DE10064811A1 - Druckmessvorrichtung - Google Patents
DruckmessvorrichtungInfo
- Publication number
- DE10064811A1 DE10064811A1 DE10064811A DE10064811A DE10064811A1 DE 10064811 A1 DE10064811 A1 DE 10064811A1 DE 10064811 A DE10064811 A DE 10064811A DE 10064811 A DE10064811 A DE 10064811A DE 10064811 A1 DE10064811 A1 DE 10064811A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- receiving tube
- sleeve
- measuring device
- pressure sensor
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/003—Fluidic connecting means using a detachable interface or adapter between the process medium and the pressure gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Eine Druckmeßvorrichtung, ein Aufnahmerohr 1, in dem ein Drucksensorelement 3 mittels eines Schraubenelements 7 axial eingespannt ist. Zwischen dem Schraubelement 7 und dem Drucksensorelemet 3 ist ein Übertragungselement 4 zur Übertragung der axialen Einspannkräfte angeordnet. Die Druckmeßvorrichtung 1 weist mindestens ein erstes Rastglied 21 auf, welches bezüglich des Aufnahmerohrs 1 nicht verdrehbar ist, wobei das Übertragungsglied mindestens ein zweites Rastglied 41 aufweist, welches mit dem mindestens einen ersten Rastglied in Eingriff ist, um eine Roation des Übertragungsglieds zu verhindern. Auf diese Weise wird bei der Montage eine Übertragung von Drehmomenten auf das Drucksensorelement 3 verhindert. Vorzugsweise ist das erste Rastglied 21 an einer Hülse 2 angeordnet, mittels der das Drucksensorelement 3 im Aufnahmerohr zentriert ist.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Druckmeßvorrichtung.
Genauer betrifft die Erfindung eine Druckmeßvorrichtung mit einem
Drucksensorelement, das an einer Stirnseite einen membranartigen
Verformungskörper aufweist. Das Drucksensorelement ist in einem
Aufnahmerohr angeordnet, wobei der membranartige Verformungskörper einer
Sensoröffnung zugewandt ist, an der im Betrieb der Druckmeßvorrichtung ein
Meßmedium ansteht. Die Sensoröffnung wird durch eine Schulter begrenzt, die
sich von der Wand des Aufnahmerohrs radial einwärts erstreckt und eine axiale
Anschlagfläche für das Sensorelement definiert.
Auf der dem Meßmedium abgewandten Seite des Drucksensorelements ist
vorzugsweise im Aufnahmerohr eine elektronische Schaltung zur Verarbeitung
der primären Sensorsignale vorgesehen. Zwischen der Stirnseite des
Drucksensorelements und der axialen Anschlagfläche des Aufnahmerohr ist
meistens ein Dichtungselement angeordnet, um das Eindringen des
Meßmediums in den Inneraum des Aufnahmerohrs zu verhindern.
Für Druckmessvorrichtungen des genannten Typs erweist es sich als schwierig,
eine zuverlässige Dichtung zwischen dem Drucksensorelement und dem
Aufnahmerohr zu erzielen, ohne die Meßgenauigkeit des Sensors aufgrund
mechanischer Spannungen zu beeinträchtigen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Druckmeßvorrichtung
vorzuschlagen, welche das beschriebene Problem überwindet.
Die Aufgabe wird gelöst durch die Druckmeßvorrichtung nach dem
unabhängigen Patentanspruch.
Die Erfindung offenbart eine Druckmeßvorrichtung, umfassend:
ein Drucksensorelement mit einem in einer Stirnfläche des Drucksensorelements angeordneten membranartigen Verformungskörper;
ein im wesentlichen zylindrisches Aufnahmerohr mit einem ersten Gewinde, und einer Schulter zur Aufnahme von axialen Kräften, die sich von zylindrischen Wand des Aufnahmerohrs radial einwärts erstreckt und eine Sensoröffnung definiert;
ein Schraubelement mit einem zum ersten Gewinde komplementären zweiten Gewinde, und mindestens einer stirnseitigen Einspannfläche zur Aufnahme von axialen Kräften, wobei das Schraubelement in das Aufnahmerohr einschraubbar ist, um das Drucksensorelement zwischen der Einspannfläche und der Schulter axial einzuspannen;
wobei die Druckmessvorrichtung weiterhin aufweist:
mindestens eine erstes Rastglied, das bezüglich des Aufnahmerohrs nicht verdrehbar ist, und
ein zwischen dem Schraubelement und dem Drucksensorelement eingespanntes Übertragungselement, zur Übertragung der axialen Einspannkraft, wobei das Übertragungsglied mindestens ein zweites Rastglied aufweist, welches sich mit dem mindestens einen ersten Rastglied in Eingriff befindet, um eine Rotation des Übertragungsglieds im Aufnahmerohr zu verhindern.
ein Drucksensorelement mit einem in einer Stirnfläche des Drucksensorelements angeordneten membranartigen Verformungskörper;
ein im wesentlichen zylindrisches Aufnahmerohr mit einem ersten Gewinde, und einer Schulter zur Aufnahme von axialen Kräften, die sich von zylindrischen Wand des Aufnahmerohrs radial einwärts erstreckt und eine Sensoröffnung definiert;
ein Schraubelement mit einem zum ersten Gewinde komplementären zweiten Gewinde, und mindestens einer stirnseitigen Einspannfläche zur Aufnahme von axialen Kräften, wobei das Schraubelement in das Aufnahmerohr einschraubbar ist, um das Drucksensorelement zwischen der Einspannfläche und der Schulter axial einzuspannen;
wobei die Druckmessvorrichtung weiterhin aufweist:
mindestens eine erstes Rastglied, das bezüglich des Aufnahmerohrs nicht verdrehbar ist, und
ein zwischen dem Schraubelement und dem Drucksensorelement eingespanntes Übertragungselement, zur Übertragung der axialen Einspannkraft, wobei das Übertragungsglied mindestens ein zweites Rastglied aufweist, welches sich mit dem mindestens einen ersten Rastglied in Eingriff befindet, um eine Rotation des Übertragungsglieds im Aufnahmerohr zu verhindern.
Die beschriebene Struktur verhindert, daß bei der Montage der
Druckmeßvorrichtung Drehmomente auf das Drucksensorelement übertagen
werden, die zu Torsionsspannungen im Drucksensorelement führen und die
Meßgenauigkeit beeinträchtigen könnten.
Nach einem weiteren Gesichtspunkt der Erfindung kann im Aufnahmerohr eine
zylindrische Hülse angeordnet werden, die das Drucksensorelement
beabstandet von der zylindrischen Wand des Aufnahmerohrs positioniert bzw.
zentriert.
Bei geeigneter Materialwahl ist das Drucksensorelement somit elektrisch und/
oder thermisch vom Aufnahmerohr isoliert und gegen radiale mechanische
Belastungen, beispielsweise Stöße oder Schläge geschützt. Die Hülse ist
vorzugsweise aus einem thermoplastischen bzw. thermoelastischen Polymer
geformt.
Die Hülse wird vorzugsweise durch einen Klemmsitz im Aufnahmerohr gehalten,
wobei optional formschlüssige Verbindungen zwischen der Hülse und dem
Aufnahmerohr vorgesehen sein können. Bei entsprechender Dimensionierung
sollte jedoch bereits der Klemmsitz ausreichen, um eine Rotation der Hülse im
Aufnahmerohr zu verhindern.
Vorzugsweise ist das mindestens eine erste Rastglied als Bestandteil der Hülse
oder an der Hülse ausgebildet. Es kann beispielsweise als eine Zunge
ausgebildet sein, die sich von der Hülse in axialer oder radialer Richtung
erstreckt. Weiterhin kann das mindestens eine erste Rastglied als Aussparung in
einer inneren Mantelfläche oder einer Stirnfläche der Hülse geformt sein. Das
erste Rastglied dient als Rotationsanschlag für das komplementär gestaltete
mindestens eine zweite Rastglied, des Übertragungselements.
Die Rastglieder müssen so geformt sein, daß sie eine Rotation des
Übertragungselementes begrenzen, aber eine axiale Bewegung des
Übertragungselements im Aufnahmerohr zumindest insoweit nicht
beeinträchtigen, daß das Übertragungselement ungehindert auf dem
Drucksensorelement aufsetzen kann und dieses gegen die Schulter des
Aufnahmerohrs pressen kann.
Wenngleich die Erfindung grundsätzlich mit einem ersten Rastglied und einem
komplementären zweiten Rastglied realisiert werden kann, ist es aus Gründen
der gleichmäßigeren Kräfteverteilung bevorzugt, jeweils mehrere Paare von
komplementären ersten und zweiten Rastgliedern vorzusehen, die vorzugsweise
ihrer Zahl entsprechend symmetrisch angeordnet sind. Zwei Paare sind also
beispielsweise um 180° um die Symmetrieachse des Aufnahmerohrs zueinander
verdreht, während drei oder vier Paare jeweils Verdrehungswinkel von 120° bzw.
90° zueinander aufweisen.
Ungeachtet der obigen Überlegungen, die eine symmetrische Anordnungen
begünstigen, kann eine Abweichung von der Symmetrie vorzuziehen sein, um
aus hier nicht näher zu erörternden Gründen eine eindeutige Orientierung des
Übertragungselements bezüglich des Aufnahmerohrs bzw. bezüglich der Hülse
zu erzielen. Eine Abweichung von der Symmetrie kann beispielsweise durch
Veränderung der Winkel zwischen den Rastgliedpaaren oder durch Variation der
Konturen wie der Breite eines Rastgliedpaares erzielt werden.
Generell ist der erfindungsgemäße Aufbau für beliebige Drucksensorelemente
verwendbar, die mit ihrer Stirnseite zu einem Meßmedium exponiert eingespannt
sind, jedoch sind insbesondere kapazitive Meßzellen mit einer keramischen
Membran, piezoresistive Zellen mit einer Siliziummembran oder induktive
Meßzellen in Frage.
Wenngleich die Stirnseite des Drucksensorelements unmittelbar gegen die
Schulter des Aufnahmerohrs eingespannt werden kann, ist es derzeit bevorzugt,
ein Dichtelement, beispielsweise einen O-Ring, zwischen der Stirnseite des
Drucksensorelements und der Schulter anzuordnen.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es
zeigt:
Fig. 1: einen Längsschnitt durch eine erfindungsgemäße
Druckmeßvorrichtung; und
Fig. 2: eine Explosionszeichnung der Komponenten einer
erfindungsgemäßen Druckmessvorrichtung.
Die Fig. 1 und 2 geben einen Überblick über die Komponenten eines
Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung, und deren
Anordnung zueinander.
Ein Aufnahmerohr 1 weist eine rückseitige Öffnung auf, durch welche die Hülse
2 in das Aufnahmerohr 1 eingesetzt wird. Beim vorliegenden
Ausführungsbeispiel wird die Hülse 2 durch einen Klemmsitz im Aufnahmerohr 1
fixiert. Wie der Fig. 1 zu entnehmen ist, sitzt die Hülse im vorderen Endabschnitt
des Aufnahmerohrs 1 und stößt mit ihrer ersten Stirnseite gegen eine axiale
Anschlagfläche, die durch eine Schulter 12 gebildet wird, welche sich von der
Rohrwand des Aufnahmerohrs 1 radial einwärts erstreckt und eine
Sensoröffnung 11 definiert.
Ein im wesentlichen zylindrisches Drucksensorelement 3 ist mittels der Hülse 2
bezüglich der Sensoröffnung 11 zentriert, wobei zwischen der Stirnseite des
Drucksensorelements 3 und der axialen Anschlagfläche der Schulter 12 ein
Dichtelement 8 eingespannt ist. Das Dichtelement 8 ist vorzugsweise als O-Ring
aus einem elastischen Material ausgebildet. Die Hülse 2 weist in der
dargestelleten Ausführungsform eine radiale Anschlagfläche auf, die von der
inneren Hülsenwand radial einwärts hervorsteht. Mit dieser Anordnung wird die
Kontaktfläche zwischen der Mantelfläche des Drucksensorelements 3 und der
Hülse reduziert, wodurch die elektrische und/oder thermische Isolierung des
Drucksensorelements 3 verbessert wird. Wenngleich diese Ausgestaltung
vorteilhaft ist, so kann die Erfindung auch ohne dieses Merkmal realisiert
werden.
Zur axialen Fixierung des Drucksensorelements 3 ist in das Aufnahmerohr 1 ein
Übertragungselement 4 eingesetzt. Das Übertagungselement 4 weist an seiner
dem Drucksensorelement 3 zugewandten Stirnseite eine axiale Anschlagfläche
auf, die auf der der Sensoröffnung 11 abgewandten Stirnseite des
Drucksensorelements 3 aufsitzt. Vorzugsweise ist die axiale Anschlagfläche als
kontinuierliche Kreisringfläche ausgebildet. In einer alternativen Ausgestaltung
ist die axiale Anschlagfläche in mehrere getrennte Teilflächen zerlegt ist, die auf
dem Sensorelement 3 aufsitzen.
Das Übertagungselement 4 hat an seiner dem Drucksensorelement 3
abgewandten Stirnseite eine zweite axiale Anschlagfläche auf, welcher ein
Schraubelement 7 aufsitzt, welches in das Aufnahmerohr 1 eingeschraubt ist,
um das Drucksensorelement 3 mittels der Übertragungshülse 4 axial
einzuspannen.
Das Schraubelement 7 hat vorzugsweise zumindest in seinem dem
Übertragungselement 4 zugewandten Endbereich die Form einer zylindrischen
Hülse, deren Stirnseite entlang einer ringförmigen Kontaktfläche auf der zweiten
axialen Anschlagfläche des Übertragungselements aufsitzt.
Insofern als die axiale Einspannkraft als Normalkraft auf die Kontaktfläche wirkt,
besteht zwischen dem Schraubelement 7 und dem Übertragungselement 4 ein
Reibschluß der beim Einschrauben des Schraubelements 7 ein Drehmoment
bewirkt, welches mit der Einspannkraft ansteigt. Ohne weitere Vorkehrungen
würde deshalb das Übertragungselement 4 dem Drehmoment folgend rotieren
und gleichermaßen ein Drehmoment in das Drucksensorelement 3 einleiten,
welches entsprechend bis in die der Sensoröffnung 11 zugewandte Stirnseite
des Drucksensorelements 3 und in
den membranartigen Verformungskörper übertragen würde. Um dies zu
vermeiden, sind Paare von komplementären ersten und zweiten Rastgliedern
vorgesehen, welche eine Rotation des Übertragungselements 4 im
Aufnahmerohr 1 verhindern.
In der beschriebenen Ausführungsform sind die ersten Rastglieder als Zungen
21 gestaltet die sich von der Stirnfläche der Hülse 2 in axialer Richtung
erstrecken.
Die zweiten Rastglieder sind als komplementäre Aussparungen 41 in der
Mantelfläche eines ersten zylindrischen Abschnitts des Übertragungselements 4
gestaltet. Der erste zylindrische Abschnitt grenzt an einen zweiten zylindrischen
Abschnitt mit einem kleineren Radius als der erste zylindrische Abschnitt, so daß
zwischen den beiden zylindrischen Abschnitten eine Schulterfläche 42
ausgebildet ist. Die Aussparungen 41 in der Mantelfläche des ersten Abschnitts
erstrecken sich in daxialer Richtung bis zu der Schulterfläche 42 zwischen dem
ersten und dem zweiten Abschnitt und sind zur Schulterfläche 42 hin offen.
Die Zungen 21 gelangen durch die Schulterfläche 42 mit den Aussparungen 41
in Eingriff, und verhindern somit eine Rotation des Übertragungselements 4
bezüglich der Hülse 2. Insofern, als die Hülse 2 nicht im Aufnahmerohr 1 rotieren
kann, ist mit der beschriebenen Anordnung das Übertragungselement 4 auch
gegen eine Rotation bezüglich des Aufnahmerohrs gesichert. Auf diese Weise
wird gewährleistet, daß bei der Montage der Druckmeßvorrichtung keine
störenden Drehmomente in das Drucksensorelement eingeleitet werden.
Neben der beschriebenen Anordnung von Aussparungen und Zungen sind auch
weitere Ausgestaltungen der Rastglieder denkbar. Beispielsweise können sich
Vorsprünge von einer Oberfläche des Übertragungselements erstrecken, die mit
komplementären Aussparungen in der Hülse 2 oder der Rohrwand 1 in Eingriff
gelangen.
Fig. 2 zeigt als weitere details eine Leiterplatte 6, die in einer am
Übertragungselement 4 angeordneten Aufnahme gehaltert wird. Zudem ist bei
dieser Ausführungsform am Übertragungselement eine Leitung 5 für die
Übertragung des Referenzdrucks angeordnet. Hierbei handelt es sich jedoch
lediglich um vorteilhafte
bzw. zweckmäßige Ausgestaltungen, die zur Umsetzung der Erfindung nicht
wesentlich sind.
Die erfindungsgemäße Druckmeßvorrichtung ist insbesondere geeignet als
Tauchsensor zur Messung eines hydrostatischen Drucks, sie ist jedoch
keinsesfalls auf diese Verwendung beschränkt.
Das Aufnahmerohr 1 kann außer der in den Zeichnungen dargestellten Rohrform
im engen Sinn gleichermaßen durch eine im wesentlichen zylindrische Bohrung
in einem massiven Körper realisiert werden, ohne vom Grundgedanken der
Erfindung abzuweichen.
1
Aufnahmerohr
2
Hülse
3
Drucksensorelement
4
Übertragungselement
5
Referenzdruckleitung
6
Leiterplatte
7
Schraubelement
8
Dichtring
11
Sensoröffnung
12
Schulter
21
Rastglied
41
Aussparung
42
Schulterfläche
Claims (8)
1. Druckmeßvorrichtung, umfassend:
ein Drucksensorelement (3) mit einem in einer Stirnfläche des Drucksensorelements angeordneten membranartigen Verformungskörper;
ein im wesentlichen zylindrisches Aufnahmerohr (1) mit einem ersten Gewinde an der Rohrwand, und einer Schulter zur Aufnahme von axialen Kräften, die sich von zylindrischen Wand des Aufnahmerohrs radial einwärts erstreckt und eine Sensoröffnung definiert;
ein Schraubelement (7) mit einem zum ersten Gewinde komplementären zweiten Gewinde, und mindestens einer stirnseitigen Einspannfläche zur Aufnahme von axialen Kräften, wobei das Schraubelement in das Aufnahmerohr (1) einschraubbar ist, um das Drucksensorelement zwischen der Einspannfläche und der Schulter axial einzuspannen (3);
wobei die Druckmessvorrichtung (3) weiterhin aufweist:
mindestens eine erstes Rastglied (41), das bezüglich des Aufnahmerohrs (1) nicht verdrehbar ist, und
ein zwischen dem Schraubelement (7) und dem Drucksensorelement (3) eingespanntes Übertragungselement (4), zur Übertragung der axialen Einspannkraft, wobei das Übertragungselement (4) mindestens ein zweites Rastglied (41) aufweist, welches mit dem mindestens einen ersten Rastglied (21) in Eingriff gelangt um eine Rotation des Übertragungsglieds (4) zu verhindern.
ein Drucksensorelement (3) mit einem in einer Stirnfläche des Drucksensorelements angeordneten membranartigen Verformungskörper;
ein im wesentlichen zylindrisches Aufnahmerohr (1) mit einem ersten Gewinde an der Rohrwand, und einer Schulter zur Aufnahme von axialen Kräften, die sich von zylindrischen Wand des Aufnahmerohrs radial einwärts erstreckt und eine Sensoröffnung definiert;
ein Schraubelement (7) mit einem zum ersten Gewinde komplementären zweiten Gewinde, und mindestens einer stirnseitigen Einspannfläche zur Aufnahme von axialen Kräften, wobei das Schraubelement in das Aufnahmerohr (1) einschraubbar ist, um das Drucksensorelement zwischen der Einspannfläche und der Schulter axial einzuspannen (3);
wobei die Druckmessvorrichtung (3) weiterhin aufweist:
mindestens eine erstes Rastglied (41), das bezüglich des Aufnahmerohrs (1) nicht verdrehbar ist, und
ein zwischen dem Schraubelement (7) und dem Drucksensorelement (3) eingespanntes Übertragungselement (4), zur Übertragung der axialen Einspannkraft, wobei das Übertragungselement (4) mindestens ein zweites Rastglied (41) aufweist, welches mit dem mindestens einen ersten Rastglied (21) in Eingriff gelangt um eine Rotation des Übertragungsglieds (4) zu verhindern.
2. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin umfassend eine
zylindrische Hülse (2), die im Aufnahmerohr (1) angeordnet ist und das
Drucksensorelement (3) beabstandet von der zylindrischen Wand des
Aufnahmerohrs (1) positioniert, wobei die Hülse (2) das mindestens eine
erste Rastglied (21) umfaßt.
3. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 2, wobei das mindestens eine erste
Rastglied (21) als Zunge ausgebildet ist, die sich von einer Stirnfläche der
Hülse (2) in axialer Richtung erstreckt.
4. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 2, wobei das mindestens eine erste
Rastglied als Vorsprung ausgebildet ist, der sich von der Hülse (2) radial
einwärts erstreckt.
5. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 2, wobei das mindestens eine erste
Rastglied als Aussparung in der Hülse (2) ausgebildet ist.
6. Druckmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei die Hülse (2)
durch einen Klemmsitz in dem Aufnahmerohr (1) fixiert ist.
7. Druckmeßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die
Hülse (2) ein erstes Eingriffsmittel und das Aufnahmerohr (1) ein
komplementäres zweites Eingriffsmittel aufweist, um die Hülse formschlüssig
gegen Verdrehen bezüglich des Aufnahmerohrs zu sichern.
8. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 7, nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, weiterhin umfassend einen Dichtring (8), der zwischen der
Stirnfläche des Sensorelements (3) und der axialen Anschlagfläche der
radialen Schulter (12) eingespannt ist.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10064811A DE10064811A1 (de) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | Druckmessvorrichtung |
JP2002553088A JP3728438B2 (ja) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | 圧力測定装置 |
CN01821102.XA CN1221794C (zh) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | 压力测量装置 |
AT01272012T ATE308035T1 (de) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | Druckmessvorrichtung |
DE50107858T DE50107858D1 (de) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | Druckmessvorrichtung |
PCT/EP2001/014791 WO2002052239A1 (de) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | Druckmessvorrichtung |
US10/450,538 US6883383B2 (en) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | Pressure measuring device |
EP01272012A EP1344034B1 (de) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | Druckmessvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10064811A DE10064811A1 (de) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | Druckmessvorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10064811A1 true DE10064811A1 (de) | 2002-06-27 |
Family
ID=7668831
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10064811A Withdrawn DE10064811A1 (de) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | Druckmessvorrichtung |
DE50107858T Expired - Lifetime DE50107858D1 (de) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | Druckmessvorrichtung |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE50107858T Expired - Lifetime DE50107858D1 (de) | 2000-12-22 | 2001-12-14 | Druckmessvorrichtung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6883383B2 (de) |
EP (1) | EP1344034B1 (de) |
JP (1) | JP3728438B2 (de) |
CN (1) | CN1221794C (de) |
AT (1) | ATE308035T1 (de) |
DE (2) | DE10064811A1 (de) |
WO (1) | WO2002052239A1 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004031582A1 (de) * | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Duckaufnehmer |
DE102004057967A1 (de) * | 2004-11-30 | 2006-06-01 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
EP1942325A2 (de) | 2007-01-03 | 2008-07-09 | VEGA Grieshaber KG | Abdichteinrichtung zum Verschliessen eines Druckmesszellengehäuses, Druckmesszelleneinrichtung bzw. Druckmessvorrichtung damit |
DE102008043169A1 (de) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messvorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Messvorrichtung |
EP2679964A2 (de) | 2012-06-26 | 2014-01-01 | KROHNE Analytics GmbH und Dr. Wolfgang Babel | Messvorrichtung zum Bestimmen einer Prozessgröße |
DE102019107783A1 (de) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | Vega Grieshaber Kg | Messanordnung |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007039297B3 (de) * | 2007-08-20 | 2009-02-05 | Vega Grieshaber Kg | Druckmesseinrichtung |
DE102008001865A1 (de) | 2008-05-19 | 2009-11-26 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messgerät |
CH702915A1 (de) * | 2010-03-18 | 2011-09-30 | Kistler Holding Ag | Sensor mit verformungs-entkoppelter einspannungsvorrichtung. |
DE102010029955A1 (de) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor mit einer zylindrischen Druckmesszelle |
DE102016210519B4 (de) | 2016-06-14 | 2020-09-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung |
EP3470809B1 (de) * | 2017-10-16 | 2020-07-15 | Kistler Holding AG | Drucksensor für ein metall- oder kunststoffverarbeitungswerkzeug |
US10553988B2 (en) | 2018-03-15 | 2020-02-04 | Honeywell International Inc. | Anti-rotation device for circular connector |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4539849A (en) * | 1983-09-16 | 1985-09-10 | American Hospital Supply Corporation | Transducer assembly including a disposable dome |
EP0757237A2 (de) * | 1995-08-01 | 1997-02-05 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Druckaufnehmer |
US5852244A (en) * | 1995-10-03 | 1998-12-22 | Nt International, Inc. | Non-fluid conducting pressure sensor module having non-contaminating body and isolation member |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4213857C2 (de) | 1992-04-27 | 1995-10-19 | Endress Hauser Gmbh Co | Vorrichtung zum Messen von Druck und Differenzdruck |
DE4234290C2 (de) * | 1992-10-12 | 1995-06-14 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
-
2000
- 2000-12-22 DE DE10064811A patent/DE10064811A1/de not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-12-14 WO PCT/EP2001/014791 patent/WO2002052239A1/de active IP Right Grant
- 2001-12-14 CN CN01821102.XA patent/CN1221794C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-14 EP EP01272012A patent/EP1344034B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-14 JP JP2002553088A patent/JP3728438B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-14 AT AT01272012T patent/ATE308035T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-12-14 US US10/450,538 patent/US6883383B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-14 DE DE50107858T patent/DE50107858D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4539849A (en) * | 1983-09-16 | 1985-09-10 | American Hospital Supply Corporation | Transducer assembly including a disposable dome |
EP0757237A2 (de) * | 1995-08-01 | 1997-02-05 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Druckaufnehmer |
US5852244A (en) * | 1995-10-03 | 1998-12-22 | Nt International, Inc. | Non-fluid conducting pressure sensor module having non-contaminating body and isolation member |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004031582A1 (de) * | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Duckaufnehmer |
US7861598B2 (en) | 2004-06-29 | 2011-01-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure transducer |
DE102004057967A1 (de) * | 2004-11-30 | 2006-06-01 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
DE102007001445A1 (de) | 2007-01-03 | 2008-07-10 | Vega Grieshaber Kg | Abdichteinrichtung zum Verschließen eines Druckmesszellengehäuses, Druckmesszelleneinrichtung bzw. Druckmessvorrichtung damit |
EP1942325A3 (de) * | 2007-01-03 | 2010-10-06 | VEGA Grieshaber KG | Abdichteinrichtung zum Verschliessen eines Druckmesszellengehäuses, Druckmesszelleneinrichtung bzw. Druckmessvorrichtung damit |
EP1942325A2 (de) | 2007-01-03 | 2008-07-09 | VEGA Grieshaber KG | Abdichteinrichtung zum Verschliessen eines Druckmesszellengehäuses, Druckmesszelleneinrichtung bzw. Druckmessvorrichtung damit |
EP2339312A1 (de) | 2007-01-03 | 2011-06-29 | VEGA Grieshaber KG | Abdichteinrichtung zum Verschliessen eines Druckmesszellengehäuses, Druckmesszelleneinrichtung bzw. Druckmessvorrichtung damit |
DE102008043169A1 (de) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messvorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Messvorrichtung |
US8434368B2 (en) | 2008-10-24 | 2013-05-07 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Measuring apparatus and method for manufacturing the measuring apparatus |
EP2679964A2 (de) | 2012-06-26 | 2014-01-01 | KROHNE Analytics GmbH und Dr. Wolfgang Babel | Messvorrichtung zum Bestimmen einer Prozessgröße |
DE102012012527A1 (de) * | 2012-06-26 | 2014-03-20 | Krohne Analytics Gmbh | Messvorrichtung zum Bestimmen einer Prozessgröße |
DE102012012527B4 (de) * | 2012-06-26 | 2015-05-21 | Krohne Analytics Gmbh | Messvorrichtung zum Bestimmen einer Prozessgröße |
DE102019107783A1 (de) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | Vega Grieshaber Kg | Messanordnung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1344034B1 (de) | 2005-10-26 |
US20040050169A1 (en) | 2004-03-18 |
CN1221794C (zh) | 2005-10-05 |
ATE308035T1 (de) | 2005-11-15 |
EP1344034A1 (de) | 2003-09-17 |
WO2002052239A1 (de) | 2002-07-04 |
JP2004524517A (ja) | 2004-08-12 |
JP3728438B2 (ja) | 2005-12-21 |
DE50107858D1 (de) | 2005-12-01 |
CN1483140A (zh) | 2004-03-17 |
US6883383B2 (en) | 2005-04-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10064811A1 (de) | Druckmessvorrichtung | |
EP0943908B1 (de) | Messanzeigevorrichtung | |
EP1167916B1 (de) | Gehäuse für Winkelmesseinrichtung | |
DE3614198C2 (de) | ||
DE69705441T2 (de) | Mikrometer | |
AT503664A4 (de) | Piezoelektrischer drucksensor | |
DE3338695C2 (de) | Zweirichtungs-Tastvorrichtung | |
EP3069115B1 (de) | Piezoelektrischer kraftsensor mit elektrischer verbindung zwischen elektrode und kontaktpin | |
DE4012480A1 (de) | Messwertaufnehmer fuer eine elektromotorisch angetriebene servolenkung | |
DE19808878B4 (de) | Meßgerät für die Prozeßmeßtechnik | |
EP3611088A1 (de) | Tretlager und fahrrad mit einem solchen tretlager | |
DE69101578T2 (de) | Drehgeschwindigkeitsmessaufnehmer. | |
EP0568068B1 (de) | Kraftmessvorrichtung | |
DE2757856A1 (de) | Pruef- oder testanzeiger | |
DE2818140A1 (de) | Kraftmesszelle, insbesondere waegezelle mit einem auf biegung beanspruchbaren messkoerper | |
DE3543528A1 (de) | Einrichtung zur erfassung des fuellstandes in einem behaelter | |
EP0301651B1 (de) | Positioniervorrichtung für einen Messwertaufnehmer | |
DE2158626A1 (de) | Zweiaxialer Kraftsensor für die Nabe von Steuerradlenkungen, insbesondere bei Flugzeugen | |
DE2712359C2 (de) | Elektromechanischer Kraftmesser | |
EP2249121B1 (de) | Messtaster | |
EP0094446B1 (de) | Druckaufnehmer mit einer Membran und einem Überlastanschlag | |
EP3913347A1 (de) | Messvorrichtung zur erfassung der dehnung eines elastomeren schlauches | |
EP0482014A1 (de) | Messeinrichtung zur Bestimmung des Drehemoments | |
DE3432405C2 (de) | ||
EP0129741B1 (de) | Feinmesstaster |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |