DD239686A1 - PROCESS FOR EDGE METALLIZATION OF CHIP RESISTANT - Google Patents

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DD239686A1
DD239686A1 DD27463185A DD27463185A DD239686A1 DD 239686 A1 DD239686 A1 DD 239686A1 DD 27463185 A DD27463185 A DD 27463185A DD 27463185 A DD27463185 A DD 27463185A DD 239686 A1 DD239686 A1 DD 239686A1
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chip resistors
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metallization
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DD27463185A
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Inventor
Burghard Wilcke
Renate Gesemann
Karin Richter
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Elektronische Bauelemente Veb
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kantenmetallisierung von Chipwiderstaenden, die als Bauelement in der Elektrotechnik/Elektronik Anwendung finden. Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, mit dem es moeglich ist, in rationeller Weise neben edelmetallhaltigen auch edelmetallarmen und edelmetallfreien Chipwiderstaende im Verband mit einer galvanisch und einer chemisch-reduktiv abgelagerten Nickelschicht als elektrische Anschlussflaeche zu versehen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Kantenmetallisierung von Chipwiderstaenden in Duennschicht- oder Dickschichtausfuehrung zu realisieren, ohne dass im Verlauf des Verfahrens eine Veraenderung der charakteristischen Eigenschaften des jeweils verwendeten Widerstandsmaterials eintritt. Die Aufgabe wird erfindungsgemaess dadurch geloest, dass bis zum technologischen Schritt Kantenmetallisierung eine Folge von bestimmten Schichten aufgetragen wird, die sowohl die spaetere Funktionsfaehigkeit der Chips sichert, als auch eine partielle Ablagerung von Nickel auf galvanischem und chemisch-reduktivem Wege zur Bildung von Anschlussflaechen ermoeglicht.The invention relates to a method for edge metallization of chip resistors, which are used as a component in electrical engineering / electronics. The aim of the invention is to provide a method with which it is possible to provide in a rational way in addition to noble metal and low-precious and precious metal chip resistors in association with a galvanic and a chemically reductive deposited nickel layer as electrical Anschlußflaeche. The invention has for its object to realize a Kantenmetallisierung of Chipwiderstaenden in Duennschicht- or Dickschichtausfuehrung without a change in the characteristic properties of the resistive material used in the process occurs. The object is achieved according to the invention in that until the technological step edge metallization a sequence of specific layers is applied, which ensures both the later Funktionsfaehigkeit the chips, as well as a partial deposition of nickel on a galvanic and chemical-reductive way to the formation of terminal surfaces allows.

Description

Hierzu 3 Seiten ZeichnungenFor this 3 pages drawings

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung bezieht sich auf die Realisierung von lötfähigen Anschlußfiächen an Chipwiderständen.The invention relates to the realization of solderable Anschlußfiächen chip resistors.

Chipwiderstände werden in der Elektrotechnik/Elektronik benötigt, um wesentlich günstigere Bestückungstechnologien bei der Herstellung elektronischer Baugruppen anwenden zu können.Chip resistors are needed in electrical engineering / electronics in order to be able to use significantly cheaper placement technologies in the production of electronic assemblies.

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

Chipwiderstände können entsprechend dem Stand der Technik hinsichtlich der Hersteiiungstechnologie der Widerstandsschicht in zwei Kategorien eingeteilt werden:Chip resistors can be categorized into two categories according to the prior art regarding the resistive layer fabrication technology:

— Dünnschichtchipwiderstände- Thin-film chip resistors

— Dickschichtchipwiderstände- thick-film chip resistors

Bei der Herstellung dieser beiden Arten von Chipwiderständen besteht grundsätzlich das komplizierte Problem der Realisierung der elektrischen Anschlußflächen. Diese elektrischen Anschlußflächen müssen zweckmäßig so ausgeführt werden, daß sie die automatengerechte Bestückung und elektrische Ankontaktierung z.B. Belotung auf Verdrahtungsträgern gestatten. Um dieses Bedürfnis zu realisieren, werden entsprechend dem Stand der Technik unterschiedliche Wege beschriften. Bekannt ist das Aufdampfen der Kontaktschichten, das Aufbringen von Folie und die Verwendung von edelmetallhaltigen Pasten (DE 3023133, DE 3027159, DE 3027122, DE 3201434, DE 3104419, DE 3117973, DE 3148778, DE 3122612, DE 2645783).In the manufacture of these two types of chip resistors, there is basically the complicated problem of realizing the electrical pads. These electrical pads must be suitably carried out so that they the automatic assembly and electrical Ankontaktierung e.g. Allow soldering on wiring substrates. In order to realize this need, different ways will be described according to the prior art. The vapor deposition of the contact layers, the application of foil and the use of pastes containing precious metals are known (DE 3023133, DE 3027159, DE 3027122, DE 3201434, DE 3104419, DE 3117973, DE 3148778, DE 3122612, DE 2645783).

Aus dem Stand der Technik ist weiterhin ableitbar, daß die Realisierung der elektrischen Anschlüsse hohe mechanische Präzision bei der Herstellung der Chipwiderstände in den einzelnen Verfahrensstufen bedingen und bei Anwendung von Pastensystemen zur Kontaktierung auch oft eine relativ hohe Temperatureinwirkung, die meist 5000C überschreitet, erforderlich ist.From the prior art is further derivable that the realization of the electrical connections require high mechanical precision in the production of chip resistors in the individual process steps and often also a relatively high temperature effect, usually exceeds 500 0 C when using paste systems for contacting is.

Diese extremen Temperaturbelastungen beeinflussen die Widerstandstrukturen unkontrolliert und damit nachteilig (DE 1471474, DE 3139750, WO 82/00233).These extreme temperature loads influence the resistance structures in an uncontrolled and thus disadvantageous manner (DE 1471474, DE 3139750, WO 82/00233).

In der Anmeldung WP DD 224993 wird ein Verfahren vorgeschlagen, das zur Kantenmetallisierung eine naßchemische Arbeitstechnik, die chemisch-reduktive Vernickelung, zur Grundlage hat.In the application WP DD 224993 a method is proposed, which has a wet chemical working technique for edge metallization, the chemical-reductive nickel plating.

Nachteilig ist hierbei, daß die zur Metallisierung vorgesehenen Bereiche von Chipwiderständen definiert vorbehandelt, d.h.The disadvantage here is that the intended areas for metallization of chip resistors defined pretreated, i.

bekeimt werden müssen.must be germinated.

Dieses Verfahren hat weiterhin den Nachteil, daß es nur für Dickschichtchipwiderstände anwendbar ist.This method further has the disadvantage that it is only applicable for thick-film chip resistors.

Ziel derErftndungAim of the Foundation

Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, welches gleichermaßen zur Kantenmetallisierung von edelmetallhaltigen, edelrnetallarmen und edelmetallfreien Dick- und Dünnschichtchipwiderständen geeignet ist.The aim of the invention is to provide a method which is equally suitable for edge metallization of noble metal-containing, low-noble metal and noble metal-free thick and thin-film chip resistors.

Gleichzeitig soll dieses Verfahren technologisch günstigere Voraussetzungen für eine Massenfertigung von Chipwiderständen bieten, indem die Temperaturbelastung der Chips im Verband während des Verfahrens der Kantenmetallisierung möglichst niedrig liegt. Dies muß als Voraussetzung dafür angesehen werden, daß die einzelnen Chips noch im Verband abgeglichen weiden können. Darüber hinaus soll die Löslichkeit der einzelnen Chipwiderstände verbessert werden.At the same time, this method should provide more technologically more favorable conditions for mass production of chip resistors, in that the temperature load of the chips in the bond during the edge metallization process is as low as possible. This must be considered as a prerequisite that the individual chips can still be balanced in the association. In addition, the solubility of the individual chip resistors should be improved.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren für die Realisierung von elektrischen Anschlußflächen an Chipwiderständen durch eine Kantenmetallisierung zu schaffen, welches sich dadurch auszeichnet, daß es bei Temperaturen unter 30O0C arbeitet und sowohl für edelmetallhaltige, edelmetallarme und edelmetallfreien Dünnschichtchipwiderstände als auch für entsprechende Dickschichtchipwiderstände anwendbar ist.The object of the invention is to provide a method for the realization of electrical pads on chip resistors by edge metallization, which is characterized in that it operates at temperatures below 30O 0 C and both precious metal, low precious metal and precious metal-free thin-film chip resistors as well as corresponding thick-film resistors is applicable.

Zudem soll durch einen zweckmäßigen Schichtenaufbau der metallisierten Anschlußflächen die Lötsicherheit der einzelnen Chipwiderstände verbessert werden.In addition, the soldering safety of the individual chip resistors is to be improved by an appropriate layer structure of the metallized pads.

Durch die Schaffung günstigerer verfahrenstechnischer Bedingungen, soll die thermische Belastung (T < 3000C) der bereits auf die dialektischen Substrate aufgetragenen Widerstandsschichten so gering gehalten werden, daß Eigenschaftsänderungen der Widerstandsmaterialien durch Verfahrenseinflüsse weitgehend ausgeschlossen werden können.By creating more favorable procedural conditions, the thermal stress (T <300 0 C) of the already applied to the dialectical substrates resistance layers should be kept so low that property changes of the resistance materials can be largely excluded by process influences.

Den für das Kantenmetallisieren von Chipwiderständen bislang angewendeten Verfahren, haften folgende Nachteile an.The methods previously used for edge metallizing chip resistors have the following disadvantages.

Das Aufdampfen der Kontaktschichten verursacht eine relativ hohe thermische Belastung der bereits aufgetragenen Widerstandsschichten. Ebenso wirkt die notwendige thermische Behandlung bei Verwendung von Pastensystemen.The vapor deposition of the contact layers causes a relatively high thermal load of the already applied resistive layers. Likewise, the necessary thermal treatment works when using paste systems.

Die Anwendung von Folie beeinträchtigt die Lötsichsrheit.The use of foil impairs the soldering accuracy.

Erfir.dungsgemäß wird die Aisfgaba dadurch gelöst, daß bis zum technologischen Schritt Kantenmetaliisierung eine 2ur Herstellung der Kanienmetallisierung der Chipwiderstände benötigte strulcturierte Leitbasisschicht und das Material für die Widerstandsschichi der Einzelwiderstände in programmierter Weise, auf einem großflächigen, planen und dielektrischen Substrat aufgebracht werden. Zusätzlich können die so vorbereiteten Widerstände noch mit einer Abdeckschicht gegen mögliche Umwelteinflüsse versehen werden. Somit ist das beschichtete dielektrische Substrat, ein Träger vieler Einzelchipwiderstände, als ein technologisch bedingtes Zwischenergebnis anzusehen. Die Kantenmetaliisierung wird vorbereitet, indem das dielektrische Substrat mit den bisher resultierten Schichten mittels Siebdruck mit einer auf Polymeren basierenden temperaturbeständigen Lackschicht z. B. Polyimidlackschicht, als eine zusätzliche Schutzlackschicht und anschließend beidseitig mit einer Galvaaoiackschicht versehen wird.Erfir.dungsgemäß the Aisfgaba is achieved by the fact that up to the technological step edge metallization a 2ur production of Kanienmetallisierung the chip resistors needed Strulcturierte Leitbasisschicht and the material for the Widerstandsschichi the individual resistors in a programmed manner, be applied to a large, planar and dielectric substrate. In addition, the resistors prepared in this way can still be provided with a covering layer against possible environmental influences. Thus, the coated dielectric substrate, a carrier of many individual chip resistors, is to be regarded as a technologically conditioned intermediate result. The edge metallization is prepared by the dielectric substrate with the previously resulting layers by screen printing with a polymer-based temperature-resistant coating layer z. B. polyimide lacquer layer, as an additional protective lacquer layer and then provided on both sides with a Galvaaoiackschicht.

Die Galvanolackschicht wird nur dort aufgebracht, wo später keine galvanischen oder chemisch-reduktiven Metallisierungen stattfinden sollen.The Galvanolackschicht is applied only where no galvanic or chemical-reductive metallization should take place later.

Die spezifischen Eigenschaften der Leitbasisschicht nutzend, kann eine an sich bekannte galvanische Vernickelung der freiliegenden, d. h. nicht von der Poiyimidlackschicht bedeckten Teile der Leitbasisschicht vorgenommen werden. Nach dem Verfahrensschritt Galvanisch-Vernickeln werden die dielektrischen Substrate in längliche Streifen getrennt. Als nächster Verfahrensschritt erfolgt die Seitenflächenmetallisierung als eine chemisch-reduktive Vernickelung. Die chemisch-reduktive Vernickelung aller nicht mit der Galvanolackschicht bedeckten Flächen sichert folglich insgesamt die ^Kantenmetaliisierung der Chipwiderstände im Stroifenverband entweder in Gestelltechnik oder als Schüttgutvariante. Die Schichtenfolge aus galvanisch und chemisch-reduktiv abgeschiedenem Nickel erzeugt besonders kompakte, die Leitbasisschicht sicher kontaktierende elektrische Anschlußflächen an den einzelnen Chips. Diese Anschlußflächen bilden die Grundlage, um sehr gut Iötbare Chipwiderstände realisieren zu können. Nach dem Prozeß der Kantenmetallisierung wird die Galvanolackschicht mit geeigneten Lösungsmitteln im Schüttgutverfahren abgelöst und die beschichteten dielektrischen Substratstreifen zu lötfähigen Einzelchipwiderständen verarbeitet.Taking advantage of the specific properties of the conductive base layer, a per se known galvanic nickel plating of the exposed, d. H. parts of the conductive base layer not covered by the polyimide varnish layer are made. After the galvanic plating step, the dielectric substrates are separated into elongated strips. The next step is the side surface metallization as a chemically-reductive nickel plating. The chemically reductive nickel plating of all surfaces not covered with the galvanol lacquer layer thus ensures the total edge metallization of the chip resistors in the Stroifenverband either in frame technology or as a bulk material variant. The layer sequence of galvanically and chemically-reductively deposited nickel produces particularly compact, the Leitbasisschicht safely contacting electrical pads on the individual chips. These pads form the basis for being able to realize very good solderable chip resistances. After the edge metallization process, the galvanol lacquer layer is removed with suitable solvents in the bulk material process and the coated dielectric substrate strips are processed into solderable individual chip resistors.

Ausführungsbeispie!Ausführungsbeispie!

Die Erfindung wird anhand einer Zeichnung näher erläutert, welche sich auf die Katenmetallisierung von Dickschichtchipwiderständen beziehtThe invention will be explained in more detail with reference to a drawing, which relates to the Katten metallization of thick-film chip resistors

Es zeigen: Show it:

figur 1: SubstratFigure 1: Substrate

Figur 2: Detail aus Figur 1 mit Schichten 1 bis 4 Rgur 3: Detail aus Figur 1 mit Schichten 1 bis 6 Figur 4: Substrat mit Schichten 1 bis 6 (Längsschnitt) Figur 5: Chip-WiderstandFigure 2: detail of Figure 1 with layers 1 to 4 Rgur 3: detail of Figure 1 with layers 1 to 6 Figure 4: substrate with layers 1 to 6 (longitudinal section) Figure 5: chip resistance

Auf einem dielektrischen Substrat'! aus Ai2O3-Keramik in Plattenforrn wird eine Ag/Pd-Paste mittels Siebdruck aufgebracht und eingebrannt. Es entsteht somit eine streifenartig strukturiert ausgebildete Leitbasisschicht 2 auf dem dielektrischen Substrat 1. Auf diese festhaftende Leitbasisschicht 2 wird das Material für die Widerstandsschicht 3 in Pastenform ebenfalls siebaufgedruckt und eingebrannt, sodaß ein technologisch bedingtes Zwischenergebnis gemäß Figur 1 entsteht. Die Widerstandsschicht 3 wird mit einer Abdeckschicht 4 versehen, die später als Schute der Chips vor Umwelteinflüssen dient. Das so beschichtete dielektrische Substrat 1 ist damit Träger vieler „Einzelchipwiderstände", wobei die Leitbasisschicht 2 als einzige Schicht eine komplexe elektrische Leitfähigkeit aufweist, was für den später folgenden Galvanisierungsvorgang notwendig ist. Figur 2 zeigt einen Schnitt in x-Richtung durch einen „Einzelchipwiderstand" nach der Bearbeitungsstufe — Abdeckschicht 4 auftragen —. Zum Schutz der Abdeckschicht 4 beim späteren Kantenmetallisierungsprozeß wird gemäß Figur 3 zweckmäßigerweise eine Polyimidlackschicht 5 aufgebracht, die die Abdeckschicht 4 vollständig überdeckt und sie somit vor Säuren und Alkalieneinfiüssen beim Metaliisierungsprozeß stützt. Für den Prozeß der Kantenmetaliisierung wird weiterhin eine Schicht 6 aus physikalisch trocknendem Galvanolack auf Vorder-und Rückseite des dielektrischen Substrats 1 aufgebracht. Diese GalvanolackschichtG ist so aufgebracht, daß die Polyimidlackschicht 5 in x-Richtung nicht völlig überlappt wird. Im folgenden Arbeitsgang wird der freiliegende Teil der Leitbasisschicht 2 galvanisch mit ca. 5/im Nickel beschichtet. Grundsätzlich besteht nach der galvanischen Beschichtung das Erfordernis, das elektrische Substrat 1 in y-Richtung gemäß Figur 1 als weitere Vorbereitung zur Kantenmatallisierung in Streifen zu trennen.On a dielectric substrate! from Ai 2 O 3 ceramic in Plattenforrn an Ag / Pd paste is applied by screen printing and baked. This results in a strip-like structured trained Leitbasisschicht 2 on the dielectric substrate 1. On this firmly adhering Leitbasisschicht 2, the material for the resistive layer 3 in paste form also screen printed and baked, so that a technologically conditioned intermediate result according to Figure 1. The resistive layer 3 is provided with a covering layer 4, which later serves as the barge of the chips from environmental influences. The dielectric substrate 1 thus coated is thus the carrier of many "single-chip resistors", the conductive base layer 2 being the only layer having a complex electrical conductivity, which is necessary for the electroplating process which follows later. after the processing stage - apply cover layer 4 -. In order to protect the covering layer 4 during the later edge metallization process, a polyimide lacquer layer 5 is expediently applied, as shown in FIG. 3, which completely covers the covering layer 4 and thus supports it against acids and alkalis during the metallization process. For the edge metallization process, a layer 6 of physically drying galvanol lacquer is further applied to the front and rear sides of the dielectric substrate 1. This GalvanolackschichtG is applied so that the polyimide lacquer layer 5 is not completely overlapped in the x direction. In the following operation, the exposed part of the Leitbasisschicht 2 is galvanically coated with about 5 / in the nickel. Basically, after the galvanic coating, the requirement is to separate the electrical substrate 1 in the y direction according to FIG. 1 into strips as further preparation for edge metallization.

Die chemisch-reduktive Kantenmetaliisierung setzt voraus, daß sich auf jeden Fall eine Galvanolackschicht 6 entsprechend den Figuren 3 und 4 auf den einzelnen dielektrischen Substratstreifen befinden. Bei diesem Prozeßschritt der Kantenmetaliisierung werden die Streifen in einer ca. 1G%igen NaOH-Lösung bei einer Temperatur kleiner70°C gereinigt und ausgiebig gespült. Für das chemisch-reduktive Metallisieren aller nicht mit der Galvanolackschicht 6 bedeckten Flächen ist eine Vorbehandlung der Oberfläche durch Sensibilisieren und Aktivieren erforderlich.The chemical-reductive edge metallization presupposes that in any case a galvanol lacquer layer 6 according to FIGS. 3 and 4 is located on the individual dielectric substrate strips. In this process step of edge metallization, the strips are cleaned in an approximately 1% NaOH solution at a temperature of less than 70 ° C and rinsed extensively. For the chemical-reductive metallization of all not covered with the Galvanolackschicht 6 surfaces pre-treatment of the surface by sensitization and activation is required.

-3- 239 638-3- 239 638

Sensibilisieren;awareness;

ι emperatur: Zeit : Aktivieren:ι emperatur: Time: Activate:

Temperatur:Temperature:

Zeit :Time :

Metallisierungsbadmetallization

pH: T:pH: T:

1010 g/ig / i ml/1ml / 1 SnCSnC 22 COOHCOOH 3030 ml/1ml / 1 g/ig / i CH3 CH 3 COOHCOOH COOMa . 3COOMa. 3 2020 ml/1ml / 1 mlml GH.T< GH. T < -CH-CH-.-CH-CH-. 0C 0 C OHOH 920920 mlml :. 10:. 10 desof t. H2Ot. H 2 O 2525 0C 0 C g/ig / i O4 . 7 H2OO 4 . 7H 2 O ma>ma> C 10C 10 g/ig / i min »min » -CH-COOH-CH-COOH 0,5 g/l0.5 g / l PdCl2 PdCl 2 OHOH 1515 g/lg / l CH3 CH 3 -CHp-COOH-CHp-COOH 1515 g/ig / i CH3 CH 3 2P0~ . H2O 2 P0 ~. H 2 O 921921 — 5- 5 H2OH 2 O NaOHNaOH 2525 °c° c maxMax . 10, 10 minmin 2020 NiS:NiS: 3030 CH7 ό CH 7 ό 33 CH3.CH 3 . 1515 MaH.MaH. 4,34.3 5 mit5 with 7474 maxMax minmin

Hinter jedem Ärbeitsschriti erfolgt ein kurzzeitiges Spülen. Nach diesem Prozeß der Kantenmetalüsierung wird die Galvonolackschicht 6 mittels Tetrachlorkohlenstoff oder Trichlorethylen abgewaschen und die einzelnen Streifen getrocknet. In Figur 5 ist ein derartiger Chipwiderstand im Schnitt in Längsrichtung schematisch dargestellt, worin die aufgebrachte galvanische Nickelschicht 7 und die chernisch-reduktive Nickelschicht 8 entsprechend dargestellt sind.There is a brief rinse behind each working session. After this process of Kantenmetalüsierung the Galvonolackschicht 6 is washed off by means of carbon tetrachloride or trichlorethylene and dried the individual strips. In FIG. 5, such a chip resistance is shown schematically in section in the longitudinal direction, in which the applied galvanic nickel layer 7 and the chemically reductive nickel layer 8 are shown correspondingly.

Bei der Weiterverarbeitung der Chipwiderstände erweist es sich als besonders vorteilhaft, daß die Haftfestigkeit der chemischreduktiv abgeschiedenen Nickelschicht 8 mit ca. SOO Ncrn"2 außerordentlich hoch ist.In the further processing of the chip resistors, it proves to be particularly advantageous that the adhesion of the chemically reductively deposited nickel layer 8 with about SOO Ncrn " 2 is extremely high.

Claims (1)

-1 - Ζ'όϋ ööb-1 - Ζ'όϋ ööb Patentanspruch:Claim: Verfahren zur Kantenmetallisierung von Chipwiderständen in Dünn- oder Dickschichtausführung, bei dem auf einem dielektrischen Substrat (1) nacheinander eine Leitbasisschicht (2), eine Widerstandsschicht (3) und eine Abdeckschicht (4) als strukturierte Schichtenfolge aufgetragen wird, gekennzeichnet dadurch, daß auf die Abdeckschicht (4) und die noch freiliegenden Flächen der Leitbasisschicht (2), welche als einzige der Schichten streifenartig strukturiert ausgebildet ist und eine komplexe elektrische Leitfähigkeit aufweist, mittels eines drucktechnischen Verfahrens eine präzis strukturierte Polyimidlackschicht (E>) und über diese und auf der Rückseite des dielektrischen Substrates (I) eine ebenfalls strukturierte, physikaliüch-troeknende Galvanolackschich'c (6) so aufgetragen wird, daß die Leitbasisschicht (2) partiell galvanisch und die nach einem Trennprozeß entstehenden Subs'eratstreifen partiell chemisch-reduktiv vernickelt werden, wobei die chemisch-reduktiv abgeschiedene, auf die galvanisch abgeschiedene Nickelschicht übergreift.Process for the edge metallization of chip resistors in thin or thick film design, in which a conductive base layer (2), a resistance layer (3) and a cover layer (4) is applied as a structured layer sequence on a dielectric substrate (1), characterized in that the Covering layer (4) and the still exposed surfaces of the conductive base layer (2), which is the only one of the layers structured in stripes and has a complex electrical conductivity, by means of a printing process a precisely structured polyimide lacquer layer (E>) and on these and on the back the dielectric substrate (I) a likewise structured, physiüch-troeknende Galvanolackschich'c (6) is applied so that the Leitbasisschicht (2) partially electroplated and the resulting after a separation process Subs'eratstreifen are partially chemically-reductively nickel-plated, wherein the chemically Reductively deposited ene, on the galvanically deposited nickel layer overlaps.
DD27463185A 1985-03-29 1985-03-29 PROCESS FOR EDGE METALLIZATION OF CHIP RESISTANT DD239686A1 (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4030479A1 (en) * 1990-09-26 1992-04-02 Siemens Ag Nonlinear voltage or temp.-dependent resistive component - has ceramic layers printed on insulating layers in contact with metallised edge coatings

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