DD218667B1 - Tastsystem fuer eine koordinatenmessmaschine - Google Patents

Description

Hierzu 2 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung ist anwendbar für eine Koordinationsmeßmaschine, die vorzugsweise zur Vermessung ebener Schnitte gekrümmter Flächen in karthesischen Koordinaten dient, insbesondere für eine Koordinatenmeßmaschine zur Vermessung nichtsphärischer rotationssymmetrischer Flächen, wie sie z. B. für optische Anwendungen benötigt werden.

Charakteristik des bekannten Standes der Technik

Bekannt sind Koordinatenmeßvorrichtungen, bei denen die Genauigkeit der Meßergebnisse entscheidend mitbestimmt wird durch die Führungselemente, welche die Meßbewegungen realisieren.

(DE-PS 1 295199, G 01 b, 5/00; DE-OS 1 548313, G 01 b, 5/00; US-PS 3802086, G 01 b, 5/20; GB-PS 1 452280, G 01 B, 5/00).

Nachteilig ist dabei, daß die Führungsfehler der Führungselemente einerseits die Meßgenauigkeit direkt bestimmen, zum anderen aber auch bei Nichteinhaltung des Komparatorprinzips nach Abbe Fehler 1. Ordnung verursacht werden. Durch günstige Anordnung der Führungslemente und Maßverkörperungen relativ zum Meßobjekt lassen sich ihre Auswirkungen auf die Meßgenauigkeit verringern. Jedoch läßt sich damit eine Grenze der erreichbaren Genauigkeit nicht unterschreiten, die durch die Qualität der Führungselemente bestimmt wird.

Zur weiteren Erhöhung der Genauigkeit werden Kompensationssysteme für systematische Führungsbahnfehler eingesetzt. Es ist ein Kompensationssystem bekannt, bei dem ein Korrekturlineal, dessen Richtung zur Ablauf richtung des Meßwagens parallel oder unter geringem Winkel einstellbar angeordnet ist und das, von einem Tastbolzen angetastet, entsprechend der Neigung des Korrekturlineals im optischen Strahlengang des Meßsystems über Spiegelverkippung einen gewissen Kompensationseffekt erzielt

(Jenaer Rundschau 1978/6, S. 294-297).

Nachteilig bei diesem Kompensationssystem ist, daß nur mit dem Meßweg linear anwachsende Abweichungen der Führungselemente kompensiert werden können.

Nichtlineare Abweichungen der Führungselemente können durch ein weiteres bekanntes Kompensationssystem korrigiert werden (DD-PS 98366, G 01 b, 19/90).

Hierbei wird ein mechanisches Korrekturlineal, dessen Profilabweichungen den Maschinenfehlern proportional sind, durch bewegliche Rollen- oder Hebelsysteme angetastet, deren mechanische Bewegungen korrigierend in die optischen Meßsysteme eingreifen.

Nachteilig bei dieser Korrektur ist, daß die Genauigkeitsgrenze durch die schwierige Korrekturlinealherstellung, durch Rollbewegung zwischen Lineal und Tastglied und durch Führungsfehler der Hebelsysteme bestimmt wird.

Es ist auch ein anderes Prinzip des Ausgleichs der Fehler der Führungselemente bekannt (DE-OS 2649641, G 01 B, 5/00). Hier werden die Meßbewegungen entlang von Laserstrahlen geführt, die mit optischen Regeltastern angetastet werden und damit Korrekturwerte liefern.

Nachteilig bei diesem Prinzip ist, daß einerseits die erreichte Genauigkeit durch einen Regelvorgang begrenzt wird, vermittels dessen ein Antastglied ständig am Laserstrahl entlang geführt werden muß, und andererseits nur Korrekturwerte gewonnen werden, die beim weiteren Meßvorgang berücksichtigt werden müssen, zum Beispiel durch Nachsteuerung einer Maßstabsableseeinrichtung.

Es ist ferner ein Führungssystem für ein Zweikoordinatenmeßsystem bekannt (Jenaer Rundschau 1979/2 S. 84—88), bei dem der Genauigkeitseinfluß eines Kreuzschlittens auf die Positioniergenauigkeit weitgehend ausgeschaltet ist durch Festlegung der Führung mittels optischer Antastung von Strichplatten, die gleichzeitig als Meßsysteme dienen.

Dieses Prinzip hat die Nachteile, daß die Strichplatten zweidimensional die Ausdehnung des gesamten Meßweges haben müssen, daß hohe Anforderungen an ihre Genauigkeit und Anordnung gestellt sind. Verbleibende systematische Fehler müssen mit Rechnersystemen kompensiert werden.

Bei einer anderen bekannten Zweikoordinatenmeßanordnung sind Lineale vorhanden, die bei Schlittenverschiebungen angetastet werden, wobei die gewonnenen Meßwerte zur Korrektur verwendet werden.

(Preprint UCRL-82450 Lawrence Livermore Laboratory, March 15,1979 for submitted to „Precision Engeneering" „Design of a new error-corrected coordinate-measuring machine", Bryan, Carter, USA).

Nachteilig ist dabei, daß die Kompensation der Führungsfehler durch Lageänderung des Prüflings relativ zu den Meßsystemen erfolgt.

Zusammenfassend stellen sich folgende Nachteile bei den bekannten Koordinatenmeßvorrichtungen heraus:

— Führungselementefehler können entweder nicht erfaßt werden, oder sie werden erfaßt durch Korrekturgrößen, die entweder zur Lageänderung des Prüflings relativ zu den Meßsystemen oder zur nachfolgenden rechnerischen Kompensation verwendet werden.

— In Verbindung mit einem inkrementalen Wegmeßsystem können auftretende Fehler sich auf alle nachfolgenden Meßwerte fortpflanzen, insbesondere bei einer Vielzahl von Meßwerten.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, bei Vermeidung der genannten Nachteile bei einer Koordinatenmeßmaschine insbesondere eine Erhöhung der Meßgenauigkeit bei kurzen Meßzeiten zu erreichen.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, durch zweckmäßige Ausbildung und Funktionsweise des Tastsystems sowie des Bezugssystems für eine Koordinatenmeßmaschine Meßfehler weitgehend auszuschalten.

Die Aufgabe wird gelost durch ein Tastsystem für eine Koordinatenmeßmaschine, welche einen den Prüfling aufnehmenden Translationsschlitten zur Positionierung des Prüflings auf vorgewählte Werte der einen Koordinate relativ zum Tastsystem aufweist, das erfindungsgemäß in nachstehend beschriebener Weise ausgebildet ist.

Das Tastsystem umfaßt eine doppelseitig wirkende Antastgruppe zur Messung der zugehörigen Werte der anderen Koordinate, die in einer Führungsgruppe geführt ist, sowie ein mit der Antastgruppe funktionell verknüpftes, dem Translationsschlitten und damit dem Prüfling fest zugeordnetes Bezugselement, wobei die mit einem Wegmeßsystem gekoppelte Antastgruppe zwei in festem unveränderlichem Abstand zueinander angeordnete Antastglieder aufweist zur wechselseitigen Antastung des Bezugselementes und des Prüflings.

Die Führungsgruppe dient dem Transport der Antastgruppe vom Prüfling zum Bezugselement.

Als Bezugselement kann sowohl eine materiell ausgebildete Bezugsfläche, die dem Prüfling zugekehrt ist, als auch eine optisch dargestellte Gerade dienen.

Im Falle einer ebenen Bezugsfläche ist diese weitgehend parallel zur Bewegungsrichtung des Translationsschlittens und rechtwinklig zur Bewegungsrichtung der Antastgruppe angeordnet.

Bei einer zu vermessenden rotationssymmetrischen Fläche steht die Rotationsachse des Prüflings auf der Bezugsfläche weitgehend rechtwinklig.

Anstelle einer ebenen Bezugsfläche kann, sofern es für die Gewinnung der Meßwerte zweckmäßig ist, auch ein Bezugselement mit einer sphärischen oder zylindrischen Bezugsfläche verwendet werden.

Im Falle einer sphärischen Bezugsfläche liegt bei rotationssymmetrischen Prüflingen der Krümmungsmittelpunkt der Bezugsfläche auf der Rotationsachse des Prüflings. Im Falle einer zylindrischen Bezugsfläche wird diese so angeordnet, daß ihre Zylinderachse rechtwinklig auf der Ebene des Schnittes steht, der durch die Achse der Antastgruppe und durch die Bewegungsrichtung des Translationsschlittens bestimmt wird. Der Prüfling wird zu der zylindrischen Bezugsfläche so angeordnet, daß im Falle einer bisymmetrischen Prüflingsfläche deren Spiegelebene mit der Zylinderachse zusammenfällt. Bei der Bestimmung der Koordinatenmeßwerte wird die bekannte Krümmung der sphärischen oder zylindrischen Bezugsfläche berücksichtigt.

Anstelle einer Bezugsfläche als materiell ausgebildetes Bezugselement kann auch ein optisches Bezugselement benutzt werden,

z. B. eine durch einen Laserstrahl dargestellte Gerade. Diese Gerade ist in fester unveränderlicher Lage zum Prüfling und parallel zu dessen Translationsrichtung angeordnet. Dabei enthält die Antastgruppe des Tastsystems an ihrem einen Ende ein optisches

(z. B. lichtelektrisches) Antastglied, das bei definierter Lage zu dem Laserstrahl ein Signal liefert. Mit diesem Signal erfolgt die Registrierung des momentanen Meßwertstandes des mit der Antastgruppe gekoppelten Wegmeßsystems.

Dabei befindet sich das optische Antastglied in einem festen Abstand zu dem anderen Antastglied, das der Prüflingsantastung dient.

Die erfindungsgemäße Einführung einer Bezugsfläche oder einer optisch dargestellten Geraden als Bezugselement hat gegenüber bekannten Lösungen an Koordinatenmeßvorrichtungen den Vorteil, daß die Meßwerte nicht auf die Führungsbahn eines Schlittens bezogen werden, sondern auf ein Bezugselement mit geometrisch definierter Form. Fehler der Führungsbahn oder der Lagerung des bewegten Teiles wirken sich daher nicht direkt auf das Meßergebnis aus. Die Fehler des Bezugselementes können hinreichend klein gehalten werden. Eine Kompensation der zufälligen und systematischen Führungsfehler ist nicht erforderlich.

Durch die Möglichkeit, anstelle der ebenen Bezugsfläche eine sphärische oder zylindrische Bezugsfläche einzusetzen, wird eine optimale Anpassung an den Prüfling erreicht, so daß die Meßwege klein gehalten werden können.

Weiterhin bietet die Einführung eines erfindungsgemäßen Bezugselementes den Vorteil, daß bei Anwendung eines inkrementalen Wegmeßsystems in jeder Prüflingsposition bei Antastung von Prüfling bzw. Bezugsfläche das Wegmeßsystem neu genullt werden kann, so daß für jeden Koordinatenpunkt die Differenz zwischen Bezugsfläche und Prüfling unabhängig von vorausgehenden Meßpunkten gemessen wird.

Eine Fehlerfortpflanzung wird dadurch vermieden.

Die Antastung von Prüfling und Bezugselement erfolgt in der jeweiligen Prüflingsposition durch das vorgenannte doppelseitig wirkende Anstastsystem, bestehend aus Antastgruppe und Führungsgruppe.

Die Antastgruppe ist erfindungsgemäß mit der Führungsgruppe über eine elastische Aufhängung verbunden, die so ausgebildet ist, daß sie nur in der Antastrichtung eine geringe Relativbewegung zwischen beiden Gruppen erlaubt. Diese elastische Aufhängung ermöglicht es, daß bei mechanischer Berührung von Prüfling oder Bezugsfläche durch die Antastgruppe die Führungsgruppe bis zu ihrer Stillsetzung noch einen geringen Weg zurücklegen kann. Die elastische Verbindung der Tastgruppe mit der Führungsgruppe wird dazu benutzt, über die Relativlage von Antast- zu Führungsgruppe, die infolge der elastischen Aufhängung ein Maß für die Meßkraft ist, bei jeweils definierter Meßkraft — d.h. definierter Relativlage von Antastgruppe zu Führungsgruppe — vermittels Gebern ein Signal für die Registrierung des Meßwertstandes einerseits und für die gleichzeitige Stillsetzung und anschließende Bewegungsumkehr der Führungsgruppe andererseits zu liefern.

Der Antrieb der Führungsgruppe erfolgt über einen oder mehrere pneumatische Arbeitszylinder, die luftgeschmiert ausgebildet sind, damit Stick-Slip-Freiheit durch die quasi reibungsfreie Bewegung zwischen Kolben und Zylinder eine genaue Positionierung ermöglicht. Die oder der Arbeitszylinder sind parallel zur Führungseinrichtung angeordnet. Sie werden einseitig beaufschlagt bei vertikaler Anordnung der Bewegungsrichtung, und zwar entgegen der Schwerkraftrichtung, und doppelt beaufschlagt bei horizontaler Anordnung. Bei vertikaler Anordnung ist durch die oder den Arbeitszylinder die Arbeit für die

Beschleunigung einmal abzüglich (Abwartsbewegung), einmal zuzüglich (Aufwartsbewegung) der Schwerkraft auf die Fuhrungs- und Antastgruppe zu leisten Bei horizontaler Anordnung leisten die oder der Arbeitszylinder die Beschleunigungsarbelt in der jeweiligen Richtung zu gleichen Betragen

Zur Verkürzung der Meßzeiten und zur Erhöhung der Meßgenauigkeit bewegt sich die Antastgruppe mit einer Eilgeschwindigkeit Mit einem Vorsignalgeber wird ein Signal ausgelost, das durch Veränderung der dem Arbeitszylinder zugefuhrten Luftmenge eine solche negative Beschleunigung erwirkt, daß die Antastgruppe zum Zeitpunkt der Berührung mit dem Prüfling bzw mit der Bezugsflache eine solche Schieichgeschwindigkeit hat, wie sie fur den Antast- und Meßprozeß notwendig ist Der Vorsignalgeber hat einen dazu notwendigen zeitlichen Abstand zum Meßsignal Zur Vermeidung von Meßfehlern 1 Ordnung infolge von Kippverlagerungen der Fuhrungsgruppe sind sowohl das mit dem Tastsystem gekoppelte Wegmeßsystem als auch die Wirklinie des das Bezugselement antastenden Tastgliedes fluchtend angeordnet zu der Bewegungsbahn des der Pruflingsantastung dienenden Tastgliedes Das entspricht einer zweimaligen Einhaltung des Abbeschen Komparationsprinzips Dem Nachteil der bei nacheinander folgender Reihenanordnung notwendigen großen Baulange wird dadurch begegnet, daß das bei der Antastung der Bezugsflache wirkende Antastglied gabelförmig ausgebildet ist und die Bezugsflache an zwei symmetrisch zur Bewegungsbahn des der Pruflingsantastung dienenden Tastgliedes gelegenen Punkten antastet und daß die Bezugsflache einen spaltformigen Durchbruch fur einen Durchgang des Wegmeßsystems enthalt Damit überdecken sich die so entstandene Wirklinie des Bezugsflachenarttastgliedes und das Wegmeßsystem

Der Vorteil des erfindungsgemaßen Antastsystems besteht dann, daß die Meßsignale in einer bestimmten relativen Lage zwischen Antast- und Fuhrungsgruppe durch Geber ausgelost werden Der relativen Lage ist eine bestimmte Meßkraft zugeordnet, die unabhängig von der Antastgeschwindigkeit und anderen Einflußgroßen, zum Beispiel der Masse der Fuhrungsgruppe, ist Außerdem ermöglicht die erfmdungsgemaße Losung kurze Meßzeiten und hohe Temperaturkonstanz durch Vermeidung innerer Wärmequellen

Das erfmdungsgemaße Tastsystem fur eine Koordinatenmeßmaschine hat folgende Funktion Zunächst wird der Prüfling mit der Aufnahme in seiner Lage zum Koordinatensystem der Meßmaschine justiert Zur Meßwertgewinnung wird der Prüfling in einem automatischen Arbeitsgang auf einen Sollwert mit dem Translationsschlitten positioniert Anschließend erfolgt mittels des erfindungsgemaßen Tastsystems die Messung des Abstandes zwischen dem angetasteten Pruflingspunkt und dem Bezugselement in einem Zyklus, in dem folgende Schritte nacheinander ablaufen

— Bewegung des Tastschlittens (Fuhrungsgruppe mit Antastgruppe) in Richtung Prüfling mit Eil- und Schieichgeschwindigkeit,

— Nullung des Wegmeßsystems beim Antasten des Prüflings, ausgelost durch Signalgabe vom Geber im Antastsystem,

— entgegengesetzte Bewegung des Tastschlittens bis zur Signalgabe bei Antastung des Bezugselementes,

— Registrierung des Meßwertes vom Meßwertgeber, beispielsweise mit einem Drucker,

— erneute Bewegungsumkehr des Tastschlittens in eine Ruhestellung, in der das Bezugssignal nicht mehr vom Taster berührt wird

Anschließend kann automatisch eine erneute Positionierung des Translationsschlittens der Koordinatenmeßmaschine erfolgen und der nächste Meßzyklus vollzogen werden

Ausfuhrungsbeispiel

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausfuhrungsbeispiel naher erläutert werden In den zugehörigen Zeichnungen zeigen

Fig 1 die perspektivische Darstellung einer Koordinatenmeßmaschine mit erfindungsgemaßem Tastsystem, Fig 2 die schematische Darstellung des Tastsystems nach Fig 1 in Vorderansicht, Fig 3 die schematische Darstellung des Tastsystems nach Fig 2 in Seitenansicht

Der Grundkorper 1 einer Koordinatenmeßmaschine tragt auf Führungsschienen 2 den Translationsschlitten 3 mit dem Prüfling 6 und der Bezugsflache 11 Der Translationsschlitten 3 dient der Positionierung des Prüflings in x-Richtung Weiterhin ist auf dem Grundkorper 1 an einer bruckenartigen Konstruktion, im wesentlichen bestehend aus Stutzen 9 und Brücke 10, das doppelseitig wirkende Tastsystem 12 als z-Meßsystem angeordnet Dieses dient der Antastung des Prüflings 6 einerseits und der Bezugsflache 11 andererseits in Richtung derz-Koordmate

Das die Bezugsflache 11 antastene Antastglied 15 ist als Tastgabel ausgebildet und tastet die Bezugsflache 11, hier als spaltformig durchbrochenes Bezugselement ausgebildet, an zwei symmetrisch zur Bewegungsbahnmitte gelegenen Punkten an InFig 1 ist der vordere Teil des Antastgliedes 15 erkennbar

Der Prüfling 6 ist in einer Aufnahmevorrichtung 7 befestigt, die die Pruflingsbewegung zur Ge.samtmeßvornchtung ermöglicht, und zwar mit einem Schlitten 5 als Translation in y-Richtung und mit einer Kippvorrichtung 4 um die y-Achse Fig 2 und 3 zeigen das doppelseitig wirkende Tastsystem 12 in zwei Ansichten Dieses Tastsystem 12 besteht aus dem vierseitig luftgelagerten Tastschlitten 13, der Fuhrungsgruppe, die durch zwei Arbeitszylinder 19 mit luftgeschmiertem Kolben 20 in vertikaler Richtung bewegt wird Innerhalb dieses Schlittens ist die Antastgruppe 16 an zwei Blattfedern 23 aufgehängt Sie wird bei Berührung des Prüflings 6 nach oben, bei Berührung der Bezugsflache 11 nach unten ausgelenkt Die induktiven Geber 24 markieren zwei Relativstellungen der Antastgruppe 16 gegenüber dem Tastschlitten 13, die einer bestimmten Meßkraft, verursacht durch das Blattfedergelenk, entsprechen Sie liefern die Signale fur die Registrierung der Meßwerte am Laserwegmeßsystem 17 bei Antastung von Prüfling 6 und Bezugsflache 11 An der Antastgruppe 16 befindet sich auch der Reflektor 21 fur das Laserwegmeßsystem 17 Der Vorsignalgeber 22 an der Antastgruppe 16 dient der Umschaltung von Eil-auf Schieichgeschwindigkeit mittels Druckluftsteuerung fur die pneumatischen Arbeitszylinder 19 bei der Pruflingsantastung

Claims (11)

1. Patentansprüche:

   1. Tastsystem für eine Koordinatenmeßmaschine, welche einen den Prüfling aufnehmenden Translationsschlitten zur Positionierung des Prüflings auf vorgewählte Werte der einen Koordinate relativ zum Tastsystem aufweist, gekennzeichnet durch eine doppelseitig wirkende Antastgruppe (15,16) zur Messung der zugehörigen Werte der anderen Koordinate, die in einer Führungsgruppe (13) geführt ist, sowie ein mit der Antastgruppe (15,16) funktionell verknüpftes, dem Translationsschlitten (3) und damit dem Prüfling (6) fest zugeordnetes Bezugselement (11), wobei die mit einem Wegmeßsystem (17) gekoppelte Antastgruppe (15,16) zwei in festem unveränderlichem Abstand zueinander angeordnete Antastglieder aufweist zur wechselseitigen Antastung des Bezugselementes (11) und des Prüflings (6).
2. 2. Tastsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Bezugselement (11) eine materiell vorhandene weitgehend ideal ausgebildete Bezugsfläche ist, die dem Prüfling (6) zugekehrt ist.
3. 3. Tastsystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bezugsfläche (11) eben und weitgehend parallel zur Bewegungsrichtung des Translationsschlittens (3)und rechtwinklig zur Bewegungsrichtung der Antastgruppe (15,16) angeordnet ist.
4. 4. Tastsystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bezugsfläche (11) eine sphärische oder zylindrische Form aufweist, wobei im Falle einer sphärischen Bezugsfläche (11) bei rotationssymmetrischen Prüflingen (6) der Krümmungsmittelpunkt der Bezugsfläche (11) auf der Rotationsachse des Prüflings (6) liegt und im Falle einer zylindrischen Bezugsfläche (11) die Zylinderachse rechtwinklig auf der Ebene des Schnittes steht, der durch die Achse der Antastgruppe (15,16) und durch die Bewegungsrichtung des Translationsschlittens (3) bestimmt wird und bei bisymmetrischen Prüflingsflächen mit der Spiegelebene des Prüflings (6) zusammenfällt, und daß bei der Bestimmung der Koordinatenmeßwerte des Prüflings (6) die bekannte Krümmung einer sphärischen oder zylindrischen Bezugsfläche (11) berücksichtigt wird.
5. 5. Tastsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Bezugselement (11) eine optische Bezugsgerade benutzt wird, die z. B. durch einen Laserstrahl dargestellt wird, der in fester und unveränderlicher Lage zum Prüfling (6) und parallel zu dessen Translationsrichtung angeordnet ist und die Antastgruppe (15,16) des Tastsystems an ihrem einen Ende ein optisches, vorzugsweise lichtelektrisches Antastglied enthält, welches bei definierter Lage zu dem als Bezugsgerade dienenden Laserstrahl ein Signal liefert, mit dem die Registrierung des momentanen Meßwertstandes des mit der Antastgruppe (15,16) gekoppelten Wegmeßsystems (17) erfolgt, wobei das optische Antastglied sich in festem Abstand zu dem zweiten der Prüflingsantastung dienenden Antastglied (16) befindet.
6. 6. Tastsystem nach Anspruch 1 und einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Antastgruppe (15,16) und die Führungsgruppe (13) über eine elastische Aufhängung (23) miteinander verbunden sind, die nur in Antastrichtung eine geringe Relativbewegung zwischen beiden Gruppen erlaubt, derart, daß eine dynamische Antastung ermöglicht wird.
7. 7. Tastsystem nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei mechanischer Antastung die Relativlage zwischen Antastgruppe (15,16) und Führungsgruppe (13) ein Maß für die Meßkraft ist, die die Tastglieder auf Prüfling (6) bzw. Bezugsfläche (11) bei der Antastung ausüben und diese Relativlage durch Geber (24) kontrolliert wird, die jeweils bei einer bestimmten Relativlage, d. h. bei einer definierten Meßkraft, ein Signal liefern, mit dem sowohl eine Registrierung des momentanen Meßwertstandes des mit der Antastgruppe (15,16) gekoppelten Wegmeßsystems (17) erfolgt als auch gleichzeitig eine Stillsetzung und anschließende Bewegungsumkehr der Führungsgruppe (13) ausgelöst wird.
8. 8. Tastsystem nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb der Führungsgruppe (13) durch einen oder mehrere pneumatische luftgeschmierte Arbeitszylinder (19) erfolgt, die bei vertikaler Bewegungsrichtung unter Ausnutzung der Schwerkraft einseitig beaufschlagt sein können, bei horizontaler Bewegungsrichtung doppelseitig beaufschlagt sind.
9. 9. Tastsystem nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Antastgruppe (15,16) auf ihrem Weg zwischen Prüfling (6) und Bezugselement (11) mit einer Eilgeschwindigkeit bewegbar ist, die vor dem Antastprozeß durch Vorsignalgeber (22) von Eil- auf Schleichgeschwindigkeit umschaltbar ist, wobei die Vorsignalgeber (22) entsprechend einem solchen zeitlichen Abstand zum Meßsignal derart angeordnet sind, daß die Zeit der negativen Beschleunigung ausreicht, um die Antastgruppe (15,16) in die für den Antastprozeß notwendige langsame Geschwindigkeit zu versetzen.
10. 10. Tastsystem nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Maßverkörperung des mit der Antastgruppe (15,16) gekoppelten Wegmeßsystems (17) fluchtend zur Bewegungsbahn des der Prüflingsantastung dienenden Tastgliedes (16) angeordnet ist.
11. 11. Tastsystem nach Anspruch 1 bis 4 und 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das der Antastung der Bezugsfläche (11) dienende Antastglied (15) gabelförmig ausgebildet ist und die Bezugsfläche (11) an zwei symmetrisch zur Bewegungsbahn des der Prüflingsantastung dienenden Tastgliedes (16) gelegenen Punktes antastet und daß die Bezugsfläche (11) einen spaltförmigen Durchbruch für einen Durchgang des Wegmeßsystems (17) enthält.