DE10028201A1 - Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter GegenständeInfo
- Publication number
- DE10028201A1 DE10028201A1 DE2000128201 DE10028201A DE10028201A1 DE 10028201 A1 DE10028201 A1 DE 10028201A1 DE 2000128201 DE2000128201 DE 2000128201 DE 10028201 A DE10028201 A DE 10028201A DE 10028201 A1 DE10028201 A1 DE 10028201A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- camera
- cameras
- speed
- image
- conveyor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände, insbesondere der bedruckten Oberfläche von CDs, DVDs oder CD-Rs, die auf einem Fördermittel relativ zu einer Abtastvorrichtung mit wenigstens einer ersten und einer zweiten Kamera bewegt werden. Die Oberfläche wird mit wenigstens einer Hellfeldbeleuchtung und wenigstens einer Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet, und die erste Kamera wird im wesentlichen nur von dem von der Oberfläche reflektierten Licht und die zweite Kamera wird im wesentlichen nur von dem an der Oberfläche gestreuten Licht belichtet. Gemäß der Erfindung wird vorgeschlagen, daß beide Kameras die Oberfläche zeilenförmig abtasten und beide Kameras in bezug auf die Belichtungszeit und Auslösezeit zueinander und/oder relativ zu der Bewegung oder dem Bewegungsablauf des Gegenstandes und/oder deren Bilder synchronisiert sind, um jeweils zwei korrespondierende Bilder zumindest eines Teils der Oberfläche des Gegenstandes bei unterschiedlicher Beleuchtung zu erhalten.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter
Gegenstände, insbesondere der bedruckten Oberfläche von
CDs, DVDs oder CD-Rs, die auf einem Fördermittel relativ
zu einer Abtastvorrichtung mit wenigstens einer Kamera,
vorzugsweise einer ersten und einer zweiten Kamera bewegt
werden, wobei die Oberfläche durch wenigstens eine
Lichtquelle beleuchtet wird und die erste Kamera im
wesentlichen nur von dem an der Oberfläche reflektierten
Licht und die zweite Kamera im wesentlichen nur von dem
von der Oberfläche gestreuten Licht belichtet wird.
Es ist allgemein bekannt, Oberflächen, beispielsweise
bedruckte Oberflächen von optischen Datenträgern, optisch
abzutasten und einer Fehlerinspektion zu unterziehen.
Dazu ist es erforderlich, wenigstens ein Bild der
bedruckten Oberfläche zu erzeugen, das mit wenigstens
einem Sollbild verglichen wird. Das Sollbild kann die
Abbildung einer einwandfreien Oberfläche oder aber eine
digitale Bildvorlage sein. Die Oberfläche, beispielsweise
einer CD oder DVD, ist im allgemeinen beliebig bedruckt.
Es können Farbflächen, Bilder, Schriften oder dergleichen
mit den unterschiedlichsten Farbauftragsverfahren
aufgebracht sein. Auch ist es möglich, daß die CD oder
die DVD teilweise nicht bedruckt ist, so daß von oben die
Metallschicht erkennbar ist. Weiterhin ist die CD oder
die DVD häufig am inneren und äußeren Randbereich weder
bedruckt noch mit einer Metallschicht versehen und somit
dort durchsichtig.
Es ist beispielsweise aus der DE 195 11 197 A1 bekannt,
die Oberfläche eines derartigen Datenträgers mit einer
Hellfeld- und einer Dunkelfeldbeleuchtung zu beleuchten
derart, daß ein Bild der Oberfläche durch Belichtung der
Kamera mit reflektiertem Licht und ein Bild der
Oberfläche durch Belichtung der Kamera mit gestreutem
Licht erhalten werden. Dadurch ist es möglich, zum einen
die Farbe und die Farbsättigung im Dunkelfeld zu prüfen.
Zum anderen werden die metallischen Flächen im Hellfeld
erkannt, die bei der Beleuchtung im Dunkelfeld zu
unerwünschten Farbeffekten führen. Durch Verknüpfung der
Bilder ist es dann möglich, den tatsächlichen
Farbaufdruck zu prüfen. Bei dem vorbekannten Verfahren
werden diese beiden Bilder nacheinander mit der gleichen
Kamera erzeugt. Dazu ist es erforderlich, daß der
Gegenstand zumindest für die Belichtungszeit dieser
beiden Bilder stillsteht, um bezüglich der Lage und
Ausrichtung übereinstimmende Abbildungen zu erhalten. Ein
Stillstand des Fördermittels ist jedoch im Zuge der immer
kürzer werdenden Zykluszeiten häufig nicht mehr möglich
oder unerwünscht.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, ein
Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs geschilderten
Art so auszubilden, daß ein Prüfen der Oberflächen auch
von bewegten Gegenständen möglich ist.
Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß
die Kameras die Oberfläche zeilenförmig abtasten und die
Kameras in Bezug auf die Belichtungszeit und Auslösezeit
zueinander und/oder relativ zu der Bewegung oder dem
Bewegungsauflauf des Gegenstandes und/oder deren Bilder
synchronisiert sind, um jeweils zwei korrespondierende
Bilder zumindest eines Teils der Oberfläche des
Gegenstandes bei unterschiedlicher Beleuchtung zu
erhalten. Durch diese Maßnahme wird erreicht, daß die
abgetasteten Punkte der Oberflächen auf die gleichen
Punkte der Bilder sowohl bei der Hellfeldbeleuchtung als
auch bei der Dunkelfeldbeleuchtung abgebildet werden. Die
beiden Bilder können ohne weiteres verknüpft und/oder
übereinandergelegt werden, um die Bildauswertung zu
optimieren und beispielsweise die Einflüsse der
metallischen Flächen bei der Inspektion von optischen
Datenträger zu eliminieren.
Die Synchronisation kann beispielsweise dadurch erfolgen,
daß die Lage des Gegenstandes auf dem Fördermittel erfaßt
und zur Synchronisation der Kameras oder deren Bilder
herangezogen wird. Im einzelnen kann dabei so vorgegangen
werden, daß die Kameras einen Teil des Fördermittels mit
abtasten, um die relative Lage des Gegenstandes auf dem
Fördermittel oder dessen Bewegung oder Bewegungsablauf zu
erfassen. Dazu können Markierungen auf dem Fördermittel
vorgesehen werden, um die eindeutige Zuordnung zu
ermöglichen.
Es ist bei den Herstellungsverfahren und bei den
Prüfverfahren von taktweise hergestellten Gegenständen zu
beachten, daß die Fördergeschwindigkeit nicht immer
konstant ist. Auch hängt die Geschwindigkeit von dem
Farbauftragsverfahren ab. Es ist offensichtlich, daß bei
einer gegebenen Belichtungszeit der Kameras das erzeugte
Bild des Gegenstandes in Abhängigkeit der Geschwindigkeit
verzerrt dargestellt wird. So wird ein kreisrunder
Gegenstand bei sehr hoher Geschwindigkeit in bezug auf
die Belichtungszeit langgezogen abgebildet, während bei
relativ langsamer Geschwindigkeit des Gegenstandes dieser
gestaucht abgebildet wird. Ein Vergleich mit einem
Sollbild, daß bei einer gegebenen Geschwindigkeit oder im
Stillstand aufgenommen worden ist, wird hierdurch
erschwert.
Dieses Problem wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst
werden, daß ein aufgrund der Bewegung verzerrtes Bild des
Gegenstands auf die bekannte Kontur des Gegenstands oder
eine bekannte Abbildung der Kontur des Gegenstands
umgerechnet wird. Hier wird die ursprüngliche Gestalt des
Gegenstands oder ein aufgrund einer gekrümmten und/oder
bekannten Bewegung bekannt verzerrtes Bild ausgenutzt, um
eine beliebig verzerrte Abbildung in eine mit der
Sollabbildung wieder vergleichbare Abbildung zu erhalten.
Auch ist es bei mehreren Abbildungen möglich, die
einzelnen Bilder wieder zusammenzulegen, um ein Prüfbild
zu erhalten. Hierzu kann eine Markierung auf dem
Gegenstand und/oder dem Fördermittel zweckmäßig sein,
anhand welcher die Ausrichtung und Entzerrung der
Abbildungen erfolgen kann. Eine Erfassung der
Geschwindigkeit des Gegenstand ist hier nicht zwingend
erforderlich.
Es ist gemäß einer weitergehenden Ausführungsform der
Erfindung vorgesehen, daß die Geschwindigkeit oder der
Bewegungsablauf des Gegenstandes relativ zu wenigstens
einer Kamera erfaßt und deren Bild zugeordnet wird. Es
kann auch vorgesehen werden, jedes Bild auf ein
normiertes Bild bei einer normierten Geschwindigkeit zu
transformieren. Diese normierte Geschwindigkeit kann
beispielsweise diejenige Geschwindigkeit sein, mit der
das Sollbild aufgenommen worden ist. Auch kann die
Normgeschwindigkeit diejenige Geschwindigkeit sein, bei
der keine Verzerrung der Abbildung erfolgt, also wenn bei
einer linearer Bewegung ein kreisrunder Datenträger
wieder kreisrund abgebildet wird. Grundsätzlich kann auch
damit ein langgezogenes beziehungsweise gestauchtes Bild
in die Ursprungsform des aufgenommenen Gegenstandes
umgerechnet und transformiert werden. Die Ursprungsform
des Gegenstandes ist allgemein bekannt, so daß diese
Transformierung ohne weiteres möglich ist.
Häufig ist das Fördermittel jedoch nicht linear, sondern
als Drehtisch ausgebildet. Auch hier können Verzerrungen
durch den gekrümmten Bewegungsverlauf relativ zur geraden
Zeile der Kamera auftreten. Es ist daher in jedem Fall
zweckmäßig und gegebenenfalls auch erforderlich, wenn das
Sollbild mit der gleichen Anordnung der Abtastvorrichtung
bei gleicher relativer Anordnung zum Fördermittel und
normalen Lage des Gegenstandes auf dem Fördermittel
erzeugt wird. Grundsätzlich kann eine beliebig verzerrte
Abbildung auf die Ursprungs- oder eine normierte Form
umgerechnet und transformiert werden, da sowohl der
Abbildungsmaßstab und die Belichtungszeit der Kameras als
auch die Geschwindigkeit und gegebenenfalls der
Krümmungsradius der Bewegung des Gegenstandes bekannt
sind oder erfaßt werden.
Die Kameras können dieselbe Linie der Oberfläche
gleichzeitig abtasten. Eine Zuordnung ist dann leicht
möglich. Auch ist es möglich, daß die Kameras
beabstandete Zeilen zur gleichen Zeit abtasten. Durch die
erfaßte Geschwindigkeit und Zeit kann eine Zuordnung der
jeweiligen zeitlich aufeinanderfolgenden Zeilen erfolgen,
so daß wieder korrespondierende Bilder erzeugt werden
können. Hierbei kann dann vorgesehen werden, daß die
Hellfeldbeleuchtung der Oberfläche abgeschirmt von der
Dunkelfeldbeleuchtung erfolgt. Dadurch wird erreicht, daß
gegenseitige Beeinflussungen der Beleuchtungen vermieden
werden.
Es ist kann vorgesehen werden, daß für jede Kamera jeder
Bildzeile des zeilenförmig aufgebauten Bildes eine
Geschwindigkeit des Gegenstandes und/oder eine Lage des
Gegenstandes auf dem Fördermittel zugeordnet wird.
Dadurch kann ein eindeutige Zuordnung der Bilder oder
Bildzeilen der einzelnen Kameras untereinander erfolgen.
Weiterhin kann vorgesehen werden, die Kameras über die
erfaßte Bewegung so zu synchronisieren, daß stets der
gleiche geometrische Bereich pro Zeile, vorzugsweise
äquidistant, aufgenommen wird. Damit werden unmittelbar
ein mit dem Sollbild vergleichbares Bild oder zueinander
passende Einzelbilder, die zu einem Prüfbild
zusammengelegt werden können, erzeugt. Bei einer
linearen, jedoch nicht gleichmäßigen Bewegung kann
beispielsweise die Kamera so angesteuert werden, daß
stets ein runde Abbildung eines runden Gegenstands
erzeugt wird. Der Vergleich, die Überlagerung und
dergleichen sind dann einfach möglich.
Gemäß einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung ist
vorgesehen, daß der Gegenstand ein kreisrunder
Datenträger ist und sich die Beleuchtung über den
gesamten Durchmesser erstreckt, und daß die zeilenförmige
Abtastung sowohl durch die erste als auch durch die
zweite Kamera über den gesamten Durchmesser erfolgt. Dies
hat den Vorteil, daß der gesamte Gegenstand ohne weiteres
aufgrund der Bewegung des Fördermittels abgetastet,
erfaßt und abgebildet werden kann.
Die entsprechende Vorrichtung zum Durchführen des
Verfahrens gemäß der Erfindung weist
Synchronisationsmittel auf, die die Bilder der Kameras
und/oder die Auslösezeit und/oder die Belichtungszeit der
beiden Kameras zueinander und/oder zu der Bewegung oder
des Bewegungsablaufes des Gegenstandes synchronisieren.
Die Synchronisationsmittel können wenigstens einen
Geschwindigkeitsgeber umfassen, der die Geschwindigkeit
des Gegenstandes erfaßt. Dieser Geschwindigkeitsgeber
kann beispielsweise mit dem Fördermittel zusammenwirken,
auf dem der Gegenstand relativ zu den Kameras bewegt
wird. Der Geschwindigkeitsgeber kann beispielsweise als
Impulsgeber oder Inkrementalgeber mit einem Reibrad, das
die Geschwindigkeit des Fördermittels unmittelbar erfaßt,
ausgebildet sein. Auch ist eine induktive Erfassung der
Geschwindigkeit insbesondere des Fördermittels möglich.
Weiterhin kann es zweckmäßig sein, die Geschwindigkeit
des Fördermittels optisch zu erfassen. Dazu kann eine
Oberflächenstruktur des Fördermittels oder aber eine
andere Kennzeichnung des Fördermittels erfaßt werden.
Grundsätzlich kann dies durch einen separaten optischen
Sensor oder aber mittels der vorhandenen Kameras
erfolgen.
Sofern die Geschwindigkeit des Fördermittels erfaßt wird,
ist es vorteilhaft, wenn die Geschwindigkeit des
Fördermittels im Bereich des Gegenstandes erfaßt wird.
Dadurch können Einflüsse durch Schlupf vermieden werden.
Es kann zweckmäßig sein, wenn das Fördermittel wenigstens
eine Markierung im Bereich des Gegenstandes aufweist, die
von einer separaten Abtasteinrichtung und/oder von
wenigstens einer der Kameras erfaßt wird. Dadurch kann
eine Orientierung der aufgenommenen Bilder erfolgen
derart, daß ein Punkt der Oberfläche sowohl bei der
Hellfeldbeleuchtung als auch bei der
Dunkelfeldbeleuchtung auf denselben Punkt des erzeugten
Bildes abgebildet wird.
Es kann vorgesehen werden, daß wenigstens eine,
insbesondere beide Kameras Zeilenkameras sind. Derartige
Zeilenkameras weisen bei einem relativ einfachen und
robusten Aufbau eine hohe Auflösung auf. Zur Prüfung
eines Farbaufdruckes ist es weiterhin vorgesehen, daß
zumindest die zweite Kamera eine Farbbildkamera ist,
wobei in manchen Fällen eine Schwarz-Weiß-Kamera
ausreichend sein kann. Die erste Kamera kann als Schwarz-
Weiß-Bild-Kamera ausgebildet sein, da es hier tatsächlich
nur auf einen Hell-Dunkelkontrast ankommt. Grundsätzlich
ist es möglich, daß wenigstens eine Kamera eine
Matrixkamera ist. Auch ist es möglich, wenigstens ein
Bild des Gegenstands durch eine Belichtung mit Blitzlicht
zu erhalten.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der schematischen
Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 die Seitenansicht eines Aufbaus einer
Vorrichtung gemäß der Erfindung,
Fig. 2 die Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß Fig. 1
und
Fig. 3 die Seitenansicht eines Aufbaus einer
Vorrichtung gemäß einer anderen Ausführungsform
der Erfindung.
Die in der Zeichnung dargestellte Vorrichtung zum
optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände 12,
insbesondere der bedruckten Oberfläche 11 von CDs, DVDs
und CD-Rs, weist eine erste Kamera 13 und eine zweite
Kamera 14 auf, die jeweils die Oberfläche 11 des
Gegenstandes optisch abtasten. Es ist eine elektronische
Datenverarbeitungsanlage 15 vorgesehen, die die von den
Kameras 13, 14 erzeugten Bilder auswertet, analysiert und
prüft. Die erzeugten Bilder und die Prüfergebnisse können
dazu auf einem Monitor 16 dargestellt werden. Insofern
entspricht der gezeigte Aufbau dem allgemein bekannten
Aufbau einer optischen Abtastvorrichtung mit zwei Kameras
und bedarf daher keiner weiteren Erläuterung.
Weiterhin ist die Anordnung im einzelnen so getroffen,
daß eine Hellfeldbeleuchtung 17 die Oberfläche des
Gegenstandes derart beleuchtet, daß das von der
Oberfläche reflektierte Licht dieser Beleuchtung im
wesentlichen nur die erste Kamera 13 belichtet. Das Licht
wird in bekannter Weise über einen Strahlteiler 27
eingebracht. Ferner ist eine Dunkelfeldbeleuchtung 18
vorgesehen, die die Oberfläche im wesentlichen seitlich
beleuchtet derart, daß das an der Oberfläche gestreute
Licht dieser Beleuchtung zumindest die zweite Kamera 14
beleuchtet. Dadurch können die Farbsättigung und auch
Strukturfehler, wie Rauhigkeiten, gut erkannt werden. Es
können Abschirmelemente 24 vorgesehen werden, die eine
gegenseitige Beeinflussung der Beleuchtungen verhindern.
Der abzutastende Gegenstand 12 liegt auf einem nicht
näher dargestellten Fördermittel 19, das sich in Richtung
des Pfeiles 20 bewegt. Die Kameras 13, 14 tasten die
Oberfläche 11 des Gegenstandes 12 zeilenförmig ab und
sind beispielsweise als Zeilenkameras ausgebildet.
Selbstverständlich können die Kameras auch als
Matrixkameras ausgebildet sein und mehr als eine Linie
des Gegenstandes bis hin zur vollständigen Erfassung des
zu prüfenden Bereichs der Oberfläche abtasten. Zur
Erzeugung eines vollständigen Bildes der Oberfläche 11
ist es erforderlich, in der Zeit, in der der Gegenstand
unter den Kameras hindurch bewegt wird, mehrere
Bildzeilen aufzunehmen, die zusammengesetzt das
vollständige Bild ergeben. Es ist offensichtlich, daß die
Belichtungszeit und die Geschwindigkeit des Fördermittels
19 sich maßgeblich auf das erzeugte Bild auswirken.
Für Prüfzwecke ist es erforderlich, Bilder sowohl im
Hellfeld als auch im Dunkelfeld zu erzeugen. Weiterhin
ist es erforderlich, diese bei unterschiedlicher
Beleuchtung erzeugten Bilder zu verknüpfen. Es muß daher
eine Zuordnung der einzelnen Bilder möglich sein derart,
daß derselbe Punkt des Gegenstands auf übereinstimmende
oder korrelierbare Punkte der jeweiligen Bilder
abgebildet wird. Dazu werden die Kameras 13, 14 oder
deren Bilder durch Synchronisationsmittel 21
synchronisiert, so daß derselbe Punkt der Oberfläche 11
auf denselben Punkt des Bildes sowohl auf der
Hellfeldbeleuchtung als auch der Dunkelfeldbeleuchtung
abgebildet wird.
Die Synchronisationsmittel 21 wirken zum einen mit den
Kameras 13, 14 zusammen. Zum anderen wirken die
Synchronisationsmittel 21 mit einem Geschwindigkeitsgeber
22 zusammen, um die Geschwindigkeit des gerade
aufgenommenen Gegenstandes 12 zu erfassen. Im einzelnen
kann die Anordnung so getroffen sein, daß die
Geschwindigkeit des Fördermittels 19 optisch, mechanisch
oder induktiv erfaßt wird. Die hierzu erforderlichen
Mittel sind allgemein bekannt. Dadurch ist es möglich,
die Belichtungszeit und/oder Auslösezeit relativ zu der
Geschwindigkeit zu synchronisieren. Es ist demnach
bekannt, bei welcher Geschwindigkeit das Bild aufgenommen
worden ist, so daß ein Vergleich mit einem Sollbild, das
mit einer beliebigen anderen Geschwindigkeit aufgenommen
worden ist, möglich ist.
Es kann auch vorgesehen werden, daß das Fördermittel
Markierungen 23 im Bereich des Gegenstandes 12 aufweist,
so daß die erzeugten Bilder anhand der Markierung
synchronisiert und ausgerichtet werden können. Zweckmäßig
kann es hierbei sein, wenn die Synchronisation sowohl
anhand der Geschwindigkeit als auch anhand der
Markierungen 23 erfolgt. Dadurch kann eine noch bessere
Ausrichtung der beiden durch die einzelnen Kameras 13, 14
erzeugten Einzelbilder erfolgen.
Bei dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten
Ausführungsbeispiel fokussieren die Kameras 13, 14
beabstandete Linien 25, 26 auf der Oberfläche. Die
Zuordnung der einzelnen Bildzeilen der
Hellfeldbeleuchtung einerseits und der
Dunkelfeldbeleuchtung anderseits kann dann entweder
mittels der erfaßten Geschwindigkeit oder der erfaßten
Markierung und somit relativen Lage des Gegenstandes auf
dem Fördermittel erfolgen. Insbesondere wenn eine
eindeutige Markierung auf dem Gegenstand vorhanden und
erfaßt wird, kann diese zur Ausrichtung der einzelnen
Bilder zueinander herangezogen werden, um einen Vergleich
zu ermöglichen.
Grundsätzlich wird es zweckmäßig sein, zunächst ein
vollständiges Bild des Gegenstandes zu erzeugen, das mit
einem entsprechenden Sollbild verglichen wird. Bei der
optischen Abtastung einer kreisrunden CD wird bei einer
relativ schnellen Bewegung die kreisrunde Form als
langgezogene Ellipse dargestellt. Bei relativ langsamer
Bewegung der CD wird eine gestauchte Abbildung erzeugt.
Dies gilt sowohl für die Generierung des aktuellen Bildes
als auch für die Erzeugung des Sollbildes. Ein Vergleich
zwischen Sollbild und Istbild ist nur dann möglich, wenn
die Abbildungen gleichartig sind oder bei einer gleichen
Geschwindigkeit aufgenommen worden sind. Dies ist jedoch
nicht immer möglich. Es ist daher vorgesehen, daß die
Synchronisationsmittel 21 und Datenverarbeitungsanlage 15
derart ausgelegt sind, daß das aufgenommene Bild oder
dessen Bildzeilen mit einer Geschwindigkeit derart
verknüpft wird, daß ein normiertes Bild bei einer
normierten Geschwindigkeit erzeugt werden kann. Diese
normierte Geschwindigkeit kann beispielsweise die
Geschwindigkeit sein, mit der das Sollbild aufgenommen
worden ist. Dadurch ist es mit einfachen Mitteln möglich,
unabhängig von der tatsächlichen Geschwindigkeit oder
Geschwindigkeitsverlauf vergleichbare Abbildungen der
Oberfläche zu schaffen. Sofern nicht nur dem gesamten
Bild eine Durchschnittsgeschwindigkeit zugeordnet wird,
sondern jeder Bildzeile eine Geschwindigkeit oder eine
Lage relativ zum Fördermittel kann ein Vergleich auch bei
schwankender Geschwindigkeit des Gegenstandes erfolgen.
In Fig. 3 ist eine andere Anordnung der Beleuchtung und
der Kameras dargestellt. Hier wird die Oberfläche 11 des
Gegenstandes von nur einer Lichtquelle 30 über eine
Linsenanordnung 31 und einen Spiegel 32 in einem flachen
Winkel beleuchtet. Die Linsenanordnung 31 kann als
Achromat ausgebildet sein, der die Oberfläche 11 mit
parallelem Licht linien-, streifen- oder flächenförmig.
Das reflektierte Licht wird durch zwei Spiegel 33, 34 auf
die beiden Kameras 13, 14 gelenkt. Im einzelnen ist die
Anordnung so getroffen, daß der der Hellfeldkamera 13
zugeordnete Spiegel 33 von dem an der Oberfläche
reflektierten Licht 35 beleuchtet wird. Der der
Dunkelfeldkamera 14 zugeordnet Spiegel 34 ist im
Streulichtbereich angeordnet und wird von dem an der
Oberfläche 11 gestreuten Licht 36 beleuchtet.
Selbstverständlich können die Kameras 13, 14 auch
unmittelbar von dem reflektierten Licht 35
beziehungsweise gestreuten Licht 36 belichtet werden. Das
Vorsehen der Spiegel ergibt jedoch einen relativ
kompakten Aufbau. Beide Kameras 13, 14 sind so
ausgerichtet und deren Objektive so eingestellt, daß
durch beide Kameras die gleiche Zeile 37 oder der
gleichen Bereich abgebildet wird. Dies hat den Vorteil,
daß bei einer synchronisierten Auslöse- und
Belichtungszeit jeweils eine übereinstimmende Bildzeile
erzeugt wird.
Bei dieser Anordnung wird es nicht immer zu vermeiden
sein, daß die Hellfeldkamera 13 auch durch gestreutes
Licht belichtet wird. Das gestreute Licht bewirkt jedoch
in der Regel keine so starke Belichtung wie das
reflektierte Licht, so daß eine zu starke Beeinflussung
nicht zu befürchten ist.
Weiterhin wird es aufgrund der Struktur der optischen
Datenträger häufig nicht zu vermeiden sein, daß das
gestreute Licht durch gebeugtes Licht an der inneren
Pitstruktur beeinflußt wird. Hier kann vorgesehen werden,
daß im Strahlenverlauf hinter der Lichtquelle und vor der
Dunkelfeldkamera auslöschende, insbesondere gekreuzte
Polfilter 38, 39 angeordnet sind. Durch die Polfilter
wird vermieden, daß gebeugtes Licht zur Kamera gelangt.
Das Polfilter bzw. Analysator 39 vor der Kamera 14 läßt
nur diffuses Licht in einer anderen Polarisationsrichtung
durch, so daß tatsächlich nur das an der Oberfläche
gestreute Licht die Kamera belichtet. Dies gilt auch für
Ausführungsform in gemäß Fig. 1.
Weiterhin kann insbesondere bei der Inspektion von
mehrschichtigen Gegenständen, wie optischen Datenträgern,
beispielsweise von CDs oder DVDs, vorgesehen werden, daß
der Einfallswinkel der Beleuchtung 30 und/oder der
Dunkelfeldbeleuchtung 18 so gewählt ist, daß an einer
Grenzfläche eine Totalreflexion derart stattfindet, daß
in die äußere Schicht, im Falle einer DVD oder CD die
Polycabonatschicht, durch Brechung gelangendes Licht nach
der Reflexion an einer inneren reflektierenden Fläche
oder Schicht an dieser Grenzfläche reflektiert wird und
nicht mehr nach außen gelangt. Auch dadurch lassen sich
Beeinflussungen der Pitstuktur und der Metallschicht auf
die Oberflächeninspektion vermeiden.
Mit den beschriebenen Vorrichtungen ist eine optische
Prüfung der Gegenstände auch bei einer Bewegung relativ
zu den Kameras möglich. Insbesondere ist es jedoch
möglich, anstelle der üblichen Matrix-Kameras
Zeilenkameras einzusetzen, die eine höhere Auflösung bei
geringerem Aufwand und Kosten ermöglichen. Weiterhin es
ist nicht mehr erforderlich, den laufenden
Produktionsprozeß anzuhalten, um ein Istbild des zu
prüfenden Gegenstandes zu erzeugen. Vielmehr arbeitet das
Prüfsystem vollkommen unabhängig von der Geschwindigkeit
des Gegenstandes relativ zu den Kameras. Auch schwankende
Geschwindigkeiten haben keinen Einfluß auf den
Prüfvorgang. Ein flexibler Einsatz eines derartigen
Inspektionssystems ist daher möglich.
Claims (27)
1. Verfahren zum optischen Prüfen von Oberflächen (11)
bewegter Gegenstände (12) mit einer Kontur, insbesondere
der bedruckten Oberfläche von CDs, DVDs oder CD-Rs, die
auf einem Fördermittel (19) relativ zu einer
Abtastvorrichtung mit wenigstens einer Kamera (13, 14)
bewegt werden, bei welchem Verfahren die Oberfläche durch
wenigstens eine Lichtquelle beleuchtet wird und die
Kamera von dem an der Oberfläche reflektierten und/oder
gestreuten Licht belichtet wird und die Oberfläche (11)
zumindest zeilenförmig abtastet, dadurch gekennzeichnet,
daß ein aufgrund der Bewegung verzerrtes Bild des
Gegenstands auf die bekannte Kontur des Gegenstands oder
eine bekannte Abbildung der Kontur des Gegenstands
umgerechnet wird.
2. Verfahren zum optischen Prüfen von Oberflächen (11)
bewegter Gegenstände (12), insbesondere der bedruckten
Oberfläche von CDs, DVDs oder CD-Rs, die auf einem
Fördermittel (19) relativ zu einer Abtastvorrichtung mit
wenigstens einer Kamera (13, 14) bewegt werden, bei
welchem Verfahren die Oberfläche durch wenigstens eine
Lichtquelle beleuchtet wird und die Kamera von dem an der
Oberfläche reflektierten und/oder gestreuten Licht
belichtet wird und die Kamera (13, 14) die Oberfläche
(11) zumindest zeilenförmig abtastet, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kamera in bezug auf die
Belichtungszeit und/oder Auslösezeit relativ zu der
Bewegung und/oder dem Bewegungsablauf, insbesondere der
Geschwindigkeit, des Gegenstandes synchronisiert sind.
3. Verfahren zum optischen Prüfen von Oberflächen (11)
bewegter Gegenstände (12), insbesondere der bedruckten
Oberfläche von CDs, DVDs oder CD-Rs, die auf einem
Fördermittel (19) relativ zu einer Abtastvorrichtung mit
wenigstens einer ersten und einer zweiten Kamera (13, 14)
bewegt werden, bei welchem Verfahren die Oberfläche durch
wenigstens eine Lichtquelle beleuchtet wird und die erste
Kamera im wesentlichen nur von dem von der Oberfläche
reflektierten Licht und die zweite Kamera im wesentlichen
nur von dem an der Oberfläche gestreuten Licht belichtet
wird, dadurch gekennzeichnet, daß beide Kameras (13, 14)
die Oberfläche (11) zumindest zeilenförmig abtasten und
beide Kameras in bezug auf die Belichtungszeit und/oder
Auslösezeit zueinander und/oder relativ zu der Bewegung
und/oder oder dem Bewegungsablauf, insbesondere der
Geschwindigkeit, des Gegenstandes und/oder deren Bilder
synchronisiert sind, um jeweils zwei korrespondierende
Bilder zumindest eines Teils der Oberfläche des
Gegenstandes bei unterschiedlicher Beleuchtung zu
erhalten.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Geschwindigkeit des Gegenstandes
relativ zu wenigstens einer Kamera erfaßt und deren Bild
zugeordnet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
jedes Bild auf ein normiertes Bild bei einer normierten
Geschwindigkeit transformiert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die normierte Geschwindigkeit die Geschwindigkeit ist,
mit der ein Sollbild aufgenommen worden ist oder bei
welcher keine Verzerrung der Abbildung des Gegenstandes
zumindest in Förderrichtung erfolgt.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Lage des Gegenstandes (12) auf
dem Fördermittel (19) erfaßt und zur Synchronisation der
Kameras (13, 14) oder deren Bilder herangezogen wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kameras (13, 14) einen Teil des
Fördermittels (19) mit abtasten, um die relative Lage des
Gegenstandes auf dem Fördermittel oder dessen Bewegung
jeweils zu erfassen.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß jeder Bildzeile des zeilenförmig
aufgebauten Bildes eine Geschwindigkeit des Gegenstands
und eine Lage des Gegenstandes auf dem Fördermittel
zugeordnet wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kameras dieselbe Linie der
Oberfläche abtasten.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kameras beabstandete Zeilen zur
gleichen Zeit abtasten.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß die Beleuchtung der Oberfläche durch
eine Hellfeldbeleuchtung (17) der Oberfläche und einer
Dunkelfeldbeleuchtung (18) erfolgt.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Prüfbild der Oberfläche durch
eine Überlagerung der Bilder der einzelnen Kameras
erzeugt wird.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, daß jedes Bild und/oder das Prüfbild mit
einem entsprechenden Sollbild verglichen werden.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, daß der Gegenstand (12) ein kreisrunder
Datenträger ist und sich die Beleuchtung über den
gesamten Durchmesser erstreckt, und daß die zeilenförmige
Abtastung sowohl durch die erste als auch durch die
zweite Kamera über den gesamten Durchmesser erfolgt.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß daß bei der Inspektion von
mehrschichtigen Gegenständen oder optischen Datenträgern,
wie von CDs oder DVDs, der Einfallswinkel der Beleuchtung
(30) und/oder der Dunkelfeldbeleuchtung (18) so gewählt
ist, daß an einer Grenzfläche einer Schicht eine
Totalreflexion derart stattfindet, daß in die Schicht
durch Brechung gelangendes Licht nach der Reflexion an
einer inneren reflektierenden Schicht des Gegenstands an
dieser Grenzfläche reflektiert wird.
17. Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen
bewegter Gegenstände (12), insbesondere der bedruckten
Oberfläche (11) von CDs, DVDs oder CD-Rs, die auf einem
Fördermittel (19) relativ zu einer Abtastvorrichtung mit
wenigstens einer Kamera (13, 14) bewegt werden, welche
Kamera (13) von dem an der Oberfläche reflektierten
und/oder gestreuten Licht wenigstens einer Lichtquelle
(17, 18, 30) belichtet wird und die Oberfläche zumindest
zeilenförmig abtastet, dadurch gekennzeichnet, daß
Umrechnungsmittel vorhanden sind, die die aufgrund der
Bewegung verzerrt aufgenommenen Bilder des Gegenstands
auf die bekannte Kontur des Gegenstands oder eine
bekannte Abbildung der Kontur des Gegenstands umrechnen.
18. Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen
bewegter Gegenstände (12), insbesondere der bedruckten
Oberfläche (11) von CDs, DVDs oder CD-Rs, die auf einem
Fördermittel (19) relativ zu einer Abtastvorrichtung mit
wenigstens einer Kamera (13, 14) bewegt werden, welche
Kamera (13) von dem an der Oberfläche reflektierten
und/oder gestreuten Licht wenigstens einer Lichtquelle
(17, 18, 30) belichtet wird und die Oberfläche zumindest
zeilenförmig abtastet, dadurch gekennzeichnet, daß
Synchronisationsmittel (21) vorhanden sind, die die
Bilder der Kamera und/oder die Auslösezeit und/oder die
Belichtungszeit der Kamera zu der Bewegung und/oder des
Bewegungsablaufs, insbesondere der Geschwindigkeit, des
Gegenstandes synchronisieren.
19. Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen
bewegter Gegenstände (12), insbesondere der bedruckten
Oberfläche (11) von CDs, DVDs oder CD-Rs, die auf einem
Fördermittel (19) relativ zu einer Abtastvorrichtung mit
wenigstens einer ersten und einer zweiten Kamera (13, 14)
bewegt werden, welche erste Kamera (13) im wesentlichen
von dem an der Oberfläche reflektierten Licht und welche
zweite Kamera (14) im wesentlichen von dem an der
Oberfläche gestreuten Licht wenigstens einer Lichtquelle
(17, 18, 30) belichtet werden, und welche Kameras die
Oberfläche zumindest zeilenförmig abtasten, dadurch
gekennzeichnet, daß Synchronisationsmittel (21) vorhanden
sind, die die Bilder der Kameras und/oder die Auslösezeit
und/oder die Belichtungszeit der beiden Kameras
zueinander und/oder zu der Bewegung und/oder des
Bewegungsablaufs, insbesondere der Geschwindigkeit, des
Gegenstandes synchronisieren.
20. Vorrichtung nach Anspruch 18 oder 19, dadurch
gekennzeichnet, daß die Synchronisationsmittel (21)
wenigstens einen Geschwindigkeitsgeber (22) umfassen, der
die Geschwindigkeit des Gegenstands erfaßt.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet,
daß der Geschwindigkeitsgeber (22) mit dem Fördermittel
(19) zusammenwirkt und dessen Geschwindigkeit erfaßt, auf
dem der Gegenstand relativ zu den Kameras bewegt wird.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet,
daß der Geschwindigkeitsgeber im Bereich des gerade
abgetasteten Gegenstands angeordnet wird.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 22
dadurch gekennzeichnet, daß das Fördermittel (19)
wenigstens eine Markierung (23) im Bereich des
Gegenstandes (24) aufweist, die von einer
Abtasteinrichtung und/oder wenigstens einer der Kameras
(13, 14) erfaßt wird.
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 23,
dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine,
insbesondere beide Kameras Zeilenkameras sind.
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 24,
dadurch gekennzeichnet, daß die zumindest die zweite
Kamera eine Farbbildkamera ist.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 25,
dadurch gekennzeichnet, daß bei der Inspektion von
mehrschichtigen Gegenständen oder optischen Datenträgern,
wie von CDs oder DVDs, der Einfallswinkel der Beleuchtung
(30) und/oder der Dunkelfeldbeleuchtung (18) so gewählt
ist, daß an einer Grenzfläche einer Schicht eine
Totalreflexion derart stattfindet, daß in die Schicht
durch Brechung gelangendes Licht nach der Reflexion an
einer inneren reflektierenden Fläche oder Schicht des
Gegenstands an dieser Grenzfläche reflektiert wird.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 26,
dadurch gekennzeichnet, daß hinter der Lichtquelle (18,
30) zumindest für die Dunkelfeldbeleuchtung ein Polfilter
(38) und vor der von dem an der Oberfläche gestreuten
Licht belichteten Kamera (14) ein auslöschendes Polfilter
oder Analysator (39) angeordnet sind.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000128201 DE10028201A1 (de) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände |
DE20022804U DE20022804U1 (de) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000128201 DE10028201A1 (de) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10028201A1 true DE10028201A1 (de) | 2001-12-20 |
Family
ID=7645004
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000128201 Withdrawn DE10028201A1 (de) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10028201A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10301379A1 (de) * | 2003-01-16 | 2004-07-29 | Parsytec Computer Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenkontrolle |
DE10330005A1 (de) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers |
DE10330006A1 (de) * | 2003-07-03 | 2005-02-03 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers |
EP1959251A1 (de) * | 2005-12-06 | 2008-08-20 | Shibaura Mechatronics Corporation | Vorrichtung zur inspektion des aussehens |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3809221A1 (de) * | 1988-03-18 | 1989-09-28 | Roth Electric Gmbh | Verfahren zum detektieren von fehlstellen an pressteilen oder anderen werkstuecken und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
DE4218971A1 (de) * | 1992-06-10 | 1993-12-23 | Grecon Greten Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Kalibrierung eines Bildverarbeitungssystems |
DE19511195C2 (de) * | 1995-03-27 | 1999-01-28 | Basler Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche |
DE19511197C2 (de) * | 1995-03-27 | 1999-05-12 | Basler Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche, insbesondere einer Compact-Disc |
DE19731545C1 (de) * | 1997-07-23 | 1999-05-27 | Basler Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Erfassen der Verformung einer Fläche |
WO1999049277A1 (en) * | 1998-03-25 | 1999-09-30 | Crisplant A/S | An optical sensor system for incorporation in a conveyor system and a method for determining the geometry and/or angular position of a moving object |
-
2000
- 2000-06-09 DE DE2000128201 patent/DE10028201A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3809221A1 (de) * | 1988-03-18 | 1989-09-28 | Roth Electric Gmbh | Verfahren zum detektieren von fehlstellen an pressteilen oder anderen werkstuecken und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
DE4218971A1 (de) * | 1992-06-10 | 1993-12-23 | Grecon Greten Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Kalibrierung eines Bildverarbeitungssystems |
DE19511195C2 (de) * | 1995-03-27 | 1999-01-28 | Basler Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche |
DE19511197C2 (de) * | 1995-03-27 | 1999-05-12 | Basler Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche, insbesondere einer Compact-Disc |
DE19731545C1 (de) * | 1997-07-23 | 1999-05-27 | Basler Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Erfassen der Verformung einer Fläche |
WO1999049277A1 (en) * | 1998-03-25 | 1999-09-30 | Crisplant A/S | An optical sensor system for incorporation in a conveyor system and a method for determining the geometry and/or angular position of a moving object |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
DE-Buch: Hans Hart, Einführung in die Meßtechnik, 2. Aufl., Berlin: VEB Verlag Technik, 1977, S. 99-102 * |
Technische Rundschau, Nr. 22, 1998, S. 132-134, 136 Firmenschrift der Fa. Erwin Sick GmbH, München"Inspektionssysteme für optische Speicher, Best. Nr. 8700479, auf der Interkama, Düsseldorf, erh. am 9.10.89, 12 Seiten * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10301379A1 (de) * | 2003-01-16 | 2004-07-29 | Parsytec Computer Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenkontrolle |
DE10330005A1 (de) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers |
DE10330006A1 (de) * | 2003-07-03 | 2005-02-03 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers |
DE10330006B4 (de) * | 2003-07-03 | 2006-07-20 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers |
DE10330005B4 (de) * | 2003-07-03 | 2006-12-21 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers |
US7248354B2 (en) | 2003-07-03 | 2007-07-24 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Apparatus for inspection of a wafer |
US7327450B2 (en) | 2003-07-03 | 2008-02-05 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Apparatus for inspection of a wafer |
EP1959251A1 (de) * | 2005-12-06 | 2008-08-20 | Shibaura Mechatronics Corporation | Vorrichtung zur inspektion des aussehens |
EP1959251A4 (de) * | 2005-12-06 | 2011-10-26 | Shibaura Mechatronics Corp | Vorrichtung zur inspektion des aussehens |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69929901T2 (de) | Inspektionssystem für die oberfläche von zylindrischen objekten | |
DE102018110749B3 (de) | Verfahren zum Überprüfen eines Druckzylinders und eine entsprechende Anordnung | |
DE2617457A1 (de) | Verfahren zum erzeugen eines sichtbildes eines zu pruefenden gegenstandes mittels durchstrahlung sowie optische pruefvorrichtung | |
DE19537376A1 (de) | Autofokussierungsmikroskop | |
DE102004004761A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Wafers | |
DE2753593A1 (de) | Vorrichtung zur automatischen aussenpruefung von objekten | |
DE2602001B2 (de) | Vorrichtung zur Überprüfung einer bearbeiteten Oberfläche eines Werkstücks | |
EP2022347B1 (de) | Optische Kontrolle von Produkten der Tabak verarbeitenden Industrie | |
DE3611536A1 (de) | Vorrichtung zur automatischen ueberpruefung von transparenten objekten, insbesondere von glasflaschen | |
DE102009058215A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung eines Lagerbauteils | |
DE102015109431A1 (de) | Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse von Drahtverbindungen | |
DE3204086A1 (de) | Vorrichtung zur automatischen optischen beschaffenheitspruefung | |
DE3809221A1 (de) | Verfahren zum detektieren von fehlstellen an pressteilen oder anderen werkstuecken und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
EP0927348B1 (de) | Verfahren und anordnung zur automatischen optischen qualitätskontrolle von flachen, ebenen produkten | |
EP1929767A2 (de) | Vorrichtung und verfahren zum visuellen erfassen von flächigen oder räumlichen objekten | |
CH688663A5 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Gegenstaenden, insbesondere von Flaschen. | |
DE202017006788U1 (de) | Vorrichtung zur optischen Inspektion einer Zylinderinnenwand | |
DE10028201A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen bewegter Gegenstände | |
DE102007002711A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion einer Oberfläche | |
DE102016107272A1 (de) | Konzept zum Prüfen eines Objekts | |
DE2516138C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Flaschen aus Glas oder durchsichtigem Kunststoff | |
DE102012010190B4 (de) | Verfahren, Vorrichtung und Endoskop sowieAufsatz | |
DE10019486A1 (de) | Anordnung zur Inspektion von Objektoberflächen | |
EP3904867B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der bruchfläche einer probe | |
EP1251347B1 (de) | Vorrichtung zum optischen Abtasten einer laufenden Warenbahn sowie Verfahren zu deren Justierung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: KAUPP, ANSGAR, DR.-ING., 22926 AHRENSBURG, DE |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |