DD241500B5 - Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten - Google Patents

Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten

Info

Publication number
DD241500B5
DD241500B5 DD28132585A DD28132585A DD241500B5 DD 241500 B5 DD241500 B5 DD 241500B5 DD 28132585 A DD28132585 A DD 28132585A DD 28132585 A DD28132585 A DD 28132585A DD 241500 B5 DD241500 B5 DD 241500B5
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
generating
arrangement
particle beam
beam devices
shaping jet
Prior art date
Application number
DD28132585A
Other languages
English (en)
Other versions
DD241500A1 (de
Inventor
Thomas Dipl-Phys Elster
Peter Dipl-Phys Hahmann
Original Assignee
Jenoptik Jena Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jenoptik Jena Gmbh filed Critical Jenoptik Jena Gmbh
Priority to DD28132585A priority Critical patent/DD241500B5/de
Publication of DD241500A1 publication Critical patent/DD241500A1/de
Publication of DD241500B5 publication Critical patent/DD241500B5/de

Links

DD28132585A 1985-10-02 1985-10-02 Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten DD241500B5 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD28132585A DD241500B5 (de) 1985-10-02 1985-10-02 Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD28132585A DD241500B5 (de) 1985-10-02 1985-10-02 Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DD241500A1 DD241500A1 (de) 1986-12-10
DD241500B5 true DD241500B5 (de) 1996-06-13

Family

ID=5571832

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD28132585A DD241500B5 (de) 1985-10-02 1985-10-02 Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD241500B5 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008062450B4 (de) 2008-12-13 2012-05-03 Vistec Electron Beam Gmbh Anordnung zur Beleuchtung eines Substrats mit mehreren individuell geformten Partikelstrahlen zur hochauflösenden Lithographie von Strukturmustern

Also Published As

Publication number Publication date
DD241500A1 (de) 1986-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68909612D1 (de) Anordnung zur erzeugung eines magnetischen feldes.
DE59309965D1 (de) Verfahren und Anordnung zur schnellen Erzeugung eines Sicherheitsabdruckes
DE69115716D1 (de) Vorrichtung zum eingravieren mit einem laserstrahl
DE3689498D1 (de) Verfahren zur Erzeugung einer Röntgenaufnahme mittels eines Fotoleiters und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens.
DE69019198D1 (de) Gerät zur Erzeugung eines Strahls aus geladenen Partikeln.
DE69125497D1 (de) Vorrichtung zur erzeugung eines magnetfeldes
DE68916695D1 (de) Vorrichtung zum Beschleunigen und Transportieren eines Strahles geladener Teilchen.
DE3667895D1 (de) Einrichtung zur erzeugung eines im wesentlichen homogenen plasmas.
ATA334787A (de) Zweistoff-zerstaeubungsduese zur erzeugung eines vollkegelstrahls
DE68926290D1 (de) Anordnung zur ortung eines leitungsbruchs in einem seriellen steuerungssystem
DE69208039D1 (de) Düse zur Erzeugung eines rotierenden Strahls
IL83038A0 (en) Method and a device for submicron precision pattern generation
ATA133588A (de) Vorrichtung zum befestigen von backenschienen in weichen
DD241500B5 (de) Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten
IT8567834A0 (it) Procedimento e dispositivo per il bloccaggio in posizione esatta di un subbio portafalda
DE3667151D1 (de) Anordnung zur laserbearbeitung eines werkstuecks.
DE68910603D1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines Rasterablenksignals.
DE58905051D1 (de) Einrichtung zur erzeugung eines magnetfeldes in einem atomabsorptions-spektrometer.
ATA221084A (de) Vorrichtung zur erzeugung einer gerichteten feststoffstroemung in wirbelschichten
GB8919898D0 (en) A method of constructing tools intended for use in work carried out with the aid of shock-wave generating energy sources
EP0413979A3 (en) Process and circuit arrangement to identify a model railway locomotive
DE3790555D2 (de) Hydro-massageduese zur erzeugung eines luftsprudels in einem wasserbecken
AT385524B (de) Vorrichtung zum herstellen eines garnes
ATA293386A (de) Vorrichtung zum herstellen eines garnes
DE3686214D1 (de) Vorrichtung zur erzeugung eines definierten gas/staub-gemisches.

Legal Events

Date Code Title Description
ASS Change of applicant or owner

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS LITHOGRAPHY GMBH

Effective date: 20000915

IF04 In force in the year 2004

Expiry date: 20051003