DE10064116A1 - Transversalmoden-gekoppeltes Resonanzfilter mit angepaßtem Übertragungsverhalten - Google Patents

Abstract

Zur Verbesserung des Übertragungsverhaltens eines TCF-Filters wird vorgeschlagen, die Resonanzfrequenz zumindest eines ungekoppelten Resonators gegenüber der Resonanzfrequenz in den anderen Spuren zu verstimmen, ohne die Fingerperiode zu variieren. Dies kann durch Variation der Fingerbreite, der Metallisierungshöhe und/oder der Spurbreite der akustischen Spuren erfolgen.

Description

Ein Transversalmoden-gekoppelte Resonatorfilter, im allgemei­ nen auch als TCF (transverse mode coupled resonator filter) bezeichnet, besteht aus zumindest zwei Oberflächenwellenreso­ natoren, die in Transversalrichtung so nebeneinander angeord­ net sind, daß eine akustische Kopplung auftritt. Gekoppelte Resonatoren bilden dabei gemeinsame Schwingungsmoden aus, die das Verhalten des TMR-Filters bestimmen. Die Anzahl der annä­ hernd verlustfrei geführten Moden, die zu einem Passband bei­ tragen, ist abhängig von der Anzahl der Resonatoren und deren Apertur. TCF-Filter finden insbesondere im Bereich der Kanal­ selektion für verschiedene Mobilfunksysteme verbreitete An­ wendung.

Ein TCF-Filter ist beispielsweise aus dem Artikel von C. S. Hartmann et al. "Modeling of SAW transversly coupled resona­ tor filters using coupling-of modes modeling technique" in 1992 Ultra Sonics Symposium, Seite 39 bis 43 bekannt. Jeder der zwei Resonatoren dieses TMR-Filters besteht aus einem In­ terdigitalwandler, der zwischen zwei Reflektoren angeordnet ist. Parallel nebeneinander liegende und akustisch gekoppelte Resonatoren weisen üblicherweise eine gemeinsame mittlere Stromschiene auf. Charakteristische Größen, die die Eigen­ schaften des Resonators und damit des TCF-Filters bestimmen, sind neben der Apertur die Gesamtzahl der Überlappungen N_ges und die gewählte Mittenfrequenz f₀.

Eine Erhöhung der Selektion kann durch Kaskadierung, also durch Seriellverschalten mehrerer TMR-Spuren erreicht werden. Durch eine größere Metallisierungshöhe kann die Impedanz ei­ nes TMR-Filters erniedrigt werden.

Transversalmoden-gekoppelte Resonatorfilter werden bislang im wesentlichen als 4-polige Filter ausgeführt, wobei jeder Pol einer Eigenresonanz des Filters zuzuordnen ist. Die Eigenre­ sonanzen der üblicherweise identischen einzelnen Resonatoren sind durch die akustische Kopplung aufgespalten. Die Fre­ quenzlage der Pole bzw. der aufgespaltenen Eigenresonanzen wird im TCF-Filter durch die akustische Kopplung alleine oder aber zusätzlich durch die elektrische Verschaltung über dis­ krete Koppelelemente bestimmt. Als diskretes Koppelelement kann dabei eine Kapazität eingesetzt werden, die die Koppel­ stelle mit Masse verbindet. Dies ist insbesondere für Filter mit vergleichsweise schmaler Bandbreite des Durchlaßbereichs geeignet. Für TCF-Filter mit größeren Bandbreiten werden In­ duktivitäten als Koppelelemente eingesetzt. Dabei kommt es jedoch zu Abweichungen vom gewünschten Übertragungsverhalten. Angestrebt wird insbesondere eine sogenannte Butterworth- Charakteristik, die einer maximal flachen Übertragungskurve mit gar nicht oder wenig ausgeprägten relativen Maxima ent­ spricht. Auch eine Tschebyscheff-Charakteristik, bei der der Durchlaßbereich konstante Welligkeit aufweist, ist geeignet.

Ursache für die unerwünschte bzw. ungeeignete Übertragungs­ charakteristik des genannten 4-poligen TCF-Filters mit einem induktiven Koppelelement ist die ungleichmäßige/unsymmetri­ sche Frequenzverstimmung der Resonatoren, die mit dem Koppe­ lelement verbunden sind. Bei schmalbandigen TCF-Filtern mit relativen 3 dB-Bandbreiten unter 1.000 ppm ist die Abweichung von der idealen Butterworth-Charakteristik im allgemeinen to­ lerierbar, nicht aber bei TCF-Filtern mit größeren Bandbrei­ ten.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Mög­ lichkeit anzugeben, das Übertragungsverhalten von TCF-Filtern in einfacher Weise so einzustellen, daß eine gewünschte Cha­ rakteristik erhalten bleibt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein TCF-Filter mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind weiteren An­ sprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung schlägt vor, das TCF-Filter aus Resonatoren mit unterschiedlichen Eigenresonanzen aufzubauen und dadurch auch die Pole der gekoppelten Resonatoranordnung zu verschieben. Die Erfindung gibt dabei eine Möglichkeit an, die Verschie­ bung der Eigenresonanzen so vorzunehmen, daß weder die Fin­ gerperiode der Resonatoren, Reflektoren oder Interdigital­ wandler, noch die Länge des Resonanzraums der Resonatoren verändert werden muß. In einem TCF-Filter mit zumindest zwei akustisch gekoppelten Oberflächenwellenresonatoren schlägt die Erfindung vor, die Verstimmung zumindest eines Resonators durch zumindest eine der Maßnahmen a, b oder c vorzunehmen:

• 1. a Veränderung der Fingerbreite des Interdigitalwandlers und/oder des Reflektors im zu verstimmenden Resonator
• 2. b Veränderung der Metallisierungshöhe im zu verstimmenden Resonator
• 3. c Veränderung der Spurbreite im zu verstimmenden Resona­ tor.

In einem erfindungsgemäßen TCF-Filter sind also sämtliche Streifenmitten (entweder Elektrodenfinger von Interdigital­ wandlern oder Reflektorstreifen) über alle Spuren des Filters gesehen an longitudinal gleichen Positionen.

Die Wirkungen der Maßnahmen a bis c sind wie folgt: Mit der Erhöhung oder Erniedrigung der Streifenbreite (Fingerbreite) geht eine Erniedrigung bzw. Erhöhung der Phasengeschwindig­ keit der akustischen Welle einher. Dies ist mit einer Ernied­ rigung bzw. Erhöhung der Resonanzfrequenz verbunden. Eine Erhöhung der Spurbreite erniedrigt die Resonanzfrequenz. Mit der Variation der Metallisierungshöhe läßt sich die größte Verschiebung der Eigenresonanzen erzielen. Eine höhere Metal­ lisierung in einem Resonator führt zu einer Erniedrigung der Resonanzfrequenz.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind in zumin­ dest einem der Resonatoren Stummelfinger vorgesehen. Bei gleichbleibender Spurbreite kann dadurch die Apertur ernied­ rigt werden bzw. bei gleichbleibender Apertur die Spurbreite erhöht werden. Bei gleichbleibender akustischer Apertur wird die Anregungsstärke des Interdigitalwandlers für akustische Wellen gegenüber einem Wandler ohne Stummelfinger reduziert. Dies ist allerdings auch mit einer im Prinzip unerwünschten Anhebung der charakteristischen Impedanz des Filters verbun­ den. Erfindungsgemäß wird diese Maßnahme jedoch eingesetzt, um gezielt einzelne Polhöhen zu beeinflussen und damit das Übertragungsverhalten des Filters zu verbessern. Die Maßnahme ist geeignet, die Anregungsstärke des Grundmodus zu reduzie­ ren und damit die dem Grundmodus zugehörige Polhöhe zu er­ niedrigen.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei­ spielen und der dazugehörigen 18 Figuren näher erläutert.

Fig. 1 zeigt ein 2-Pol-TCF-Filter, bei dem in einer Spur die Fingerbreite erhöht ist.

Fig. 2 zeigt ein 2-Pol-TCF-Filter mit unterschiedlichen Spurbreiten.

Fig. 3 zeigt einen schematischen Aufschnitt eines 2- poligen TCF-Filters mit unterschiedlicher Metallisierungshöhe in den beiden Spuren.

Fig. 4 zeigt einen 2-Pol-TCF-Filter mit Stummelfingern und zusätzlich verbreiterten Elektrodenfingern.

Fig. 5 zeigt die Auswirkung von Stummelfingern auf die un­ terschiedlichen Moden eines Zweispurfilters.

Fig. 6 zeigt ein bekanntes kaskadiertes 4-Pol-TCF-Filter.

Fig. 7 zeigt das Übertragungsverhalten eines 4-Pol-TCF- Filters nach Fig. 6.

Fig. 8 zeigt das Übertragungsverhalten eines angepaßten TCF-Filters nach Fig. 6.

Fig. 9 zeigt das Übertragungsverhalten eines erfindungsge­ mäßen 4-Pol-TCF-Filters.

Fig. 10 zeigt das Übertragungsverhalten eines erfindungsge­ mäßen 4-Pol-TCF-Filters mit Anpaßelementen.

Fig. 11 zeigt einen bekannten akustisch gekoppelten 4-Pol- TCF-Filter.

Fig. 12 zeigt das Übertragungsverhalten des bekannten 4- Pol-TCF-Filters aus Fig. 11.

Fig. 13 zeigt ein erfindungsgemäßes rein akustisch gekop­ peltes 4-Pol-TCF-Filter.

Fig. 14 zeigt das Übertragungsverhalten des Filters aus Fig. 13.

Fig. 15 zeigt die Übertragungsfunktion eines bekannten kas­ kadierten 4-Pol-Filters.

Fig. 16 zeigt ein durch die Erfindung entsprechend verbes­ sertes kaskadiertes 4-Pol-Filter.

Fig. 17 zeigt das Übertragungsverhalten des genannten Fil­ ters mit zusätzlichen Anpaßelementen.

Fig. 18 zeigt die Übertragungsfunktion einer weiteren er­ findungsgemäßen Modifikation eines kaskadierten 4-Pol-TCF- Filters.

Fig. 1 zeigt eine erste Ausführung eines erfindungsgemäßen 2-poligen TCF-Filters. Dieser weist zwei Spuren A und B auf, in denen jeweils ein Resonator angeordnet ist. Der Resonator umfaßt dabei jeweils einen Interdigitalwandler IDT, der zwi­ schen zwei Reflektorstrukturen Ref angeordnet ist. Die Reso­ natoren der beiden Spuren weisen eine gemeinsame mittlere Stromschiene St_m auf. Die Breiten der Elektrodenfinger und der Reflektorstreifen sind in Spur A gegenüber den entspre­ chenden Breiten in der Spur B erhöht. Die Entfernung der Streifenmitten, die der Fingerperiode des Resonators ent­ spricht, ist in beiden Spuren identisch. Zum Betrieb des TCF- Filters wird ein Eingangssignal beispielsweise an die An­ schlüsse T1 und T2 angelegt, das Ausgangssignal kann an den Anschlüssen T3 und T4 abgenommen werden. Dabei ist es mög­ lich, ein symmetrisches Signal anzulegen oder die Anschlüsse T2 und T3 jeweils mit Masse zu verbinden und das Filter so unsymmetrisch zu betreiben.

Fig. 2 zeigt ein weiteres erfindungsgemäßes TCF-Filter, wel­ ches wiederum aus zwei Spuren A, B besteht, in denen jeweils ein Oberflächenwellenresonator angeordnet ist. Im Unterschied zu Fig. 1 ist hier die Spurbreite der Spur A gegenüber der­ jenigen von Spur B reduziert. Dadurch ist die Resonanzfre­ quenz des Resonators der Spur A gegenüber derjenigen der Spur B erhöht.

Fig. 3 zeigt anhand eines schematischen Querschnitts ein ge­ mäß Maßnahme b modifiziertes TCF-Filter mit zwei Spuren. Die dargestellte Schnittebene ist parallel zur transversalen Achse und steht vertikal auf dem Substrat S. Der durch die Schnittebene angeschnittene Interdigitalwandler IDT_A der er­ sten Spur A weist eine höhere Metallisierungshöhe M_A als der Interdigitalwandler IDT_B der zweiten Spur B mit der Metalli­ sierungshöhe M_B auf. Durch unterschiedlich gewählte Metalli­ sierungshöhen M läßt sich die Resonanzfrequenz in einem wei­ ten Bereich verschieben.

Fig. 4 zeigt eine weitere Ausgestaltung der Erfindung anhand eines 2-Spur- und damit 2-Pol-TCF-Filters. Während in der er­ sten Spur A die Breiten der Elektrodenfinger und Wandler­ streifen gegenüber den entsprechenden Breiten der zweiten Spur B erhöht sind, weisen hier beide Interdigitalwandler IDT der beiden Spuren A, B an der mittleren Stromschiene ST_m Stummelfinger SF auf. Mit Ausnahme der Fingerbreiten sind beide Spuren identisch ausgebildet. Mit der Anordnung der Stummelfinger SF an der mittleren Stromschiene ST_m werden die durch akustische Kopplung sich einstellenden Schwingungsmoden in unterschiedlicher Weise beeinflußt werden, wie anhand Fig. 5 noch gezeigt werden wird.

Mit der Anordnung der Stummelfinger wird die aktive Finger­ überlappung in transversaler (quer zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenwelle) liegende Richtung verändert und auch damit die transversale Anregungsfunktion AF. In der Fig. 5 entspricht die durchgezogene Anregungsfunktion AF einem 2- Spur-TCF-Filter mit Stummelfingern, während die punktierten Bereiche die entsprechende Anregungsfunkion ohne Stummelfin­ ger wiedergeben, die durch die größere aktive Überlappung ge­ kennzeichnet ist. Durch die akustische Kopplung der beiden Spuren können sich in dem TCF-Filter zwei Schwingungsmoden ausbreiten, nämlich eine erste Grundmode GM und eine angereg­ te Mode AM. In diesen Mode sind Phasenlagen der Schwingung in den beiden Spuren gleich bzw. unterschiedlich. Die durch die Stummelfinger SF reduzierte Anregungsfunktion AF hat einen größerer Einfluß auf die Grundmode GM, als dies für die ange­ regte Mode AM der Fall ist. Im Bereich der Reduzierung der Anregungsfunktion (siehe gestrichelter Bereich der Anregungs­ funktion AF) weist die Grundmode GM ein Maximum auf, während die angeregte Mode AM in diesem Bereich nahe bei Null ist. Eine geringere Anregung durch an der mittleren Stromschiene ST_m angeordnete Stummelfinger SF hat dementsprechend eine Re­ duzierung der Amplitude der Grundmode zur Folge, was sich in der Übertragungsfunktion in einer Erniedrigung des dem Grund­ modus zugehörenden Pols zeigt. Da die Grundschwingungsmode GM dem Pol mit der niedrigsten Eigenfrequenz zugeordnet werden kann, führt dies in der Übertragungsfunktion zu einer Ernied­ rigung der linken Flanke.

Fig. 6 zeigt den Aufbau eines bekannten 4-Pol-TCF-Filters. Dieser besteht aus einem ersten 2-Pol-TCF-Filter mit den Spu­ ren A und B, welches über ein Verbindungspad VP mit einem zweiten 2-Pol-TCF-Filter in Serie geschaltet ist, wobei man von einer Kaskadierung spricht. Die Kopplung der beiden 2- Pol-TCF-Filter erfolgt über ein parallel zum Verbindungspad VP geschaltetes diskretes Koppelelement K, beispielsweise durch eine gegen den Masseanschluß M geschaltete Induktivi­ tät. Die durch das Koppelelement K verstärkte Kopplung der beiden TCF-Filter führt dazu, daß sich die Schwingungsmoden nicht unabhängig einstellen können und daher zu einer Über­ tragungsfunktion mit vier Polen führen, die den unterschied­ lichen Schwingungsmoden über die vier Spuren A-D entspre­ chen.

Fig. 7 zeigt die über die Frequenz f aufgetragene Übertra­ gungsfunktion S₂₁ des in Fig. 6 dargestellten bekannten kas­ kadierten 4-Pols zusammen mit einer aus konzentrierten Ele­ menten berechneten ideal gekoppelten Übertragungsfunktion (gestrichelt dargestellt). Es zeigt sich, daß die Kopplung zu einer ungleichmäßigen Aufspaltung der Pole führt, also zu un­ terschiedlichen Abständen der Pole, was ein unsymmetrisches Übertragungsverhalten erzeugt. Eine Glättung der Übertra­ gungsfunktion kann mit zusätzlichen passiven Anpaßelementen bzw. einem Netzwerk erfolgen, wobei sich eine Übertragungsfunktion entsprechend Fig. 8 ausbildet. Es wird klar, daß ein TCF-Filter mit einer Übertragungsfunktion wie in Fig. 8 wenig brauchbar ist. Diese zeigt im Durchlaßbereich eine hohe Welligkeit, während die das Durchlaßband begrenzenden Flanken unregelmäßig ausgebildet sind und nur flach abfallen. Eine gute Selektion im Nahbereich ist damit nicht gegeben.

Durch erfindungsgemäße Modifikation dieses bekannten Filters, im Ausführungsbeispiel durch Erhöhung des Metallisierungsver­ hältnisses, was einer Erhöhung der Finger- und Streifenbreite bei gleichbleibendem Streifenmittenabstand entspricht, wird eine symmetrische Aufspaltung des 4-Pol-Filters erhalten, wie in Fig. 9 dargestellt ist. Diese symmetrische Aufspaltung führt für ein angepaßtes Filter zu einer in Fig. 10 darge­ stellten Übertragungsfunktion. Beim direkten Vergleich der Fig. 8 und 10 wird der mit der Erfindung erzielbare Effekt deutlich: der Durchlaßbereich ist wesentlich glatter und ohne jegliche Welligkeit. Die Flanken des Durchlaßbereichs sind deutlich steiler.

Fig. 11 zeigt ein weiteres 4-poliges TCF-Filter, welches vier rein akustisch gekoppelte Spuren A-D aufweist. In den beiden äußeren Spuren A und D ist jeweils ein Interdigital­ wandler mit entsprechenden Anschlüssen für den Eingang und den Ausgang des Filters angeordnet. Die mittleren Spuren B und C bestehen nur aus reflektieren Fingern, die über eine gemeinsame mittlere Stromschiene kurzgeschlossen sind und die als Wellenleiter für die Oberflächenwelle dienen können. Zwi­ schen den Interdigitalwandlern der Spuren A und D und den Re­ flektorstreifen der Spuren B und C besteht keine elektrisch leitende Verbindung. Es erfolgt eine rein akustische Einkopp­ lung der Oberflächenwelle in die elektrisch getrennten Spu­ ren, beispielsweise von A nach B über C nach D oder umge­ kehrt. Die mittlere Stromschiene der Reflektorstrukturen ist mit Masse verbunden.

Fig. 12 zeigt die Übertragungsfunktion eines solchen bekann­ ten, rein akustisch gekoppelten 4-Pol-TCF-Vierpols in einem 50 Ω Meßsystem. Auch hier zeigt sich, daß die Aufspaltung der Pole unsymmetrisch erfolgt und bei einem angepaßten Fil­ ter zu einem unsymmetrischen Filterverhalten führt. Die Ab­ weichung der Resonanzfrequenzen vom gewünschten Butterworth- Verhalten resultiert aus der schlechteren Führung der höheren Schwingungsmoden im Filter, was mit einer Reduktion der wirk­ samen Reflektivität verbunden ist. Dies resultiert in einer Verschiebung der entsprechenden Pole hin zu höheren Frequen­ zen und damit zu der in Fig. 12 dargestellten unsymmetri­ schen Aufspaltung.

Fig. 13 zeigt eine mögliche Modifizierung des aus Fig. 11 bekannten rein akustisch gekoppelten TCF-Filters. Die Modifi­ kation besteht in einer Erhöhung des Metallisierungsverhält­ nisses der kurzgeschlossenen Gitterstrukturen in den Spuren B und C. Zusätzlich sind in den äußeren Spuren A und D Stummel­ finger vorgesehen, die diesmal an den beiden äußersten Strom­ schienen des Filters angeordnet sind.

Das resultierende in Fig. 14 dargestellte Übertragungsver­ halten (ohne Anpassung) zeigt auf den ersten Blick, daß mit der Erfindung eine wesentlich symmetrische Aufspaltung der Pole erhalten werden kann, die symmetrisch über den Durchlaß­ bereich verteilt sind. Nach entsprechender Anpassung kann da­ mit ein TCF-Filter erhalten werden, welches im Durchlaßbe­ reich keine Welligkeit bei steilen Flanken aufweist.

Fig. 15 zeigt die Messung der Übertragungsfunktion eines be­ kannten aus zwei Polen kaskadierten TCF-Filters. Auch hier fällt der Abstand der beiden höheren Pole, die dem höherfre­ quenten Resonanzpaar entsprechen, kleiner aus als derjenige des niederfrequenten Resonanzpaars. Die Grundresonanz ist zu­ dem schwach ausgeprägt. Zur Anpassung wäre eine Erhöhung der Kopplung, beispielsweise durch einen höheren Induktivitäts­ wert des diskreten Koppelelements. In diesem Fall verschwindet die Grundresonanz jedoch total, das Filterverhalten ver­ schlechtert sich weiter.

Durch erfindungsgemäße Modifizierung eines aus zwei 2-Polen kaskadierten TCF-Filters, beispielsweise durch unterschiedli­ che Metallisierungsverhältnisse in den Spuren und zentrale Stummelfinger, kann eine bessere Übertragungsfunktion erzielt werden, wie es in Fig. 16 dargestellt ist. Paßt man das er­ findungsgemäße TCF-Filter noch an das Impedanzniveau der Meß­ anordnung (hier 50 Ω) an, so erhält man die in Fig. 17 dar­ gestellte Übertragungsfunktion. Das Durchlaßband ist glatt und besitzt eine relative 3 dB-Bandbreite von ca. 1.500 ppm.

Fig. 18 zeigt die unangepaßte Messung eines 4-poligen TCF- Filters, das ebenfalls mit unterschiedlichen Metallisierungs­ verhältnissen und Stummelfingern ausgestattet ist. Die Über­ tragungsfunktion ist nahezu symmetrisch, könnte aber durch weitere Optimierung bezüglich der beiden höheren Resonanzen noch verbessert werden. In der Fig. 18 sind die höheren Re­ sonanzen etwas schwächer ausgeprägt, was nach Anpassung zu einem TCF-Filter mit einer leichten Schräglage des Durchlaß­ bereichs führen würde. Dennoch zeigt sich, daß mit der Erfin­ dung bereits ohne weitere Optimierung TCF-Filter erhalten werden können, die ein wesentlich verbessertes Übertragungs­ verhalten zeigen. Erfindungsgemäße Filter können daher vor­ teilhaft für drahtlose Kommunikationssysteme eingesetzt wer­ den, beispielsweise als Zwischenfrequenzfilter.

In den Ausführungsbeispielen konnte die Erfindung naturgemäß nur anhand exemplarischer Beispiele beschrieben werden. Im Rahmen der Erfindung liegt es jedoch auch, TCF-Filter weiter zu modifizieren und beispielsweise mehr als eine der genann­ ten Modifizierungsmaßnahmen gleichzeitig in einem Filter an­ zuwenden. Die Erfindung läßt sich auch auf TCF-Filter mit ei­ ner höheren Anzahl von akustischen Spuren anwenden, ebenso auf weitere, hier nicht speziell beschriebene bekannte TCF- Filter-Variationen.

Claims (7)

1. Transversalmoden-Resonatorfilter - TCF-Filter -
mit zumindest zwei akustisch gekoppelten Oberflächen­ wellenresonatoren, die jeweils einen Interdigitalwandler und zwei Reflektoren umfassen,
bei dem die jeweiligen Fingerperioden der Interdigital­ wandler und Reflektoren und die Längen in den zumindest zwei Oberflächenwellenresonatoren identisch sind,
bei dem die ohne akustische Koppelung bestimmte Resonanz­ frequenz eines Resonators gegenüber einem andern Resonator verstimmt ist durch zumindest eine der Maßnahmen a, b oder c:

• a) Die Fingerbreite des Interdigitalwandlers und/oder des Reflektors im verstimmten Resonator unterscheidet sich von der entsprechenden Fingerbreite eines anderen Re­ sonators
• b) Die Metallisierungshöhe im verstimmten Resonator un­ terscheidet sich von der Metallisierungshöhe eines an­ deren Resonators
• c) Die Spurbreite im verstimmten Resonator unterscheidet sich von der Spurbreite eines anderen Resonators.

2. TCF-Filter nach Anspruch 1, bei dem in einem Interdigitalwandler Stummelfinger vorge­ sehen sind.

3. TCF-Filter nach Anspruch 2, bei dem die Stummelfinger nur an einem Busbar des Interdi­ gitalwandlers angeordnet sind.

4. TCF-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die äußeren Resonatoren auf Ein- und Ausgangsseite des Filters Interdigitalwandler umfassen, und bei dem die mittleren Spuren als Wellenleiter ausgebildete kurz ge­ schlossene Gitterstrukturen umfassen.

5. TCF-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, umfassend zwei Kaskaden von je zumindest zwei akustischen Resonatoren, die in Serie geschaltet sind, wobei an der Koppelstelle zwischen den beiden Kaskaden ein parallel oder seriell zu den Kaskaden geschaltetes Koppelelement vorgesehen ist, welches eine Kapazität oder eine Indukti­ vität umfaßt.

6. TCF-Filter nach Anspruch 5, bei dem das Koppelelement parallel gegen Masse geschaltet ist.

7. TCF-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem 2n akustische Spuren vorgesehen sind und bei dem in n Spuren die ohne Kopplung bestimmte Resonanzfrequenz des jeweiligen Resonators verstimmt ist, wobei n eine gan­ ze Zahl ist mit 1 ≦ n ≦ 4.