DE10028364C2 - Einpressvorrichtung für ein Dichtprofil - Google Patents

Einpressvorrichtung für ein Dichtprofil

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Abstract

Vorrichtung zum Einpressen eines elastischen Dichtprofils in eine Nut in eine Box-Seite einer Verpackung für Halbleiterscheiben, bestehend aus einer Grundplatte (1), einer Schieberplatte (2), einer Aufnahmeplatte (3), einem Aufnahmering (4), einer Pneumatik-Lineareinheit (5) und zwei Haltebügeln (6), wobei an der Grundplatte (1) die Pneumatik-Lineareinheit (5) befestigt ist und die Grundplatte (1) über Distanzbolzen (7) mit der Aufnahmeplatte (3) und dem Aufnahmering (4) verschraubt ist und zwischen der Grundplatte (1) und der Aufnahmeplatte (3) vertikal beweglich die Schieberplatte (2) montiert ist und die Schieberplatte (2) an ihrer Oberseite eine umlaufende Einpressnase (8) hat und mit der Pneumatik-Lineareinheit (5) verbunden ist und in die Aufnahmeplatte (3) eine umlaufende Nut (9) zur seitlichen Fixierung der Box-Seite (10) eingefräst ist, wobei zwischen Aufnahmeplatte (3) und Aufnahmering (4) umlaufend ein Spalt (11) zur Aufnahme des Dichtprofils vorhanden ist und sich in diesem Spalt die Einpressnase (8) der Schieberplatte (2) befindet und die Haltebügel (6) schwenkbar an der Grundplatte (1) montiert sind.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einpressvorrichtung für ein Dichtprofil.
Die weltweit gebräuchlichen Verpackungen für Halbleiter­ scheiben, sogenannte Wafer, bestehen aus einem Scheibenträger (Horde, engl. Carrier) mit Federzungen (Cushions), für die Halbleiterscheiben und einer Umverpackung (Box oder Shipper), bestehend aus einem Unterteil und einem Oberteil, die den Scheibenträger samt Halbleiterscheiben von der Umwelt ab­ schließt, um eine Kontamination der Scheiben zu verhindern.
Bei diesen Verpackungen wird ein Dichtprofil zwischen Oberteil und Unterteil der Umverpackung benötigt, das ein Eindringen von verunreinigter Luft verhindern soll. Das Dichtprofil, in der Regel ein Dichtungsring, ist üblicherweise aus Polybuty­ lenterephthalat oder Silicone gefertigt. Zur Aufnahme eines Dichtprofils ist die Dichtfläche des Unterteils einer Box z. B. einer Crystalpak-Verpackungshorde mit einer umlaufenden Nut versehen. Es ist natürlich ebenso möglich, die Dichtfläche des Oberteils einer Box zur Aufnahme eines Dichtprofils mit einer umlaufenden Nut zu versehen. Daher handelt es sich bei dem im folgenden gebrauchten Begriff der "Box-Seite" im Regelfall zwar um das Unterteil einer Box zur Verpackungen von Halblei­ terscheiben, es kann sich jedoch ebenso um das Oberteil einer Box zur Verpackungen von Halbleiterscheiben handeln.
Vorrichtungen zum Einpressen von ringförmigen elastischen Dichtungsprofilen in Nuten sind aus WO 00/47364 A1 und DE 298 17 630 U1 bekannt.
Nachteiligerweise kann bei diesen Vorrichtungen die labile elastische Dichtung leicht wegknicken. Ein korrektes voll­ ständiges Einpressen des Dichtprofils ist dann nicht si­ chergestellt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, die in die Nut einer Box-Seite ein ringförmiges elastisches Dichtprofil (Dichtring) sicher einpresst.
Die Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung, bestehend aus einer Grundplatte (1), einer Schieberplatte (2), einer Aufnah­ meplatte (3), einem Aufnahmering (4), einer Pneumatik-Linear­ einheit (5) und zwei Haltebügeln (6), wobei an der Grundplatte (1) die Pneumatik-Lineareinheit (5) befestigt ist und die Grundplatte (1) über Distanzbolzen (7) mit der Aufnahmeplatte (3) und dem Aufnahmering (4) verschraubt ist und zwischen der Grundplatte (1) und der Aufnahmeplatte (3) vertikal beweglich die Schieberplatte (2) montiert ist und die Schieberplatte (2) an ihrer Oberseite eine umlaufende Einpressnase (8) hat und mit der PneumatikLineareinheit (5) verbunden ist und in die Aufnahmeplatte (3) eine umlaufende Nut (9) zur seitlichen Fix­ ierung der Box-Seite (10) eingefräst ist, wobei zwischen Auf­ nahmeplatte (3) und Aufnahmering (4) umlaufend ein Spalt (11) zur Aufnahme des Dichtprofils vorhanden ist und sich in diesem Spalt die Einpressnase (8) der Schieberplatte (2) befindet und die Haltebügel (6) schwenkbar an der Grundplatte (1) montiert sind.
Im Vergleich mit den bekannten Vorrichtungen ermöglicht die erfindungsgemäße Vorrichtung ein sicheres Einpressen einer Dichtung in die Nut einer Box, da nur diese Vorrichtung die Dichtung während des Einpressvorgangs führt. Diese Führung wird durch den Spalt (11) bewirkt. In diesem Spalt 11 wird die Dichtung geführt, während sie durch die Einpressnase (8) der Schieberplatte (2) in die Nut der Box eingepresst wird.
Vorzugsweise ist die Schieberplatte (2) mit der Kolbenstangen­ seite der Pneumatik Lineareinheit (5) verbunden.
Vorzugsweise werden die Haltebügel (6) in ihrer hochgeschwenk­ ten Position durch Haltemagneten (12) gesichert.
Vorzugsweise sind alle beweglichen Teile berührungssicher gekapselt.
Vorzugsweise erfolgt die gesamte Steuerung der Vorrichtung pneumatisch.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird wie folgt genutzt:
  • - ein Dichtprofil wird in den Spalt (11) zur Aufnahme der Dichtung zwischen Aufnahmeplatte (3) und Aufnahmering (4) eingelegt
  • - die Box-Seite (10) wird mit der Öffnung nach unten auf die Aufnahmeplatte (3) derart aufgesetzt, daß die Box-Seite (10) in der Nut (9) zur Aufnahme der Box-Seite (10) fixiert ist,
  • - die Box-Seite (10) wird durch zwei Haltebügel (6) gesichert,
  • - das Dichtprofil wird durch die Einpressnase (8) der Schieberplatte (2) in die Nut der Box-Seite (10) gepresst, wobei die Führung der Schieberplatte von der Linearpneumati­ keinheit (5) übernommen wird
  • - die Haltebügel (6) werden abgeschwenkt, und
  • - die Box-Seite (10) wird mit dem eingepressten Dichtprofil durch nochmaliges Bewegen der Schieberplatte (2) aus der Vorrichtung gehoben wird.
Durch die Nutzung der erfindungsgemäßen Vorrichung wird ver­ mieden, daß das in die Nut der Box-Seite eingepresste Dichtprofil beim Entnehmen der Box-Seite aus der Vorrichtung wieder aus der Nut gezogen wird. Ferner wird vermieden, daß der Boxinnenraum durch Partikel verunreinigt wird.
Um das Dichtprofil vollständig einzupressen, sollte der Druck vorzugsweise ca. 30 sec anstehen. Vorzugsweise wird daher mit dem Beginn des Einpressens gleichzeitig ein pneumatisches Zeitglied aktiviert. Nach Ablauf der vorgegebenen Zeit fährt die Pneumatik Lineareinheit, in seine Ausgangsstellung zurück.
Nach dem Befestigen der Haltebügel (6) auf der Box-Seite (10) kann sich das erfindungsgemäße Verfahren automatisiert ablau­ fen.

Claims (4)

1. Vorrichtung zum Einpressen eines ringförmigen elastischen Dichtprofils in eine Nut einer Box-Seite einer Verpackung für Halbleiterscheiben, bestehend aus einer Grundplatte (1), einer Schieberplatte (2), einer Aufnahmeplatte (3), einem Aufnahme­ ring (4), einer Pneumatik-Lineareinheit (5) und zwei Halte­ bügeln (6), wobei an der Grundplatte (1) die Pneu­ matik-Lineareinheit (5) befestigt ist und die Grundplatte (1) über Distanzbolzen (7) mit der Aufnahmeplatte (3) und dem Auf­ nahmering (4) verschraubt ist und zwischen der Grundplatte (1) und der Aufnahmeplatte (3) vertikal beweglich die Schieber­ platte (2) montiert ist und die Schieberplatte (2) an ihrer Oberseite eine umlaufende Einpressnase (8) hat und mit der Pneumatik-Lineareinheit (5) verbunden ist und in die Aufnahme­ platte (3) eine umlaufende Nut (9) zur seitlichen Fixierung der Box-Seite (10) eingefräst ist, wobei zwischen Aufnahme­ platte (3) und Aufnahmering (4) umlaufend ein Spalt (11) zur Aufnahme des Dichtprofils vorhanden ist und sich in diesem Spalt die Einpressnase (8) der Schieberplatte (2) befindet und die Haltebügel (6) schwenkbar an der Grundplatte (1) montiert sind.
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schieberplatte (2) mit der Kolbenstangenseite der Pneu­ matik Lineareinheit (5) verbunden ist.
3. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Haltebügel (6) in ihrer hochgeschwenkten Position durch Haltemagneten (12) gesichert werden.
4. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß alle beweglichen Teile berührungssicher gekapselt sind.
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