DE10104323A1

DE10104323A1 - Verfahren zum Herstellen einer Rille mit einer Engstelle in der Oberfläche eines Bauteils und Bauteil

Info

Publication number: DE10104323A1
Application number: DE2001104323
Authority: DE
Inventors: Hans-Richard Kretschmer; Kathrin Petsch; Arno Steckenborn
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 2001-01-24
Filing date: 2001-01-24
Publication date: 2002-08-01

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Rille mit einer Engstelle in der Oberfläche eines Bauteils durch Ätzen. DOLLAR A Um ein solches Bauteil in einfacher Weise herstellen zu können, werden durch isotropes Ätzen voneinander beabstandete Rillenabschnitte (12, 13) erzeugt. Anschließend wird zwischen den Rillenabschnitten (12 und 13) durch ein weiteres Ätzen ein Rillenstück (15) mit relativ engem Querschnitt erzeugt, das die beiden Rillenabschnitte (12, 13) miteinander unter Bildung einer Engstelle verbindet. DOLLAR A Bei einer Verfahrensvariante wird mit einer Ätzmaske mit zwei beabstandeten Ätzöffnungen solange isotrop geätzt, bis sich die gebildeten Rillenabschnitte stirnseitig unter Bildung einer Engstelle teilweise durchdringen.

Description

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum einfachen Herstellen einer Rille mit einer Engstelle in einem scheibenförmigen Bauteil anzugeben.

Zur Lösung dieser Aufgabe dient erfindungsgemäß ein Verfahren zum Herstellen einer Rille mit einer Engstelle in der Ober fläche eines Bauteils, bei dem auf das Bauteil eine erste Ätzmaske mit mindestens einem Ätzfenster für einen nachge ordneten Ätz-Bearbeitungsvorgang zum Erzeugen eines die Engstelle bildenden Rillenstücks erzeugt wird, die erste Ätz maske mit einer Passivierungsschicht überzogen wird, auf der Passivierungsschicht eine zweite Ätzmaske mit zwei längli chen, zwischen sich das Ätzfenster aufweisenden Ätzöffnungen mit im Vergleich zum Ätzfenster größerer Breite für einen ersten Ätz-Bearbeitungsvorgang erzeugt wird, in dem ersten Ätz-Bearbeitungsvorgang das Bauteil im Bereich der Ätzöff nungen der zweiten Ätzmaske zum Erzeugen von beiderseits an das Rillenstück sich anschließenden Rillenabschnitten ätz-be arbeitet wird und anschließend nach Entfernen der Passivie rungsschicht in dem nachgeordneten Ätzvorgang in den Berei chen der Ätzöffnungen und des Ätzfensters beider Ätzmasken das Bauteil ätz-bearbeitet wird.

Es ist zwar aus der US-Patentschrift 5,013,400 ein Verfahren zum Herstellen einer Ausnehmung in einer scheibenförmigen Halbleiteranordnung durch isotropes Ätzen mit einer eine Ätz öffnung aufweisenden Maske bekannt, jedoch wird dieses be kannte Verfahren dazu verwendet, durch Ätzen eine Öffnung in einer Oxidschicht zu erzeugen, die auf einem Halbleiter-Wafer aufgebracht ist. Zum Ätzen ist auf die Oxidschicht eine Maske aufgebracht, die mit einer Ätzöffnung versehen ist. Durch diese Ätzöffnung erfolgt bei dem bekannten Verfahren zunächst ein isotropes Ätzen, an das sich ein anisotroper Ätzvorgang anschließt. Mit dem anisotropen Ätzvorgang wird die Ausnehmung bis zur Oberfläche des Halbleiter-Wafers ein gebracht. Durch anschließendes Metallisieren entstehen Kon takte bis zum Halbleiter-Wafer, die frei von Mikrohaarrissen sind. Das bekannte Verfahren wird also zur Kontaktierung ei nes Halbleiter-Wafers verwendet.

Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens be steht darin, dass mit ihm in vergleichsweise einfacher Weise in einer einzigen Ätz-Abfolge Rillen in der Oberfläche eines Bauteils, z. B. in einer Scheibe aus beispielsweise Glas oder einem Halbleiterwerkstoff erzeugt werden können, die in Längsrichtung ein Rillenstück mit vergleichsweise kleinem Querschnitt zur Bildung einer Engstelle aufweisen.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird in beiden Ätz-Bearbeitungsvorgängen ein isotropes Ätzen vorgenommen. Sowohl das Rillenstück als auch die Rillenabschnitte weisen hier gleichstrukturierte Quer schnitte auf.

Bei einer anderen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfah rens wird vorteilhafterweise nach dem isotropen Ätzen durch die Ätzöffnungen hindurch ein anisotropes Ätzen durch das Ätzfenster hindurchgeführt. Dabei ergibt sich ein besonders enges Rillenstück, was für strömungstechnische Anwendungen vorteilhaft ist.

Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, ein Bauteil anzugeben, das als Grundelement für ein mikrofluidisches Bau element geeignet und in einfacher Weise herstellbar ist. Die Lösung dieser Aufgabe besteht erfindungsgemäß in einem Bau teil mit zwei durch isotropes Ätzen erzeugten und im Abstand voneinander liegenden Rillenabschnitten und mit einem im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Rillenstück, das durch anisotropes Ätzen erzeugt ist und die Ril lenabschnitte miteinander verbindet.

Ferner liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine einfa che herstellbare Fluidplatte anzugeben. Die Lösung dieser Aufgabe bildet erfindungsgemäß eine Fluidplatte mit einem ersten Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen erzeugten und im Abstand voneinander liegenden Rillenabschnitten und mit einem durch anisotropes Ätzen erzeugten, die beiden Rillenab schnitte miteinander verbindenden, im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Rillenstück und mit einem zweiten entsprechend hergestellten Bauteil, das fest mit dem ersten Bauteil verbunden ist, wobei die einander gegenüberliegenden Rillenstücke eine Drosselstelle in einem von den Rillenab schnitten des ersten und des zweiten Bauteils gebildeten in neren Kanal bilden.

Die erfindungsgemäße Fluidplatte ist insofern vorteilhaft, als sie in einfacher Weise aus z. B. jeweils scheibenförmigen Bauteilen, z. B. zwei Siliziumscheiben, mit gemäß dem erfin dungsgemäßen Verfahren hergestellten Rillen beispielsweise durch Bonden der beiden Bauteile hergestellt werden kann, wobei die Rillen einen inneren Kanal aufweisen, der eine Drosselstelle bildet, so dass dort - beispielsweise durch in tegrierte Drucksensoren - die Druckdifferenz an der Drosselstelle erfasst und damit Messgrößen zur Ermittlung des Durchflusses in einfacher Weise gewonnen werden können.

Durch einen einfachen und kostengünstigen Aufbau zeichnet sich eine weitere erfindungsgemäße Fluidplatte aus, bei der mit einem ersten Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen er zeugten und im Abstand voneinander liegenden Rillenabschnit ten und mit einem durch anisotropes Ätzen erzeugten, die bei den Rillenabschnitte miteinander verbindenden, im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Rillenstück, mit einer Abdeckplatte, die fest mit dem ersten Bauteil verbunden ist, wobei das Rillenstück eine Drosselstelle in einem von den Rillenabschnitten des ersten Bauteils gebildeten inneren Ka nal bilden.

Eine weitere Lösung der eingangs angegebenen Aufgabe wird in einem Verfahren gesehen, bei dem erfindungsgemäß zum Herstel len einer Rille mit einer Engstelle in der Oberfläche eines Bauteils eine Maske mit zwei länglichen, im Abstand vonein ander angeordneten Ätzöffnungen auf das Bauteil aufgebracht wird und das Bauteil unter Bildung von zwei Rillenabschnitten isotrop solange geätzt wird, bis sich die einander zuge wandten Stirnflächen der Rillenabschnitte unter Bildung einer im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Verbin dungsstelle zwischen den Rollenabschnitten teilweise durch dringen.

Zur Lösung der weiteren Aufgabe, ein scheibenförmiges Bauteil anzugeben, das als Grundelement für ein mikrofluidisches Bauelement geeignet und in einfacher Weise herstellbar ist, dient erfindungsgemäß ein Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen erzeugten Rillenabschnitten, die sich an ihren einander zugewandten Stirnflächen unter Bildung einer im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Verbindungsstelle zwischen den Rillenabschnitten teilweise durchdringen.

Um eine einfach herstellbare Fluidplatte zu gewinnen, weist diese erfindungsgemäß ein erstes Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen erzeugten Rillenabschnitten, die sich an ih ren einander zugewandten Stirnflächen unter Bildung einer im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitt engen Verbindungs stelle zwischen den Rillenabschnitten teilweise durchdringen, und ein zweites entsprechend hergestelltes Bauteil auf, das fest mit dem ersten Bauteil verbunden ist, wobei die einander gegenüberliegenden Verbindungsstellen eine Drosselstelle in einem von den Rillenabschnitten des ersten und des zweiten Bauteils gebildeten inneren Kanal bilden. Vorteilhafterweise kann das zweite Bauteil durch eine Abdeckplatte ersetzt werden.

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung ist in

Fig. 1 eine Draufsicht auf einen Ausschnitt aus einem nach einer Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ätz-barbei teten scheibenförmigen Bauteil, in

Fig. 2 eine perspektivische Sicht auf dasselbe Bauteil, in

Fig. 3 anhand von Einzeldarstellungen a bis f (Schnitt III- III gemäß Fig. 1) der Ablauf der einen Variante des erfin dungsgemäßen Verfahrens zur Erzielung des in den Fig. 1 und 2 dargestellten Bauteils, in

Fig. 4 eine Draufsicht auf ein weiteres nach dem erfindungs gemäßen Verfahren bearbeitetes Bauteil, in

Fig. 5 eine perspektivische Sicht auf dasselbe Bauteil, in

Fig. 6 anhand von Einzeldarstellungen g bis k (Schnitt VI-VI gemäß Fig. 4) der Ablauf einer weiteren Variante des erfin dungsgemäßen Verfahrens zur Erzielung des in den Fig. 4 und 5 dargestellten Bauteils, in

Fig. 7 eine Draufsicht auf ein weiteres nach dem erfindungs gemäßen Verfahren bearbeitetes Bauteil und in

Fig. 8 eine perspektivische Sicht auf dasselbe Bauteil ge zeigt.

Wie die Fig. 1 und 2 zeigen, weist ein nach dem erfin dungsgemäßen Verfahren hergestelltes Bauteil 1 eine erste Rille 2 und eine zweite Rille 3 auf, die im dargestellten Beispiel fluchtend ineinander übergehen. Die erste Rille 2 ist verhältnismäßig breit und tief ausgeführt, während die zweite Rille 3 schmal und relativ flach ausgebildet ist.

Um ein in dieser Weise an seiner Oberfläche ätz-bearbeitetes Bauteil 1 zu erzeugen, wird - wie die Darstellung a der Fig. 3 zeigt - auf das Bauteil 1 zunächst eine erste Ätzmaske 4 aufgebracht, die ein Ätzfenster 5 an der Stelle aufweist, wo später die zweite Rille 3 erzeugt werden soll. Auf die erste Ätzmaske 4 ist eine Passivierungsschicht 6 aufgebracht, die ebenso wie die erste Ätzmaske 4 im Falle eines Bauteils aus Silizium aus Si₃N₄ bestehen kann; die Passivierungsschicht 6 überzieht sowohl die erste Ätzmaske 4 als auch das Ätzfenster 5 dieser Ätzmaske. Schließlich ist auf die Passivie rungsschicht 6 eine zweite Ätzmaske 7 aufgebracht, die bei spielsweise aus einem Lack bestehen kann. Diese zweite Ätz maske 7 hat eine Ätzöffnung 8 an der Stelle, wo später in der Oberfläche des Bauteils 1 die erste Rille 2 mit vergleichs weise großen Abmessungen gebildet werden soll. Ist das an seiner Oberfläche durch Ätzen zu bearbeitende Bauteil 1 so weit mit Ätzmasken 4 und 7 und Passivierungsschicht 6 verse hen, wie es die Darstellung a der Fig. 3 zeigt, dann wird - wie es die Darstellung b der Fig. 3 wiedergibt - in einem ersten Ätz-Schritt die zweite Ätzmaske 7 und die unterhalb der Ätzöffnung 8 dieser Ätzmaske liegenden Bereiche der Passivierungsschicht 6 und der ersten Ätzmaske 4 abgetragen, so dass das Bauteil 1 im Bereich unterhalb der Ätzöffnung 8 für das Ätzmedium, z. B. eine Ätzflüssigkeit oder ein Plasma des nächsten Ätzschrittes zugänglich ist.

Danach erfolgt - wie die Darstellung c zeigt - ein isotropes Ätzen, wobei die erste Rille 2 teilweise gebildet wird.

Figur d lässt erkennen, dass danach die Passivierungsschicht 6 abgetragen wird, so dass nunmehr das Ätzfenster 5 der ers ten Ätzmaske 4 frei zum Angriff für ein Ätzmedium liegt. Durch ein weiteres anschließendes Ätzen wird - wie die Dar stellung e der Fig. 3 wiedergibt - in dem Bauteil 1 die zweite Rille 3 (teilweise) gebildet und dabei gleichzeitig die erste Rille 2 vergrößert.

Wie die Figur f zeigt, wird das isotrope Ätzen solange fort gesetzt, bis die beiden Rillen 2 und 3 ineinander übergehen und ein Kanal aus zwei Rillen 2 und 3 mit unterschiedlichen Abmessungen und einer Engstelle 9 gebildet ist.

Werden zwei in dieser Weise hergestellte Bauteile 1, mit ih ren bearbeiteten Oberflächen einander zugewandt, miteinander beispielsweise durch Bonden verbunden, dann entsteht ein Bauelement, das einen inneren Kanal aufweist, in dem durch die zweite Rille 3 eine Engstelle gebildet ist, mit der bei spielsweise durch entsprechende Sensoren die durch die Strö mung aufgebaute Druckdifferenz erfasst werden kann, woraus auf den Durchfluss durch den Kanal rückgeschlossen werden kann.

Wie die Fig. 4 und 5 erkennen lassen, ist ein Bauteil 11 in Form z. B. einer Siliziumscheibe mit einem Rillenabschnitt 12 und einem weiteren Rillenabschnitt 13 versehen, die im dargestellten Beispiel fluchtend in Richtung einer Achse 14 im Abstand voneinander angeordnet sind. Die Rillenabschnitte 12 und 13 sind über ein Rillenstück 15 miteinander verbunden, das eine Engstelle bildet. Die Rillenabschnitte 12 und 13 und das Rillenstück 15 sind in einer Weise erzeugt, wie es in Fig. 6 gezeigt ist.

Um ein gemäß den Fig. 4 und 5 gestaltetes Bauteil 11 zu erzeugen, wird - wie die Darstellung g der Fig. 6 zeigt - auf das Bauteil 11 zunächst eine erste Ätzmaske 16 aufge bracht, die ein Ätzfenster 17 an der Stelle aufweist, wo spä ter das Rillenstück 15 erzeugt werden soll. Auf die erste Ätzmaske 16 ist eine Passivierungsschicht 18 aufgebracht, die ebenso wie die erste Ätzmaske 16 im Falle eines Bauteils aus Silizium aus Si₃N₄ bestehen kann; die Passivierungsschicht 18 überzieht sowohl die erste Ätzmaske 16 als auch das Ätz fenster 17 dieser Ätzmaske. Schließlich ist auf die Passi vierungsschicht 18 eine zweite Ätzmaske 19 aufgebracht, die beispielsweise aus einem Lack bestehen kann. Diese zweite Ätzmaske 19 hat zwei Ätzöffnungen 20 und 21 an den Stellen, wo später in dem Bauteil 11 die Rillenabschnitte 12 und 13 mit vergleichsweise großen Abmessungen gebildet werden sol len. Ist das an seiner Oberfläche durch Ätzen zu bearbeitende Bauteil 11 soweit mit Ätzmasken 16 und 19 und Passivierungs schicht 18 versehen, wie es die Darstellung g der Fig. 6 zeigt, dann wird - wie es die Darstellung h der Fig. 6 wie dergibt - in einem ersten Ätz-Schritt die zweite Ätzmaske 19 und die unterhalb der Ätzöffnung 20 und 21 dieser Ätzmaske liegenden Bereiche der Passivierungsschicht 18 und der ersten Ätzmaske 16 abgetragen, so dass das Bauteil 11 im Bereich un terhalb der Ätzöffnung 20 und 21 für das Ätzmedium des nächsten Ätzschrittes zugänglich ist.

Danach erfolgt - wie die Darstellung i zeigt - ein isotropes Ätzen, wobei die Rillenabschnitte 12 und 13 teilweise gebil det werden.

Die Darstellung j lässt erkennen, dass danach die Passivie rungsschicht 18 abgetragen wird, so dass nunmehr das Ätz fenster 17 der ersten Ätzmaske 16 frei zum Angriff für ein Ätzmedium liegt. Durch ein weiteres anschließendes anisotro pes Ätzen werden - wie die Darstellung k der Fig. 6 wieder gibt - in dem Bauteil 11 das Rillenstück 15 (teilweise) ge bildet, und es werden dabei gleichzeitig die Rillenschnitte 12 und 13 vergrößert.

Die Darstellung k zeigt auch, dass das Ätzen solange fort gesetzt ist, bis die beiden Rillenabschnitte 12 und 13 mit dem Rillenstück 15 verbunden sind, wodurch ein Kanal mit un terschiedlichen Abmessungen mit einer Engstelle gebildet ist.

Werden zwei in dieser Weise hergestellte Bauteile 11, mit ih ren bearbeiteten Oberflächen einander zugewandt, miteinander beispielsweise durch Bonden verbunden, dann entsteht ein Bauelement, das einen inneren Kanal aufweist, in dem durch das Rillenstück 15 eine Engstelle gebildet ist, mit der bei spielsweise durch entsprechende Sensoren die durch die Strö mung aufgebaute Druckdifferenz erfasst werden kann, woraus auf den Durchfluss durch den Kanal rückgeschlossen werden kann.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach den Fig. 7 und 8 sind in ein scheibenförmiges Bauteil 31 mittels einer einzigen Maske mit zwei voneinander beabstandeten, fluchtenden Ätzfenstern (nicht gezeigt) durch isotropes Ätzen zwei Rillenabschnitte 32 und 33 erzeugt; dabei ist das isotrope Ätzen so ausge führt, dass die Stirnflächen 34 und 35 der Rillenabschnitte unter Bildung einer Engstelle 36 einander teilweise durch dringen.

Fügt man zwei solchermaßen hergestellte Bauteile 31 bei spielsweise durch Bonden zusammen, dann ergibt sich eine Flu idplatte mit einer Drosselstelle im Bereich der einander ge genüberliegenden Engstellen des Bauteils 31.

Claims

1. Verfahren zum Herstellen einer Rille mit einer Engstelle in der Oberfläche eines Bauteils (11), bei dem
auf das Bauteil (11) eine erste Ätzmaske (16) mit min destens einem Ätzfenster (17) für einen nachgeordneten Ätz-Bearbeitungsvorgang zum Erzeugen eines die Engstelle bildenden Rillenstücks (15) erzeugt wird,
die erste Ätzmaske (16) mit einer Passivierungsschicht (18) überzogen wird,
auf der Passivierungsschicht (18) eine zweite Ätzmaske (19) mit zwei länglichen, zwischen sich das Ätzfenster (17) aufweisenden Ätzöffnungen (20, 21) mit im Vergleich zum Ätzfenster (17) größerer Breite für einen ersten Ätz- Bearbeitungsvorgang erzeugt wird,
in dem ersten Ätz-Bearbeitungsvorgang das Bauteil (11) im Bereich der Ätzöffnungen (20, 21) der zweiten Ätzmaske (19) zum Erzeugen von beiderseits an das Rillenstück sich anschließenden Rillenabschnitten (12, 13) ätz-bearbeitet wird und
anschließend nach Entfernen der Passivierungsschicht (18) in dem nachgeordneten Ätzvorgang in den Bereichen der Ätz öffnungen (20, 21) und des Ätzfensters (17) beider Ätzmas ken (16, 19) das Bauteil (11) ätz-bearbeitet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in beiden Ätz-Bearbeitungsvorgängen ein isotropes Ätzen vorgenommen wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in dem ersten Ätz-Bearbeitungsvorgang ein isotropes und dem zweiten Ätz-Bearbeitungsvorgang ein anisotropes Ätzen vorgenommen wird.

4. Bauteil mit
zwei durch isotropes Ätzen erzeugten und im Abstand von einander liegenden Rillenabschnitten (12, 13) und mit
einem im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte (12, 13) engen Rillenstück (15), das durch anisotropes Ätzen erzeugt ist und die Rillenabschnitte (12, 13) miteinander verbindet.

5. Fluidplatte mit
einem ersten Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen er zeugten und im Abstand voneinander liegenden Rillenab schnitten und mit einem durch anisotropes Ätzen erzeugten, die beiden Rillenabschnitte miteinander verbindenden, im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Rillen stück und
mit einem zweiten entsprechend hergestellten Bauteil, das fest mit dem ersten Bauteil verbunden ist, wobei die Ril lenstücke eine Drosselstelle in einem von den Rillenab schnitten des ersten und des zweiten Bauteil gebildeten inneren Kanal bilden.

6. Fluidplatte mit
einem ersten Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen er zeugten und im Abstand voneinander liegenden Rillenab schnitten und mit einem durch anisotropes Ätzen erzeugten, die beiden Rillenabschnitte miteinander verbindenden, im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Rillen stück,
mit einer Abdeckplatte, die fest mit dem ersten Bauteil verbunden ist, wobei
das Rillenstück eine Drosselstelle in einem von den Ril lenabschnitten des ersten Bauteils gebildeten inneren Ka nal bildet.

7. Verfahren zum Herstellen einer Rille mit einer Engstelle in der Oberfläche eines Bauteils, bei dem
eine Maske mit zwei länglichen, im Abstand voneinander angeordneten Ätzöffnungen auf das Bauteil aufgebracht wird und
das Bauteil unter Bildung von zwei Rillenabschnitten isotrop solange geätzt wird, bis sich die einander zuge wandten Stirnflächen der Rillenabschnitte unter Bildung einer im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Verbindungsstelle zwischen den Rillenabschnitten teilweise durchdringen.

8. Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen erzeugten Rillenabschnitten (32, 33), die sich an ihren einander zugewandten Stirn flächen unter Bildung einer im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte (32, 33) engen Verbindungsstelle (36) zwischen den Rillenabschnitten (32, 33) teilweise durch dringen.

9. Fluidplatte mit
einem ersten Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen er zeugten Rillenabschnitten, die sich an ihren einander zu gewandten Stirnflächen unter Bildung einer im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Verbindungsstelle zwischen den Rillenabschnitten teilweise durchdringen, und
mit einem zweiten entsprechend hergestellten Bauteil, das fest mit dem ersten Bauteil verbunden ist, wobei die ein ander gegenüberliegenden Verbindungsstellen eine Drossel stelle in einem von den Rillenabschnitten des ersten und des zweiten Bauteils gebildeten inneren Kanal bilden.

10. Fluidplatte mit
einem ersten Bauteil mit zwei durch isotropes Ätzen er zeugten Rillenabschnitten, die sich an ihren einander zu gewandten Stirnflächen unter Bildung einer im Vergleich zur Breite der Rillenabschnitte engen Verbindungsstelle zwischen den Rillenabschnitten teilweise durchdringen, und
mit einer Abdeckplatte, die fest mit dem ersten Bauteil verbunden ist.