DE10053314A1 - Vorrichtung zum Messen der Sauertoffkonzentration in Gasen - Google Patents

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Messvorrichtung (1) zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Gasen (20). Die Messvorrichtung (1) wird zwischen zwei Magneten (5) angeordnet, die im Abstand voneinander positioniert sind. Die Messvorrichtung (1) ist mit einem Sensor (2) ausgerüstet, der innerhalb eines Rahmens (3) drehbar gehaltert ist. Der Sensor (2) weist zwei quaderförmige Körper (2A, 2B) auf, die beide hohl oder massiv ausgebildet und über ein stegförmiges Bauelement (2S) miteinander verbunden sind. Das stegförmige Bauelement (3S) ist über wenigstens ein Halteelement (4) am Rahmen (3) befestigt, so dass der Sensor (2) um seinen Schwerpunkt gedreht werden kann. Die Größe dieser Drehung ist abhängig von der Menge des Sauerstoffs, die zwischen den beiden Magneten (5) konzentriert wird. Durch eine Leiterbahn (6), die auf der Oberfläche des Sensors (2) geführt ist, kann ein Strom geleitet werden, der eine entsprechend große Rückstellkraft erzeugt, mit dem der Sensor 2 wieder in die Ruhelage gebracht wird.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Messen des Sauerstoffgehalts in Gasen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Eine solche Vorrichtung kommt beispielsweise in der chemischen Verfahrenstechnik zur Anwendung.

Aus der DE-A-23 01 825 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung bekannt, welche die paramagnetischen Eigenschaften des Sauerstoffs zur Messung seiner Konzentration in einem Gasgemisch nutzen. Hierfür werden zwei Magnete im Abstand voneinander so angeordnet, dass zwischen ihnen ein Spalt definierter Größe verbleibt. Durch das Magnetfeld, das sich in dem Spalt ausbildet, wird der Sauerstoff dort konzentriert. In­ nerhalb dieses Spalts ist eine Messvorrichtung mit einem Sensor angeordnet. Der Sensor hat die Form einer Hantel. Er ist so gehaltert, dass er um eine Achse, die in seinem Schwerpunkt liegt, gedreht werden kann. Der Sensor ist zudem so in dem Spalt gehaltert, dass seine Längsachse parallel zur Längsachse des Spalts ausgerichtet ist. Der Sensor wird, da die Sauerstoffkonzentration innerhalb des Spalts gegenüber der Umgebung erhöht ist, aus dem Spalt gedrängt. Die resultierende Aus­ lenkung des Sensors ist ein Maß für die Sauerstoffkonzentration. Mit Hilfe eines Spie­ gels, der an dem Sensor angebracht ist, so wie einer Lichtwaage, die außerhalb des Spalts angeordnet ist, ist eine sehr genaue Lagedetektion des Sensors möglich. Auf der Oberfläche des Sensors ist eine Spule angeordnet, die am Rand der Spule rund­ um geführt ist. Mit Hilfe eines Stroms, der durch die Spule geleitet wird, kann eine Rückstellkraft erzeugt werden, mit welcher der Sensor wieder in seine Ruhelage zu­ rück gebracht werden kann. Mit Hilfe der Lichtwaage wird das Erreichen der Ruhelage ermittelt. Die Größe des Stroms, der zum Erzeugen der Rückstellkraft erforderlich ist, wird zur Ermittlung der Sauerstoffkonzentration genutzt. Zwischen der Größe dieses Stroms und der Sauerstoffkonzentration in dem Spalt besteht ein linearer Zu­ sammenhang. Als weiterer Meßwert wird die Größe des Stroms genutzt, der erforder­ lich ist, um den Sensor aus der ausgelenkten Position in die Ruhelage zurück zu brin­ gen, wenn kein Sauerstoff im Gasgemisch enthalten ist.

Die Ansprechzeiten der Vorrichtung sind sehr lang, da die Trägheit des Sensors auf Grund seiner baulichen Konstruktion sehr groß ist. Da der gesamte Aufbau der Vor­ richtung sehr groß ist, ist auch die Menge des Gases in der Messkammer, in welcher die Vorrichtung angeordnet ist, sehr groß. Der Austausch des Gases dauert entspre­ chend lang. Er kann auch nicht durch eine höhere Strömungsgeschwindigkeit be­ schleunigt werden, da diese die Auslenkung des Sensors beeinflußt und somit zu Messfehlern führt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art aufzuzeigen, die einen minimierten Aufbau und sehr kurze Ansprechzeiten auf­ weist.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.

Die erfindungsgemäße Messvorrichtung ist mit einem Sensor versehen, der sehr klei­ ne Abmessungen aufweist, und innerhalb eines Rahmens drehbar gehaltert ist. Der Rahmen wird innerhalb eines Spalts angeordnet, der zwischen zwei Anordnungen ausgebildet ist, mit denen in dem Spalt ein Magnetfeld erzeugen werden kann. Der Sensor kann durch einen quaderförmigen Körper alleine oder einen quaderförmigen Körper, an dem ein stegförmiges Bauelement befestigt ist, gebildet werden. Vor­ zugsweise hat der Sensor die Form einer Hantel und wird durch zwei quaderförmige Körper gebildet, die über ein stegförmiges Bauelement miteinander verbunden sind. Das stegförmige Bauelement ist mittig über zwei Halteelemente drehbar in dem Rah­ men gehaltert. Der Sensor, der Rahmen und die Halteelemente werden vorzugsweise aus Silizium gefertigt. Damit ist es möglich, alle diese Bauelemente mittels Ätztechni­ ken herzustellen. Durch das Verwenden von Photolithographie zur Strukturierung der Ätzmaske wird eine kostengünstige Massenproduktion des Sensors ermöglicht.

Gleichzeitig können sehr enge Toleranzen der Sensoreigenschaften wie Emp­ findlichkeit und Offset erreicht werden. Zum Schutz des Siliziums vor korrosiven Ga­ sen werden alle Oberflächen, die Kontakt zur Gasatmosphäre haben, mit Schutz­ schichten wie Siliziumkarbid, Siliziumnitrid oder Siliziumoxid beschichtet.

Die Halterung des Sensors erfolgt mittels federnder Halteelemente. Diese sind so mit dem Rahmen verbunden, dass sie eine Drehung des Sensors um dessen Mittelachse ermöglichen. Die Abmessungen des Sensors sind im Vergleich zu bekannten Auf­ bauten stark reduziert. Diese Miniaturisierung des Sensors ermöglicht eine Reduzie­ rung des Messgasvolumens. Der Austausch des Messgases kann dadurch schneller erfolgen, selbst wenn die Strömungungsgeschwindigkeit reduziert wird. Das ermög­ licht kürzere Ansprechzeiten und eine Reduzierung der Messfehler, da Störungen durch die Einwirkung des strömenden Gases auf den Sensor fast vollständig ausge­ schlossen sind. Bei reduzierten Anforderungen an die Ansprechzeiten kann auf eine Beströmung des Sensors vollständig verzichtet werden. Der Gasaustausch erfolgt dann durch Diffusion, ohne jeglichen negativen Einfluss auf den Sensor.

Durch die Verringerung der Sensorhöhe kann der Abstand zwischen den Anordnun­ gen, die das Magnetfeld erzeugen, reduziert werden. Hierdurch wird die Magnetfeld­ stärke im Spalt vergrößert, und somit auch eine größere Anreicherung von Sauerstoff innerhalb des Spalts erzielt, so dass die Empfindlichkeit des Sensors wesentlich ver­ bessert wird. Auf der Oberfläche des Sensors ist wenigstens eine Leiterbahn ausge­ bildet. Durch sie kann ein Strom veränderbarer Größe geleitet werden. Mit Hilfe dieses Stroms wird die Kraft erzeugt, die notwendig ist, um die Auslenkung des Sensors zu kompensieren, die er durch die Konzentration des Sauerstoffs in dem Magnetfeld er­ fährt. Die Leiterbahn wird durch Aufdampfen und Ätzverfahren auf dem Sensor struk­ turiert.

Weitere erfinderische Merkmale sind in den abhängigen Ansprüchen gekennzeichnet.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von schematischen Zeichnungen näher er­ läutert.

Es zeigen:

Fig. 1 die erfindungsgemäße Messvorrichtung,

Fig. 2 den Sensor der Messvorrichtung gemäß Fig. 1 in Draufsicht

Fig. 3 ein Teilbereich des Sensors mit einfallender und reflektierter Strahlung,

Fig. 4 eine Variante des in Fig. 3 dargestellten Teilbereichs,

Fig. 5 eine weitere Variante des in Fig. 3 dargestellten Teilbereichs.

Die in Fig. 1 gezeigte Messvorrichtung 1 umfaßt im wesentlichen einen Sensor 2, ei­ nen Rahmen 3, Halteelemente 4, sowie zwei Anordnungen 5 zur Erzeugung eines Magnetfelds. Der Sensor 2, der Rahmen 3 und die Halteelemente 4 werden vorzugs­ weise aus Silizium oder einem Werkstoff mit vergleichbaren Eigenschaften gefertigt. Damit ist es möglich, die bereits zum Stand der Technik gehörenden Mikrotechniken, Bond- und Ätzverfahren bei der Herstellung der Messvorrichtung 1 anzuwenden. Zum Schutz des Siliziums vor korrosiven Gasen werden alle Oberflächen, die Kontakt zur Gasatmosphäre haben, mit Schutzschichten wie Siliziumkarbid, Siliziumnitrid oder Sili­ ziumoxid beschichtet. Der Sensor 2 wird vorzugsweise mit einer Länge von 2 bis 15 mm, einer Breite von 0,5 bis 3 mm und einer Höhe von 0,1 bis 2 mm ausgebildet. Der Sensor 2 wird durch zwei gleich große quaderförmige Körper 2A und 2B gebildet, die über eine stegförmiges Bauelement 2S miteinander verbunden sind. Die Höhe der quaderförmigen Körper 2A und 2B entspricht der Höhe des Sensors 2. Die Begren­ zungsflächen der Körper 2A und 2B sind quadratisch und haben eine Seitenlänge von 1 mm. Die Seitenflächen können jedoch auch rechteckig ausgebildet sein. Die beiden Körper 2A und 2B sind gleich groß und beide innen hohl. Der Körper 2A, 2B ist in Fig. 3 im Vertikalschnitt dargestellt. Die Wandstärken der Körper 2A und 2B betragen 0,1 mm. Die Wandstärken können jedoch variiert werden, und zwar so, dass der Sensor 2 das jeweils gewünschte Trägheitsmoment aufweist. Für den Fall, dass die Körper 2A und 2B innen hohl sind, werden sie, wie in Fig. 3 dargestellt, oben und unten mit je­ weils einem Deckel 2D verschlossen. Die Deckel 2D können aus Glas oder Silizium gefertigt und mit Hilfe eines Bondverfahrens mit dem Körper 2A, 2B verbunden wer­ den.

Die beiden Körper 2A und 2B sind über ein stegförmiges Bauelement 2S so mitein­ ander verbunden, dass der daraus gebildete Sensor 2 die Form einer Hantel aufweist. Die Länge des stegförmigen Bauelements 2S ist so bemessen, dass der Sensor 2 die oben angegebene Gesamtlänge aufweist. Die Breite des stegförmigen Bauelements 2S beträgt bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel 0,2 mm. Seine Dicke ent­ spricht etwa der Höhe der Körper 2A und 2B ohne Deckel 2D.

Der so ausgebildete Sensor 2 ist, wie Fig. 2 zeigt, im Inneren des Rahmens 3 ange­ ordnet. Die Abmessungen des Rahmens 3 sind so gewählt, dass sich der Sensor 2 um eine Achse drehen kann, die seinen Schwerpunkt senkrecht durchsetzt. Die Aus­ lenkung des Sensors 2 sollte mindestens 30° betragen. Die Höhe des Rahmens 3 ist geringfügig kleiner als die Höhe des Sensors 2. Der Sensor 2 ist an zwei Begren­ zungsflächen 3A, 3B des Rahmens 3, die parallel zur Längsachse des stegförmigen Bauelements 2S verlaufen, mit jeweils einem federnden Halteelement 4 befestigt. Die beiden Halteelemente 4 sind als Bänder ausgebildet, die beide meanderförmig ange­ ordnet sind. Alternativ kann auf die mäanderförmige Ausbildung der Bänder verzichtet werden, wenn sich eine ausreichende Rückstellkraft auch mit blattfederartigen Bän­ dern (hier nicht dargestellt) reduzierter Breite einstellen lässt. Jeweils ein Ende eines jeden Halteelements 4 ist fest mit einer Begrenzungsfläche 3A, 3B des Rahmens 3 verbunden, während das zweite Ende eines jeden Halteelements 4 mit dem stabför­ migen Bauelement 2S verbunden ist. Die Abmessungen der Halteelemente 4 werden immer auf die Masse des Sensors abgestimmt. An Stelle der Bänder können auch an­ dere federnde Halteelemente 4 zur Befestigung des Sensors 2 verwendet werden, die eine entsprechende Drehung des Sensors innerhalb des Rahmens 3 erlauben.

Wie Fig. 2 ebenfalls zu entnehmen ist, ist auf der Oberfläche des Sensors 2 eine elek­ trische Leiterbahn 6 ausgebildet, die mit Hilfe eines der bekannten Dünnschichtverfahren hergestellt ist. Die Leiterbahn 6 wird vorzugsweise durch Aufdampfen, Sputtern oder einem galvanischen Verfahren aus einem metallischen Material in Form von Au, Ag, Cu, Pt oder Al gefertigt. Alternativ kann sie auch durch Eindiffusion von Donatoren oder Akzeptoren in das Silizium ausgebildet werden. Jeweils ein elektrisches An­ schlusselement 6A, 6B der Leiterbahn 6 ist auf der Oberseite der Begrenzungsfläche 3A, 3B des Rahmens 3 angeordnet. Von dort ist die Leiterbahn 6 über die Oberfläche eines der federnden Halteelemente 4 bis zur Oberfläche des Sensors 2 und entlang des stegförmigen Bauelements 25 bis zum ersten Körper 2A geführt. Die Leiterbahn 6 ist dann am äußeren Rand des Körpers 2A entlang bis zum stegförmigen Bauelement 2S zurück und über dieses hinweg bis zum zweiten Körper 2B geführt. Sie wird dann am Rand des Körpers 2B entlang zum stegförmigen Bauelement 2S zurück geleitet und über das zweite Halteelement 4 zum zweiten elektrischen Anschlusselement 6B geführt. Die beiden Anschlusselemente 6A und 6B können an eine Stromquelle 7 an­ geschlossen werden. Alternativ kann die Leiterbahn 6 auf der Oberfläche des Sensors 2 auch so ausgebildet sein, dass der in ihr fließende Strom die beiden Körper 2A, 2B gleichsinnig umläuft (hier nicht dargestellt). Das erfordert einen Kreuzungspunkt der Leiterbahn 6, in dem die sich kreuzenden Abschnitte der Leiterbahn (hier nicht darge­ stellt) dann gegeneinander elektrisch isoliert sind.

Wie an Hand von Fig. 1 zu sehen ist, ist bei dem hier dargestellten Ausführungsbei­ spiel eine Begrenzungsfläche 3B des Rahmens 3, die parallel zu der Längsachse des Sensor 2 ausgerichtet ist, im Bereich eines Körpers 2B mit einer Öffnung 3E versehen. Der Körper 2B weist auf seiner Seitenfläche, welche dieser Begrenzungsfläche 3B zu­ gewandt ist, eine Beschichtung 10. Diese Beschichtung 10 so ausgebildet, dass sie elektromagnetische Strahlung einer bestimmter Frequenz, vorzugsweise Licht im sichtbaren Bereich, reflektiert. Außerhalb des Rahmens 3 ist eine Vorrichtung 15 in­ stalliert. Von dieser Vorrichtung 15 aus wird elektromagnetische Strahlung auf die Be­ schichtung 10 geleitet. Die von dort reflektierte elektromagnetische Strahlung 16 wird von der Vorrichtung 15 auch wieder empfangen, wie in Fig. 3 dargestellt. Bei einer La­ geänderung des Sensors 2 ändert sich das von der Vorrichtung 15 empfangene Si­ gnal. Damit ist es möglich, die Lage des Sensors 2 sehr genau zu bestimmen. Alternativ zu einer reflektierende Beschichtung kann auch die Eigenreflexion des Materials genutzt werden, aus dem der Sensor 2 gefertigt ist. Das ist beispielsweise dann der Fall, wenn der Sensor 2 aus Silizium hergestellt ist, und von der Vorrichtung 15 sichtbare elektromagnetische Strahlung 16 emittiert wird.

An Stelle der Beschichtung 10 kann auch mit Hilfe einer konkav oder konvex geform­ ten, seitlichen Oberfläche des Körpers 2B ein Spiegel (hier nicht dargestellt) ausge­ bildet werden. Zugunsten einer vergrößerten mechanischen Stabilität des Rahmens 3 kann auf die Öffnung 3E verzichtet werden, wenn die elektromagnetische Strahlung 16 schräg von oben oder unten auf die Beschichtung 10 gelenkt wird, wie Fig. 4 zeigt. Die Strahlung 16 kann auch über einen Umlenkspiegel 3M auf die reflektierende Sei­ tenfläche des Körpers 2B gelenkt wird. Der Umlenkspiegel 3M ist auf der Innenseite des Rahmens 3 gegenüber der reflektierende Seitenfläche des Körpers 2B an­ geordnet ist, wie in Fig. 5 dargestellt.

Der Rahmen 3 mit dem darin befindlichen Sensor 2 ist, wie Fig. 1 zeigt, in einem Spalt 11 zwischen den beiden Anordnungen 5 positioniert, die im Abstand voneinander an­ geordnet sind. Bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel werden die beiden An­ ordnungen 5 durch jeweils einen Permanetmagneten gebildet. Die beiden Perma­ nentmagnete haben bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel beide einen V- förmigen Querschnitt. Alternativ kann dieser Querschnitt auch rechteckig sein. Für die Ausbildung des Magnetfelds können an Stelle der Permanetmagnete jedoch auch Elektromagnete verwendet werden.

Die beiden Permanentmagnete 5 sind so angeordnet, dass ihre Längsachsen parallel zueinander verlaufen, und sie im Falle eines V-förmigen Querschnitts pfeilförmig auf­ einander zuweisen. Der Rahmen 3 ist so positioniert, dass die Längsachse des Sen­ sors 2 parallel zu den Längsachsen der Permanentmagnete 5 ausgerichtet ist. Der Abstand zwischen den beiden Anordnungen 5 wird durch die Höhe des Sensors 2 be­ stimmt. Die Messvorrichtung 1 und die beiden Anordnungen 5 sind in einer Mess­ kammer 17 angeordnet. In diese Messkammer 17 wird das zu untersuchende Gas 20 eingefüllt, dessen Sauerstoffanteil ermittelt werden soll. Ist in dem Gas 20 Sauerstoff enthalten, so wird dieser wegen seiner paramagnetischen Eigenschaft im dem Spalt 11 konzentriert. Durch die höhere Gasdichte in dem Spalt 11 wirkt auf den Sensor 2 eine Kraft, die den Sensor 2 aus dem Spalt 11 zu verdrängen versucht. Der Sensor 2 wird in Abhängigkeit von der Größe dieser Kraft um seinen Aufhängepunkt gedreht. Die Auslenkung wird von der Vorrichtung 15 erfasst. Mit Hilfe der Stromquelle 7, wel­ che an den beiden elektrischen Anschlusselementen 6A und 6B der Leiterbahn 6 an­ geschlossen ist, wird erreicht, dass in der Leiterbahn 6 ein Strom fließt, der eine Ge­ genkraft erzeugt. Mit Hilfe eines entsprechend großen Stroms kann der Sensor 2 wie­ der in sein Ruhelage zurück bewegt werden. Durch eine entsprechende Einstellung der geometrischen Abmessungen der federnden Halteelemente 4 kann erreicht wer­ den, dass die Kraft, die aufgebracht werden muß, um den Sensor 2 auch bei einer maximalen Menge an Sauerstoff in dem Spalt 11 wieder in seine Ruhelage zurück zu führen, einen definierten Wert nicht überschreitet. Das Erreichen der Ruhelage wird mit der Vorrichtung 15 erfasst. Die Größe dieses Stroms wird zur Ermittlung des Sau­ erstoffanteil in dem Gas 20 verwendet. Als Vergleichsgröße wird die Größe eines Stroms verwendet, der erforderlich ist, den Sensor 2 in sein Ruhelage zurück zubrin­ gen, wenn kein Sauerstoff im Spalt 11 konzentriert ist. Hierfür wird die Tatsache ge­ nutzt, dass der Sensor durch Montagetoleranzen ein Ruhelage einnimmt, die nicht mit der Nullposition der Vorrichtung 15 übereinstimmt. Die Größe des Stroms, der zur Rückführung des Sensors in diese Nullposition der Vorrichtung 15 erforderlich ist, kann als Vergleichsgröße verwendet werden. Ebenso kann zum Ermitteln einer Ver­ gleichsgröße die Tatsache genutzt werden, dass das Material, das zur Fertigung des Sensors 2 verwendet wird, gegebenenfalls diamagnetisch oder paramagnetisch ist, so dass der Sensor 2 im Magnetfeld eine direkte Kraft erfährt.

Wie in Fig. 4 dargestellt, können die Körper 2A und 2B auch massiv ausgebildet sein. Auf die Deckel 2D kann in diesem Fall verzichtet werden. Auch bei dieser Ausfüh­ rungsform wird die Masse und damit auch die Größe der Körper 2A und 28 so bemes­ sen, dass der Sensor 2 das gewünschte Trägheitsmoment aufweist.

Bei einer vereinfachten Ausführungsform der Messvorrichtung kann der Sensor 2 auch so ausgebildet sein, dass er nur einen Körper 2A, 28 aufweist, der mit einem stegför­ mig Bauelement 2S verbunden ist (hier nicht dargestellt). Das freie Ende des stegförmigen Bauelements 2S wird dann über ein oder zwei Halteelemente 4 am Rahmen 3 befestigt, wie bereits oben beschrieben.

Ebenso kann der Sensor (hier nicht dargestellt) auch nur aus einem quaderförmigen Körper bestehen, der massiv oder hohl ausgebildet werden ist, und durch die federn­ den Halteelemente 4 mittig drehbar im Rahmen 3 gehaltert wird.

Claims (10)

1. Messvorrichtung zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Gasen (20), mit zwei einen Spalt (11) zwischen sich einschließenden und ein Magnetfeld ausbildenden Anordnungen (5), sowie mindestens einem im Spalt (11) drehbar gehalterten Sensor (2), der in Abhängigkeit von der Konzentration des Sauerstoffs aus seiner Ruhelage auslenkbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb des Spalts (11) ein Rahmen (3) zur Aufnahme und beweglichen Halterung des Sensors (2) vorgesehen ist.

2. Messvorrichtung, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (2) wenigstens einen quaderförmigen Körper (2A, 2B) aufweist, der hohl oder massiv ausgebildet und mit einem stegförmigen Bauelement (2S) verbunden ist, das über wenigstens ein federndes Halteelement (4) innerhalb des Rahmens (3) beweglich befestigt ist.

3. Messvorrichtung, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (2) aus einem quaderförmigen Körper (2A, 2B) besteht, der hohl oder massiv ausgebildet ist und über wenigstens ein federndes Halteelement (4) innerhalb des Rahmens (3) beweglich gehaltert ist.

4. Messvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Sensor (2) zwei quaderförmige Körper (2A, 2B) aufweist, die beide hohl oder massiv ausgebildet und über ein stegförmiges Bauelement (2S) miteinander verbunden sind, dass die Länge des stegförmigen Bauelements (2S) so bemessen ist, dass der Sensor (2) innerhalb des Rahmens (3) drehbar ist, dass das stegförmige Bauelement (3S) mittig über jeweils ein federndes Halteelement (4) an zwei Begrenzungsflächen (3A, 3B) des Rahmens (3) gehaltert ist, die parallel zueinander ausgerichtet sind.

5. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich­ net, dass wenigstens eine der beiden parallel zueinander verlaufenden Begrenzungs­ flächen (3A, 3B) des Rahmens eine Öffnung (3E) aufweist, über die elektromagneti­ sche Strahlung auf eine reflektierende Beschichtung (10) des Sensors (2) leitbar ist.

6. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeich­ net, dass der Sensor (2), der Rahmen (3), und die federnden Halteelemente (4) aus Silizium gefertigt sind.

7. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeich­ net, dass auf der Oberfläche des Sensors (2) eine Leiterbahn (6) geführt ist, die an eine Stromquelle (7) anschließbar ist, und dass mit einem durch die Leiterbahn (6) hindurch geleitenden Strom eine auf den Sensor (2) wirkende Rückstellkraft definierter Größe erzeugbar ist.

8. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeich­ net, dass das Trägheitsmoment des Sensors (2) über die Wandstärke der quaderför­ migen Körper (2A, 2B) einstellbar ist.

9. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Auslenkung des Sensor (2) durch die geometrischen Abmessungen der federnden Halteelemente (4) auf einen definierten Wert begrenzbar ist.

10. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der Sensor (2) eine Länge von 2 bis 15 mm, eine Breite von 0,5 bis 3 mm und eine Höhe von 0,1 bis 2 mm aufweist, und dass der Rahmen (3) eine Innen­ fläche zwischen 1,5 mm² bis 50 mm² aufweist.