DE10027473B4 - Verfahren zum Ermitteln der Neigungen von wenigstens zwei übereinander angeordneten Flächen - Google Patents

Abstract

Verfahren zum Ermitteln der Neigungen oder Verformung von wenigstens zwei übereinander angeordneten Flächen eines ein- oder mehrschichtigen Gegenstands (17, 18) mit wenigstens einem lichtempfindlichen Empfänger, auf dessen Bildebene (14) wenigstens ein leuchtendes oder beleuchtetes Muster über den Gegenstand durch Reflexion scharf abgebildet wird, wobei die aufgrund der unterschiedlichen Neigungen oder Verformung der übereinander angeordneten Flächen (17, 18) mehrfachen Musterbilder (23, 24) erfaßt und die Neigungen oder Verformungen der Flächen aufgrund der Abweichungen der mehrfachen Musterbilder untereinander und/oder zu der Sollabbildung ermittelt werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Dickenverlauf einer Schicht oder Zwischenschicht (16) oder der Verlauf des Abstands zwischen den zu überprüfenden Flächen (17, 18) erfaßt wird, und daß eine Abbildung des Musters aufgrund dieses Verlaufs einer Fläche zugeordnet wird.

Description

• Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln der Neigungen von wenigstens zwei übereinander angeordneten Flächen mit wenigstens einem lichtempfindlichen Empfänger, auf dessen Bildebene wenigstens ein leuchtendes oder beleuchtetes Muster über die Fläche durch Reflexion scharf abgebildet wird und die Neigung einer Fläche durch Abweichung des abgebildeten Musters zu einer Sollabbildung erfaßt wird. Die zu prüfenden Flächen können die äußeren Oberflächen oder Grenzflächen eines einschichtigen oder innere und äußere Grenzflächen eines mehrschichtigen Gegenstandes sein. Die zu betrachtende Fläche kann auch durch eine ganz oder teilweise reflektierende Beschichtung auf einem Substrat erzeugt werden. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Ermitteln der Neigung oder lokalen Verformung der reflektierenden Flächen beziehungsweise Beschichtungen eines mehrschichtig aufgebauten optischen Datenträgers, wie eine DVD.
• Ein solches Verfahren und eine entsprechende Vorrichtung sind beispielsweise aus der DE 197 31 545 C1 bekannt. Bei diesem Verfahren wird die reflektierende Fläche des zu prüfenden Gegenstands mit punktförmigen Lichtquellen, die ungerichtetes Licht ausstrahlen, beleuchtet. Das reflektierte Licht belichtet den lichtempfindlichen Empfänger, und es ist eine Abbildungsoptik vorgesehen, die die Lichtquellen scharf auf dessen Bildebene abbildet. Es wird ein Istbild erhalten, und durch Vergleich mit einem Sollbild erhält man die Neigung oder die Verformung der Oberfläche in diesem Bereich. Aus der DE-Z "Automatische Inspektion spiegelnder Freiformflächen anhand von Rasterreflexionen" tm Technisches Messen 64 (1997) 10, Seiten 394 – 400, und der DE 197 57 106 A1 ist es bekannt, ein Muster über eine spiegelnde Fläche abzubilden. Anhand der Verzerrung des Musters können Verformungen oder die Form der spiegelnden Oberfläche ermitteln werden. Auch hier werden nur die Verformungen und die Form einer einzelnen reflektierenden Fläche erfaßt.
• Eine DVD besteht beispielsweise aus zwei Polycarbonatscheiben, die mit einer sogenannten Resinschicht zusammengeklebt sind. Die der Resinschicht zugewandten Flächen der Polycarbonatscheiben oder Substratscheiben sind voll oder teilweise reflektierend ausgebildet beziehungsweise beschichtet. Bei einer sogenannten DVD 9 oder DVD 18 werden diese beiden reflektierenden Flächen von einer Seite ausgelesen, so daß grundsätzlich die jeweilige Neigung der Flächen maßgeblich für das Ausleseergebnis ist. Hier kann ein Problem dahingehend auftauchen, daß die eine Fläche relativ zu der anderen Fläche geneigt verläuft. Werden von einer Seite mehrere Flächen gemeinsam geprüft, ohne eine Aussage über die Neigung oder Verformung jeder einzelnen Schicht treffen zu können, ist es möglich, daß eine oder mehrere Flächen eine Neigung oder Verformung außerhalb der Toleranz aufweisen, ohne daß dies durch die bekannten Meßverfahren erkannt werden konnte. Insbesondere erfolgt häufig eine Mittelung des Meßergebnisses, das sich bei gegenläufig geneigten Flächen auslöscht und einen vermeintlich intakten Datenträger repräsentiert.
• Das Erfassen der Neigungen oder der Verformung zweier übereinander liegenden Flächen ist mit den vorbekannten Verfahren nicht möglich. Es besteht jedoch auch bei der Inspektion von optischen Datenträgern ein Bedürfnis, die Neigungen und/oder die Verformung von wenigstens zwei übereinander angeordneten Flächen ermitteln zu können. Es hat sich aber gezeigt, daß in manchen Fällen nicht nur ein Musterbild, sondern wenigstens zwei Musterbilder auf der Bildebene erscheinen. Dies ist darauf zurückzuführen, daß bei relativer Neigung der einzelnen Flächen zueinander das einfallende Licht der divergenten Lichtquelle an jeder Fläche mit einem anderen Winkel reflektiert wird. Es entstehen zwei Musterbilder, die erfaßt und zur Bestimmung der Neigung und/oder Verformung der Flächen herangezogen werden können.
• Aus der EP 0 485 043 A2 ist es bekannt, die Mehrfachabbildungen von Lichtstrahlen aufgrund einer Reflektion an beiden Grenzflächen einer transparenten Platte zu erfassen und hieraus deren Qualität zu ermitteln. Allerdings wird hier als bekannt vorausgesetzt, welche Abbildung eines Lichtstrahls zu welcher der beiden Flächen gehört.
• Diese vorherige Zuordnung ist bei der Prüfung von optische Datenträgern nicht möglich. Anhand der bloßen Erfassung der beiden Musterbilder ist es noch nicht möglich, die ermittelten Neigungen eindeutig einer Fläche zuzuordnen, da unklar bleibt, welche Fläche das Licht mit welchem Winkel reflektiert hat.
• Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs geschilderten Art so auszubilden, daß die Neigungen oder Verformungen der einzelnen Flächen und Schichten erfaßt und den einzelnen Flächen zugeordnet werden können.
• Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die aufgrund der unterschiedlichen Neigungen und/oder Verformungen der übereinander angeordneten Flächen mehrfachen Musterbilder erfaßt werden und die Neigungen der Flächen aufgrund der Abweichungen der mehrfachen Musterbilder untereinander und/oder oder zu der Sollabbildung ermittelt wird, wobei gemäß einem ersten Lösungsgedanken der Dickenverlauf einer Schicht oder Zwischenschicht oder der Verlauf des Abstandes zwischen den zu überprüfenden Flächen erfaßt wird, und daß eine Abbildung des Musters aufgrund des Dickenverlaufs einer Fläche zugeordnet wird.
• Gemäß einem anderen Lösungsgedanken ist vorgesehen, daß, sofern die einzelnen Flächen das Licht mit unterschiedlicher Intensität, Farbe, Wellenlänge oder dergleichen reflektieren, das abgebildete, Muster anhand dem für die jeweilige Fläche typischen Reflektionsverhalten, insbesondere bezüglich Farbe oder Intensität, dieser zugeordnet wird.
• Sofern der Verlauf des Abstands der Flächen zueinander erfaßt wird, entspricht dies bei einem einschichtigen Gegenstand dem Dickenverlauf der einzigen Schicht. Bei einem mehrschichtigen. Gegenstand kann dies der Dickenverlauf einer inneren Schicht oder einer Zwischenschicht sein. Gemäß dem ersten Lösungsgedanken ist ein Dickenverlauf einer betreffenden Schicht zwischen zu betrachtenden Flächen zu erfassen. Einer Abweichung des abgebildeten Musters in einer Richtung auf der Bildebene kann gegebenenfalls gerade dieser Dickenverlauf zugeordnet werden. Durch den Dickenverlauf in diese Richtung erhält man eine weitere Information, durch die jede erfaßte Abbildung und somit ermittelte Neigung oder Verformung eindeutig einer Fläche zugeordnet werden kann. Eine Abbildung des Musters aufgrund des Dickenverlaufs der Zwischenschicht kann dann einer Fläche zugeordnet werden
• Dies wird im Folgenden anhand einer DVD erläutert, die von unten optisch abgetastet wird. Ein mehrschichtiger Aufbau, bei dem zwischen den reflektierenden Flächen eine Zwischenschicht vorhanden ist, ist beispielsweise typisch für einen optischen Datenträger, insbesondere einer DVD, die zwischen zwei Polycarbonatschichten eine Resinschicht einschließt. Die Zwischenschicht ist bei einer DVD sehr dünn und beträgt nur wenige μm. Die Erfindung nutzt hier aus, daß in der Regel die Dicke der Zwischenschicht, der Resinschicht, ebenfalls ermittelt wird. Verfahren und Vorrichtungen zur Schichtdickenmessung, beispielsweise über Interferenzmessung, sind allgemein bekannt und bedürfen daher keiner weiteren Erläuterung. In jedem Fall kann der Verlauf der Schichtdicke zwischen den Flächen ermittelt werden. Es sind daher eine obere und einer untere Schicht und dazwischen die Resinschicht vorhanden. Es ist beispielsweise definiert, daß der Dickenverlauf der Zwischenschicht von links nach rechts ermittelt wird. Bei einer Neigung einer der reflektierenden Fläche nach rechts oben soll das abweichende Muster rechts von der Sollabbildung auf der Bildebene erscheinen. Bei der gewählten optischen Meßanordnung wird eine mehrfache Abbildung des Musters tatsächlich nur bei unterschiedlich geneigten Flächen detektierbar sein.
• Bei nur einer erfaßten abweichenden Abbildung, die rechts von der Sollabbildung liegt, und bei einem sich verringernden Dickenverlauf (von links nach rechts), ist die untere Fläche geneigt, während die obere Fläche eben ist, also einen einwandfreien Verlauf besitzt. Liegt in diesem Fall die abweichende Abbildung links von der Sollabbildung, ist die obere Fläche geneigt, während die untere Fläche eben ist. Bei einem konstanten Dickenverlauf und einer abweichenden Abbildung sind beide Flächen gleichartig geneigt.
• Werden zwei abweichende Abbildungen erfaßt, die beide rechts von der Sollabbildung liegen, so gehört bei einem sich verringernden Dickenverlauf die Abbildung mit der geringeren Abweichung zu der oberen Fläche. Bei einem sich vergrößernden Dickenverlauf kann diese Abbildung eindeutig der unteren Fläche zugeordnet werden.
• Liegt eine abweichende Abbildung links und die andere Abweichung rechts von der Sollabbildung, so sind die Flächen gegenläufig geneigt. Bei einem sich verringernden Dickenverlauf ist die linke Abbildung der oberen Fläche zuzuordnen und umgekehrt.
• Entsprechende Zuordnungen sind bei nur einer oder zwei Abbildungen links von der Sollabbildung gegeben. Es liegt auf der Hand, daß mit dieser Maßnahme beide Flächen unabhängig voneinander und eindeutig bezüglich der Neigung und/oder Verformung geprüft werden können. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können somit auch die durch eine unzureichende Klebeverbindung fehlerhaft erzeugte DVDs oder dergleichen als defekt erkannt werden.
• Der Ausschuß kann durch frühzeitige Erkennung derartiger Fehler reduziert werden.
• Grundsätzlich wird es zweckmäßig sein, die Neigungen oder Verformungen der Flächen an mehreren Stellen zu ermitteln. Dementsprechend ist der Dickenverlauf der dazwischen befindlichen Schicht an diesen oder im Bereich dieser Stellen zu ermitteln. Dazu kann vorgesehen werden, daß jeder Stelle eine andere Musterform oder eine andere Farbe des Musters zugeordnet wird. Dadurch wird erreicht, daß die abweichenden Abbildungen eindeutig einer Sollabbildung zugeordnet werden können.
• Was für ein Muster abgebildet wird, ist grundsätzlich beliebig, solange eine eindeutige Abweichung eines betrachteten Punktes erfaßt werden kann. Es eignen sich daher insbesondere diskrete Muster mit Punkten, Kreuzen, Linien oder dergleichen. Auch können sinusförmige oder kontinuierliche Muster, und Farb- und/oder Intensitätsverteilungen vorgesehen werden. Wichtig ist, daß ein abgebildeter Punkt auch bei einer abweichenden Lage wiedererkannt wird, so daß ein Vergleich mit der Lage in einer Sollabbildung möglich ist. Es kann beispielsweise vorgesehen werden, daß das Muster wenigstens eine punktförmig Lichtquelle aufweist, die divergentes Licht ausstrahlt. Auch kann es zweckmäßig sein, wenn das Muster auf einer Blende angeordnet ist, unter der eine Lichtquelle angeordnet ist. Die Blende kann dabei Lichtdurchlässe aufweisen oder mit Verdunklungen versehen sein, die jeweils dem Muster entsprechen. Durch diese Maßnahmen wird der Gegenstand unmittelbar von dem Licht der Lichtquelle mit Licht beleuchtet.
• Es kann aber auch zweckmäßig sein, wenn das abzubildende Muster auf einem Substrat vorhanden ist, das von einer Lichtquelle be- oder durchleuchtet wird. Hier beleuchtet das Licht der Lichtquelle indirekt den Gegenstand. Das Substrat gibt dabei aufgrund der Beleuchtung diffuses Licht ab. Bei allen Fällen wird das Muster scharf auf die Bildebene des lichtempfindlichen Empfängers abgebildet, so daß die betrachteten Flächen nur als Reflexionsfläche dienen. Eventuelle Abweichungen sind sofort erkennbar, so daß hieraus die Neigung und/oder Verformung der Fläche im beleuchteten Bereich ermittelt werden können.
• Die Erfindung wird im folgenden anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert, deren einzige Figur einen Seitenansicht der Meßanordnung zeigt.
• Die in der Zeichnung dargestellte Meßanordnung zur Ermittlung der Neigung und der Verformung von Flächen einzelner Schichten weist eine Lichtquelle 11 auf, die die Schichten 12, 13 eines Gegenstandes, insbesondere einer DVD, beleuchtet. Das reflektierte Licht belichtet die Bildebene 14 eines nicht näher gezeigten lichtempfindlichen Empfängers. Es ist eine Abbildungsoptik 15 vorgesehen, die die Lichtquelle oder ein damit erzeugtes Muster scharf auf die Bildebene des lichtempfindlichen Empfängers abbildet. Unter einer scharfen Abbildungen des Musters auf der Bildebene soll hier eine hinreichend scharfe Abbildung des Musters auf dem von dem lichtempfindlichen Empfänger erzeugten und auswertbaren Bild verstanden werden. Der lichtempfindliche Empfänger ist in der Regel eine Matrixkamera, die ein entsprechend flächiges Bild erzeugt. Damit lassen sich die eventuellen örtlichen Abweichungen und Verschiebungen zur Sollabbildung des Musters auf der Bildebene gut erfassen. Die Bildebene ist vorzugsweise flächig ausgebildet und Bestandteil einer Matrixkamera mit einem Objektiv, daß die Abbildungsoptik 15 enthält. Insoweit entspricht der Aufbau einer herkömmlichen Meßanordnung und bedarf grundsätzlich keiner weiteren Erläuterung.
• Die Lichtquelle 11 kann als punktförmige Lichtquelle ausgebildet sein, die den Gegenstand direkt beleuchtet. Auch kann die Lichtquelle 11 unter einer Blende mit einem Muster angeordnet sein. Auch ist es möglich, daß die Lichtquelle ein Muster beleuchtet, das auf die Bildebene des lichtempfindlichen Empfängers abgebildet wird. In allen Fällen werden in der Abbildung wiedererkennbare Muster auf der Bildebene abgebildet, deren Abweichungen zu einer Sollabbildung erfaßt werden können. Vorzugsweise ist das Muster diskret strukturiert.
• Die Schichten 12, 13 sind Bestandteil eines mehrschichtigen Gegenstandes, insbesondere einer DVD. Im einzelnen ist der Aufbau derart, daß die Schichten 12, 13 eine Zwischenschicht 16 einschließen, die die beiden Schichten 12, 13 klebend zusammenhält. Diese sogenannte Resinschicht ist bei einer DVD sehr dünn und beträgt nur wenige μm. Die Schicht 13 weist auf der der Zwischenschicht zugekehrten Oberfläche eine teilreflektierende Beschichtung 17 auf, während die Schicht 12 auf der der Zwischenschicht zugekehrten Oberfläche mit einer vollreflektierenden Beschichtung 18 versehen ist. Dadurch ist es möglich, den optischen Datenträger von nur einer Seite, nämlich durch die Schicht 13, auszulesen.
• Durch das gezeigte optische System wird ein einfallender Lichtstrahl 19 von der Beschichtung 18 reflektiert. Der reflektierte Lichtstrahl 22 kann durch einen teildurchlässigen Spiegel 26, durch den auch das Licht der Lichtquelle 11 eingebracht wird, den lichtempfindlichen Empfänger an der Stelle 24 belichten. Ein einfallender Lichtstrahl 19' wird von der Beschichtung 17 reflektiert. Der reflektierte Lichtstrahl 21 wird an der Stelle 23 abgebildet. Bei einem parallelen Verlauf der Flächen 17, 18 jeweils senkrecht zur optischen Achse und bei konstanter Dicke der Zwischenschicht 16, wie in der Zeichnung gestrichelt dargestellt, würde ein Lichtstrahl 19'' in sich selbst reflektiert. Der reflektierte Lichtstrahl 25 belichtet den Empfänger an der Stelle 20, was in diesem Fall der Sollabbildung 20 der Lichtquelle 11 entspricht. Solche Abbildungen werden insbesondere dann erreicht, wenn die optischen Abstände zwischen Lichtquelle und Fläche einerseits und Objektiv 15 und Fläche andererseits im wesentlichen gleich sind. Grundsätzlich kann der Gegenstand auch in einem anderen als im rechten Winkel beleuchtet werden, allerdings wird ein möglichst steiler Einfallswinkel bevorzugt.
• Verlaufen die zu betrachtenden Flächen 12, 13 parallel, jedoch geneigt zur optischen Achse, entsteht nur eine erkennbare abweichende Abbildung der Lichtquelle 11 beziehungsweise des Musters auf der Bildebene. Aufgrund eines sich verändernden Dickenverlaufs der Resinschicht 16 können die Flächen 17, 18 der Schichten 12, 13, wie gezeigt, relativ zueinander geneigt sein. Hier werden die einfallenden Lichtstrahlen 19 und 19' mit unterschiedlichen Winkeln reflektiert, so daß die reflektierten Lichtstrahlen 21, 22 in zueinander winklige Richtungen verlaufen. Dementsprechend weit liegen die erzeugten 23, 24 voneinander entfernt auf der Bildebene 14 und können getrennt erfaßt werden. Hiermit ist es möglich, die Neigungen der einzelnen Flächen zu ermitteln.
• Zusammen mit dem Schichtdickenverlauf der Zwischenschicht kann zudem eine eindeutige Zuordnung der 23, 24 zu den einzelnen Flächen erfolgen. Das Ausführungsbeispiel zeigt einen erfaßten zunehmenden Schichtdickenverlauf von in der Zeichnung links nach rechts. Beide Flächen sind nach rechts oben geneigt, wobei die obere Fläche 18 eine größere Neigung aufweist. Dies führt dazu, daß die beiden abweichenden 23, 24 auch rechts von der Sollabbildung 20 liegen. Die stärker abweichende 24 ist dabei eindeutig der oberen Fläche 18 zugeordnet.
• Sofern bei einer sich vergrößernden Dicke der Zwischenschicht eine abweichende Abbildung links und eine abweichende Abbildung rechts von der Sollabbildung liegt, wäre die linke Abbildung der unteren Fläche 17 zuzuordnen.
• Bei nur einer abweichenden Abbildung verläuft eine der betrachtenden Flächen senkrecht zur optischen Achse und weist keine Neigung oder keine Verformung auf. Bei einer abweichenden Abbildung rechts von der Sollabbildung und bei zunehmender Dicke von links nach rechts ist die obere Fläche geneigt. Bei einer abweichenden Abbildung links von der Sollabbildung bei abnehmender Dicke von links nach rechts ist ebenfalls die obere Schicht geneigt. in den anderen Fällen ist die untere Schicht geneigt.
• Es ist offensichtlich, daß mit einem derartigen Meßverfahren das Prüfergebnis weiter verbessert werden kann. Welche Flächen oder Gegenstände geprüft werden, ist grundsätzlich beliebig. Die betrachtenden Flächen können eben und plan oder auch gewölbt sein. Es können somit auch verklebte Folien oder Fensterverspiegelungen oder dergleichen geprüft werden. Auch kann die Planparallelität der Oberflächen einer Schicht geprüft werden. Die reflektierende Fläche kann eine Grenzfläche, eine voll- oder teilreflektierende Beschichtung, eine Oberfläche, eine Informationsschicht eines Datenträgers oder dergleichen sein. Die Wahl der Lichtquelle ist ebenfalls beliebig, solange divergentes Licht unmittelbar oder über ein Substrat ausgestrahlt wird und eine Abbildung derselben oder eines Musters auf dem lichtempfindlichen Empfänger möglich ist. Als Leuchtmittel können Leuchtdioden und Laserdioden eingesetzt werden. Insbesondere erhält man durch die Verknüpfungen der Ergbnisse der Schichtdickenmessung zwischen den betrachtenden Flächen und den Ergebnissen der Neigungs- oder Verformungsmessung Informationen, die es erlauben, den Herstellungsprozeß weiter zu optimieren und anzupassen. Das Verfahren kann sowohl im Herstellungsprozeß In-Line integriert oder aber separat Off-Line angewandt werden.

Claims (10)

1. Verfahren zum Ermitteln der Neigungen oder Verformung von wenigstens zwei übereinander angeordneten Flächen eines ein- oder mehrschichtigen Gegenstands (17, 18) mit wenigstens einem lichtempfindlichen Empfänger, auf dessen Bildebene (14) wenigstens ein leuchtendes oder beleuchtetes Muster über den Gegenstand durch Reflexion scharf abgebildet wird, wobei die aufgrund der unterschiedlichen Neigungen oder Verformung der übereinander angeordneten Flächen (17, 18) mehrfachen Musterbilder (23, 24) erfaßt und die Neigungen oder Verformungen der Flächen aufgrund der Abweichungen der mehrfachen Musterbilder untereinander und/oder zu der Sollabbildung ermittelt werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Dickenverlauf einer Schicht oder Zwischenschicht (16) oder der Verlauf des Abstands zwischen den zu überprüfenden Flächen (17, 18) erfaßt wird, und daß eine Abbildung des Musters aufgrund dieses Verlaufs einer Fläche zugeordnet wird.
2. Verfahren zum Ermitteln der Neigungen oder Verformung von wenigstens zwei übereinander angeordneten Flächen eines ein- oder mehrschichtigen Gegenstands (17, 18) mit wenigstens einem lichtempfindlichen Empfänger, auf dessen Bildebene (14) wenigstens ein leuchtendes oder beleuchtetes Muster über den Gegenstand durch Reflexion scharf abgebildet wird, wobei die aufgrund der unterschiedlichen Neigungen oder Verformung der übereinander angeordneten Flächen (17, 18) mehrfach abgebildeten Muster (23, 24) erfaßt und die Neigungen oder Verformungen der Flächen aufgrund der Abweichungen der mehrfachen Muster untereinander und/oder zu der Sollabbildung ermittelt werden, dadurch gekennzeichnet, daß eine Abbildung des Musters aufgrund eines unterschiedlichen Reflexionsverhaltens der Flächen einer Fläche zugeordnet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß unterschiedliches Reflexionsverhalten bezüglich Intensität und Farbe genutzt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine innere Grenzfläche bei einem mehrschichtigen Gegenstand geprüft wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächen (17, 18) auf den Schichten (13, 12) eines optischen Datenträgers, insbesondere einer DVD, angeordnet sind, die zwischen sich eine Resinschicht (16) einschließen.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Neigungen oder Verformungen der Flächen an mehreren Stellen ermittelt werden.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Stelle eine andere Musterform oder eine andere Farbe des Musters zugeordnet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Muster wenigstens eine punktförmige Lichtquelle aufweist, die ungerichtetes Licht ausstrahlt.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Muster auf einer Blende angeordnet ist, unter der eine Lichtquelle angeordnet ist.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das abzubildende Muster auf einem Substrat vorhanden ist, das von einer Lichtquelle beleuchtet wird.