstand d zueinander auf der Sensorzeile befestigt sind. Die Sensorzeile 1 ist an einem (nicht dargestellten) ersten Bauteil angebracht.
  • Über der Sensorzeile 1 bewegt sich in Längsrichtung x ein Permanentmagnet 3. Der Permanentmagnet 3 ist an einem (nicht dargestellten) zweiten Bauteil befestigt, das sich gegenüber dem ersten Bauteil in Längsrichtung x verschiebt. Zwischen Permanentmagnet 3 und der Sensorzeile 1 befindet sich ein Luftspalt h, dessen Abmessung bauteiletoleranz- und temperaturabhängig ist. Der Permanentmagnet 3 ist mit seiner Magnetisierungsachse zwischen Nordpol N und Südpol S parallel zur Längsrichtung x ausgerichtet, kann aber je nach Messaufgabe auch anders liegen. Jeder Hallsensor 2a bis 2c misst das Magnetfeld des Permanentmagneten 3.
  • In Fig. 1 ist eine Sensorzeile 1 mit mehreren Hallsensoren 2a bis 2c dargestellt. Es können auch nur zwei Hallsensoren 2a und 2b verwendet werden, falls der Messbereich, über den eine Verschiebung zwischen Permanentmagnet 3 und Hallsensor 2a und 2b in Längsrichtung x erfasst werden soll, ausreichend gering ist.
  • Das von jedem Hallsensor 2a bis 2c abgegebene Sensorsignal S ist in Fig. 2 in einer Kurvenschar 4 dargestellt. Das Signal S ist in Fig. 2 als Funktion der Längsrichtung x aufgetragen und von einem Sensor gewonnen, der eine Spannung zwischen 0 und 5 Volt abgibt.
  • Die Kurvenschar 4 enthält verschiedene Sensorsignale S, wobei der Luftspalt h der Scharparamenter ist.
  • Wie man sieht, weist jedes Sensorsignal S der Kurvenschar 4 einen Maximalwert 6 sowie einen Minimalwert 7 auf. Zwischen Maximalwert 6 und Minimalwert 7 liegt ein Halbpegel 8. Dieser Halbpegel 8 wird dann eingenommen, wenn der Permanentmagnet 3 genau mittig über dem Hallsensor 2 liegt. Die Amplitude zwischen Maximalwert 6 und Minimalwert 7 hängt von der Größe des Luftspaltes h ab. Sie nimmt von einem Luftspalt h = 10 mm, dem flachsten Sensorsignal S der Kurvenschar 4, bis h = 3 mm, den am steilsten verlaufenden Sensorsignal S der Kurvenschar 4, zu. Alle Kurvenscharen haben jedoch den Maximalwert 6 und den Minimalwert 7 sowie den Halbpegel 8 in Längsrichtung x am selben Ort.
  • Die Kurvenscharen 4a und 4b der zwei Hallsensoren 2a und 2b bei verschiedenen Größen des Luftspalts h, also verschiedenen Abständen des Permanentmagneten 3 von den Hallsensoren 2a bis 2c, zeigt Fig. 3. Dabei ist der Abstand d der Hallsensoren so gewählt, dass die Kurvenschar 4a des Hallsensors 2a den Maximalwert 6 jeweils genau dann zeigt, wenn das vom Hallsensor 2b abgegebene Signal genau Halbpegel hat.
  • Fig. 4 verdeutlicht die Verhältnisse bei drei Sensoren 2a bis 2c für einen konstanten Wert des Luftspalts h. Die Maximalwerte 6a bis 6c weisen wie die Minimalwerte 7a bis 7c und die Halbpegel 8a bis 8c voneinander einen konstanten Abstand entsprechend dem Abstand d der Sensoren 2a bis 2c auf. Der Abstand d der Hallsensoren 2a bis 2c ist so, dass der Hallsensor 2a einen Maximalwert 6a abgibt, wenn die Kurve 4b des folgenden Hallsensors 2b den Halbpegel 8b erreicht, und deren Maximalwert 6b in Längsrichtung x ihrerseits mit dem Halbpegel 8c der Kurve 4c des Hallsensors 2c zusammenfällt.
  • Der Luftspalt h ist für die Einbaujustierung des Permanentmagneten 7 bezüglich der Sensorzeile 1 ein kritisches Maß. Durch Temperatureinflüsse ändert sich jedoch der Luftspalt h. Darüber hinaus ergibt sich eine weitere Abhängigkeit des Sensorsignals S von der Koerzitivkraft des Permanentmagneten 3, welche in der Regel ebenfalls temperaturabhängig ist. Deshalb wird zur Auswertung der Quotient zweier Sensorsignale S. z. B. der Hallsensoren 2a und 2b bestimmt, und davon der Arcus- Tangens T als Abstandssignal berechnet.
  • Mit diesem Abstandssignal ist eine Größe gewonnen, die eine Auswertung des Signals der Hallsensoren 2a und 2b erlaubt, welche weitestgehend unabhängig vom Luftspalt h und von etwaigen Temperatureinflüssen ist.
  • Das Auswertesignal hat, wie die Auswertekurve 9ab in Fig. 5 zeigt, einen Arbeitsbereich a mit nahezu konstanter Steigung.
  • Wird nun der Messbereich durch den Einsatz von mehr als zwei Magentfeldsensoren erweitert, erhält man bei vorbeschriebenem Abstand d der Sensoren 2 Auswertekurven 9ab und 9bc, mit sich in Längsrichtung x über einen weiten Bereich überlappenden Arbeitsbereichen a. Die Überlappung wird in Form einer Hysterese beim Übergang zwischen den einzelnen Kennlinien 9ab und 9bc der Kurven 4a, 4b und 4c der einzelnen Hallsensoren 2a, 2b und 2c ausgenutzt.
  • Die Hysterese entsteht dadurch, dass bei in zunehmender Längsrichtung x verlaufender Bewegung etwa ab der Mitte des Arbeitsbereiches a der Auswertekurve 9ab auf die anschließende Auswertekurve 9bc gesprungen wird. Bei einer gegenläufigen Bewegung in abnehmender Längsrichtung x wird etwa ab der Mitte des Arbeitsbereiches der jeweiligen Kennlinie auf die nächste Kennlinie gesprungen werden.
  • Die im Bereich des Überlappens der Auswertekurven 9ab, 9bc ausgeführte Hysterese erlaubt eine eindeutige Zuordnung des Sensorsignals und vermeidet uneindeutige Zuweisungen am Sprungpunkt.

Claims (5)

1. Sensorzeile zur Positionserfassung mit mindestens zwei Magnetfeldsensoren (2a, 2b, 2c), die ein Magnetfeld detektieren und Signale(5)abgeben, welche jeweils einen Maximalwert (6), einen Minimalwert (7) und einen dazwischenliegenden Halbpegel (8) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldsensoren (2a, 2b, 2c)so beabstandet sind, daß ein Magnetfeldsensor (2a, 2b)einen Maximalwert (6a, 6b)abgibt, wenn der unmittelbar benachbarte Magnetfeldsensor (2b, 2c) ein Signal mit Halbpegel (8b, 8c)abgibt.
2. Sensorzeile nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorzeile(1)an einem ersten Bauteil befestigbar ist, und die Magnetfeldsensoren (2a, 2b, 2c)von der Lage einer an einem zweiten Bauteil befestigten Magnetfeldquelle (3) abhängige Signale (S) abgeben.
3. Sensorzeile nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldsensoren als lineare Hallsensoren (2a, 2b, 2c)ausgebildet sind.
4. Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung mit einer Sensorzeile nach Anspruch 1, bei dem die Signale zweier unmittelbar benachbarter Magnetfeldsensoren dividiert und vom Ergebnis der Arcus-Tangens gebildet wird als ein Abstandssignal, das die seitliche Lage des Permanentmagneten bezüglich der beiden Magnetfeldsensoren, deren Signale dividiert werden, wiedergibt.
5. Verfahren nach Anspruch 4, bei dem eine Sensorzeile mit mehr als zwei Magnetfeldsensoren verwendet wird, wobei jeweils zwei Abstandssignale aus den Signalen zweier benachbarter Magnetfeldsensoren gebildet werden und die zwei Abstandssignale in einer Hysterese ausgewertet werden.
DE2001124761 2001-05-21 2001-05-21 Sensorzeile und Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung Expired - Fee Related DE10124761B4 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001124761 DE10124761B4 (de) 2001-05-21 2001-05-21 Sensorzeile und Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung
EP02726095A EP1390696A1 (de) 2001-05-21 2002-05-21 Verfahren zur kontaktlosen, linearen positionsmessung
PCT/DE2002/001819 WO2002095334A1 (de) 2001-05-21 2002-05-21 Verfahren zur kontaktlosen, linearen positionsmessung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001124761 DE10124761B4 (de) 2001-05-21 2001-05-21 Sensorzeile und Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10124761A1 true DE10124761A1 (de) 2003-02-20
DE10124761B4 DE10124761B4 (de) 2004-02-19

Family

ID=7685610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2001124761 Expired - Fee Related DE10124761B4 (de) 2001-05-21 2001-05-21 Sensorzeile und Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP1390696A1 (de)
DE (1) DE10124761B4 (de)
WO (1) WO2002095334A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012112216A1 (de) * 2012-12-13 2014-06-18 Conti Temic Microelectronic Gmbh Ermittlung einer Position auf einem Verfahrweg
DE102016206905A1 (de) * 2016-04-22 2017-10-26 Festo Ag & Co. Kg Sensorsystem und Verfahren zur Ermittlung einer Position eines Messelements längs eines Bewegungswegs

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITBO20030470A1 (it) * 2003-08-01 2005-02-02 Gd Spa Macchina automatica per il trattamento di articoli e provvista di un dispositivo di rilevamento di posizione con sensori ad effetto di hall.
ITBO20040809A1 (it) * 2004-12-23 2005-03-23 Gd Spa Dispositivo di trasferimento e controllo di gruppi di sigarette.

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3443176C1 (de) * 1984-11-27 1990-11-15 Angewandte Digital Elektronik Gmbh, 2051 Brunstorf Verfahren zur Kalibrierung eines elektronischen Positionsgebers
DE19632656A1 (de) * 1996-08-13 1998-02-19 Ruf Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Lage oder der Drehstellung eines Gegenstandes

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0264407A (ja) * 1988-08-31 1990-03-05 Fanuc Ltd 磁気式絶対位置エンコーダ
JP3029657B2 (ja) * 1990-09-28 2000-04-04 カヤバ工業株式会社 位置検出装置
US5892161A (en) * 1997-09-09 1999-04-06 Tyco Group S.A.R.L. Transducer assembly for an electronically monitored mechanical pipette

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3443176C1 (de) * 1984-11-27 1990-11-15 Angewandte Digital Elektronik Gmbh, 2051 Brunstorf Verfahren zur Kalibrierung eines elektronischen Positionsgebers
DE19632656A1 (de) * 1996-08-13 1998-02-19 Ruf Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Lage oder der Drehstellung eines Gegenstandes

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
WO 2000/9972 A1 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012112216A1 (de) * 2012-12-13 2014-06-18 Conti Temic Microelectronic Gmbh Ermittlung einer Position auf einem Verfahrweg
DE102016206905A1 (de) * 2016-04-22 2017-10-26 Festo Ag & Co. Kg Sensorsystem und Verfahren zur Ermittlung einer Position eines Messelements längs eines Bewegungswegs
US11035697B2 (en) 2016-04-22 2021-06-15 Festo Se & Co. Kg Sensor system and method for determining a position of a measuring element along a motion path

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002095334A1 (de) 2002-11-28
DE10124761B4 (de) 2004-02-19
EP1390696A1 (de) 2004-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19818799C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Winkeln
EP2182330B1 (de) Positions-/Wegmesssystem mit kodiertem Masskörper
DE102010025170B4 (de) Vorrichtung zum Erzeugen eines Sensorsignals und Verfahren zur Bestimmung der Position eines Gebers
DE102017222676A1 (de) Wegsensor
DE19855358A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Wegstrecke
EP2159546A2 (de) Messverfahren zur berührungslosen Erfassung linearer Relativbewegungen zwischen einer Sensorenanordnung und einem Permanentmagneten
DE19504229A1 (de) Positions-Sensoreinrichtung
DE10044839B4 (de) Induktiver Positionssensor
DE102006010945A1 (de) Positionsgeber für ein Stellelement, Linearmotor und Verfahren zum Herstellen eines Linearmotors
DE102006017865B4 (de) Vorrichtung zur Messung der absoluten Position eines Messobjekts
EP2869029A1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE10124760A1 (de) Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung
DE10124761B4 (de) Sensorzeile und Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung
DE19612422A1 (de) Potentiometereinrichtung mit einem linear verschiebbaren Stellelement und signalerzeugenden Mitteln
DE10162849B4 (de) Längenmesssystem, bei dem ein Massstab relativ zur Position von beabstandeten Längensensoren bewegt wird
DE102011000486A1 (de) Absolutes Positionsmesssystem
EP1723393B1 (de) Berührungslos arbeitendes wegmesssystem
CH696859A5 (de) Stromsensor mit mehreren Magnetfeldsensoren.
DE102007022942A1 (de) Inkrementalweggeber und Verfahren zum Bestimmen einer Verschiebung eines ersten Objekts relativ zu einem zweiten Objekt
EP3617658A1 (de) Sensor
DE102006042580A1 (de) Baugruppe zur Erfassung einer Ventilstellung
DE102017202365A1 (de) Sensoreinrichtung
DE10161541A1 (de) Sensoranordnung und Funktionseinheit mit Sensoranordnung
DE102012000939A1 (de) Sensoreinheit und Verfahren zur Bestimmung einer Wegstrecke
DE102007061967A1 (de) Inkrementalweggeber und Verfahren zum Bestimmen einer Verschiebung eines ersten Objekts relativ zu einem zweiten Objekt

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee