DE10106281A1 - Vorrichtung zur gleichzeitigen Kollimation von Fast-axis und Slow-axis der Strahlung aus Halbleiterlasern - Google Patents

Vorrichtung zur gleichzeitigen Kollimation von Fast-axis und Slow-axis der Strahlung aus Halbleiterlasern

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Abstract

Die Strahlung aus Halbleiterlasern hat aufgrund der Struktur der Emitter stark unterschiedliche Divergenzwinkel für die verschiedenen Raumrichtungen. Man unterscheidet zwischen der Richtung mit stark divergenter Strahlung, der fast-axis, und der Richtung mit weniger divergenter Strahlung, der slow-axis. Für die technische Anwendung der Strahlung aus Halbleiterlasern ist es in der Regel nötig, die Strahlung vorher zu kollimieren. Die hier vorgeschlagene Vorrichtung zeichnet sich gegenüber den bisherigen eingesetzten Methoden dadurch aus, dass beide Strahlachsen mit nur einem Bauteil gleichzeitig kollimiert werden und sich dies sowohl bei den Herstellungskosten, bei der Montage als auch bei der Stabilität des Gesamtsystems positiv bemerkbar macht.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf die Strahlformung von Halbleiterlasern, im folgenden auch Laserdioden genannt.
Die Strahlung aus Halbleiterlasern hat aufgrund der Struktur der Emitter stark unterschiedliche Divergenzwinkel für die verschiedenen Raumrichtungen. Man unterscheidet zwischen der Richtung mit schnell divergierender Strahlung, der schnellen Achse oder fast-axis (mit Divergenzwinkel bis über 40°), und der Richtung mit langsam divergierender Strahlung, der langsamen Achse oder slow-axis (mit Divergenzwinkel um ca. 6°).
Für die technische Anwendung der Strahlung aus Laserdioden, Laserdiodenbarren oder Laserdiodenstacks (Übereinandergeschichtete Laserdiodenbarren) ist es in der Regel nötig, die Strahlung vorher zu kollimieren. Mögliche Anwendungen sind z. B. der Direkteinsatz der Laserdiodenstrahlung zur Materialbearbeitung oder das optische Pumpen von Festkörperlasern.
Nach dem Stand der Technik wird zuerst die schnelle Achse der Laserdiodenstrahlung kollimiert, wobei als Kollimatoren beispielsweise Zylinderlinsen oder Gradientenindexlinsen (Fig. 1, HPDL: High Power Diode Laser, FAC lens: Fast-Axis-Collimation lens, Quelle: Grintech GmbH) eingesetzt werden.
In einer zweiten Stufe wird die Strahlung der langsamen Achse kollimiert. Nach dem Stand der Technik kommen hierbei beispielsweise Zylinderlinsen (Fig. 2, Quelle: LIMO) oder Teleskope (Fig. 3, Quelle: LIMO) zum Einsatz. Bei der slow-axis Kollimation von aneinandergereihten Halbleiterlasern, den sogenannten Arrays von Emittern, wird die Kollimation der langsamen Achse für jeden einzelnen Emitter beispielsweise durch eine zugeordnete Zylinderlinse realisiert. Für den gesamten Emitterbereich wird beispielsweise ein Zylinderlinsenarray eingesetzt (Fig. 2). Der Grad der Verminderung der slow-axis Divergenz hängt im Wesentlichen von der Emitterstruktur (Emitterabstand und Emitterbreite bei vorgegebener Emitteranzahl) und dem verwendeten Verfahren ab. Zum Beispiel kann bei 150 µm Emitterbreite und 500 µm Emitterabstand (auch Pitch genannt) durch Einsatz von Teleskopen die slow-axis Divergenz um mehr als einen Faktor drei vermindert werden, bei Zylinderlinsenarrays um circa einen Faktor zwei. Nachteilig bei dieser Art von fast- und slow-axis Kollimation ist jedoch, dass mindestens zwei Module eingesetzt werden, die jeweils justiert und fixiert werden müssen.
Die hier vorgeschlagene Vorrichtung zeichnet sich gegenüber den bisherigen eingesetzten Methoden dadurch aus, das beide Strahlachsen gleichzeitig kollimiert werden können und sich dies sowohl bei den Herstellungskosten, in der Handhabung bei der Montage als auch bei der Stabilität des Gesamtsystems positiv bemerkbar macht.
Die Vorrichtung basiert auf einer örtlich strukturierten Optik, die als ein Bauteil gleichzeitig die Divergenzen der fast- und slow-axis verringert und das Strahlungsfeld somit in beiden Achsen gleichzeitig kollimiert.
Eine mögliche Ausführung ist die Strukturierung einer oder beider durchstrahlten Flächen einer Gradientenindexzylinderlinse zur fast-axis Kollimation, so dass gleichzeitig eine Kollimation der slow-axis stattfindet.
Eine weitere Möglichkeit ist die gezielte Ausbildung von Indexgradienten in dem Bauteil, so dass sowohl für die fast-axis als auch für die slow-axis eine Kollimation bewirkt wird.

Claims (3)

1. Vorrichtung zur Kollimation von Halbleiterlaserstrahlung, dadurch gekennzeichnet, dass die Kollimation der fast-axis- und slow-axis-Strahlung gleichzeitig durch ein Bauteil erzielt wird, wobei die Kollimation der fast-axis durch eine Gradientenindexlinse erreicht wird.
2. Vorrichtung zur Kollimation von Halbleiterlaserstrahlung, dadurch gekennzeichnet, dass der Halbleiterlaser ein Laserdiodenbarren ist und die Kollimation der fast-axis- und slow-axis-Strahlung gleichzeitig durch ein Bauteil erzielt wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Halbleiterlaser als Stack aufgebaut ist.
DE2001106281 2001-02-05 2001-02-05 Vorrichtung zur gleichzeitigen Kollimation von Fast-axis und Slow-axis der Strahlung aus Halbleiterlasern Withdrawn DE10106281A1 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021023544A1 (de) * 2019-08-07 2021-02-11 Forschungsverbund Berlin E.V. Optischer pulsgenerator und verfahren zum betrieb eines optischen pulsgenerators hoher leistung und kurzen pulsen

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WO2021023544A1 (de) * 2019-08-07 2021-02-11 Forschungsverbund Berlin E.V. Optischer pulsgenerator und verfahren zum betrieb eines optischen pulsgenerators hoher leistung und kurzen pulsen

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