CZ322596A3 - Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění - Google Patents

Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění Download PDF

Info

Publication number
CZ322596A3
CZ322596A3 CZ963225A CZ322596A CZ322596A3 CZ 322596 A3 CZ322596 A3 CZ 322596A3 CZ 963225 A CZ963225 A CZ 963225A CZ 322596 A CZ322596 A CZ 322596A CZ 322596 A3 CZ322596 A3 CZ 322596A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
radiation
analyzed
rotator
optically active
components
Prior art date
Application number
CZ963225A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ284282B6 (cs
Inventor
Petr Heřman
Jaroslav Večeř
Original Assignee
Petr Heřman
Jaroslav Večeř
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Petr Heřman, Jaroslav Večeř filed Critical Petr Heřman
Priority to CZ963225A priority Critical patent/CZ284282B6/cs
Priority to US09/297,284 priority patent/US6373569B1/en
Priority to PCT/CZ1997/000039 priority patent/WO1998020313A1/en
Priority to AU46978/97A priority patent/AU4697897A/en
Publication of CZ322596A3 publication Critical patent/CZ322596A3/cs
Publication of CZ284282B6 publication Critical patent/CZ284282B6/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/30Polarising elements
    • G02B5/3083Birefringent or phase retarding elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/447Polarisation spectrometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění
Oblast techniky
Vynález se týká určování spektrálního složení elektromagnetického záření, zejména světla.
Dosavadní stav techniky
V současné době existují dva základní fyzikální postupy při určování spektrálního složení světla využívající buď úhlového spektrálního rozkladu světla nebo jevu interference světla.
Při metodě úhlového spektrálního rozkladu světelný paprsek interaguje s vhodným optickým elementem a v závislosti na vlnové délce mění směr svého šíření. Jednotlivé spektrální komponenty jsou tak prostorově odděleny a mohou být nezávisle analyzovány. Prostorová separace spektrálních komponent je založena buď na disperzi indexu lomu světla v prostředích optických hranolů a nebo na vlastnostech optické mřížky, kdy úhel odrazu dopadajícího záření závisí na jeho vlnové délce. Komerčně vyráběná zařízení využívající těchto principů se nazývají monochromátory. Užívají se běžně v ultrafialové, viditelné a infračervené oblasti spektra.
Nevýhodou těchto zařízení je, že mění geometrické parametry analyzovaného svazku světla, jednoduše neumožňují měření dvojdimenzionálních spektrálních map a mají obvykle malou světelnou propustnost zejména v ultrafialové oblasti spektra.
Základem spektrometrů založených na přímém užití jevu interference světla je Michelsonův interferometr. Analyzované světlo je rozštěpeno na dva interferující svazky a v závislosti na změně délky jednoho z ramen interferometru je měřen tzv. interferogram, ze kterého je možno pomocí metod Fourierovské analýzy spočítat spektrum zkoumaného záření.
ti ··· · • · ·· · · · · · · · • · · · · · · _ ··· ·· ··· ···· ·· 4
Interferometrická měření spekter jsou nejčastěji užívána v infračervené oblasti spektra, neboť pro delší vlnové délky záření je možno snáze dosáhnout požadované přesnosti nastavení polohy pohyblivého zrcadla interferometru.
---------------Nevýhodou tohoto způsobu analýzy je, že se jedná o složitá a drahá zařízení velkých rozměrů neumožňující měření vUV oblasti spektra. Jejich činnost vyžaduje velmi přesnou mechaniku pohyblivých součástí a jsou tedy značně citlivá na vnější vlivy, například na změny teploty, vibrace, vlhkost vzduchu atd..
Podstata vynálezu
Podstata vynálezu spočívá v zavedení nové fyzikální metody pro určení spektrálního složení elektromagnetického záření, speciálně světla, a v navržení a konstrukci zařízení, které na principu této metody pracuje. Podstatou způsobu určení spektrálního složení elektromagnetického záření, zejména světla, je, že se analyzovaný svazek záření převede na lineárně polarizovaný rovnoběžný svazek záření a toto kolimované polarizované záření se podrobí optické rotaci prostřednictvím opticky aktivního levo- a/nebo pravotočivého prostředí s disperzí optické rotace. Tím dochází k otočení roviny polarizace jednotlivých spektrálních komponent záření v závislosti na jejich vlnové délce. Takto vzniklý rovnoběžný svazek se opět polarizuje v rovině, svírající s rovinou polarizace lineárně polarizovaného analyzovaného záření úhel φο v rozmezí 0 - 90°. Poté se změří výstupní intenzita svazku analyzovaného záření. Pomocí změny parametru (p) opticky aktivního prostředí se dále postupně mění optická rotace tohoto prostředí a tím tedy i úhel rotace φ (λ,ρ) roviny polarizace záření v závislosti na vlnové délce. Uvedený postup se opakuje pro různé hodnoty parametru (p), čímž se získá funkční závislost velikosti výstupní intenzity svazku analyzovaného záření na změně parametru (p), tak zvaný rotogram. Z této závislosti se matematickou analýzou, s výhodou metodou maximální entropie, určí hledané spektrum analyzovaného elektromagnetického záření.
Při určování spektrálního složení světla bodového zdroje světla prochází kolimované polarizované záření opticky aktivním prostředím vykazujícím stejnou disperzi optické rotace v celém průřezu svazku analyzovaného záření a výstupní intenzita je měřena sekvenčně
jednokanálovým detektorem.
Pri určování spektrálního složení světla plošného zdroje světla prochází kolimované polarizované záření opticky aktivním prostředím vykazujícím stejnou disperzi optické rotace v
............- celém průřezu svazku analyzovaného záření a výstupní intenzita je měřena sekvenčně mnohokanálovým detektorem, výhodně diodovou maticí.
f*
Parametrem (p) je s výhodou efektivní tloušťka opticky aktivního prostředí ve směru íá šíření svazku.
Další možností provádění tohoto způsobů je, že se kolimované polarizované záření, které je spektrálně homogenní v průřezu svazku, podrobí optické rotaci v prostředí s disperzí optické rotace měnící se ve zvoleném směru průřezu svazku analyzovaného záření a celá závislost jeho intenzity na parametru (p) v tomto směru je změřena simultánně. Parametrem (p) je zde rozdíl dráhy světla v levo- a pravo-točivém aktivním prostředí, měnící se v tomto zvoleném směru.
Je-li výsledkem matematické analýzy závěr, že se jedná o monochromatické záření, určí se z délky periody rotogramu jeho vlnová délka. V tomto případě se tedy jedná o metodu rychlého určování vlnové délky monochromatického elektromagnetického záření, k jejímuž konečnému výpočtu jes výhodou použito poloh minim nebo maxim rotogramu.
Zařízení k provádění uvedeného způsobu sestává z kolimačního optického systému a jedno- nebo mnohokanálového detektoru a jeho podstatou je, že mezi optický systém a detektor je zařazen první polarizátor, rotátor a druhý polarizátor. Rotátor je sestaven z komponent tvořených z levo- a/nebo pravotočivých jednoosých krystalů opticky aktivních látek, kde optické osy těchto krystalů jsou vždy orientovány ve směru průchodu analyzovaného světla. Výhodnéje, jsou-li jako krystaly použity krystaly křemene.
Rotátor může být vytvořen různým způsobem. V jednom provedení je sestaven ze dvou, vzájemně pohyblivých komponent tvaru klínovitých těles stejného směru stáčivosti, kde součet tlouštěk těchto těles přes celý průřez analyzovaného svazku záření je v každé jejich vzájemné poloze stále stejný.
Před rotátor lze, ve směru průchodu analyzovaného světla, zařadit kompenzační destička opačné stáčivosti než je stáčivost komponent.
V dalším provedení je rotátor sestaven ze dvou navzájem nepohyblivých komponent tvaru klínovitých těles opačné stáčivosti, kde součet tlouštěch těchto těles přes celý průřez analyzovaného svazku záření je stejný.
Další možností je, že rotátor sestává ze dvou komponent, z nichž každá je vytvořena ze dvou částí tvaru klínovitých těles s opačnou stáčivosti a má stejnou tloušťku v celém průřezu analyzovaného svazku záření. Tyto komponenty jsou orientovány k sobě částmi se stejnou stáčivosti a jsou navzájem posuvné ve směru kolmém na průchod analyzovaného světla.
Výhodou způsobu určování spektrálního složení elektromagnetického světla a zařízení využívajících nové metody podle vynálezu je, že se nemění geometrie, tedy paralelnost, analyzovaného svazku záření. Zařízení k realizaci tohoto nového způsobu lze jednoduše adaptovat pro použití v existujících zařízeních, jako jsou například mikroskopy, teleskopy, kamery a podobně. Další výhodou je, že tato zařízení mají malé rozměry. Z technického hlediska dávají možnost simultánního měření dvojdimenzionálních spektrálních map, mají vysokou světelnou propustnost v ultrafialové a viditelné oblasti spektra. Tato zařízení jsou výrobně jednoduchá a levná. Pro svoji jednoduchost a odolnost jsou vhodná pro použití v extrémních podmínkách.
Nová metoda tedy využívá fyzikálního jevu disperze optické rotace, kdy se rovina polarizace lineárně polarizovaného světla procházejícího aktivním prostředím vhodného optického elementu, nazvaného rotátor, stáčí v závislosti na vlnové délce záření. Je-li celková intenzita rovnoběžného svazku polarizovaného polychromatického světelného záření I=Jl(Á)dX, je po průchodu rotátorem a analyzujícím polarizátorem, tedy analyzátorem, v závislosti na parametrup naměřen tak zvaný rotogram R(p) ve tvaru:
R(P) = \ I( ) cos2 [φ/φ( λ, ρ)]άλ λ
kde Ι(λ) je spektrum analyzovaného záření, φο úhel mezi směrem propustnosti analyzátoru a rovinou polarizace lineárně polarizovaného analyzovaného záření a φ(λ,ρ) úhel rotace roviny polarizace záření o vlnové délce λ po průchodu rotátorem charakterizovaným parametrem p. Vzhledem k Ι(λ) je rovnice (1) tzv. Fredholmovou integrální rovnicí prvního druhu [1] s keřnélem Κ(λ,ρ)=0θ82ο+φ(λ,ρ)]ί Je-li změřena funkce R(p), jě možno rovnici(1) řešit, výhodně metodou maximální entropie (MEM) [2], a určit tak jednoznačně spektrum Ι(λ), přestože jiné klasické postupy k cíli nevedou. Ve speciálním případě pro materiál se specifickou rotací ϋ(λ) může být parametrem p jeho nastavitelná tloušťka ve směru průchodu záření, což dává φ(λ,ρ)=ρ.ϋ(λ).
V zařízení pracujícím na výše uvedeném principu prochází lineárně polarizovaný rovnoběžný svazek záření nejdříve optickým rotátorem, kde dochází k otočení roviny polarizace jednotlivých spektrálních komponent záření v závislosti na jejich vlnové délce, dále analyzátorem a dopadá na detektor, kterým je změřena funkce R(p) v závislosti na parametru p. Ze vztahu (1) je potom vypočteno hledané spektrum Ι(λ).
Přehled obrázků na výkresech
Podstata způsobu určování spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění budou dále vysvětleny pomocí přiložených výkresů. Na obr.l a 2 jsou schematicky naznačeny různé možnosti provedení rotátoru, na obr.3 je jedno možné provedení zařízení k provádění způsobu podle vynálezu, na obr.4 je uveden příklad rotogramu, obr. 5 znázorňuje spočítané spektrum Ι(λ) a na obr.6 je další příklad provedení zařízení podle vynálezu.
Příklady provedení vynálezu
V zkonstruovaném zařízení bylo použito jednoho z možných konstrukčních řešení rotátoru vyrobeného z levo- a pravotočivé formy krystalů křemene podle obr, 1. Rotátor zde sestává ze dvou levotočivých (-) hranolů I a 2 a pravotočivé (+) kompensační destičky 3, přičemž funkce rotátoru se nezmění, jsou-li použity pravotočivé hranoly a levotočivá
kompensační destička. Všechny tři komponenty jsou zhotoveny a sestaveny tak, aby jimi světlo procházelo přesně ve směru optické osy o, což zajišťuje jejich správnou funkci. Posuvem většího hranolu 1 o vzdálenost x, po styčné ploše s menším hranolem 2 z polohy, kdy světlo prochází stejnou dráhu d v obou opačně stáčejících prostředích d(+-d(_), dojde ke změně efektivní tloušťky aktivního prostředí rotátoru o p=d( ) - d(“')= x.sina, kde směr posuvu a úhel «jsou naznačeny v obr.l. Pro různé posuvy x tak lze získat rotogram R(p) a z něj spočítat hledané spektrum.
V určitých aplikacích může být změna tloušťky popsaného rotátoru nevýhodná. Tento nedostatek odstraňuje rotátor znázorněný na obr.2. Rotátor se skládá ze čtyř geometricky identických hranolů křemene Í3, 14, 15, 16, z nichž dva 13, 16 jsou pravotočivé a dva 14, 15 jsou levotočivé. Všechny hranoly 13, 14, 15, 16 jsou opět orientovány tak, aby jimi světlo procházelo ve směru optické osy. Posuvem dvojice vzájemně nepohyblivých hranolů 15, 16 vůči vzájemně nepohyblivým hranolům 13, 14 kolmo na směr šíření světelného paprsku ve směru osy x, dojde ke změně parametru p=d(+) - dw= 2x . tga v celém průřezu svazku, což zaručuje stejné otočení roviny polarizace paprsků téže vlnové délky v dané poloze hranolů v celém průřezu svazku a stejnou délku aktivního prostředí rotátoru ve směru šíření světla při libovolném posuvu.
Příklad 1
Jednokanálová metoda měření spektra bodového zdroje světla: V zařízení podle obr.3 je světlo vycházející z apertury 4 kolimováno optickým systémem 5 a lineárně polarizováno polarizátorem 6. Poté prochází rotátorem 7, analyzátorem 8 a je zobrazeno optickým systémem 9 na jednokanálový detektor 10, kterým je změřen rotogram R(p). Toto zařízení bylo experimentálně sestaveno a jeho funkce ověřena včetně výpočtu spektra Ι(λ) metodou maximální entropie.
Na obr.4 a 5 je uveden ilustrační příklad měření a analýzy části spektra kalibrační rtuťové výbojky v oblasti 260-400 nm. Na obr.4 je znázorněn experimentálně změřený rotogram (prázdná kolečka) a jeho fit podle vztahu (1) zobrazený plnou čarou, na obr.5 potom spočítané spektrum Ι(λ). Novou metodou byly určeny všechny čáry použité rtuťové lampy pozorované pro kontrolu též mřížovým spektrometrem. Určené spektrální polohy čar pro námi použité diskrétní dělení osy vlnových délek (lnm/bod) se shodují s tabelovanými hodnotami čárového spektra rtuti [3], pouze maximum na 294.3 nm odpovídá superpozici dvou nerozlišených čar. K jejich určení a dalšímu zúžení ostatních spočtených čar je třeba přesnějších experimentálních dat rotogramu R(p).
Tato metoda umožňuje též jednoduché určení vlnové délky λο monochromatického záření. Pro monochromatické záření a rotátor popsaný výše (obr.l) má rovnice (1) tvar R(p)=I. cos2[q>o+p D(Xo)], kde p=x. siná. Z její periodicity, např. z polohy maxim nebo minim, je možno vypočítat specifickou rotaci ϋ(λ0) a určit jí odpovídající vlnovou délku λο, buď opět výpočtem, je-li D(X) analyticky vyjádřena, nebo odečtem z tabulky, pokud je funkce D(X) tabelo vána. Tento postup je možno výhodně využít k určení vlnové délky světla např. při přelaďování barvivových laserů.
Příklad 2
Simultánní mnohokanálové měření spekter plošného zdroje světla - spektrální analýza obrazu (mikroskop, kamera, teleskop atd.): Na rozdíl od jednokanálové metody uvedené na obr.3, je optickým systémem 5 místo bodového zdroje světla zobrazován plošný zdroj světla a k detekci záření je místo jednokanálového detektoru 10 použit plošný mnohokanálový detektor. Různé elementy sledovaného plošného světelného zdroje se zobrazí na různé detekční elementy mnohokanálového detektoru, který simultánně změří jim odpovídající rotogramy. Jejich vyhodnocením je získána plošná spektrální mapa sledovaného objektu.
Příklad 3
Mnohokanálové měření spektra jediného bodového zdroje světla: Princip metody je znázorněn na obr.6, a to pro speciální případ rotátoru 11 vyrobeného ž krystalů křemene. Tento speciální rotátor 11 sestává ze dvou vzájemně nepohyblivých hranolů opačné stáčivosti. Parametr p = d(+)- d(~)= 2x , tga se mění napříč tímto speciálním rotátorem 1T ve směru osy x lineárního mnohokanálového detektoru 12. Čárkovaně je znázorněna dráha světelného paprsku, pro níž nedochází k rotaci roviny polarizace světla pro žádnou vlnovou délku (p=0). Funkce R(p) je simultánně měřena v celém intervalu hodnot parametru p. Korekci R(p) na změnu intenzity světla napříč svazkem analyzovaného záření ve směru osy x je možno provést ·· · · · · měřením s vyjmutým analyzátorem 8.
Průmyslová využitelnost
...... Vynález lze použít všudetam, kde je třeba analyzovat spektrální složení.světla. Může se jednat o velmi citlivé vědecké přístroje, například absorpční nebo emisní spektrografy, s vysokou světelností nebo malé kompaktní doplňky ke stávajícím optickým zařízením např. k mikroskopům, teleskopům, kamerám atd., po jejichž instalaci lze s uvedenými zařízeními « provádět spektrální analýzu obrazu. Tyto přístroje mohou najít uplatnění v astronomii, v dálkovém průzkumu Země např. při zemědělských, ekologických a vojenských aplikacích a dále mimo jiné ve fyzice, chemii, biologii nebo medicíně.
Literatura [1] Press W. H., Teukolski S. A., Wetterling W. T. and Flannery Β. P.: Integrál Equations and Inverse Theory in Numerical Recipies in Fortran, Cambridge University Press, 1992, p.779 [2] Skilling J. and Bryan R. K.: Maximum entropy image reconstruction: generál algorithm, Mon. Not. R. astr. Soc., 211 (1984) 111-124 [3] Valouch M.: Pětimístné logaritmické tabulky a tabulky konstant, SNTL, Praha, 1967

Claims (12)

PATENTOVÉ NÁROKY
1. Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření, zejména světla kdy se analyzovaný svazek záření převede na lineárně polarizovaný rovnoběžný svazek záření, vyznačující se tím, že se analyzovaný svazek záření převede na lineárně polarizovaný rovnoběžný svazek záření a toto kolimované polarizované záření se podrobí optické rotaci prostřednictvím opticky aktivního levo- a/nebo pravotočivého prostředí s disperzí optické rotace, čímž dochází k otočení roviny polarizace jednotlivých spektrálních komponent záření v závislosti na jejich vlnové délce, takto vzniklý rovnoběžný svazek se opět polarizuje v rovině, svírající s rovinou polarizace lineárně polarizovaného analyzovaného záření úhel φο = 0 - 90°, načež se změří výstupní intenzita svazku analyzovaného záření, poté se pomocí změny parametru (p) opticky aktivního prostředí postupně mění optická rotace tohoto prostředí a tím tedy i úhel rotace φ (λ,ρ) roviny polarizace záření v závislosti na vlnové délce, tento uvedený postup se opakuje pro různé hodnoty parametru (p), čímž se získá funkční závislost velikosti výstupní intenzity svazku analyzovaného záření na změně parametru (p), tak zvaný rotogram, a z této závislosti se matematickou analýzou, s výhodou metodou maximální entropie, určí hledané spektrum analyzovaného elektromagnetického záření.
2. Způsob podle nároku 1 vyznačující se tím, že při určování spektrálního složení světla bodového zdroje světla prochází kolimované polarizované záření opticky aktivním prostředím vykazujícím stejnou disperzi optické rotace v celém průřezu svazku analyzovaného záření a výstupní intenzita je měřena sekvenčně jednokanálovým detektorem.
3. Způsob podle nároku 1 vyznačující se tím, že při určování spektrálního složení světla plošného zdroje světla prochází kolimované polarizované záření opticky aktivním prostředím vykazujícím stejnou disperzi optické rotace v celém průřezu svazku analyzovaného záření a výstupní intenzita je měřena sekvenčně mnohokanálovým detektorem, výhodně diodovou maticí.
4. Způsob podle nároku 2 a 3 vyznačující se tím, že parametrem (p) je efektivní tloušťka opticky aktivního prostředí ve směru šíření svazku.
• · ··· · • · · · ···· · * · • ·· · · · · · • · · · · · · ···· • · · · · · · ··· ·· ··· ···· ·· *
5. Způsob podle nároku 1 vyznačující se tím, že kolimované polarizované záření, které je spektrálně homogenní v průřezu svazku, se podrobí optické rotaci v prostředí s disperzí optické rotace měnící se ve zvoleném směru průřezu svazku analyzovaného záření a celá závislost jeho intenzity na parametru (p) v tomto směru je změřena simultánně.
6. Způsob podle nároku 1 až 5 vyznačující se tím, že je-li výsledkem matematické analýzy závěr, že se jedná o monochromatické záření, určí se z délky periody rotogramu jeho vlnová délka.
7. Zařízení k provádění způsobu podle nároku 1 až 6 sestávající z kolimačního optického systému a jedno- nebo mnohokanálového detektoru, vyznačující se tím, že mezi optický systém (3) a detektor (10, 12) je zařazen první polarizátor (6), rotátor (7) a druhý pólarizátor (8), kde rotártor (7) je sestaven z komponent tvořených z levo- a/nebo pravotočivých jednoosých krystalů opticky aktivních látek, kde optické osy těchto krystalů jsou orientovány ve směru průchodu analyzovaného světla.
8. Zařízení k provádění způsobu podle nároku 7vyznačující se tím, že krystaly jsou krystaly křemene.
9. Zařízení k provádění způsobu podle nároku 7a8vyznačující se tím, že rotátor (7) je sestaven ze dvou, vzájemně pohyblivých komponent tvaru klínovitých těles stejného směru stáčivosti, kde součet tlouštěk těchto těles přes celý průřez analyzovaného svazku záření je v každé jejich vzájemné poloze stejný.
10. Zařízení k provádění způsobu podle nároku 9 vyznačující se tím, že před rotátor (7) je ve směru průchodu analyzovaného světla zařazena kompenzační destička (3) opačné stáčivosti než je stáčivost komponent.
11. Zařízení k provádění způsobu podle nároku 7a8vyznačující se tím, že rotátor (7) je sestaven ze dvou navzájem nepohyblivých komponent tvaru klínovitých těles opačné stáčivosti, kde součet tlouštěk těchto těles přes celý průřez analyzovaného svazku záření je stejný.
• · ··· ·
12. Zařízení k provádění způsobu podle nároku 7a8vyznačující se tím, že sestává ze dvou komponent, z nichž každá je vytvořena ze dvou částí (13, 14) a (15, 16) tvaru klínovitých těles s opačnou stáčivostí a má stejnou tloušťku v celém průřezu analyzovaného svazku záření, kde tyto komponenty jsou orientovány k sobě částmi se stejnou stáčivostí a.jsou navzájem posuvné ve směru kolmém na průchod analyzovaného světla.
CZ963225A 1996-11-04 1996-11-04 Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění CZ284282B6 (cs)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ963225A CZ284282B6 (cs) 1996-11-04 1996-11-04 Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění
US09/297,284 US6373569B1 (en) 1996-11-04 1997-11-03 Method and device for the spectral analysis of light
PCT/CZ1997/000039 WO1998020313A1 (en) 1996-11-04 1997-11-03 Method and device for the spectral analysis of light
AU46978/97A AU4697897A (en) 1996-11-04 1997-11-03 Method and device for the spectral analysis of light

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ963225A CZ284282B6 (cs) 1996-11-04 1996-11-04 Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ322596A3 true CZ322596A3 (cs) 1998-05-13
CZ284282B6 CZ284282B6 (cs) 1998-10-14

Family

ID=5466348

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ963225A CZ284282B6 (cs) 1996-11-04 1996-11-04 Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6373569B1 (cs)
AU (1) AU4697897A (cs)
CZ (1) CZ284282B6 (cs)
WO (1) WO1998020313A1 (cs)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6646743B2 (en) * 1996-11-04 2003-11-11 Petr Herman Method and device for the spectral analysis of light
CZ20001015A3 (en) * 2000-03-20 2001-05-16 Jaroslav Vecer Analysis method of spectral distribution of light and apparatus for making the same
JP2001272581A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Ando Electric Co Ltd 偏光依存性の少ない受光モジュールおよび受光方法
US7170679B2 (en) * 2002-09-18 2007-01-30 Vision Quest Lighting, Inc. Optically active color filter
CZ297523B6 (cs) * 2002-10-04 2007-01-03 Způsob určení barvy světla
US7796259B2 (en) * 2008-07-09 2010-09-14 Weifour, Inc. Rapid acquisition ellipsometry

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1386963A (en) * 1971-03-10 1975-03-12 Nat Res Dev Testing of optically active substances
US3737235A (en) * 1972-02-10 1973-06-05 Cary Instruments Polarization interferometer with beam polarizing compensator
US4042302A (en) * 1976-03-10 1977-08-16 Westinghouse Electric Corporation Broadband wavelength discriminator
US4905169A (en) 1988-06-02 1990-02-27 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method and apparatus for simultaneously measuring a plurality of spectral wavelengths present in electromagnetic radiation
ES2061011T3 (es) * 1989-03-03 1994-12-01 Buehler Ag Geb Interferometro de polarizacion.
US5208651A (en) 1991-07-16 1993-05-04 The Regents Of The University Of California Apparatus and method for measuring fluorescence intensities at a plurality of wavelengths and lifetimes
US5949480A (en) * 1997-03-03 1999-09-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Broad band imaging spectroradiometer

Also Published As

Publication number Publication date
AU4697897A (en) 1998-05-29
US6373569B1 (en) 2002-04-16
CZ284282B6 (cs) 1998-10-14
WO1998020313A1 (en) 1998-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8098379B2 (en) Planar lightwave fourier-transform spectrometer
US5706212A (en) Infrared ellipsometer/polarimeter system, method of calibration, and use thereof
US6856384B1 (en) Optical metrology system with combined interferometer and ellipsometer
KR101460802B1 (ko) 위상차 측정 방법 및 장치
JP2022504731A (ja) スナップショットエリプソメータ
CZ322596A3 (cs) Způsob určení spektrálního složení elektromagnetického záření a zařízení k jeho provádění
JP2009092569A (ja) 屈折率計
WO2005111557A1 (en) Interferometer and fourier transform spectrometer
JP2000509830A (ja) フォトアレイ検出器を備える回帰較正による回転補正器型分光エリプソメータシステム
US6646743B2 (en) Method and device for the spectral analysis of light
Kovalev et al. A wide-range spectroscopic ellipsometer with switching of orthogonal polarization states based on the MDR-41 monochromator
US20060126067A1 (en) Crystal grating apparatus
CN103759831B (zh) 基于弹光效应的光谱测量装置及光谱测量方法
CZ20001015A3 (en) Analysis method of spectral distribution of light and apparatus for making the same
Weng et al. A novel filter wheel for multi-channel switching and polarization rotation
RU2801066C1 (ru) Устройство для калибровки дихрографов кругового дихроизма
JPS58727A (ja) フ−リエ変換分光装置
RU2102700C1 (ru) Двухлучевой интерферометр для измерения показателя преломления изотропных и анизотропных материалов
RE JP Analysis of The Optical Parallax of The Reflection Prism Measured by The Method of Changing Angle and Phase Shifting
Tentori-Santa-Cruz et al. High-accuracy critical angle refractometry
Lévesque et al. Polarization artefacts correction procedure for a spectro-polarimetric goniometer
Kakauridze et al. Real-Time Polarization-Holographic Stokes-Astropolarimeter For Observations Of Stars And Fxtended Objects
Naik Hyperspectral Radiometer and Ultraviolet Spectrometer Design
Buijs Infrared spectroscopy
RU2248536C1 (ru) Монохроматор для спектрофотометров

Legal Events

Date Code Title Description
IF00 In force as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20031104