CZ307169B6 - Kompaktní systém pro charakterizaci spektra a profilu intenzity svazku krátkovlnného záření - Google Patents
Kompaktní systém pro charakterizaci spektra a profilu intenzity svazku krátkovlnného záření Download PDFInfo
- Publication number
- CZ307169B6 CZ307169B6 CZ2016-661A CZ2016661A CZ307169B6 CZ 307169 B6 CZ307169 B6 CZ 307169B6 CZ 2016661 A CZ2016661 A CZ 2016661A CZ 307169 B6 CZ307169 B6 CZ 307169B6
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- compact system
- diffractive element
- spectral
- intensity profile
- screen
- Prior art date
Links
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 21
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title description 13
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/429—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to measurement of ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0237—Adjustable, e.g. focussing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0262—Constructional arrangements for removing stray light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0289—Field-of-view determination; Aiming or pointing of a spectrometer; Adjusting alignment; Encoding angular position; Size of measurement area; Position tracking
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J2003/1842—Types of grating
- G01J2003/1847—Variable spacing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/10—Different kinds of radiation or particles
- G01N2223/101—Different kinds of radiation or particles electromagnetic radiation
- G01N2223/1016—X-ray
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Description
Uvedený vynález se týká charakterizace svazků elektromagnetického záření v části spektra od vakuového ultrafialového záření (VUV) až po rentgenové záření, tj. v rozsahu vlnových délek od řádově desetin nm (RTG) po stovky nm (VUV). Pomocí navrhovaného zařízení je možné určit intenzitní profil charakterizovaného svazku a také jeho spektrum.
Dosavadní stav techniky
Existuje celá škála spektrometrů vhodných pro charakterizaci z oblasti spektra VUV až měkkého rentgenového záření, žádný ale neumožňuje sledování profilu dopadajícího svazku, proto je spektrometr většinou doplněn nebo nahrazen dalším detektorem určeným pro měření intenzitního profilu svazku. Použití dvou nezávislých detektorů je nákladné a může způsobit komplikace při vyhodnocování získaných dat, neboť přesná vzájemná kalibrace detektorů může být poměrně náročná.
Za nejbližší stav techniky může být považován patentový dokument US 2012/0 154 902, který zmiňuje UV-XUV spektrometr jako součást komplexnějšího zařízení. Tento spektrometr obsahuje vstupní štěrbinu, která kolimuje XUV svazek přicházející z interakční komory; XUV reflexní mřížku; a detektor k charakterizaci rozptýleného záření na mřížce, přičemž detektor může být polohově nastavitelný. Dokument rovněž zmiňuje možnost rotace mřížky pro účely optimalizace dopadajícího svazku. Pod výše uvedeným pojmem charakterizace rozptýleného záření chápe odborník v oboru popis rozloženého záření podle vlnové délky. Tento koncept spektrometru je znám odborníkovy v oboru, avšak neřeší otázku monitorování profilu intenzity záření bez vzájemné kalibrace dvou zařízení.
Přihláška vynálezu US 2013/0 107 899 se zabývá laserovým zařízením obsahující, kromě jiného, spektrální detekční jednotku, což je pro odborníka v oboru známo jako spektrometr. Tato spektrální detekční jednotka může měřit spektrum laserového svazku. K celkové spektrální charakterizaci svazku a charakterizaci střední hodnoty vlnové délky a její intenzity je však zapotřebí další jednotka, označována jako kontrolér. Kontrolér a spektrální detekční jednotka jsou dva oddělené systémy, které jsou elektronicky spojeny a musí tak dojít kjejich vzájemné kalibraci. Navíc, v tomto dokumentuje popsáno a obrázky rovněž referují na fakt, že pro účely získání informace o intenzitě svazu a spektra svazku jsou zapotřebí dva rozdílné detektory. Jeden energetický detektor (senzor) pro účely získání informace o intenzitě a druhý pro spektrální charakterizaci. Další nevýhodou takovéto konfigurace je nutnost dělení svazku, přičemž jen část intenzity svazku pokračuje do energetického senzoru a druhá část se používá pro účely spektrální analýzy. V tomto konkrétním případě se ke spektrální analýze může využívat mřížka, avšak ke kolimaci svazku na mřížkuje zapotřebí konkávního zrcadla, což představuje další komponentu, která může představovat potenciální nepřesnost v měření.
Přihláška vynálezu US 2013/0 170 508 se zabývá aparátem na generování UV světla. Podobně jako u přihlášky vynálezu US 2013/0 107 899 popsané výše, technické řešení obsahuje konfiguraci optických komponent, které nutně vyžadují kalibraci, vyžaduje dělení svazku a pro účely charakterizace intenzity a spektra svazku obsahuje dva nezávislé detektory (senzory).
Přihláška vynálezu US 2014/0 374 605 se zabývá, mimo jiné, generátorem EUV (extreme ultraviolet) svazku. Přihláška referuje jen na měřicí jednotku umístěnou v optické cestě svazku pro účely detekce profilu svazku.
- 1 CZ 307169 B6
Podstata vynálezu
Předkládaný vynález poskytuje technické řešení pro měření spektra záření a intenzitního profilu svazku za použití jediného kompaktního systému. Vynález rovněž představuje metodu spektrální charakterizace a určení intenzitního profilu krátkovlnného svazku pomocí tohoto systému.
Kompaktní systém obsahuje difrakční element. Ve výhodném provedení je difrakčním elementem konkávní reflexní mřížka s proměnnou periodou vrypů (někdy též nazývaná mřížka se sníženou aberací, nebo mřížka zobrazující do roviny), která úhlově rozdělí spektrální složky záření a fokusuje tyto složky na detektor. V dalším výhodném provedení může být difrakčním elementem krystal.
Kompaktní systém dále obsahuje stínítko, které blokuje průchod svazku, který na mřížku nedopadá. Tato mřížka je navíc mechanicky svázána se stínítkem.
Součástí tohoto systému je reflexní element. Ve výhodném provedení je reflexním elementem rovinné zrcadlo, které slouží k odražení úhlově rozmítnutých složek svazku na detektor. V dalším výhodném provedení je toto zrcadlo pokryto speciální vrstvou pro zvýšení jeho odrazivosti v daném spektrálním rozsahu. Příkladem takové vrstvy může být několik desítek nanometrů silná vrstva zlata nebo platiny.
Kompaktní systém dále obsahuje fixně umístěný detektor určený jak pro detekci spektrální charakteristiky svazku, tak pro charakterizaci intenzitního profilu svazku. Ve výhodném provedení je detektorem rentgenová kamera na principu CCD, nebo jiný vhodný typ komerčně dostupného nebo speciálně vyvinutého detektoru daného typu záření. Tento detektor je umístěn na optické ose příchozího svazku.
Předkládaný vynález může dále obsahovat mechanické nebo motorizované posuvy pro přechod z režimu určování spektra do režimu měření intenzitního profilu a zpět a pro optimalizaci spektrometru.
V závislosti na výše zmíněných jednotlivých komponentech může systém pracovat pro spektrální oblasti od rentgenového záření (vlnové délky od desetin nm). Horní mez vlnové délky teoreticky neexistuje, ale primárním cílem je charakterizovat záření s vlnovou délkou kratší než 200 nm.
Výhodou tohoto vynálezu je možnost pracovat ve dvou režimech. Pomocí sestavy výše zmíněných komponent jednoho systému, resp. zařízení, jsme schopni určit jak spektrum VUV (RTG) záření, tak i jeho intenzitní profil. Zařízení umožňuje dva režimy operace (přechod mezi těmito režimy umožňuje posuv naznačený písmenem A z obr. 1 a obr. 2):
1) Spektrometrický režim (obr. 1): Difrakční element umístěný na ose svazku (za pomoci posuvu A) zobrazuje a spektrálně rozmítá zdroj záření v jednom směru. Reflexní element slouží k nasměrování paprsků na detektor a zároveň ke změně spektrálního rozsahu detekovaného záření (prostřednictvím posuvu C). S difrakčním elementem je mechanicky spojeno stínítko, které slouží k odstínění části přímého svazku, která by jinak dopadl na detektor a snížil tak kvalitu detekovaného spektra. Posuv difrakčního elementu podél směru příchozího svazku (posuv B) umožňuje zaostření obrazů zdroje v daném spektrálním rozsahu.
2) Režim měření intenzitního profilu svazku (obr. 2): Odsunutím difrakčního elementu a stínítka z osy příchozího svazku dopadá tento přímo na detektor, čímž je možné určit intenzitní profil dopadajícího svazku
-2CZ 307169 B6
Objasnění výkresů
Obr. 1 představuje schématické uspořádání jednotlivých součástí vynálezu v režimu měření spektrálního obsahu svazku.
Obr. 2 představuje schématické uspořádání jednotlivých součástí vynálezu v režimu měření intenzitního profilu svazku. Prvky jsou označeny shodně jako u obr. 1.
Obr. 3 představuje příklad provedení experimentu s dopadajícím polychromatickým svazkem XUV záření.
Obr. 4 představuje výsledky spektroskopického měření (liché vysoké harmonické frekvence 43. až 85. Ti:Safírového laseru generované v heliu).
Obr. 5 představuje intenzitní profil téhož svazku jako u obr. 4.
Příklady uskutečnění vynálezu
Příklad 1
Zařízení bylo zkonstruováno za účelem určení spektra a intenzitního profilu svazku vysokých harmonických frekvencí generovaných interakcí intenzivního femtosekundového laseru s plynným prostředím v badatelském centru PALS (společná laboratoř FzÚ a ÚFP AV ČR).
Na obrázku 3 je znázorněn náčrtek sestavy komponent vynálezu v režimu měření spektra v rozsahu 20 až 40 nm. Příchozí svazek záření ve směru f dopadá na reflexní mřížku 2, kde se svazek záření rozkládá podle vlnových délek. Pro účely experimentu byla použita reflexní mřížka_2 „Hitachi 001-0437“ s pozlaceným povrchem a střední hustotou vrypů 1200 čar/mm nastavená na klouzavý úhel dopadu 4,5 stupně.
Rozložené záření pak směřuje na rovinné zrcadlo 4 s průměrem 5 cm povrstvené zlatém pro vyšší reflektivitu, kde se jednotlivé komponenty monochromatického záření odrážejí dle zákona odrazu. Odražená monochromatická komponenta světla je směřována na detektor 5 s prostorovým rozlišením. Detektor 5 tvořila rentgenová CCD kamera „Andor ikon-L 936“. Stínítko 3 v tomto případě slouží k pohlcení části příchozího svazku ve směru f, která se nedifraktovala na reflexní mřížce 2. Výsledná spektroskopická charakteristika záření je zobrazena na obr. 4. Na tomto obrázku jsou vidět vysoké harmonické frekvence. H43 odpovídá 43. harmonické frekvenci laseru o vlnové délce 810/43 nm = 18,8 nm, H85 pak 85. harmonické frekvenci o vlnové délce 9,5 nm.
Obr. 2 ukazuje sestavu komponent pro účely monitorování intenzitního profilu svazku. Do tohoto režimu jsme se dostali mechanickým posuvem reflexní mřížky spojené se stínítkem posuvem A. Příchozí svazek ve směru 1 se nechal dopadat na detektor 5, přičemž detektor 5 byl ten samý jako v předchozím případě tj. rentgenová CCD kamera ,Andor ikon-L 936“. Výsledný intenzitní profil svazkuje zobrazen na obr. 5.
Průmyslová využitelnost
Zařízení a metodu, podle vynálezu, lze použít pro efektivní spektrální a intenzitní charakterizaci svazku, zejména pak v oblasti XUV a RTG záření.
Claims (8)
1. Kompaktní systém provozovaný v režimu spektrální charakterizace svazku nebo v režimu monitorování intenzitního profilu, vyznačující se t í m , že obsahuje:
difrakční element;
stínítko (3), které je mechanicky svázáno s difrakčním elementem, přičemž stínítko (3) je v režimu spektrální charakterizace blokující průchod svazku v příchozím směru (1);
zařízení pro mechanický posuv stínítka (3) a difrakčního elementu, přičemž řečené zařízení je schopno posuvu jak v transverzálním směru (A), tak i ve směru longitudinálním (B);
reflexní element (4) a;
fixně umístěný detektor (5), který leží na optické ose svazku příchozího směru (1).
2. Kompaktní systém podle nároku 1, vyznačující se tím, že difrakční element je spektrální složky záření úhlově rozdělující a současně fokusující konkávní reflexní mřížka (2) s proměnnou periodou vrypů.
3. Kompaktní systém podle kteréhokoliv zvýše uvedených nároků, vyznačující se tím, že reflexní element je rovinné zrcadlo (4) pokryté vrstvou pro zvýšení jeho odrazivosti.
4. Kompaktní systém podle kteréhokoliv zvýše uvedených nároků, vyznačující se tím, že fixní detektor (5) je RTG kamera na principu CCD.
5. Kompaktní systém podle kteréhokoliv z výše uvedených nároků, vyznačující se tím, že zařízení pro mechanický posuv je automatizováno.
6. Kompaktní systém podle kteréhokoliv zvýše uvedených nároků, vyznačující se tím, že reflexní element (4) lze posouvat ve směru transverzálním (C) na směr (1) příchozího svazku.
7. Kompaktní systém podle kteréhokoliv z nároků 3 až 6, vyznačující se tím, že pro spektrální oblast 1 až 200 nm je difrakčním elementem konkávní reflexní mřížka (2) s pozlaceným povrchem a střední hustotou vrypů 1200 čar/mm nastavenou na klouzavý úhel dopadu 4,5° a rovinné zrcadlo (4) je provrstvené zlatém.
8. Použití zařízení dle kteréhokoliv z předcházejících nároků pro stanovení intenzitního profilu a spektrální charakteristiky svazku.
2 výkresy
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2016-661A CZ2016661A3 (cs) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | Kompaktní systém pro charakterizaci spektra a profilu intenzity svazku krátkovlnného záření |
| PCT/CZ2017/050050 WO2018072766A1 (en) | 2016-10-21 | 2017-10-21 | Apparatus for spectrum and intensity profile characterization of a beam, use thereof and method thereof |
| EP17797852.5A EP3529572B8 (en) | 2016-10-21 | 2017-10-21 | Apparatus for spectrum and intensity profile characterization of a beam, use thereof and method thereof |
| US16/386,302 US10914628B2 (en) | 2016-10-21 | 2019-04-17 | Apparatus for spectrum and intensity profile characterization of a beam, use thereof and method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2016-661A CZ2016661A3 (cs) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | Kompaktní systém pro charakterizaci spektra a profilu intenzity svazku krátkovlnného záření |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ307169B6 true CZ307169B6 (cs) | 2018-02-14 |
| CZ2016661A3 CZ2016661A3 (cs) | 2018-02-14 |
Family
ID=60327011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ2016-661A CZ2016661A3 (cs) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | Kompaktní systém pro charakterizaci spektra a profilu intenzity svazku krátkovlnného záření |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10914628B2 (cs) |
| EP (1) | EP3529572B8 (cs) |
| CZ (1) | CZ2016661A3 (cs) |
| WO (1) | WO2018072766A1 (cs) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220086667A (ko) * | 2019-10-31 | 2022-06-23 | 위-차지 리미티드. | 광학 무선 파워 시스템의 안전 작동을 위한 광학 파워 미터 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4553253A (en) * | 1980-12-05 | 1985-11-12 | Berliner Elektronenspeicherring Gesellschaft | Plane-grating monochromator |
| DE19927325A1 (de) * | 1999-06-15 | 2000-12-28 | Ulrich Gerhardt | Stigmatisch abbildender Toroidspiegel-Plangitter-Monochromator |
| EP1882916A1 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-30 | Interuniversitair Microelektronica Centrum | Compact catadioptric spectrometer |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10141958B4 (de) * | 2001-08-28 | 2006-06-08 | Bruker Axs Gmbh | Röntgen-Diffraktometer |
| JP3757199B2 (ja) * | 2002-09-03 | 2006-03-22 | 株式会社リガク | Ｘ線小角散乱光学系 |
| DE102008019600B4 (de) * | 2008-04-18 | 2021-03-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben |
| JP2012515940A (ja) | 2009-01-26 | 2012-07-12 | サントゥル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシュ シアンティ フィック セーエヌエールエス | コヒーレントな紫外線または超紫外線の極短パルス発生システム |
| JP5816440B2 (ja) | 2011-02-23 | 2015-11-18 | ギガフォトン株式会社 | 光学装置、レーザ装置および極端紫外光生成装置 |
| JP6210526B2 (ja) | 2011-07-06 | 2017-10-11 | ギガフォトン株式会社 | 波長検出器、波長較正システム |
| JP5820689B2 (ja) | 2011-10-28 | 2015-11-24 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置 |
| US10295485B2 (en) * | 2013-12-05 | 2019-05-21 | Sigray, Inc. | X-ray transmission spectrometer system |
| EP3076208B1 (en) | 2015-04-04 | 2019-06-12 | Fyzikální ústav AV CR, v.v.i. | Multi-layer reflective diffraction grating and use thereof |
| US10422508B2 (en) * | 2016-03-28 | 2019-09-24 | Kla-Tencor Corporation | System and method for spectral tuning of broadband light sources |
-
2016
- 2016-10-21 CZ CZ2016-661A patent/CZ2016661A3/cs unknown
-
2017
- 2017-10-21 EP EP17797852.5A patent/EP3529572B8/en active Active
- 2017-10-21 WO PCT/CZ2017/050050 patent/WO2018072766A1/en unknown
-
2019
- 2019-04-17 US US16/386,302 patent/US10914628B2/en active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4553253A (en) * | 1980-12-05 | 1985-11-12 | Berliner Elektronenspeicherring Gesellschaft | Plane-grating monochromator |
| DE19927325A1 (de) * | 1999-06-15 | 2000-12-28 | Ulrich Gerhardt | Stigmatisch abbildender Toroidspiegel-Plangitter-Monochromator |
| EP1882916A1 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-30 | Interuniversitair Microelektronica Centrum | Compact catadioptric spectrometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP3529572B8 (en) | 2023-04-05 |
| US20190242746A1 (en) | 2019-08-08 |
| EP3529572A1 (en) | 2019-08-28 |
| US10914628B2 (en) | 2021-02-09 |
| CZ2016661A3 (cs) | 2018-02-14 |
| WO2018072766A1 (en) | 2018-04-26 |
| EP3529572B1 (en) | 2023-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10295486B2 (en) | Detector for X-rays with high spatial and high spectral resolution | |
| EP2072997B1 (en) | Terahertz wave time-waveform measuring device comprising a pulse front tilting unit | |
| FI119259B (fi) | Pinnan ja paksuuden määrittäminen | |
| US8213006B2 (en) | Multi-analyte optical computing system | |
| US9182282B2 (en) | Multi-analyte optical computing system | |
| US7076024B2 (en) | X-ray apparatus with dual monochromators | |
| US9194799B2 (en) | Imaging based refractometers | |
| KR101078135B1 (ko) | 광원 스펙트럼 분석용 분광기의 전 영역 교정 장치 및 그 장치에서 정보 획득 방법 | |
| CN103471992A (zh) | 一种光谱椭偏仪中氙灯光源的光强平滑处理装置及方法 | |
| JP2017508160A (ja) | 光干渉デバイス | |
| US7321423B2 (en) | Real-time goniospectrophotometer | |
| US20170045397A1 (en) | Device for analysing a specimen and corresponding method | |
| CZ307169B6 (cs) | Kompaktní systém pro charakterizaci spektra a profilu intenzity svazku krátkovlnného záření | |
| US6856395B2 (en) | Reflectometer arrangement and method for determining the reflectance of selected measurement locations of measurement objects reflecting in a spectrally dependent manner | |
| EP4034851B1 (en) | Apparatus for measuring raman spectrum and method thereof | |
| JP7486178B2 (ja) | 分光分析装置 | |
| WO2019038823A1 (ja) | 遠赤外分光装置、および遠赤外分光方法 | |
| JP5504502B2 (ja) | Ｘ線及び中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 | |
| US9658154B2 (en) | Spectrometer and gas analyzer | |
| US20050128478A1 (en) | Optical unit and measuring apparatus having the same | |
| Zarobila et al. | Supercontinuum fiber laser source for reflectance calibrations in remote sensing | |
| Bielecki et al. | Energy meter system for gas-puff laser plasma | |
| Myer et al. | INSCAN PRO: a fast ultraviolet spectrometer design approach | |
| JP2013160651A (ja) | ライン分光測定装置 | |
| Lacoste et al. | Spectral features effect on reference diffusers: diffuser trade-off study |