DD282208A5

DD282208A5 - PALLET FOR THE TRANSPORT OF SILICIUM

Info

Publication number: DD282208A5
Application number: DD32748589A
Authority: DD
Inventors: Wolfgang Funke; Werner Wagner
Original assignee: Spurenmetalle Freiberg Wib Im
Priority date: 1989-04-11
Filing date: 1989-04-11
Publication date: 1990-09-05

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Palette fuer den Transport von Halbleitermaterial, insbesondere polykristalliner Siliciumstaebe oder Nuggets. Die Erfindung besteht aus einem Stahlblechbehaelter mit der aeuszeren Form einer Palette. Innen sind in bestimmten Abstaenden U-foermige Profile angeordnet. In diese werden auswechselbare und durchmesserbezogene, mit Moosgummi oder einem anderen elastischen Material gepolsterte Aufnahmeplatten eingeschoben. Die Aufnahmeplatten bestehen aus drei Segmenten, in denen OEffnungen entsprechend dem Durchmesser der zu transportierenden Halbleiterstaebe angebracht sind.{Palette; Halbleitermaterialtransport; Siliciumhalbzeuge; Transportverpackung}The invention relates to a pallet for the transport of semiconductor material, in particular polycrystalline silicon rods or nuggets. The invention consists of a Stahlblechbehaelter with the aeuszeren form a pallet. Inside are arranged at certain intervals U-shaped profiles. In this interchangeable and diameter-related, cushioned with foam rubber or other elastic material receiving plates are inserted. The mounting plates consist of three segments, in which openings are made according to the diameter of the semiconductor elements to be transported. Semiconductor material handling; Silicon semi-finished products; Transport Packaging}

Description

Field of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Palette für den Transport von Silicium, insbesondere für polykristalline Siliciumstäbe beziehungsweise Nuggets, als Transportverpackung zwischen Betriebsteilen.The invention relates to a pallet for the transport of silicon, in particular for polycrystalline silicon rods or nuggets, as transport packaging between operating parts.

Characteristic of the known technical solutions

In Industrie und Handel werden verschiedene Paletten zum Transport von verschiedenen Zwischen- und Fertigprodukten verwendet. In der Fachliteratur werden jedoch keine Transportbehälter für Siliciumstäbe beziehungsweise Halbleiterhalbzeuge, wie Stücke oder Nuggets aus Reinstsilicium, beschrieben. Die allgemein bekannten Transportbehälter für Zwischen- und Fertigprodukte, zum Beispiel Paletten, sind für die speziellen Zwecke des Transports von Halbleiterhalbzeugen, wie Siliciumstäbe aus poly- oder einkristallinem Silicium oder auch für Stücke beziehungsweise Nuggets, nicht verwendbar und auch nicht ohne weiteres übertragbar. Die für die Halbleiterindustrie gefertigten Halbzeuge sind durch spezielle Materialeigenschaften, wie Sprödigkeit, Zerbrechlichkeit, Schlagempfindlichkeit, und große unterschiedliche geometrische Abmessungen und damit ein hohes Gewicht gekennzeichnet. Des weiteren sind die Forderungen der Halbleiterhygiene, die an diese Materialien gestellt werden, einzuhalten. Diese speziellen Erfordernisse werden durch die bekannten und in anderen Zweigen der Volkswirtschaft verwendeten Transportpaletten nicht erfüllt.In industry and trade, various pallets are used to transport various intermediate and finished products. In the literature, however, no transport containers for silicon rods or semiconductor semi-finished products, such as pieces or nuggets of hyperpure silicon, are described. The well-known transport containers for intermediate and finished products, such as pallets, are for the specific purposes of transporting semiconductor semi-finished products, such as silicon rods of polycrystalline or monocrystalline silicon or for pieces or nuggets, not usable and also not readily transferable. The semi-finished products manufactured for the semiconductor industry are characterized by special material properties, such as brittleness, fragility, impact sensitivity, and large different geometric dimensions and thus a high weight. Furthermore, the demands of semiconductor hygiene, which are made of these materials, must be observed. These specific requirements are not met by the known transport pallets used in other branches of the economy.

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist es, eine Palette für den Transport von Silicium, insbesondere für polykristalline Siliciumstäbe beziehungsweise Nuggets, als Transportverpackung zwischen Betrieben oder Betriebsteilen zu entwickeln. Die Palette soll für Siliciumstäbe verschiedener Durchmesser beziehungsweise Nuggets in Beuteln mit 1 bis 5kg Fassungsvermögen gleichermaßen einsetzbar sein. Sie soll die Be- und Entladung mit Siliciumstäben per Hand als auch mit einem Hebezeug ermöglichen, das Transportgut gegen Stoß ausreichend sichern, das Eindringen und die Ansammlung von Regen beziehungsweise Schmelzwasser in die Palette verhindern und den Umschlag mit einem Hebezeug oder Gabelstapler ermöglichen.The aim of the invention is to develop a pallet for the transport of silicon, in particular for polycrystalline silicon rods or nuggets, as transport packaging between factories or operating parts. The range should be equally usable for silicon rods of different diameters or nuggets in bags with 1 to 5 kg capacity. It should enable loading and unloading with silicon rods by hand as well as with a hoist, sufficiently securing the cargo against shock, preventing the ingress and accumulation of rain or meltwater into the pallet and allowing it to be handled with a hoist or forklift.

Explanation of the essence of the invention

Die Aufgabe der Erfindung, eine Palette für den Transport von Halbleitermaterial, insbesondere polykristalliner Siliciumstäbe oder Nuggets, als Transportverpackung zwischen Betrieben oder Betriebsteilen zu entwickeln, wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein Behälter aus Stahlblech mit der äußeren Form einer Palette innen in bestimmten Abständen vier U-förmige Profile besitzt. In die U-Profile der Palette werden auswechselbare und durchmesserbezogene, mit Moosgummi oder einem anderen elastischen Material gepolsterte Aufnahmeplatten eingeschoben. Die Aufnahmeplatten bestehen aus drei Segmenten, in denen Öffnungen entsprechend dem Durchmesser der zu transportierenden Halbleiterstäbe angebracht sind. Die Segmente, in die die Kristallstäbe eingelegt werden, sind zu einer Aufnahmeplatte zusammenfügbar und auseinandernehmbar. Sie garantieren eine feste und sichere Lagerung des spröden und teuren Halbleitermaterials in den Paletten und verhindern Transportschäden. Das Transportgut ist durch einen Deckel, der aus zwei Teilen, die an den Längsseiten des Transportbehälters angebracht sind, verschließbar und damit gegen Feuchtigkeit und Verunreinigungen ausreichend geschützt. Die Entnahme des Transportgutes aus dem Behälter kann sowohl per Hand als auch durch ein Hebezeug erfolgen. Für den Transport der Behälter sind Gabelstapler gut geeignet.The object of the invention to develop a pallet for the transport of semiconductor material, in particular polycrystalline silicon rods or nuggets, as a transport packaging between factories or operating parts, according to the invention achieved in that a container made of sheet steel with the outer shape of a pallet inside at certain intervals four U -shaped profiles. Interchangeable and diameter-related, upholstered with foam rubber or other elastic material receiving plates are inserted into the U-profiles of the range. The mounting plates consist of three segments, in which openings are mounted according to the diameter of the semiconductor rods to be transported. The segments in which the crystal rods are inserted, can be combined to a receiving plate and disassembled. They guarantee a firm and secure storage of the brittle and expensive semiconductor material in the pallets and prevent transport damage. The cargo is closed by a lid, which consists of two parts, which are attached to the longitudinal sides of the transport container, and thus sufficiently protected against moisture and contamination. The removal of the cargo from the container can be done both by hand and by a hoist. Forklift trucks are well suited for transporting the containers.

embodiment

Die Erfindung soll an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.The invention will be explained in more detail using an exemplary embodiment.

Die Transportpalette wird für den außerbetrieblichen Transport von Silicium-Stäben beziehungsweise Silicium-Nuggets und Stücken verwendet.The transport pallet is used for off-line transport of silicon rods or silicon nuggets and pieces.

Dies bedingt die äußere geschlossene Palettenausführung 1 und 2. Die Palette ist mit einem Flurförderzeug, zum Beispiel einem Gabelstapler oder einem Kran, umschlagbar. Die Be- und Entladung erfolgt für Silicium-Stäbe durch Aufnahmeplatten 5, die mit einem elastischen Material gepolstert sind und die in Profilführungen 6 wechselbar eingeschoben werden. Für jeden Durchmesser der Silicium-Stäbe werden entsprechende Aufnahmeplatten 5 verwendet. Für den Materialtransport von Silicium, das in Beuteln verpackt ist, zum Beispiel Nuggets, werden die Aufnahmeplatten aus der Palette entfernt. Dadurch kann das mögliche Volumen in der Transportpalette erhöht werden. Der Transport der Palette kann mit jedem Transportmittel erfolgen.This requires the outer closed pallet version 1 and 2. The pallet can be folded with an industrial truck, for example a forklift or a crane. The loading and unloading takes place for silicon rods by receiving plates 5, which are padded with an elastic material and are inserted interchangeable in profile guides 6. For each diameter of the silicon rods corresponding receiving plates 5 are used. For the transport of silicon, which is packaged in bags, for example nuggets, the receiving plates are removed from the pallet. This can increase the possible volume in the transport pallet. The transport of the pallet can be done with any means of transport.

Die Verwendung von Winkelprofil 4 garantiert eine mittige Aufnahme der Palette.The use of angle profile 4 guarantees a central reception of the pallet.

Claims

Pallet for the transport of silicon, in particular for polycrystalline Si liciumstäbe or nuggets, as a transport packaging between different companies or operating parts, characterized in that a container made of sheet steel with the outer shape of a pallet, in the interior at certain intervals at least four U-shaped profile bars are arranged in the interchangeable diameter-related, upholstered with foam rubber or other elastic material pads made of wood or plastic are inserted, wherein on the longitudinal sides of the plate two obliquely upwardly inclined lid are attached, which are hinged and closable to the outside.

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