DE10013299A1 - Verfahren und Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter photosensitiver Elemente - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter photosensitiver ElementeInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1) zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter photosensitiver Elemente, mit einer kohärenten Lichtquelle und einem Hologramm, wobei die Lichtquelle und das Hologramm derart zueinander angeordnet sind, daß bei Bestrahlung des Hologramms eine optische Teststruktur um die pixelorientierten photosensitiven Elemente erzeugt wird, wobei die Teststruktur relativ zu den pixelovientierten photosensitiven Elementen bewegt wird, wobei während der Bewegung die photosensitiven Elemente mehrfach abgetastet werden, so daß mittels der zueinander verschobenen Abtastwerte die Punktverschmierungsfunktion PSF der photosensitiven Elemente ermittelt werden kann.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur geometrischen
Kalibrierung pixelorientierter photosensitiver Elemente, umfassend eine
kohärente Lichtquelle und ein Hologramm, das zur Erzeugung einer optischen
Teststruktur um die pixelorientierten photosensitiven Elemente herum dient.
Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise aus der DE 197 27 281 bekannt.
Hierbei wird mittels eines Hologramms eine wohldefinierte dreidimensionale
Teststruktur um die Fokalebene einer CCD-Kamera herum erzeugt, aus deren
Funktionswerten eineindeutig auf die jeweilige Schnittebene
zurückgeschlossen werden kann. Dadurch ist die jeweilige geometrische
Ausrichtung jedes einzelnen Pixels durch eine einzige Aufnahme gleichzeitig
bestimmbar. Anhand der PSF kann dann eine Scharfeinstellung vorgenommen
werden, nämlich die Bestimmung des Abstandes der Fokalebene von einer
Hauptebene des optischen Systems. Hierbei tritt jedoch bei pixelorientierten
Elementen wie beispielsweise bei einem CCD-Element das Problem auf, daß
die Zentrumslage der abgebildeten Punkte innerhalb der Pixelfläche nicht
sicher ermittelt werden kann. Das ist vor allem dann der Fall, wenn eine
Rekonstruktion der PSF durch Beleuchtung zu weniger benachbarter Pixel
nicht gesichert ist, was beispielsweise bei einem scharf abbildenden Objektiv
auftritt. Dadurch sind Genauigkeiten der geometrischen Zuordnung im
Subpixelbereich nicht erreichbar. Des weiteren können Justagefehler wie
beispielsweise eine Verkippung der Fokalebene bzw. die Schärfe der
Abbildung nicht oder nur näherungsweise bestimmt werden.
Der Erfindung liegt daher das technische Problem zugrunde, ein Verfahren und
eine Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter
photosensitiver Elemente zu schaffen, mittels derer Genauigkeiten im
Subpixelbereich erreichbar sind.
Die Lösung des technischen Problems ergibt sich durch die Gegenstände mit
den Merkmalen der Patentansprüche 1, 8, 9 und 10. Weitere vorteilhafte
Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Hierzu wird eine Bewegung der Teststruktur erzeugt und während des
Bewegungsvorganges das Ausgangssignal der pixelorientierten
photosensitiven Elemente mehrfach abgetastet. Die Meßergebnisse werden in
oder auf einem geeigneten Speichermedium zwischengespeichert und
anschließen zur Bestimmung der PSF ausgewertet. Die Anzahl der
Abtastungen ist dabei beliebig und ist nur abhängig von den
Genauigkeitsanforderungen an die Rekonstruktion der PSF. Die Bewegung
muß nur in Rahmen einer für die Rekonstruktion der PSF notwendigen Weite
erfolgen, die normalerweise ein bis zwei Pixelabstände betragen muß.
Die Durchführung der Bewegung kann dabei prinzipiell auf verschiedene Art
realisiert werden. Bei Vermessung einer Kamera kann diese beispielsweise
translatorisch und/oder rotatorisch ausgelenkt werden. Ebenso kann das
Hologramm oder der Referenzstrahl bewegt oder verkippt werden. Des
weiteren ist eine Bewegung der Teststruktur dadurch realisierbar, daß
schrittweise die holographische Struktur ausgewechselt wird oder mehrere
holographische Strukturen zeitlich nacheinander hinzugefügt werden, die
unterschiedliche Beugungsbilder erzeugen.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Bewegung mittels eines
durchstimmbaren Lasers erzeugt, wobei ausgenutzt wird, daß die Wellenlänge
des Lasers den Abbildungsmaßstab beeinflußt. Hierzu erfolgt eine definierte
Variation des Referenzstrahls des durchstimmbaren Lasers. Der besondere
Vorteil dieser Bewegungserzeugung ist, daß mechanisch die Lage der Kamera
oder des Hologramms nicht verändert werden müssen, da deren genaue
Verschiebung entsprechend genaue Verstelleinrichtungen erfordern würde.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform wird eine zwischen der
kohärenten Lichtquelle und dem Hologramm angeordnete Kollimatoroptik
dejustiert, so daß sich der Einfallswinkel des Referenzstrahls verändert, so daß
ebenfalls eine Bewegung der Teststruktur erzeugt wird.
Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet des Verfahrens und der Vorrichtung ist die
geometrische Kalibrierung von CCD-Zeilen- oder CCD-Matrix-Kameras.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines bevorzugten
Ausführungsbeispiels näher erläutert. Die Figur zeigen:
Fig. 1 einen prinzipiellen Aufbau einer Vorrichtung zur geometrischen
Kalibrierung einer CCD-Kamera,
Fig. 2a ein holographisches Gitter in einer ersten Grundstellung,
Fig. 2b eine Punktmusterverteilung auf einer Fokalebene einer CCD-
Zeilen-Kamera gemäß der ersten Grundstellung,
Fig. 3a das holographische Gitter nach Fig. 2a nach einer Drehung um
den Winkel α und
Fig. 3b die resultierende Punktmusterverteilung auf der Fokalebene des
Gitters gemäß Fig. 3a.
In der Fig. 1 ist schematisch eine Vorrichtung 1 zur geometrischen Kalibrierung
einer CCD-Kamera dargestellt. Die Vorrichtung 1 umfaßt einen Laser 2, ein
Mikroskopobjektiv 3 zur Aufweitung des Laserstrahles, eine Kollimatoroptik 4
und ein holographisches Gitter 5. Das Gitter 5 erzeugt ein reales Bild mit einer
Punktmusterverteilung auf einer Fokalebene 6 einer CCD-Kamera, von der nur
ein vor der Fokalebene 6 angeordnetes Objektiv 7 dargestellt ist. Auf der
Fokalebene 6 sind CCD-Zeilen-Sensoren oder eine CCD-Matrix angeordnet,
die pixelorientiert die einfallende Strahlung in elektrische Signale umsetzen.
Das reale Bild des Gitters 5 bildet eine wohldefinierte Teststruktur, so daß
durch Abtastung der einzelnen Pixel
aufgrund der Punktmusterverteilung eine geometrische Information der
Ausrichtung der Pixel erhältlich ist.
In den Fig. 2a und 2b ist das ausgerichtete Gitter und die resultierende
Punktmusterverteilung stark vereinfacht dargestellt. Auf der Fokalebene 6 sind
drei CCD-Zeilen 8 angeordnet, auf denen bestimmt Bildpunkte erzeugt werden,
wobei jedoch die Lage eines Bildpunktes innerhalb eines Pixels nicht
ermittelbar ist.
In den Fig. 3a und 3b sind die Verhältnisse nach Drehung des Gitters 5 um den
Winkel α dargestellt. Durch die Drehung des Gitters 5 wird eine entsprechend
gedrehte Punktmusterverteilung erzeugt und die Pixel der CCD-Zeilen 8 erneut
abgetastet. Da die Bewegung der Bildpunkte bekannt ist, kann aus der
Änderung der Ausgangssignale auf die genaue Lage der Pixel
zurückgeschlossen werden. Anschaulich läuft ein Bildpunkt über ein Pixel, so
daß aufgrund der Änderung der Ausgangssignale bestimmbar ist, wann ein
Bildpunkt das Pixel verläßt. Somit läßt sich die Lage der Pixel im Subpixel-
Bereich genau bestimmen.
Claims (12)
1. Verfahren zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter
photosensitiver Elemente, mittels einer kohärenten Lichtquelle und eines
Hologramms, wobei die Lichtquelle und das Hologramm derart
zueinander angeordnet sind, daß bei Bestrahlung des Hologramms eine
optische Teststruktur um die pixelorientierten photosensitiven Elemente
erzeugt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Teststruktur relativ zu den pixelorientierten photosensitiven
Elementen bewegt wird, wobei während der Bewegung die
photosensitiven Elemente mehrfach abgetastet werden, so daß mittels
der zueinander verschobenen Abtastwerte die
Punktverschmierungsfunktion PSF der photosensitiven Elemente
ermittelt werden kann.
2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegung
der Teststruktur durch eine Verdrehung des Hologramms erzeugt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zeitlich
verschiedene Hologramme wechselweise verwendet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere
Hologramme zeitlich sukzessive hinzugefügt werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Wellenlänge der kohärenten Lichtquelle definiert variiert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, mittels einer zwischen der kohärenten
Lichtquelle und dem Hologramm angeordneten Kollimatoroptik, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kollimatoroptik bewegt wird.
7. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß sich die Bewegung der Teststruktur über
mindestens ein bis zwei Pixel erstreckt.
8. Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter
photosensitiver Elemente, umfassend eine kohärente Lichtquelle und ein
Hologramm zur Erzeugung einer wohldefinierten Teststruktur,
dadurch gekennzeichnet, daß
dem Hologramm eine Vorrichtung zur Drehung des Hologramms
zugeordnet ist.
9. Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter
photosensitiver Elemente, umfassend eine kohärente Lichtquelle und ein
Hologramm zur Erzeugung einer wohldefinierten Teststruktur,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Wellenlänge der kohärenten Lichtquelle veränderbar ist.
10. Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung pixelorientierter
photosensitiver Elemente, umfassend eine kohärente Lichtquelle und ein
Hologramm zur Erzeugung einer wohldefinierten Teststruktur,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Kollimatoroptik eine Stelleinrichtung zugeordnet ist, mittels deren
diese bewegbar ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die kohärente Lichtquelle als Laser ausgebildet ist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß das Hologramm als Gitter ausgebildet ist.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10239468A1 (de) * | 2002-08-28 | 2004-03-11 | Sick Ag | Objekterfassung |
WO2006075052A1 (en) * | 2005-01-13 | 2006-07-20 | Elektrobit Production Solutions Oy. | Method for forming images, method for testing electronic devices; and test apparatus, test chamber and test system |
DE102019135222A1 (de) * | 2019-12-19 | 2021-06-24 | Connaught Electronics Ltd. | System zum Bestimmen des Sichtfelds (FOV - Field of View) einer Kamera |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004020881B4 (de) * | 2004-04-26 | 2007-03-08 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum geometrischen Kalibrieren von optoelektronischen Messbildkameras |
DE102004028191B4 (de) * | 2004-06-08 | 2007-06-14 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur quantitativen Erfassung der Lage der optischen Achse eines optoelektronischen Sensorsystems |
DE102004056723B4 (de) * | 2004-11-19 | 2007-04-05 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung eines optoelektronischen Sensorsystems |
DE102005056188B3 (de) * | 2005-11-21 | 2007-04-19 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Punktverschmierungsfunktion eines optischen Sensorsystems |
DE102005061931B4 (de) * | 2005-12-23 | 2011-04-14 | Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung einer optischen Einrichtung |
DE102010005358B4 (de) | 2010-01-21 | 2016-01-14 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung von zwei optischen Sensorsystemen |
DE102011084690B4 (de) * | 2011-10-18 | 2013-09-19 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Kamera und Verfahren zur geometrischen Kalibrierung einer Kamera |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5245413A (en) * | 1991-12-10 | 1993-09-14 | North American Philips Corporation | Method and apparatus for generating a spiral curve television test pattern for testing advanced television systems |
DE19727281C1 (de) * | 1997-06-27 | 1998-10-22 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Verfahren und Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung von CCD-Kameras |
-
2000
- 2000-03-09 DE DE2000113299 patent/DE10013299C2/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5245413A (en) * | 1991-12-10 | 1993-09-14 | North American Philips Corporation | Method and apparatus for generating a spiral curve television test pattern for testing advanced television systems |
DE19727281C1 (de) * | 1997-06-27 | 1998-10-22 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Verfahren und Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung von CCD-Kameras |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10239468A1 (de) * | 2002-08-28 | 2004-03-11 | Sick Ag | Objekterfassung |
WO2006075052A1 (en) * | 2005-01-13 | 2006-07-20 | Elektrobit Production Solutions Oy. | Method for forming images, method for testing electronic devices; and test apparatus, test chamber and test system |
GB2436764A (en) * | 2005-01-13 | 2007-10-03 | Elektrobit Production Solution | Method for forming images,method for testing electronic devices;and test apparatus,test chamber and test system |
GB2436764B (en) * | 2005-01-13 | 2010-09-01 | Elektrobit Production Solution | Method for forming images, method for testing electronic devices; and test apparatus, test chamber and test system |
US7907748B2 (en) | 2005-01-13 | 2011-03-15 | Jot Automation Oy | Method for forming images, method for testing electronic devices; and test apparatus, test chamber and test system |
DE102019135222A1 (de) * | 2019-12-19 | 2021-06-24 | Connaught Electronics Ltd. | System zum Bestimmen des Sichtfelds (FOV - Field of View) einer Kamera |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10013299C2 (de) | 2003-04-17 |
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