DE10102261C1 - Einrichtung zur Strahlführung von einer Szene über ein Interferometer zu einem Detektor für ein abbildendes und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform Spektrometer sowie Verfahren zur Optimierung dieser Einrichtung - Google Patents
Einrichtung zur Strahlführung von einer Szene über ein Interferometer zu einem Detektor für ein abbildendes und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform Spektrometer sowie Verfahren zur Optimierung dieser EinrichtungInfo
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Abstract
Zum Anpassen eines Detektors an ein abbildendes und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform(FT-)Spektrometer wird ein den paralllen Strahl im Fourier-Transform-Spektrometer begrenzendes Blendenelement oder Element (AP¶AC,A¶) scharf auf dem Detektor (D) abgebildet. Im Strahlenverlauf zwischen Spektrometer und Detektor (D) können Elemente für weitere scharfe Abbildungen des begrenzenden Elements (AP¶AC,A¶) vorgesehen werden. Auch kann ein begrenzendes Element (Feldblende) (AP¶AC,OMEGA¶) des Interferometers scharf auf eine in der Größe anpaßbare, gekühlte Blende am Eingang zum Detektor (D) abgebildet werden. Bei einem abbildenden Fourier-Transform-Spektrometer kann ein Objekt in die Ebene des den parallelen Strahl im T-Spektrometer begrenzenden Elements (AP¶AC,A¶) abgebildet werden. DOLLAR A Zum Optimieren werden zuerst zwei die Strahlung im FT-Spektrometer begrenzende Elemente (AP¶AC,OMEGA¶, AP¶AC,A¶) identifiziert. Danach wird der Strahlenverlauf im Spektrometer durch die Elemente (AP¶AC,OMEGA¶, AP¶AC,A¶) sowie abbildende Spiegel hinsichtlich Brennweiten, Winkel und Abständen definiert. Die optische Einrichtung wird dann so erstellt, daß ein scharfes Bild von dem begrenzenden Element (AP¶AC,A¶) auf dem Detektor (D) erzeugt wird.
Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Strahlführung von
einer Szene über ein Interferometer zu einem Detektor für ein
abbildendes und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform (FT)
Spektrometer sowie Verfahren zur Optimierung einer solchen
Einrichtung.
Abbildende FT-Spektrometer sind kommerziell deutlich weniger
verbreitet als nicht abbildende. Für die satellitengestützte
Fernerkundung sollen abbildende FT-Spektrometer eingesetzt
werden (siehe M. J. Persky, Rev. Sci. Instrum. 66, 4763-4797,
1995). Bei diesen FT-Spektrometern, welche dem auf Ste. 5
behandelten Fall 2 entsprechen, wird die Szene in das Ge
sichtsfeld eines Interferometers abgebildet und dieses dann
auf eine Matrix aus Detektorelementen, wodurch die abbildende
Information räumlich erfaßt wird. Bei dieser Anordnung ist
jedes Detektorelement eine Gesichtsfeldblende für das Inter
ferometer.
Dies bewirkt, daß außen liegende Bildelemente eine deutlich
breitere Linienprofilfunktion aufweisen, die obendrein einen
unterschiedlichen Frequenzkalibrierungsfaktor haben, da ver
schiedenen Orten in der Blende APAC, Ω verschiedene Divergenz
winkel im Interferometer entsprechen. Die Breite des Anteils
der Linienprofilfunktion eines Bildelementes, der von der di
vergenten Strahlung im Interferometer herrührt, ändert sich
mit dem Quadrat des Abstandes vom Mittelpunkt der Blende
APAC, Ω.
Diese Anordnungen weisen folgende Nachteile auf:
Die instrumentelle Linienprofilfunktion wird durch den Ort der einzelnen Detektorelemente relativ zur optischen Achse und durch die Form der Detektorelemente bestimmt. Ferner ist aufgrund der erforderlichen kleinen Detektorelemente eine kurzbrennweitige Detektoroptik erforderlich, wodurch Abbil dungsfehler entstehen, die die Linienprofilfunktion des Spek trometers verschlechtern. Auch hat jedes Detektorelement eine unterschiedliche Wellenzahlkalibrierung. Der maximale opti sche Durchsatz wird durch die auftretende Wellenzahl aller Detektorkanäle bestimmt.
Die instrumentelle Linienprofilfunktion wird durch den Ort der einzelnen Detektorelemente relativ zur optischen Achse und durch die Form der Detektorelemente bestimmt. Ferner ist aufgrund der erforderlichen kleinen Detektorelemente eine kurzbrennweitige Detektoroptik erforderlich, wodurch Abbil dungsfehler entstehen, die die Linienprofilfunktion des Spek trometers verschlechtern. Auch hat jedes Detektorelement eine unterschiedliche Wellenzahlkalibrierung. Der maximale opti sche Durchsatz wird durch die auftretende Wellenzahl aller Detektorkanäle bestimmt.
Im Infrarotbereich werden in Fourier-Transform-(FT-)Spektro
metern zwischen 500 und 2000 cm-1 (4 bis 20 µm) photoleitende
Halbleiterdetektoren und oberhalb 2000 cm-1 photovoltaische
Halbleiterdetektoren eingesetzt; hierbei werden die Detekto
ren üblicherweise unter 5000 cm-1 gekühlt. Im langwelligen
Bereich kommen neben intrinsischen Photoleitern (MCT, Mercu
ry-Cadmium-Telluride) auch extrinsische Detektoren mit gerin
gerem Absorptionskoeffizienten zum Einsatz. Die Empfindlich
keit der Detektoren wird häufig durch Photonenrauschen und
Eigenrauschen begrenzt. Eigenrauschen durch thermische Anre
gung spielt besonders bei langwelligen Detektoren eine Rolle.
Im langwelligen Bereich kann auch die unmodulierte Wär
mestrahlung, die auf den Detektor fällt, ein signifikantes
Photonenrauschen bewirken, wobei deren optischer Durchsatz
durch zwei gekühlte Blenden APAC, Ω und APDC,A begrenzt werden
kann; hierbei wird die Blende APDC,A häufig durch den Detek
tor selbst gebildet. Hierbei ist mit dem Index DC das durch
die Wärmestrahlung bedingte Gleichspannungssignal bezeichnet.
Mit A ist die Aperturblende des Interferometers und mit Ω
ist die Gesichtsfeldblende bezeichnet. Ein Optimum an Emp
findlichkeit wird erreicht, wenn die modulierte Strahlung
(AC) vom Spektrometer vollständig von dessen Detektor erfaßt
wird, aber gleichzeitig die unmodulierte Wärmestrahlung mini
miert wird.
In einem herkömmlichen FT-Spektrometer wird ein "paralleler"
Strahl aus dem Interferometer durch ein optisches Element ge
bündelt, wobei sich im Fokus oder in dessen Abbild der Detek
tor befindet. Im Fokus kann die Gesichtsfeldblende des Inter
ferometers (APAC, Ω) vorgesehen sein, wodurch der maximale Di
vergenzwinkel und damit der Raumwinkel Ωint der modulierten
Strahlung (AC) im Interferometer und somit die Auflösung be
stimmt ist. Bei der einfachsten Ausführung kann der Detektor
selbst als Gesichtsfeldblende fungieren. Die Größe des Strah
lenbündels im Interferometer wird durch einen Strahlteiler
oder Interferometerspiegel begrenzt, wobei die so gebildete
Aperturblende des Interferometers als APAC,A bezeichnet wird.
Bei üblichen kommerziellen Geräten ist die Größe der Ge
sichtsfeldblende variabel, um das Gerät an die gewünschten
Bedingungen hinsichtlich Frequenzbereich und Auflösung anzu
passen. Ein entscheidender Nachteil ist jedoch dann, daß die
Ausleuchtung des Detektors mit dieser Blende variiert, die
Leistungsdichte auf dem Detektor jedoch immer maximal ist.
Dies hat gerade bei photoleitenden Detektoren maximale Nicht
linearitäten zur Folge. Üblicherweise ist bei kommerziellen
Geräten der optische Durchsatz für unmodulierte Hintergrund
strahlung konstant und deutlich größer als für die modulierte
Strahlung, so daß das Rauschen u. U. durch die thermische un
modulierte Strahlung limitiert wird.
Im allgemeinen sind für die Abbildung der Gesichtsfeldblende
auf den Detektor drei Fälle zu unterscheiden:
Ein "paralleler" Strahl aus dem Interferometer wird direkt oder über Zwischenabbildung(en)
Ein "paralleler" Strahl aus dem Interferometer wird direkt oder über Zwischenabbildung(en)
- 1. ohne gekühlte Detektoroptik auf den Detektor fokussiert
- 2. auf eine kalte Blende fokussiert und dann mit einer ge kühlten Detektoroptik auf den Detektor abgebildet oder
- 3. auf die Öffnung eines Konus fokussiert (üblicherweise ein Winston Cone, an dessen Ende sich der Detektor befindet. (Siehe D. A. Harper, R. H. Hildebrand, R. Stiening, R. Win ston, Appl. Opt. 15, 53-59, (1976).)
Zu Fall 1.: Der optische Durchsatz eines FT-Spektrometers
wird hierbei durch die Größe des "parallelen" Strahls im In
terferometer (APAC,A), die Größe einer Blende APAC, Ω in einer
der möglichen Zwischenfoki und die effektive Fokallänge des
zugehörigen Kollimators bestimmt, wobei diese Blende auch der
Detektor selbst sein kann. Der optische Durchsatz der unmodu
lierten Wärmestrahlung wird durch den Öffnungswinkel der De
tektoreinheit und die Größe des Detektors APAC, Ω (Apertur
blende) bestimmt. Üblicherweise ist der Öffnungswinkel durch
eine gekühlte Blende APAC, Ω (Feldblende) vorgesehen, die sich
in einem gewissen Abstand vom Detektor befindet.
Eine optimale Anpassung der Hintergrundstrahlung ist meistens
nicht möglich, da üblicherweise am Ort der kalten Blende kein
scharfes Bild der durchsatzbegrenzenden Blenden der modulier
ten Strahlung gegeben ist. Im Falle einer variablen Blende
APAC, Ω in einer der Zwischenfoki muß die Größe des Detektors
auf die maximale Blendengröße ausgelegt sein. Aus diesem
Grund ist der optische Durchsatz der thermischen unmodulier
ten Strahlung gegenüber der modulierten bei det Verwendung
kleinerer Blenden um ein Vielfaches höher. Der Fall 1. ist
für kommerzielle FT-Spektrometer typisch.
Zu Fall 2.: Im Gegensatz zu Fall 1. kann der Durchsatz der
modulierten Strahlung auch durch eine kalte Blende APAC, Ω li
mitiert werden, die auch als Blende APAC,A für die unmodulier
te Strahlung dient. Der optische Durchsatz der unmodulierten
Wärmestrahlung wird durch die Größe der kalten Blende und einer
weiteren kalten Blende APAC, Ω vor dem Detektor begrenzt.
Befindet sich die zweite Blende im scharfen Bild von APAC,A,
so läßt sich eine optimale Anpassung von modulierter und un
modulierter Strahlung erzielen. Fall 2. wird bei kommerziel
len Geräten nur selten realisiert.
Zu Fall 3.: Hierbei wird der Raumwinkel der unmodulierten
Strahlung durch einen speziellen Hohlspiegel (wobei die Ober
fläche durch Rotation eines nach innen geneigten Parabelastes
entsteht) begrenzt. Der Spiegel hat ausgangsseitig ein klei
nes Loch, hinter dem sich der Detektor in einem verspiegelten
Raum befindet. Die Anpassung an den Durchsatz der modulierten
Strahlung ist meist nicht zufriedenstellend. Noch unbefriedi
gender ist die Ausleuchtung des Detektors. Bei stark absor
bierenden Detektormaterialien ist die resultierende Empfind
lichkeit gegenüber dem physikalischen Limit schlecht. Bei
schwach absorbierenden Detektormaterialien (meist extrinsi
sche Photoleiter, z. B. Ga-dotiertes Ge) ist jedoch Fall 3.
die beste Lösung.
Ausgehend von dem vorstehend angeführten Stand der Technik
ist es eine Aufgabe der Erfindung, eine Einrichtung zur
Strahlführung vom Interferometer zu einem Detektor zu schaf
fen, mit welcher die Aperturblende auf dem Detektor oder ei
ner Detektormatrix abgebildet wird, wobei bei geringem Auf
wand eine optimale optische Anpassung erreichbar ist, sowie ein Verfahren
zur Optimierung dieser Einrichtung zu schaffen.
Gemäß der Erfindung ist diese Aufgabe mit den Merkmalen des
Anspruchs 1 und 8 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegen
stand von Unteransprüchen 2 bis 7.
Der wesentliche Unterschied der Einrichtung zur Strahlführung
vom Interferometer zum Detektor gemäß der Erfindung zum Stand
der Technik ist darin zu sehen, daß ein den parallelen Strahl
im FT-Spektrometer begrenzendes Blendenelement (APAC, Ω) scharf
auf einen Detektor bzw. ein Detektorarray abgebildet wird.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsformen
im einzelnen beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines optischen Strahlen
gangs zur Abbildung einer Szene auf eine Aperturblende.
Fig. 2 eine stark vereinfachte schematische Darstellung einer
Einrichtung zum Anpassen eines Detektors an FT-Spektro
meter, und
Fig. 3 eine weitere schematische Darstellung einer Einrichtung
zum Anpassen eines Detektors an FT-Spektrometer.
Da das Wesentliche bei der Erfindung in der Abbildung der
Aperturblende des Interferometers auf den Detektor besteht,
erfordert dies im Falle von abbildenden Spektrometern die Ab
bildung der Szene auf die Aperturblende des Interferometers.
Die Abbildung einer Szene auf die Aperturblende wird im fol
genden dargestellt. Zur Erläuterung ist der optische Strah
lengang in Fig. 1 dargestellt. Die Szenestrahlung wird mit ei
nem Teleskop 1 erfaßt und fokussiert. Bei atmosphärischen An
wendungen liegt die Szene sehr weit entfernt, weshalb die Fo
kussierung mit Hilfe von Parabolspiegeln oder Linsen durchge
führt wird und der Fokus in der Brennebene dieses optischen
Elements liegt.
Am Ort des Fokus kann eine Blende angebracht werden, die das
Gesichtsfeld des Teleskopes beschränkt. Außerdem befindet
sich am Ort des Fokus ein abbildendes Element 2, das eine
stark verkleinerte Abbildung des Teleskops erzeugt. Diese Abbildung
bildet dann die Feldblende des Interferometers APAC, Ω.
Hier befindet sich Element 3, welches Element 2 auf die Aper
turblende des Interferometers APAC,A abbildet. Als letztes
Element vor dem Interferometer befindet sich der Kollimator
4 des Interferometers. Im weiteren Verlauf der Optik befinden
sich hinter dem Interferometer eine oder mehrere gekühlte
nicht näher dargestellte Feldblenden für das Interferometer
APAC, Ω.
Gegenüber den im Stand der Technik beschriebenen, bekannten
abbildenden FT-Spektrometern ergeben sich folgende Vorteile.
Die instrumentelle Linienprofilfunktion ist für alle Detek
torelemente gleich und unabhängig vom Ort oder der Form der
einzelnen Elemente. Aufgrund der erforderlichen kleinen De
tektorelemente ist eine kurzbrennweitige Detektoroptik erfor
derlich, wodurch Abbildungsfehler entstehen, die aber die Li
nienprofilfunktion des Spektrometers nicht beeinträchtigen.
Jedes Detektorelement hat die gleiche Wellenzahlkalibrierung.
Der maximale optische Durchsatz kann für verschiedene Detek
torkanäle durch unterschiedlich große, gekühlte Interferome
ter-Feldblenden APAC, Ω hinter dem Interferometer realisiert
werden.
In Fig. 2 wird Strahlung aus einem nicht näher dargestellten
Interferometer mit Hilfe eines optischen Elements 10 bei
spielsweise in Form einer Linse, eines Spiegels oder eines
anderen geeigneten Elements auf eine gekühlte Blende APDC,A
fokussiert. Durch weitere optische Elemente 11 wird ein
scharfes Bild der Blende APAC, Ω auf einem Detektorelement bzw.
einer Detektormatrix D erzeugt.
Als Sonderfall sind, wie in Fig. 2 dargestellt, die Blenden
APAC, Ω und APDC,A identisch. In der Praxis ist dies jedoch oft
nicht ratsam, und zwar aus folgenden Gründen: Die Blende
APAC, Ω hat eine entscheidende Funktion im Bezug auf die in
strumentelle Linienprofilfunktion, weshalb sie im Fokus eines
Kollimators liegen sollte, der sich direkt vor oder nach dem
Interferometer befindet. Bei vielen Spektrometern gelangt die
Strahlung jedoch (z. B. wegen Probenkammern)erst nach mehreren
Zwischenabbildungen des Fokus auf den Detektor, was im Falle
der in der in Fig. 1 schraffiert wiedergegebenen Detektorein
heit angebrachten gekühlten Blende zu kumulierten Abbildungs
fehlern im "parallelen" Strahl des Interferometers und damit
zu Verfälschungen der Linienprofilfunktion führt.
Auch führt in der vereinfachten Darstellung der Fig. 2 ein in
dieser Figur nicht dargestelltes Fenster, das benötigt wird,
um die gekühlte, evakuierte Detektoreinheit von der Umgebung
zu trennen, zu ähnlichen Verfälschungen. Daher wird vorteil
hafterweise eine warme Blende APAC, Ω interferometernah einge
setzt und dafür gesorgt, daß ihr Bild etwas kleiner ist als
die kalte Blende APDC,A.
Die schematische Darstellung in Fig. 2 weist noch eine weitere
Vereinfachung auf: Die Blende APAC, Ω ist durch das Detektor
element gebildet. Wenn sich im gekühlten Bereich eine weitere
Abbildung der Blende APAC,A befindet, kann die Blende APAC, Ω
dort positioniert werden. Dies gilt jedoch nicht für abbil
dende Spektrometer, bei denen die Detektormatrix die entspre
chenden Blende bilden muß. Die zusätzliche Blende beim nicht
abbildenden Spektrometer hat den Vorteil, daß die Form und
Größe des Detektor für die Hintergrundstrahlung nicht mehr
maßgeblich ist. Es hat sich gezeigt, daß aufgrund der gerin
gen Detektorgröße und der damit verbundenen schnellen Optik
(wegen einer kleinen Blenden-Zahl) die Abbildungen für Astig
matismus anfällig sind. Deshalb muß der Detektor etwas größer
gewählt werden, was ohne eine zusätzlich Blende APAC, Ω zu mehr
Hintergrundstrahlung führt. Auch diese Variante ist in Fig. 2
aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt.
Durch die in Fig. 2 dargestellte Einrichtung wird eine optima
le Anpassung von modulierter und unmodulierter Strahlung er
zielt, wobei sich der optische Durchsatz der unmodulierten
Strahlung AΩ ,DC aus der Fläche des Detektors ADET, der Fläche
ADC,A der kalten Blende APDC,A und dem Verkleinerungsfaktor V
des Bildes von APAC,A auf dem Detektor ergibt. Für das Ver
hältnis der Durchsätze (Durchsatz der modulierten Strahlung:
AΩAC gilt :
AΩAC/AΩDC = AAC,A/(VADet)
Der "parallele" Strahl aus dem Interferometer gelangt auf den
Kollimator und wird auf eine gekühlte Blende fokussiert. Der
schraffierte Bereich ist gekühlt und stellt die Detektorein
heit dar. Die scharfe Abbildung der Blende APAC,A auf dem De
tektorelement ist in der Ausführungsform der Fig. 1 durch zwei
Linsen (oder Spiegel) erreicht. Wie vorstehend ausgeführt,
ist ein abbildendes Element nicht ausreichend, weswegen in
der schematischen Darstellung der Fig. 2 zwei Linsen 2 vorge
sehen sind.
Falls eine hohe Genauigkeit der instrumentellen Linienprofil
funktion gefordert ist, ist es vorteilhaft, die begrenzende
Blende für die modulierte Strahlung mit einem Kollimator mit
großer Blenden-Zahl (F < 5) zu realisieren, die sich direkt vor
oder hinter dem Interferometer befindet. Selbstverständlich
ist die warme Blende dann etwas kleiner als die kalte. Außer
dem stimmen die Form des Detektors und des Bildes von Blende
APAC,A meist nicht überein, weshalb es auch hier zu einer ge
ringen Fehlanpassung kommt. Diese Fehlanpassung läßt sich je
doch vermeiden, indem eine weitere kalte Blende am Ort eines
scharfen Bildes von Blende APAC,A unter Berücksichtigung der
Form des Detektors angebracht wird.
Neben der optimalen Anpassung des Durchsatzes von modulierter
und unmodulierter Strahlung ist gewährleistet, daß bei vari
abler Blende APAC, Ω die Ausleuchtung des Detektors gleich
bleibt. Dies erleichtert die Korrektur der Nichtlinearität
und die photometrische Charakterisierung des Detektors. Im
Falle eines abbildenden Spektrometers ergibt sich gemäß der
Erfindung ein entscheidender Vorteil dadurch, daß den einzel
nen Bildelementen verschiedene Orte in der Blende APAC,A also
im parallelen Strahl, zugeordnet werden. Dadurch ist die in
strumentelle Linienprofilfunktion für alle Bildelemente
gleich. Dies reduziert den Charakterisierungsaufwand, verein
facht die Auswertung und erhöht die photometrische Genauig
keit.
Ein weiterer Vorteil ergibt sich bei der Emissionsspektrosko
pie, bei der eine radiometrische Kalibrierung mit Hilfe von
definierten Schwarzkörpern erfolgt. Im Falle von nicht abbil
denden Spektrometern ist somit gegenüber dem Stand der Tech
nik eine homogene Ausleuchtung des Detektors gewährleistet,
auch wenn die Szene inhomogen ist. Dies setzt voraus, daß die
Szene nicht auf die Blende APAC,A abgebildet wird. Hiermit
werden Kalibrierfehler durch die sonst inhomogene Ausleuch
tung vermieden.
Als Beispiel für die Optimierung der Detektoroptik und zur
Beschreibung des hierbei verwendeten Verfahrens wird ein MCT-
Detektor, der im Bereich von 600 bis 2000 cm-1 arbeitet, op
timal an ein kommerzielles Spektrometer IFS 120 HR angepaßt.
Es wird ein handelsübliches 1 × 1 mm2 Detektorelement verwen
det, das für die meisten kommerziellen Anwendungen in einem
mit flüssigem Stickstoff gekühlte, kleinen Dewar eingebaut
ist und Raumtemperaturstrahlung mit einem Öffnungswinkel von
60° empfängt. Dieser Detektordewar in Verbindung mit den kommerziellen
FT-Spektrometer ist eine gängige kommerzielle Lö
sung und entspricht Fall 1 des Standes der Technik. Der Öff
nungswinkel der vom Spektrometer stammenden Strahlung ist von
der Blende APAC, Ω abhängig und liegt zwischen 25° und 50°, wo
bei bei großen Blenden keine scharfe Begrenzung des Strahls
erfolgt. Der optische Durchsatz der Hintergrundstrahlung, die
in ein solches Dewar gelangt, beträgt 8,6 × 10-3 cm2sr, während
der optische Durchsatz des Spektrometers je nach Anwendung
bei Werten von 1,4 × 10-4 bis 2,2 × 10-3 cm2sr liegt; d. h. es er
gibt sich eine 60- bis 4fache Fehlanpassung. Bei durch Hin
tergrundphotonen limitiertem Rauschen ergibt das einen Emp
findlichkeitsverlust mit einem Faktor 8 bis 2.
Um die Detektoranpassung entsprechend zu verbessern, wird wie
folgt vorgegangen:
Das Spektrometer IFS 120 HR der Firma Bruker besitzt einen Detektorausgang, der es erlaubt, bei einem solchen Detektor externe Optiken zu verwenden. An dem Detektorausgang liegt ein um den Faktor 1,25 verkleinertes Bild der variablen Blen de APAC, Ω an, deren Durchmesser zwischen 0,5 bis 12 mm in 16 Schritten variiert werden kann. Die Blende APAC,A ist durch Retroreflektoren des Interferometers gebildet. Die neue Op tik, die aus der gekühlten variablen Blende APAC, Ω, einem sphärischen Spiegel, einem Planspiegel, einem off-axis Para bolspiegel und dem Detektor besteht, wird in einen Standard dewar eingebaut, der an das Gerät angeflanscht wird. Dieser Aufbau ist in Fig. 3 dargestellt.
Das Spektrometer IFS 120 HR der Firma Bruker besitzt einen Detektorausgang, der es erlaubt, bei einem solchen Detektor externe Optiken zu verwenden. An dem Detektorausgang liegt ein um den Faktor 1,25 verkleinertes Bild der variablen Blen de APAC, Ω an, deren Durchmesser zwischen 0,5 bis 12 mm in 16 Schritten variiert werden kann. Die Blende APAC,A ist durch Retroreflektoren des Interferometers gebildet. Die neue Op tik, die aus der gekühlten variablen Blende APAC, Ω, einem sphärischen Spiegel, einem Planspiegel, einem off-axis Para bolspiegel und dem Detektor besteht, wird in einen Standard dewar eingebaut, der an das Gerät angeflanscht wird. Dieser Aufbau ist in Fig. 3 dargestellt.
Der Strahlenverlauf in dem Spektrometer der Fa. Bruker kann
durch begrenzende Blenden APAC, Ω und APAC,A sowie abbildende
Spiegel einschließlich Brennweiten, Winkel und Abständen de
finiert werden. Im Inneren des Dewars ist eine variable Blen
de im scharfen Bild der Blende APAC, Ω angebracht, wodurch ein
scharfes Bild von der Blende APAC,A auf dem Detektorelement
erzeugt wird.
Der Strahlenverlauf wird durch ein Raytracing-Programm model
liert Das Programm berechnet Randstrahlen, die vom Rand der
Blende APAC, Ω ausgehen und den Rand von Blende APAC,A durchsto
ßen, d. h. von jedem Randpunkt der Blende APAC, Ω laufen mehrere
Strahlen zu gleichmäßig verteilten Randpunkten der Blende
APAC,A. Die Randpunkte der Blende APAC, Ω sind ebenfalls gleich
mäßig verteilt. Das Programm berechnet den Verlauf dieser
Strahlen für eine benutzerspezifizierte Spiegeloptik, wobei
die Position der Spiegel durch ein kartesisches Koordinaten
system definiert ist und für plane, sphärische, torische, pa
rabolische und elliptische Spiegel die Reflexionen analytisch
berechnet werden. Die Durchstoßpunkte der weiterverfolgten
Strahlen lassen sich für beliebige Schnitte senkrecht zur op
tischen Achse darstellen.
Aufgrund der geringeren Verluste und Reflexionsprobleme sind
Spiegel vorzusehen, wobei die maximale Größe der Spiegel
durch die Abmessungen des Dewars vorgegeben ist. Mit Hilfe
des Raytracing-Programms wird festgestellt, daß zwei abbil
dende Spiegel benötigt werden. Hierbei ist der grundsätzliche
Aufbau: Kalte Blende - sphärischer Spiegel - Off-axis Para
bolspiegel - Detektorelement.
Zur Optimierung der Abbildungsqualität wird mit Hilfe eines
Computerprogramms, basierend auf der Linsengleichung
(1/Brennweite = 1/Gegenstandsweite + 1/Bildweite), Größe und
Ort von Bildern der Blende APAC,A errechnet und die Größe des
Strahls am Ort der Spiegel abschätzt. Ferner wird das Öff
nungsverhältnis am Detektorelement berechnet, da dieses mög
lichst groß sein sollte, um auch für einen großen optischen
Durchsatz eine möglichst scharfe, verzerrungsfreie Abbildung
auf dem Detektorelement zu erhalten.
Bei der Optimierung werden folgende Parameter innerhalb sinn
voller Grenzen variiert: Abstand Blende - sphärischer Spie
gel, Abstand sphärischer Spiegel - off-axis Parabolspiegel,
Brennweiten beider Spiegel unter der Randbedingung eines
festgelegten Verkleinerungsverhältnisses des Bildes von Blen
de APAC,A, daß durch die Größe des Detektorelementes gegeben
wird. Als weitere Randbedingung wird die maximale Größe der
Spiegel berücksichtigt.
Für Parameter mit großen Öffnungsverhältnissen wird mit dem
vorstehend erwähnten Programm Raytracing durchgeführt und die
Abbildung auf dem Detektorelement betrachtet. Der off-axis
Winkel des Parabolspiegels wird optimiert. Hierbei ist die
Randbedingung die Größe der Aufhängung des Detektorelements.
Zur Vermeidung von Abbildungsfehlern muß der off-axis Winkel
so klein wie möglich sein. Die Detektoreinheit wird dann ent
sprechend den ermittelten Parametern aufgebaut und die abbil
denden Spiegel werden mit justierbaren Dreipunkthalterungen
ausgeführt.
Die Anordnung der Spiegeln, Blenden und des Detektorelements
entspricht derjenigen der schematischen Darstellung in Fig. 3.
Gegenüber einer von der Firma Bruker gelieferten Detektorein
heit ergab sich für Emissionsmessungen (Strahlungsquelle ca.
300 K) im Bereich 650-2000 cm-1 für die kleinste Blende
eine Verbesserung des Signal-zu-Rausch-Verhältnisses von ca.
10, was einem Meßzeitgewinn von einem Faktor 100 entspricht.
Bei Absorptionsmessungen wurde durch Einsatz eines gekühlten
Filters (Tiefpass 1000 cm-1) eine Verbesserung um einen Fak
tor 8 erreicht.
Die Möglichkeit, variable kalte Blenden einzusetzen, eröffnet
auch einen Weg der Detektorcharakterisierung. Hierzu fällt
thermische Hintergrundstrahlung auf den Detektor und es wird
am ersten Vorverstärker das Gleichspannungssignal abgegriffen
und bei einer definierten elektrischen Bandbreite das Rau
schen ermittelt. Aufgrund der Kenntnis der einfallenden
Strahlungsleistung und des Detektor-Cut-Off läßt sich die
mittlere Detektorempfindlichkeit und die mittlere Quantenaus
beute bestimmen. Ferner läßt sich aufgrund der Änderung des
Signal-zu-Rausch Verhältnisses mit der eingestrahlten Lei
stung auch thermisches Anregungsrauschen von Hintergrundpho
tonenrauschen quantitativ separieren. Ferner kann auch die
Nichtlinearität des Detektors charakterisiert werden.
Claims (9)
1. Einrichtung zum Anpassen eines Detektors an ein abbilden
des und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform-(FT-)Spek
trometer mit einem den parallelen Strahl im Fourier-Trans
form-Spektrometer begrenzenden Blendenelement oder Element,
dadurch gekennzeichnet, daß das begrenzende Blendenelement
oder Element (APAC,A) scharf auf dem Detektor (D) abgebildet
ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
im Strahlenverlauf zwischen Spektrometer und Detektor (D)
Elemente für weitere scharfe Abbildungen des begrenzenden
Elements (APAC,A) vorgesehen sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das begrenzende Element als Feldblende (APAC, Ω) des Interfero
meters scharf auf eine in der Größe anpaßbare, gekühlte Blen
de am Eingang zum Detektor (D) abgebildet ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Feldblende (APAC, Ω) des Interferometers durch eine gekühl
te Blende am Eingang zum Detektor gebildet ist.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß in einer Zwischenabbildung des begrenzenden
Elements (APAC,A) eine gekühlte Blende vorgesehen ist.
6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, daß bei einem abbildenden Fou
rier-Transform-Spektrometer ein Objekt in die Ebene des den
parallelen Strahl im FT-Spektrometer begrenzenden Elements
(APAC,A) abgebildet wird.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch
ein Teleskop (1), mit welchem die Szenestrahlung erfaßt und fokussiert wird,
ein abbildendes erstes Element (2) am Ort des Fokus, das eine stark verkleinerte Abbildung des Teleskops erzeugt, welche die Feldblende (APAC, Ω) des Interferometers bildet,
ein zweites abbildendes Element (3) am Ort dieser Abbildung, welches das erste Element (2) auf die Aperturblende (APAC,A) des Interferometers abbildet, und
einen Kollimator (4) des Interferometers im weiteren Verlauf des Strahlengangs.
ein Teleskop (1), mit welchem die Szenestrahlung erfaßt und fokussiert wird,
ein abbildendes erstes Element (2) am Ort des Fokus, das eine stark verkleinerte Abbildung des Teleskops erzeugt, welche die Feldblende (APAC, Ω) des Interferometers bildet,
ein zweites abbildendes Element (3) am Ort dieser Abbildung, welches das erste Element (2) auf die Aperturblende (APAC,A) des Interferometers abbildet, und
einen Kollimator (4) des Interferometers im weiteren Verlauf des Strahlengangs.
8. Verfahren zur Optimierung einer optischen Einrichtung nach
den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß
- a) zwei die Strahlung im FT-Spektrometer begrenzende Elemente als erstes Element (APAC, Ω) und als zweites Element (APAC,A) identifiziert werden;
- b) der Strahlenverlauf im Spektrometer durch die Elemente (APAC, Ω, APAC,A) sowie abbildende Spiegel hinsichtlich Brenn weiten, Winkel und Abständen definiert wird, und
- c) die optische Einrichtung so erstellt wird, daß ein scharfes Bild von dem begrenzenden zweiten Element (APAC,A) auf dem Detektor (D) erzeugt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
der Strahlenverlauf mit Hilfe eines Raytracing-Programms si muliert wird, mittels welchem die Randstrahlen durch die bei den begrenzenden Elemente (APAC, Ω, APAC,A) durch die gesamte op tische Einrichtung verfolgt und ihre Durchstoßpunkte durch Ebenen senkrecht zur optischen Achse berechnet werden;
daß die minimale Anzahl und Art von abbildenden optischen Elementen aufgrund von Randbedingungen unter Verwendung des Raytracing-Programms ermittelt wird;
daß die Abbildungsqualität mittels eines Computerprogramms optimiert wird, indem basierend auf der Linsengleichung
Größe und Ort von Bildern des begrenzenden zweiten Ele ments (APAC,A) berechnet,
die Größe des Strahls am Ort dieses abbildenden Elements abgeschätzt,
das Öffnungsverhältnis an Detektorelement oder Detektor matrix (D) berechnet wird und,
basierend auf Randbedingungen, Spezifikationen für opti sche Elemente für ein maximales Öffnungsverhältnis am De tektorelement oder der Detektormatrix (D) berechnet wer den, und
daß diese Lösung durch das Raytracing-Programm verifiziert und iteriert wird.
der Strahlenverlauf mit Hilfe eines Raytracing-Programms si muliert wird, mittels welchem die Randstrahlen durch die bei den begrenzenden Elemente (APAC, Ω, APAC,A) durch die gesamte op tische Einrichtung verfolgt und ihre Durchstoßpunkte durch Ebenen senkrecht zur optischen Achse berechnet werden;
daß die minimale Anzahl und Art von abbildenden optischen Elementen aufgrund von Randbedingungen unter Verwendung des Raytracing-Programms ermittelt wird;
daß die Abbildungsqualität mittels eines Computerprogramms optimiert wird, indem basierend auf der Linsengleichung
Größe und Ort von Bildern des begrenzenden zweiten Ele ments (APAC,A) berechnet,
die Größe des Strahls am Ort dieses abbildenden Elements abgeschätzt,
das Öffnungsverhältnis an Detektorelement oder Detektor matrix (D) berechnet wird und,
basierend auf Randbedingungen, Spezifikationen für opti sche Elemente für ein maximales Öffnungsverhältnis am De tektorelement oder der Detektormatrix (D) berechnet wer den, und
daß diese Lösung durch das Raytracing-Programm verifiziert und iteriert wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001102261 DE10102261C1 (de) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | Einrichtung zur Strahlführung von einer Szene über ein Interferometer zu einem Detektor für ein abbildendes und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform Spektrometer sowie Verfahren zur Optimierung dieser Einrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE2001102261 DE10102261C1 (de) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | Einrichtung zur Strahlführung von einer Szene über ein Interferometer zu einem Detektor für ein abbildendes und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform Spektrometer sowie Verfahren zur Optimierung dieser Einrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10102261C1 true DE10102261C1 (de) | 2002-08-22 |
Family
ID=7671051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE2001102261 Expired - Fee Related DE10102261C1 (de) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | Einrichtung zur Strahlführung von einer Szene über ein Interferometer zu einem Detektor für ein abbildendes und/oder nicht abbildendes Fourier-Transform Spektrometer sowie Verfahren zur Optimierung dieser Einrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10102261C1 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19636711A1 (de) * | 1995-09-12 | 1997-03-13 | Siemens Plc | Verbesserungen an oder bezüglich Spektrometern |
US5714758A (en) * | 1996-10-10 | 1998-02-03 | Surface Optics Corp. | Portable infrared surface inspection system |
WO1999028714A2 (en) * | 1997-11-27 | 1999-06-10 | Plant Bioscience Limited | Spectrometers |
-
2001
- 2001-01-18 DE DE2001102261 patent/DE10102261C1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19636711A1 (de) * | 1995-09-12 | 1997-03-13 | Siemens Plc | Verbesserungen an oder bezüglich Spektrometern |
US5714758A (en) * | 1996-10-10 | 1998-02-03 | Surface Optics Corp. | Portable infrared surface inspection system |
WO1999028714A2 (en) * | 1997-11-27 | 1999-06-10 | Plant Bioscience Limited | Spectrometers |
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