CZ399392A3 - Temperature transmitter and process for producing thereof - Google Patents

Temperature transmitter and process for producing thereof Download PDF

Info

Publication number
CZ399392A3
CZ399392A3 CS923993A CS399392A CZ399392A3 CZ 399392 A3 CZ399392 A3 CZ 399392A3 CS 923993 A CS923993 A CS 923993A CS 399392 A CS399392 A CS 399392A CZ 399392 A3 CZ399392 A3 CZ 399392A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
temperature sensor
printed
ceramic
film
resistive
Prior art date
Application number
CS923993A
Other languages
Czech (cs)
Inventor
Karl-Hermann Dr Friese
Harald Dr Neumann
Original Assignee
Bosch Gmbh Robert
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bosch Gmbh Robert filed Critical Bosch Gmbh Robert
Publication of CZ399392A3 publication Critical patent/CZ399392A3/en
Publication of CZ279661B6 publication Critical patent/CZ279661B6/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49082—Resistor making
    • Y10T29/49085—Thermally variable

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

PCT No. PCT/DE91/00601 Sec. 371 Date Feb. 12, 1993 Sec. 102(e) Date Feb. 12, 1993 PCT Filed Jul. 25, 1991 PCT Pub. No. WO92/03711 PCT Pub. Date Mar. 5, 1992.A positive temperature coefficient temperature sensor for use in exhaust-gas systems of internal-combustion engines includes a sensor element having a multilayer laminate composite structure with a positive temperature coefficient thermistor, formed by at least two resistor tracks arranged one above another and electrically insulated from one another. One of the layers of the multilayer structure is an insulating ceramic base film, and a first one of the at least two resistor tracks, with a supply lead, is printed onto the insulating ceramic base film. A second one of the at least two resistor tracks is disposed separately on the insulating ceramic base film by means of at least one insulating layer printed above the first one of the at least two resistor tracks. The at least two resistor tracks disposed one above another are connected by a land guided through the at least one insulating layer. A further film is subsequently laminated on the surface of the insulating ceramic base film printed with the at least two resistor tracks. The at least two resistor tracks are hermetically sealed by the laminate composite structure with respect to a gas being measured and environmental air.

Description

Teplotní čidlo a způsob jeho výroby Oblast techniky ÍBACKGROUND OF THE INVENTION

Cermí/Hoře)! Vrb& Národní 3Ž 110 00 PRAHA 1 CSCermí / Mountain)! Vrb & Narodni 110 Z PRAHA 1 CS

TITI

< -□ <- □ i and r- r- K? TO? > CJ? CD Q > CJ? CD Q cd· CD· ;o ;O o O - C-5 - C-5 ΠΓ ΠΓ -í i 1 K-i i 1 K • • o O crx crx • • . . . . n ° O n ° O r~► r ~ ► • ; •; < ' ΓΠι < 'ΓΠι to it O O __ __ U) AT) -o [ -o [ tn tn

Vynález se týká teplotního čidla, zejména s kladným teplotním součinitelem, zejména pro použití ve výfukovém zařízení spalovacích motorů, s jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fólií, který je hermeticky uzavřen vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu, s odporem, zejména s kladným teplotním součinitelem, vytvořeným z alespoň dvou odporových pásků uspořádaných nad sebou a elektricky od sebe odizolovaných, přičemž první odporový pásek s přívodním vedením je natištěn na základní fólii z izolačního keramického materiálu. Vynález se dále týká způsobu výroby teplotního čidla.The invention relates to a temperature sensor, in particular to a positive temperature coefficient, in particular for use in an exhaust system of internal combustion engines, with a single element arranged in a housing with a multilayer structure of stacked and bonded ceramic foils hermetically sealed to the gas and ambient air, with a resistance, in particular a positive temperature coefficient, formed of at least two resistive strips arranged one above the other and electrically insulated from each other, the first resistive strip with the lead being printed on the base sheet of insulating ceramic material. The invention further relates to a method for producing a temperature sensor.

Dosavadní stav technikyBACKGROUND OF THE INVENTION

Je všeobecně známé používat k měření poměrně vysokých teplot, jaké například panují ve výfukových plynech spalovacích motorů, ''teplotních čidel' s elementy provedenými' š odporovými- materiály · odolnými proti vysokým teplotám s hodnotou odporu závislou na teplotě (viz E.D. Macklen, Thermistors, Verlag Electrochemical Publications, Ltd. , 1979).It is well known to use 'temperature sensors' with elements made of high-temperature resistive materials with a temperature-dependent resistance value to measure relatively high temperatures, such as those found in the exhaust gases of internal combustion engines (see ED Macklen, Thermistors, Verlag Electrochemical Publications, Ltd., 1979).

Teplotní čidla s kladným teplotním součinitelem (teplotní čidla PTC) využívají stálých změn odporu kovů nebo polovodičů s uvedeným kladným teplotním součinitelem při měnících se teplotách. Kovy používanými s výhodou pro tato teplotní čidla PTC jsou . vzhledem ke své vysoké stabilitě a reprodukovatelnosti platina a nikl a jejich slitiny.Positive Temperature Coefficient Temperature Sensors (PTC temperature sensors) utilize constant changes in the resistance of metals or semiconductors with the specified positive temperature coefficient at varying temperatures. The metals used preferably for these PTC temperature sensors are. due to its high stability and reproducibility, platinum and nickel and their alloys.

Dále je známé, například z EP-A O 188 900 a O 142 993 a dále z DE-OS 30 17 947 a 35 43 759, používat pro určení hodnot lambda směsí plynů rovinná čidla, která se zvlášt výhodným levným způsobem mohou vyrobit z keramických · fólií a sítotiskovou technikou,It is further known, for example from EP-A 0 188 900 and O 142 993 and further from DE-OS 30 17 947 and 35 43 759, to use planar sensors for determining lambda values of gas mixtures which can be made of ceramic · Foils and screen printing techniques,

Z DE-PS 37 33 192 je známé zlepšovat odolnost proti stárnutí a dobu odezvy teplotních čidel PTC tím, že tato teplotní čidla PTC jsou hermeticky zapouzdřena vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu.It is known from DE-PS 37 33 192 to improve the aging resistance and the response time of PTC temperature sensors by hermetically encapsulating the PTC temperature sensors to the gas and ambient air to be measured.

Nevýhodou známých teplotních čidel PTC je, že mají určitou plošnou roztažnost, a proto nejsou ve všech místech vystavena stejné teplotě výfukových plynů.A disadvantage of the known PTC temperature sensors is that they have a certain surface expansion and therefore are not exposed to the same exhaust gas temperature at all locations.

Podstata vynálezuSUMMARY OF THE INVENTION

Výše uvedené nedostatky odstraňuje teplotní čidlo, zejména s kladným teplotním součinitelem, zejména pro použití ve výfukovém zařízení spalovacích motorů, s jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fólií, který je hermeticky uzavřen vůči měřenému plynu a okolnímu· vzduchu, s odporem, zejména s kladným' teplotním součinitelem, vytvořeným ·ζ alespoň dvou. odporových pásků.uspořádaných nad sebou a elektricky od sebe odizolovaných, přičemž první odporový pásek s přívodním vedením je natištěn na základní fólii z izolačního keramického materiálu, podle vynálezu, jehož podstatou je, že na první odporový pásek je přiložena alespoň jedna izolační vrstva a alespoň jeden další odporový pásek a následně je přiložena, jedna další fólie jako krycí fólie a je se základní fólií spojena a slinována.The above-mentioned drawbacks are eliminated by a temperature sensor, in particular with a positive temperature coefficient, in particular for use in an exhaust system of internal combustion engines, with a single element arranged in a housing, with a multilayer structure of stacked and bonded ceramic foils hermetically sealed to the gas to be measured; ambient air, with a resistance, in particular a positive temperature coefficient, formed of at least two. resistive strips arranged one above the other and electrically insulated from each other, wherein the first resistive strip with a lead-in is printed on a base film of insulating ceramic material according to the invention, characterized in that at least one insulating layer and at least one insulating layer is applied to the first resistive strip and a second resistive strip is applied and one additional film is provided as a cover film and is bonded and sintered to the base film.

Podle výhodného provedení vynálezů sestává teplotní čidlo z na sobě naskládaných odporových pásků, navzájem od sebe elektricky izolovaných.According to a preferred embodiment of the invention, the temperature sensor consists of stacked resistive strips, electrically insulated from each other.

Podle dalšího výhodného provedení vynálezu jsou odporové drátky vytvořeny meandrovitě.According to a further preferred embodiment of the invention, the resistive wires are meandering.

Podle dalšího výhodného provedení vynálezu jsou odporové pásky elementu teplotního čidla umístěny na alespoň.dvou fóliích na bázi izolačního keramického materiálu, a sice na alespoň.jedné, základní fólii,s odporovým páskem a přívodním vedením natištěnými zhušúovací technikou nanášení vrstev, s alespoň jednou izolační vrstvou s natištěnými odporovými pásky na ní umístěnou, a7 “s jednou další fólií / která je še základní fólií spojena a slinována.According to a further preferred embodiment of the invention, the resistance tapes of the temperature sensor element are disposed on at least two foils based on insulating ceramic material, namely on at least one base foil, with a resistive tape and lead printed with a densification coating technique with at least one insulating layer with printed resistive tape placed on it, a7 "with one other film / which is bonded and sintered by the base film.

—.......-.....Dá-le- je-- -výhodné-,--když-kera-m-ické—f-ól-i-e- -a—izolační- -vrstvy.- jsou vytvořeny na bázi oxidu hlinitého.It is preferred that the ceramics are insulating layers. are based on alumina.

Podle dalšího výhodného provedení vynálezu je poslední umístěná’izolační vrstva spojena s krycí fólií pomocí pojivá.According to a further preferred embodiment of the invention, the last placed insulation layer is bonded to the cover film by means of a binder.

Dále je výhodné, když odporové pásky, přívodní vedení, kontakty, otvory pro __ pokovování; dosedací místo a přídavná dosedácí_mís±a^-sou_provedeny z cermetové pasty. Přitom je výhodné, když je tato'cermetová pasta pastou z platiny a oxidu hlinitého. · .It is further preferred that the resistive tapes, lead-in lines, contacts, plating apertures; the abutment and the additional abutment are made of cermet paste. It is preferred that the cermet paste is a platinum-alumina paste. ·.

Podle dalšího výhodného provedení vynálezu je na velké· ploše základní keramické fólie, protilehlé k odporovému pásku, v místě kontaktů nanesena přilnavá spojovací vrstva, s výhodou z oxidu hlinitého se zvýšeným podílem taviči přísady,According to a further preferred embodiment of the invention, an adhesive bonding layer, preferably of alumina with an increased proportion of fluxing agent, is applied to the large area of the base ceramic foil opposite the resistance tape.

Výše uvedené nedostatky dále odstraňuje způsob výroby teplotního čidla podle jednoho z předcházejících nároků, podle vynálezu, jehož podstatou je, že do první keramické fólie se vylisují otvory, provede se pokovení, na velkou plochu keramické fólie se natiskne odporový pásek, přívodní vedení a dosedací místa a na protilehlou velkou plochu keramické fólie, popřípadě po nanesení přilnavé spojovací vrstvy,se natisknou kontakty, že potom se na velkou plochu keramické fólie, potištěnou odporovým páskem, nanese s ponecháním volných okének alespoň jedna izolační vrstva, tato izolační vrstva se potiskne odporovým páskem a izolační vrstva nejvíce vzdálená od keramické fólie se potiskne přívodním vedením, popřípadě se na ni nanese další přilnavá spojovací vrstva,The above-mentioned drawbacks are further remedied by a method for producing a temperature sensor according to one of the preceding claims, according to the invention, characterized in that holes are pressed into the first ceramic foil, metallized, a resistive tape, supply lines and contact points and on the opposite large surface of the ceramic film, optionally after application of the adhesive bonding layer, the contacts are printed so that at least one insulating layer is applied over the large surface of the ceramic film printed with the resistive tape leaving the windows open, the insulating layer furthest away from the ceramic foil is printed by the supply line or another adhesive bonding layer is applied on it,

5., , , * a spoji se a slinuje s druhou keramickou folii*tak, že vznikne naskládané uspořádání odporu. .5.,,, * and join and sinter with the second ceramic film * to form a pleated resistor arrangement. .

Výhodou teplotního čidla podle vynálezu je, že naskládaným uspořádáním jednotlivých fólií na sobě se dosáhne vysokých hodnot měřicích odporů, při současně menší plošné roztažnosti, a proto i prakticky nezávislosti na teplotních gradientech ve výfukovém plynu.The advantage of the temperature sensor according to the invention is that by stacking the individual foils together one obtains high values of the measuring resistances, while at the same time less areal expansion and therefore virtually independent of the temperature gradients in the exhaust gas.

Přehled obrázků na výkresechBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

Vynález bude dále blíže objasněn na příkladech provedení podle přiložených výkresů, na nichž obr.l znázorňuje'’první příklad provedení teplotního čidla s kladným teplotním součinitelem s dvouvrstvým uspořádáním odporových pásků a obr. 2· druhý příklad provedení teplotního čidla ·podle vynálezu s třívrstvým uspořádáním odporových pásků.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 shows a first embodiment of a temperature sensor having a positive temperature coefficient with a two-layer resistor strip arrangement, and FIG. 2, a second embodiment of a temperature sensor according to the invention with a three-layer arrangement. resistor strips.

Příklady provedeni vynálezu í,·DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

Příklad 1Example 1

Pro výrobu prvního provedení teplotního čidla s kladným, teplotním součinitelem (PTC) podle vynálezu ze dvou keramických fólií A^B se postupuje podle vyobrazení na obr.l. Použijí se dvě keramické fólie A,B o síle vždy 0,3 mm. Do keramické . fólie A se nejprve vylisují otvory 14 určené pro pokovování. Pro toto pokovování se těmito otvory 14 nasaje pasta z platiny a oxidu hlinitého. Na velkou plochu keramické fólie A se potom natiskne meandrovitý odporový pásek 10, přívodní vedení 11 a dosedací místa 15 z cermetové pasty z platiny. .a. oxidu hlinitého. Potom se na . protilehlou velkou plochu keramické fólie A nanese přilnavá spojovací vrstva 13 z oxidu hlinitého se zvýšeným’ podílem taviči přísady s vynecháním otvoru 14 provedených v keramické fólii A, načež sé v oblasti těchto otvorů 14 natisknou kontakty 12 z platiny a oxiduhlinitého.To produce the first embodiment of the PTC temperature sensor according to the invention from two ceramic films A ^ B, the process of FIG. Two ceramic films A, B with a thickness of 0.3 mm each are used. Do ceramic. First, the apertures 14 to be metallized are pressed into the foil A. For this plating, platinum and alumina paste is sucked through these holes 14. A meandering resistive strip 10, a feed line 11, and a seating position 15 of cermet paste of platinum are then printed on a large area of the ceramic film A. .and. aluminum oxide. Then look at. an opposing large surface of the ceramic film A is applied by an adhesive bonding layer 13 of alumina with an increased proportion of fluxing agent omitting the aperture 14 provided in the ceramic film A, whereupon the contacts 12 of platinum and alumina are pressed in the region of these apertures.

Potom se na velkou plochu keramické fólie A, potištěnou odporovým-.páskem 10-,^-při-ponechání-volných-.-okének-17-^-ňa-tiskneÍ2olační vrstva 18 z oxidu hlinitého a na ni se vytiskne odporový pásek 20, přívodní vedeni 21 a popřípadě i přídavná dosedací místa 15. Potom se přiloží přilnavá spojovací vrstva 19 z pojivá na bázi oxidu hlinitého a nakonec další keramická fólie B z oxidu hlinitého. Vzniklý svazek naskládaných vrstev se speče neboli slinuje přibližně tříhodinovým ohřevem při teplotě 1600 °C.Thereafter, an aluminum oxide coating layer 18 is printed over a large area of the ceramic foil A printed with the resistance tape 10 while leaving the windows 17 free and the resistance tape 20 is printed thereon. Then, an adhesive bonding layer 19 of alumina-based binder is applied and finally another ceramic foil B of alumina. The resulting stack of plies is baked or sintered for approximately three hours at 1600 ° C.

Vzniklý teplotní element se vložil do neznázorněného pouzdra typu známého z DE-OS 32 06 903 a použil pro měření teploty výfukových plynů spalovacích motorů.The resulting temperature element was inserted into a housing (not shown) of the type known from DE-OS 32 06 903 and used to measure the exhaust gas temperature of internal combustion engines.

Příklad 2Example 2

Pří výrobě dalšího provedení teplotního čidla s kladným, teplotním součinitelem (PTC) se postupuje tak, jak je schematicky znázorněno na obr.2. Na velkou plochu keramické fólie A se nejprve natiskne izolační vrstva 18, při ponechání volných okének 17, která se potom potiskne odporovým páskem 20. Následně se na první izolační vrstvu 18 nanese druhá izolační vrstva Ϊ8 1 . rovněž s ponecháním volných okének 171, a rovněž se potiskne odporovým páskem 30, přívodním vedením 31 a přídavnými dosedacími místy 151 . Tímto způsobem vznikne třívrstvé uspořádání teplotního čidla s kladným teplotním součinitelem.To produce another embodiment of a PTC temperature sensor, proceed as shown schematically in FIG. On large area films having first printed insulating layer 18, while leaving open the windows 17, which is then printed with the resistive strip 20. Subsequently, the first insulating layer 18 applied to the second insulating layer Ϊ8 first also leaving the windows 17 1 free , and also printed with resistive tape 30, supply line 31 and additional abutments 15 1 . In this way, a three-layer temperature sensor arrangement with a positive temperature coefficient is formed.

Pro dohotovení teplotního čidla se, stejně jako u popsaného příkladu 1, nanese dále přilnavá spojovací vrstva 19 a druhá keramická fólie B, a takto vzniklý svazek se !To prepare the temperature sensor, as in Example 1 described above, an adhesive bonding layer 19 and a second ceramic film B are further applied, and the thus formed bundle is bonded to the surface.

slinuje. Vzniklý element teplotního čidla s kladným teplotním součinitelem se potom vložil do neznázorněného pouzdra typu známého z DE-OS 32 06 903 a použil pro měření teploty výfukových.plynu spalovacích motorů.sintering. The resulting positive temperature coefficient temperature sensor element was then inserted into a housing (not shown) of the type known from DE-OS 32 06 903 and used to measure the exhaust gas temperature of internal combustion engines.

Prostorová koncentrace měřicího odporu se může dále zvýšit tím, ze se dále zvýší počet na sobě uspořádaných odporových pásků a mezi nimi uspořádaných izolačních vrstev. Uspořádání je přitom principiálně stejné jako u třívrstvého uspořádání popsaného v příkladu 2, s příslušným zvýšením počtu .The spatial concentration of the measuring resistance can be further increased by further increasing the number of resistive strips arranged one above the other and the insulating layers arranged between them. The arrangement is in principle the same as the three-layer arrangement described in Example 2, with a corresponding increase in the number.

izolačních vrstev 18 s natištěnými odporovými pásky. Finsulation layers 18 with printed resistive tapes. F

Naskládané svazkovité uspořádání odporových pásků podle vynálezu tedy umožňuje dosažení malé plošné roztažnosti a tím dosažení jak dostatečně vysokých hodnot měřicího odporu, tak i prakticky jejich nezávislosti na teplotních gradientech ve :: výfukovém, plynu.The layer stack arrangement of the resistor tracks according to the invention thus allows to achieve small planar expansion and thereby achieve both sufficiently high resistance values, and in practice their independence from temperature gradient :: exhaust, gas.

Claims (6)

PATENTOVÉ NÁROKYPATENT CLAIMS 1. Teplotní čidlo, zejména s kladným teplotním součinitelem, zejména pro použití ve výfukovém zařízení spalovacích motorů, s jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fólií (A,B), který je hermeticky uzavřen vůči okolnímu vzduchu, s odporem, zejména s součinitelem, vytvořeným z alespoň dvou (10,20) uspořádaných nad sebou a elektricky měřenému plynu a kladným teplotním odporových pásků od sebe odizolovaných, přičemž první odporový pásek (10) s přívodním vedením (11) je natištěn na základní fólii (A) z ižóTačníhO'_keramíckéh'o materiáiu; v y~z_n~a-č-u-j—í— c- í----s -e tím, že na první odporový pásek (10) je přiložena alespoň jedna izolační vrstva (18) a alespoň jeden další odporový pásek (20) a následně je přiložena jedna další fólie (B) jako krycí fólie a je se základní fólií (A) spojena a slinována.Temperature sensor, in particular with a positive temperature coefficient, in particular for use in an exhaust system of internal combustion engines, with a single element arranged in a housing, with a multilayer structure of superimposed and bonded ceramic foils (A, B) which is hermetically sealed ambient air, with a resistance, in particular a coefficient formed of at least two (10, 20) arranged one above the other and electrically measured gas and positive temperature resistive strips insulated from each other, the first resistive strip (10) with the lead (11) being printed on the base film (A) ižóTačníhO '_ keramíckéh'o materiáiu; ye ~ z ~ _ n and - c-uj-s ---- i- c- -e with that on the first resistive strip (10) is attached at least one insulating layer (18) and at least one other resistive strip ( 20) and then one additional film (B) is applied as a cover film and is bonded and sintered to the base film (A). 2. Teplotní čidlo podle nároku 1, vyznačující s. e t ,.í. m , .. že sestává z na ,sobě naskládaných odporových -pásků—(-1-0—20-/3-0-)-?—nav-z-á^era—od—sebe—eiektr-i-cky—izolovaných,—— '3. Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že odporové pásky jsou vytvořeny meandrovítě. ' , Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že odporové pásky (10,20) elementu teplotního čidla jsou .umístěny na alespoň dvou fóliích na bázi izolačního keramického materiálu, a sice na alespoň jedné základní fólii (A) s odporovým páskem (10) a přívodním vedením (11) natištěnými zhušfovací technikou nanášení vrstev, s alespoň jednou izolační vrstvou (18) s natištěnými odporovými pásky (20,30) na ní umístěnou, a s jednou další fólií (B), která je se základní fólií (A) spojena a slinována.A temperature sensor according to claim 1, characterized in that the temperature sensor is as follows. It consists of stacked resistive strips - (-1-0-20- / 3-0-) -? - nav-z-a-era - from each other - ecologically isolated, —— '3. Temperature sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the resistance tapes are of meander type. Temperature sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the resistance strips (10, 20) of the temperature sensor element are disposed on at least two foils based on insulating ceramic material, namely on at least one base foil (A) with resistance a strip (10) and a lead (11) printed with a coating technique, with at least one insulating layer (18) having printed resistive strips (20, 30) disposed thereon, and one additional film (B) that is with the base film (A) bonded and sintered. 5. Teplotní čidlo podle nároku 4, vyznačující se t i η , že keramické fólie (A,B) s izolační vrstvy (18) jsou provedeny na základě AljO-j.Temperature sensor according to claim 4, characterized in that the ceramic films (A, B) with the insulating layers (18) are formed on the basis of AljO-j. 6. Teplotní 6. Temperature čidlo sensor podle according to j ednoho z one of them předcházej ících previous ones nároků, vyzná claims č u j č u j ící ici se tím with it , že poslední that last přiložená izolační enclosed insulation vrstva layer (18) ' (18) ' se spojí s will merge with krycí fólií (B) cover foil (B) pomocí pojivá. using binders. ’ 7. Teplotní 7. Temperature čidlo sensor podle according to j ednoho z one of them předcházej ících previous ones
nároků, vyznačující se tím, že odporové pásky (10,20,30), přívodní vedení (11), kontakty (12), otvory (14) pro pokovování, dosedací místo (15) a přídavná dosedací místa jsou provedeny z cermetové pasty.A method according to claim 1, characterized in that the resistance tapes (10, 20, 30), the lead (11), the contacts (12), the metallization holes (14), the bearing point (15) and the additional bearing points are made of cermet paste. 8. Teplotní čidlo podle nároku 7, vyznačující se tím, že cermetovou pastou je pasta z platiny a oxidu hlinitého.Temperature sensor according to claim 7, characterized in that the cermet paste is a platinum-alumina paste. 9. Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že na velké ploše základní keramické fólie (A), protilehlé k odporovému pásku (10), je' v' místě kontaktů (12) nanesená přilnavá spojovací vrstva (13), s výhodou z oxidu hlinitého se zvýšeným podílem taviči přísady.Temperature sensor according to one of the preceding claims, characterized in that an adhesive bonding layer (13) is applied over a large area of the base ceramic film (A) opposite the resistance strip (10) at the contact point (12). preferably of alumina with an increased proportion of fluxing additive. 10. Způsob výroby teplotního čidla podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačují se tím, že do první keramické fólie (A) se vylisují otvory (14), provede se pokovení, na velkou plochu keramické fólie (A) se natiskne odporový pásek (10), přívodní vedení (11) a dosedací místa (15) a na protilehlou velkou plochu keramické fólie (A), popřípadě po nanesení přilnavé spojovací vrstvy (13), se natisknou kontakty (12), že potom se na velkou plochu keramické fólie (A), potištěnou odporovým páskem (10), nanese s ponecháním volných okének (17) alespoň jedna izolační vrstva (18), tato izolační vrstva (18) se potiskne odporovým páskem (20,30) a izolační vrstva (18) nejvíce vzdálená od keramické fólie (A) se potiskne přívodním vedením (21,31), popřípadě se na, ni nanese další přilnavá spojovací vrstva (19), a spojí se a slinuje s druhou keramickou fólií tak, že vznikne naskládané uspořádání odporu.Method for producing a temperature sensor according to one of the preceding claims, characterized in that holes (14) are pressed into the first ceramic film (A), metallization is carried out, and a resistance strip (10) is printed on a large area of the ceramic film (A). , the feed line (11) and the abutment points (15) and on the opposite large surface of the ceramic film (A), optionally after application of the adhesive bonding layer (13), the contacts (12) are printed so that ), printed with a resistive tape (10), apply at least one insulating layer (18) leaving the windows (17) free, the insulating layer (18) being printed with the resistive tape (20, 30) and the insulating layer (18) furthest away from the ceramic the foil (A) is printed on the supply line (21, 31) or an additional adhesive bonding layer (19) is applied thereto and bonded and sintered with the second ceramic foil to form a stacked resistor arrangement.
CS923993A 1990-08-14 1991-07-25 Temperature transmitter and process for producing thereof CZ279661B6 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4025715A DE4025715C1 (en) 1990-08-14 1990-08-14
PCT/DE1991/000601 WO1992003711A1 (en) 1990-08-14 1991-07-25 Temperature sensor and process for producing temperature-sensor elements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ399392A3 true CZ399392A3 (en) 1993-07-14
CZ279661B6 CZ279661B6 (en) 1995-05-17

Family

ID=6412209

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS923993A CZ279661B6 (en) 1990-08-14 1991-07-25 Temperature transmitter and process for producing thereof

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5406246A (en)
EP (1) EP0543828B1 (en)
JP (1) JP3048635B2 (en)
KR (1) KR0172133B1 (en)
CZ (1) CZ279661B6 (en)
DE (2) DE4025715C1 (en)
ES (1) ES2100233T3 (en)
SK (1) SK399392A3 (en)
WO (1) WO1992003711A1 (en)

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4025715C1 (en) * 1990-08-14 1992-04-02 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
JP3203803B2 (en) * 1992-09-01 2001-08-27 株式会社デンソー Thermistor type temperature sensor
US5600296A (en) * 1993-10-14 1997-02-04 Nippondenso Co., Ltd. Thermistor having temperature detecting sections of substantially the same composition and dimensions for detecting subtantially identical temperature ranges
JPH07167714A (en) * 1993-12-15 1995-07-04 Ngk Insulators Ltd Temperature sensor and its manufacture
JP3175890B2 (en) * 1993-12-27 2001-06-11 日本碍子株式会社 Temperature sensor
WO1996025801A1 (en) * 1995-02-17 1996-08-22 Trustus Pty. Ltd. Method for partitioning a block of data into subblocks and for storing and communicating such subblocks
JPH08292108A (en) * 1995-02-23 1996-11-05 Nippondenso Co Ltd Thermistor type temperature sensor
DE19542162C2 (en) * 1995-11-11 2000-11-23 Abb Research Ltd Overcurrent limiter
DE19621001A1 (en) * 1996-05-24 1997-11-27 Heraeus Sensor Nite Gmbh Sensor arrangement for temperature measurement and method for producing the arrangement
DE19633486C1 (en) * 1996-08-20 1998-01-15 Heraeus Sensor Nite Gmbh Manufacturing method for circuit board with thin conduction paths and good solderable connection-contact regions e.g for measurement resistor or heating element
DE19731900A1 (en) * 1997-07-24 1999-02-11 Heraeus Electro Nite Int Conductive layer with variable electrical resistance, process for its manufacture and use
DE29724000U1 (en) * 1997-09-25 1999-09-09 Heraeus Electro-Nite International N.V., Houthalen Electrical sensor, in particular temperature sensor, with printed circuit board
DE19823685C2 (en) * 1998-05-27 2000-12-07 Siemens Ag Electronic control device for a motor vehicle
DE19900017C2 (en) * 1999-01-02 2003-10-30 Bosch Gmbh Robert gas sensor
DE19901184C1 (en) * 1999-01-14 2000-10-26 Sensotherm Temperatursensorik Platinum temperature sensor and method of manufacturing the same
DE19901183C2 (en) * 1999-01-14 2001-01-25 Sensotherm Temperatursensorik Platinum temperature sensor and manufacturing method for the same
US6194990B1 (en) * 1999-03-16 2001-02-27 Motorola, Inc. Printed circuit board with a multilayer integral thin-film metal resistor and method therefor
DE19934110C2 (en) * 1999-07-21 2001-07-12 Bosch Gmbh Robert Temperature sensor
DE19934109C1 (en) * 1999-07-21 2001-04-05 Bosch Gmbh Robert Temperature sensor and process for its manufacture
JP2002048655A (en) * 2000-05-24 2002-02-15 Ngk Spark Plug Co Ltd Temperature sensor and its manufacturing and controlling method
DE10045940B4 (en) * 2000-09-16 2017-08-03 Robert Bosch Gmbh temperature sensor
US6365880B1 (en) * 2000-12-19 2002-04-02 Delphi Technologies, Inc. Heater patterns for planar gas sensors
DE10225602A1 (en) 2002-06-07 2004-01-08 Heraeus Sensor-Nite Gmbh Semiconductor component with integrated circuit, heat sink and temperature sensor
DE20211328U1 (en) * 2002-07-26 2002-10-17 Günther GmbH & Co., Metallverarbeitung, 35066 Frankenberg Temperature sensor and heating device for hot runner systems
DE102004047725A1 (en) * 2004-09-30 2006-04-06 Epcos Ag sensor device
US7119655B2 (en) * 2004-11-29 2006-10-10 Therm-O-Disc, Incorporated PTC circuit protector having parallel areas of effective resistance
DE102006033856B3 (en) * 2006-07-21 2008-02-21 Georg Bernitz Temperature measuring sensor and method for its production
US20130193851A1 (en) * 2012-01-26 2013-08-01 Vishay Dale Electronics, Inc. Integrated Circuit Element and Electronic Circuit for Light Emitting Diode Applications
CN102879434B (en) * 2012-09-04 2014-08-20 中国电子科技集团公司第四十八研究所 Film ablation sensor and manufacturing method thereof
DE102012110849A1 (en) * 2012-11-12 2014-05-15 Epcos Ag Temperature sensor and method for producing a temperature sensor
WO2015163278A1 (en) 2014-04-21 2015-10-29 京セラ株式会社 Wiring substrate and temperature sensing element
JP6532259B2 (en) * 2015-03-27 2019-06-19 東京コスモス電機株式会社 Temperature sensor
DE102016101249A1 (en) 2015-11-02 2017-05-04 Epcos Ag Sensor element and method for producing a sensor element
JP6659915B2 (en) * 2017-04-26 2020-03-04 京セラ株式会社 Temperature sensor and temperature measurement device
CN107084801B (en) * 2017-06-27 2023-05-05 深圳刷新生物传感科技有限公司 High-precision integrated thermosensitive circuit capable of quick response and manufacturing method thereof
JP6842600B2 (en) * 2018-08-10 2021-03-17 Ｓｅｍｉｔｅｃ株式会社 A device equipped with a temperature sensor and a temperature sensor
JP6668426B2 (en) * 2018-08-27 2020-03-18 東京コスモス電機株式会社 Temperature sensor
DE202018004354U1 (en) * 2018-09-19 2018-10-15 Heraeus Sensor Technology Gmbh Resistor component for surface mounting on a printed circuit board and printed circuit board with at least one resistor component arranged thereon
US11114223B1 (en) 2020-07-27 2021-09-07 Tronics MEMS, Inc. Three-dimensional thermistor platform and a method for manufacturing the same
EP3961170A1 (en) * 2020-08-27 2022-03-02 Heraeus Nexensos GmbH Temperature sensor and method for manufacturing such a temperature sensor
FR3116116B1 (en) * 2020-11-12 2022-11-18 Commissariat Energie Atomique Improved heat transfer coefficient determination system

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE250576C (en) *
DE2919433C2 (en) * 1979-05-15 1987-01-22 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Measuring probe for measuring the mass and/or temperature of a flowing medium
DE7931134U1 (en) * 1979-11-03 1980-02-28 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart FAST TEMPERATURE SENSOR FOR AN INTERNAL COMBUSTION ENGINE
DE3017947A1 (en) * 1980-05-10 1981-11-12 Bosch Gmbh Robert ELECTROCHEMICAL SENSOR FOR DETERMINING THE OXYGEN CONTENT IN GAS AND METHOD FOR PRODUCING SENSOR ELEMENTS FOR SUCH SENSOR
DE3029446A1 (en) * 1980-08-02 1982-03-11 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart THICK LAYER ARRANGEMENT
DE3111948A1 (en) * 1981-03-26 1982-10-07 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart FAST TEMPERATURE SENSOR FOR AN INTERNAL COMBUSTION ENGINE
DE3206903A1 (en) * 1982-02-26 1983-09-15 Bosch Gmbh Robert GAS SENSOR, ESPECIALLY FOR EXHAUST GAS FROM COMBUSTION ENGINES
JPS59995A (en) * 1982-06-16 1984-01-06 富士通株式会社 Method of producing copper conductor multilayer structure
DD250576A1 (en) * 1983-11-03 1987-10-14 Hermsdorf Keramik Veb TEMPERATURE-SENSITIVE ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
US4579643A (en) * 1983-11-18 1986-04-01 Ngk Insulators, Ltd. Electrochemical device
DD221297A1 (en) * 1983-12-14 1985-04-17 Adw Ddr METHOD FOR PRODUCING DENSITY COAT RESISTIVES OF HIGH PRECISION
US4645552A (en) * 1984-11-19 1987-02-24 Hughes Aircraft Company Process for fabricating dimensionally stable interconnect boards
JPS61138156A (en) * 1984-12-11 1986-06-25 Ngk Spark Plug Co Ltd Air-fuel ratio detector
JPS61147155A (en) * 1984-12-20 1986-07-04 Ngk Insulators Ltd Electrochemical device
EP0276291A4 (en) * 1986-07-24 1988-11-16 Schwebel Fiberglass A method of treating glass surfaces with coupling agents and resins to provide an improved surface for bonding a final resin.
DE3733192C1 (en) * 1987-10-01 1988-10-06 Bosch Gmbh Robert PTC temperature sensor and method for producing PTC temperature sensor elements for the PTC temperature sensor
JP2564845B2 (en) * 1987-09-04 1996-12-18 株式会社村田製作所 Platinum temperature sensor
DE3733193C1 (en) * 1987-10-01 1988-11-24 Bosch Gmbh Robert NTC temperature sensor and process for the production of NTC temperature sensor elements
DE3806308A1 (en) * 1988-02-27 1989-09-07 Bosch Gmbh Robert Temperature sensor
DE4025715C1 (en) * 1990-08-14 1992-04-02 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De

Also Published As

Publication number Publication date
US5406246A (en) 1995-04-11
KR930701731A (en) 1993-06-12
EP0543828B1 (en) 1997-04-16
CZ279661B6 (en) 1995-05-17
ES2100233T3 (en) 1997-06-16
EP0543828A1 (en) 1993-06-02
JP3048635B2 (en) 2000-06-05
DE4025715C1 (en) 1992-04-02
SK399392A3 (en) 1993-09-09
WO1992003711A1 (en) 1992-03-05
DE59108665D1 (en) 1997-05-22
JPH06500628A (en) 1994-01-20
KR0172133B1 (en) 1999-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ399392A3 (en) Temperature transmitter and process for producing thereof
KR970003282B1 (en) Ptc temperature sensors, processor for producing ptc temperature sensing elements for ptc temperature sensors
US4505806A (en) Oxygen sensor
JPH0221545B2 (en)
JPH07190863A (en) Temperature sensor
US8470147B2 (en) Co-fired gas sensor
JP4125849B2 (en) Oxygen sensor element
JP4583187B2 (en) Ceramic heater element and detection element using the same
JP3860768B2 (en) Oxygen sensor element
JP2002156355A (en) Gas sensor element and gas concentration measuring device having the same
JP3793563B2 (en) Manufacturing method of oxygen sensor
JP3874691B2 (en) Gas sensor element and gas sensor
JP3850286B2 (en) Oxygen sensor
JP2002357589A (en) Gas sensor element and gas sensor
JP4113479B2 (en) Oxygen sensor element
JPS61167857A (en) Gaseous oxygen sensor
JP4540222B2 (en) Oxygen sensor and manufacturing method thereof
JPH03103760A (en) Gas detector
JPS6034064B2 (en) Stacked membrane structure oxygen sensor
JP2002202280A (en) Gas sensor element and gas sensor equipped with the same
JPH0522178B2 (en)
JP4565739B2 (en) Air-fuel ratio sensor element
JP3677479B2 (en) Oxygen sensor element
JP2001033422A (en) Heater integral-type oxygen sensor element
JPH04160790A (en) Heater substrate

Legal Events

Date Code Title Description
IF00 In force as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20000725