CS929086A1 - Zarizeni pro ziskavani vysokovykonnych impulsu co2 laseru - Google Patents

Zarizeni pro ziskavani vysokovykonnych impulsu co2 laseru Download PDF

Info

Publication number
CS929086A1
CS929086A1 CS869290A CS929086A CS929086A1 CS 929086 A1 CS929086 A1 CS 929086A1 CS 869290 A CS869290 A CS 869290A CS 929086 A CS929086 A CS 929086A CS 929086 A1 CS929086 A1 CS 929086A1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
selective
ληηηηη
laser
resonator
frequency
Prior art date
Application number
CS869290A
Other languages
English (en)
Inventor
Gisbert Dr Staupendahl
Manfred Dr Pohler
Richard Wittig
Original Assignee
Gisbert Dr Staupendahl
Poehler Manfred Dr
Richard Wittig
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gisbert Dr Staupendahl, Poehler Manfred Dr, Richard Wittig filed Critical Gisbert Dr Staupendahl
Publication of CS929086A1 publication Critical patent/CS929086A1/cs

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
    • H01S3/1062—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using a controlled passive interferometer, e.g. a Fabry-Perot etalon
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123—Q-switching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
    • H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/22—Gases
    • H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
    • H01S3/2232—Carbon dioxide (CO2) or monoxide [CO]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

Ha3BaHHe Η300ρβΤβΗΗΗ
yCTpOŽOTBO fíflíí 06Λ6ΚΗΗΗ ΠΟ βΛΗΗΘΜ ΒΟΛΗ Η ΒΗγΤρθΗΗΘΖ MOflyJLHUIÍHMOIUHOCTH Η3ΛγΉΘΗΗΗ ΒΗΟΟΚΟΜΟΠξΗΗΧ COg-JiasepOB ΟόΛΗΟΤΒ ΠρΗΜΘΗβΗΗΗ Η300ρβΤΘΗΗΗ Μ3θόρβτβΗΗθ KacaeTCH ycTpoĚcTBa βηοοκομοπιηογο COg-^nasepa αληΟΘΛθΚΙξΗΗ ΛΗ3βρΗ0Γ0 Η3ΛγΠΘΗΗΗ HO ΛΛΗΗβΜ ΒΟΛΗ H BHyTpOHHeSμοαυληηηη MomHOCTH Aaaepa b ananasoHe ot HenpepHBHoro pe-JEHMa ΒΠΛΟΤΒ flO ΜΟΑΥΛΗΙΙΗΗ AOÓpOTHOCTH ΠρΗ ΓβΗθρΗρΟΒΗΗΗΗΗΜΠ/ΛΒΟΟΒ, MOIUHOCTB ΚΟΤΟρΗΧ BO ΜΗΟΓΟ pa3 ΠρβΒΗΙΠΗΘΤ CpeflHKHDMOIUHOCTB ΛΗ3βρ0Β, Η0Π0ΛΒ3γβΜΗΧ ΠρβΗΜγΗΙΘΟΤΒΘΗΗΟ ΑΛΗ OÓpaóOT-kh MaTepnanoB τηκημη onepanHHMH, KaK pe3aHHe, CBapKa h 3a-KaJIKa ΜΘΤΒΛΛΟΒ ΗΛΗ 003ΑΗΗΗΘ ΗΒΟΘΗΘΚ Η ΟΗΗΤΗΘ CjttOH ΜΒΤβρΗΗ—jia, a TaKse rpaBHpoBaHHe b τθχηολογηπθοκηχ nponeccaxθΛθκτροΗΗΚΗ η ΜΗΚροδΛβκτροΗΗΚΗ, AepeBOOÓpaóaTHBaromeĚ, CTe-koabhoé ηλη πθπητηοη προΜΜΠΛθΗΗΟϋτβ^, a TaKse B cJiyqaHxΠρΗΜΘΗβΗΗΗ, ΠρθΑΒΗΒΛΗΙΟΛΗΧ ΟΠΘΙξΗβΛΒΗΗΘ ΤρβύΟΒΗΗΗΗ ΚΟΠβΚΤρβΛΒΗΗΜ ΟΒΟΗΟΤΒβΜ ΛΗ3βρΗΟΓΟ Η3ΛγΗΘΗΗΗ KaK, ΗΗΠρΗΜβρ,ΟΠΤΗΗΘΟΚΗΗ HaKaHKa ΛΒ3βρ0Β, paÓOTaKWIX Β Η8ΛΒΗβΜ ΗΗφρβ-KpacHOM HHana30He, ηλη pacmeimeHne hsotohob c πομοπιβ» ΛΒ3θρ0Β.
XapaKTopHCTHKa ηθβθοτηηχ τθχηηηθοκηχ ρθιπθηηη BHyTpeHHHH, Τ.θ. npOHCXOAHIUaH ΗθΠΟΟρθΑΟΤΒΘΗΗΟ Β ΛΠ3θρΗΟΜpe3OHaTOpe ΜΟΑΥΛΗΠΗΗ MOIUHOCTH ΛΒ3θρΒ ΒΠΛΟΤΒ ΑΟ peiKHMa ΜΟ-ΑΥΛΗΗΗΗ AOÓpOTHOCTH ΟΟγίΙΙΘΟΤΒΛΗΘΤΟΗ Β COg-AasepaX pa3AHHHHMHCnOCOÓaMH. Κ ΗΗΜ OTHOCHTCH ΜΟΑΥΛΗΠΗΗ TOKa ΓΒ30Β0Γ0 pa3pHAaAa3epa, βκτηβηβη μοαυληπηη aoópothocth nocpencTBOM Bpama- 2 romerocH 3epKaJia, naccHBHaa mojqtjihiíiih floópoTHOCTH nocpeflCT-bom οπθηηθλβηηχ aócopózpywix ra30B mna peryjuapoBamie ποτβρΒpe3OHaTopa, κοτοροβ Μοκβτ óhtb Ρ6βλη3οβηηο, HanpuMep, c no-MOmBK 3ΛΘΚΤρ00ΠΤΗΗβ0ΚΗΧ ΚρΚΟΤΗΛΛΟΒ ΗΛΗ ΑΙϊφρΗΚΠΜΗ ΒρθΓΓβ HaaKycTOOHTHHecKHx $a30BHX pemeTKax.
Moduioctb Jia3epoB moucho Tanace peryampoBaTB oóJiajcawtM potomirpeuMymecTB chocoóom, 3aKjnonaiont0MCH b tom, hto 3aMecT0 nojiy-npo3paHHoro 9JieMeHTa βηβολη HcnojiB3yeTCH ΗΗΤβρφβροΜβτρ c ne-pecTpaHBaeMHM nponycKaHzeM. PeryHupoBaHne βθλππηηη nponycRa-ΗΗΗ ΤβΚΟΓΟ ΗΗΤβρφβρΟΜβΤρΗ ΦΒόρΗ-ΠβρΟ (ΗΦΙΙ), a T@M CaMHM Η ΒβΛΗΗΗΗΗ BHBO^a Jia36pa ΠρΟΜΟΧΟ^ΗΤ ΠΟΟρββΟΤΒΟΜ ΟΠΤΗΗθΟΚΟΓΟΗ3ΜΘΗ6ΗΗΗ flJUÍHH IiyTH ΗΗΤβρφβρΟΜβΤρΒ, ΚΟΤΟρΟβ ΜΟΗβΤ. ÓHTBocymecTBJíeHO KaK πρπ θΛβκτρΗπβοκοΜ ynpaBJíeHHH οπθπηβλβηημη ΚρΗΟΤβΛΠΒΜΗ C Η0Π0ΛΒ30ΒΗΗΗβΜ 3ΛβΚΤρ00ΠΤΗΗ60ΚΗΧ ΗΛΗ ΜΒΓΗΗΤΟ-ΟΠΤΗΗβΟΚΗΧ 3$$βΚΤΟΒ, ΤΗΚ Η C ΠΟΜΟΠ}ΒΚ) HHCTO ΓθΟΜΘΤρΗΗβΟΚΟΓΟΗ3ΜβΗβΗΗΗ 0ΠΤΗΉ60Κ0& ΛΛΗΗΗ, ΛΛΗ ΚΟΤΟρΟΓΟ 0ΗΛΟ ΠρβΛΛΟΧβΗΟΗ0Π0ΛΒ30ΒβΗΗβ ΠΒβ3Ο3ΛθΚΤρΗΗβΟΚΟΓΟ 3$$6KTa (cpaBHH DE-OS222 39 45, GB-PS 12 48 405, TJS-BS 365 0 777). Β πηοτηοοτη,β DB-OS 222 39 45 η U3-PS 365 0 777 πρΟΛβΜΟΗΟΤρπροΒΗΗΟHonoJiB3OBaHHe 8τογο cnocoóa αλη C02“Jia3epao B jdoóom cjiyqae μο^ληπηη moiuhocth ηλη reHepnpOBaHHe HMnyjiB-cob COg-JiasepoB nocpejccTBOM ΗΦΠ b KanecTBe sjíeweHTa BHBO.uaTpeóyeT οο3ληηηη BHyTpn pe3OHaTopa β Μβοτβ ΗΗΤβρφθροΜβτρπβ BHCOKoň GTeneHH πλοοκογο η μοηοχρομητηηθοκογο θΛβκτρο-ΜΒΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗ, ΠρΜΠΘΜ MOHOXpOMaTHHHOCTB ΠΟΛΗ βΟΛΚΗΗ ΒΗ-ΠΟΛΗΗΤΒ ΛΟΠΟΛΗΗΤΘΛΒΗΟθ ΥΟΛΟΒΗΘ, Π ΤΟ ΗΜβθΤΟΗ Β ρΗΟΠΟρΗΚβΗΗΗΒ ΠρΗΗΙίΗΠΘ Πρ0Η3Β0ΛΒΗΗΗ, ΗΟ ΒΟ ΒρβΜΗ ΧβΛΗβΜΟΓΟ ΠρΟΙξβΟΟΗμολυληκηη ποοτοηηηηη jyiHHa βοληη C02-%zia3epa, τ.κ. nponycica-ΗΗβ ΜΦΠ ΟΠΘΗΒ ΠγΒΟΤΒΗΤΘΛΒΗΟ Κ ΛΛΗΗ6 ΒΟΛΗΗ ΛΗ3θρΗ0Γ0 Η3Λγ—πθΗΗΗ. Htoóh oóecnenuTB 3το ycHOBHe, β DE-OS 222 39 45 ηGB-PS 12 48 405 npejyiaraeTCH ycTaHOBHTB BHyTpH na3epHoro 3 pe3OHaTopa eme oahh ΗΗτβρφβροΜβτρ $aópn-IIepo. OjmaKo, H3~3a orpaHHreeHHocTH jmcnepcHoS odJiacra TaKoS ΗΗΤβρφβροΜβτρΗβ B COCTOHHHH ΒΗΠ0ΛΗΗΤΒ TpeÓyeMyX) ftJIH ΒΗΟΟΚΟΜΟΠΪΗΟΓΟ COg“jia3epa φγκκιρηο, τ.β. npHHynHTB jia3ep paóoTaTB αθηοτβητθλβηοHa ΟΛΗΟϋ nOOTOHHHOĚ ΛΗΗΗΘ ΒΟΛΗΗ H3 ΗΜθΚΠΪΘΓΟΟΗ B paGnOpOTe-hhh ,HHana3OHa Meayjy 9 mkm h II mkm η Ηβ nepexoflHTB Ha spy-ryro AJEKHy bqjihh, jwih κοτοροζ, HanpHMep, cooTHomeHne MeamyycHJieHíieM η ποτβρπΜΗ pe3OHaTopa ηβληθτοη óojiee βηγοληημ. ΚροΜβ τογο, ycTaHOBJíeHHHH b peeoHaTope ΗΦΠ ηθπρηγοαθη TaKxeJV& HHCTO& ceJieKixHZ nojyiHHaM βολή, ocoóeHHO b βηοοκομοπϊηηχ COg^asepax. Ιί3ΒθΟΤΗΗβ ΤβΧΗΗΗβΟΚΗβ ρβΙΠβΗΗΗ, KacaOTteCH yCTaHOBKH B ρβ30-HaTope 3ΛβΜβΗΤ0Β c yiviOBoa AHcneponei, τβκηχ KaK πρπ3ΜΗ hρβΠΙΘΤΚΗ, ΠΟ3ΒΟΛΗΙ0Τ JHÍH1B B ΟΓρΒΗΗΗβΗΗΟΖ ΟΤΘΠΘΗΗ Πρ0Η3Β0ΑΗΤΒTonnyro οβΛθΚίρπο οτλθλβηηχ ληηηζ cneKTpa COg-Jiasepa*ΪΙρΗΜΘΗβΗΗβ ΤΒΚΗΧ 3Λ6ΜΘΗΤ0Β ΠρΗ ΟΟΒρβΜβΗΗΟΜ ypOBHG ΤθΧΗΗΚΗorpaHHHHBaeTCH Jia3epaMH c βηχοαηοη μοληοοτβκ) b HenpepuBHOMpeaunuie 100 Βτ; b Jia3epax oÓhhhoé κοΗοτργκιρίΗ c óojiee bhco-KOĚ ΒΗΧΟΛΗΟΗ ΜΟΙΠΗΟΟΤΒΚ) ΗΘΒ03Μ0ΚΗ0 ΠρβΛΟΤΒρΒΤΗΤΒ BOSÓyOeHHenapa3HTHoro HSJíyneHHH ΗθκβΛΒΤβΛΒΗοΐί λληηη βοληη. ΟοοόβΗΗΟHyBCTBHTeJIBHHMH B 3TOM ΟΤΗΟΠΙ6ΗΗΗ HBJIffiOTCH HaCTO HCnOJIB3ye-Miie KaJMÓpHpoBaHHHe jra3epHne ra3opa3pH#HHe TpyóKH K3 KBappaηλη cTemia, β κοτορπχ ηθκθλβτθλβηοθ n3JiyqeHiie βο3ηηκβθτH3-3a oTpaateHHH οτ οτθηοκ TpyóKH. ΙΙβΛΒ Η300ρβΤβΗΗΗ
UeJIBK) Η300ρβΤΘΗΗΗ ΗΒΛΗΘΤΟΗ C03AaHHe yCTpOHCTBa ΛΛΗ ΟθΛθΚΙξΗΗΠΟ ftJIHHaM ΒΟΛΗ H BHyTpeHHOH ΜΟ,ΙΟΓΛΗΗΗΗ MOIUHOCTH H3JiyH6HHHBHCOKOMOmHHX COg-JiaSepOB, nO3BOJIHI0lHerO, C OJÍHOĚ CTOPOHH,ΒΗΠΟΛΗΗΤΒ OnepaipíH, npeABHBJLffiOmHe CnepHaJIBHHe TpeÓOBaHHHK CneKTpaJIBHHM CBOÍÍCTBaM Jia3epH0r0 H3JiyH6HHH, KaK, Hanp., 4 pacmeoeHne η3οτοποβ nocpeflOTBOM COg-JiasepoB, η, e,npyroftοτοροΗΗ, προΗ3ΒθΛΗΤΒ oópaóOTKy MaTepaajioB, Hanp., HaHeceHHeHaceHeK, οηητηθ cjioh MaTepnajia, rpaBHpoBaHHe b τθχηολογηηθο-KHX npou;eccax ΘΛΘΚΤρΟΗΗΚΗ Η ΜΗΚρΟΘΛΘΚΤρΟΗΗΚΗ HJLH Β CHCTeMaXjyia HaHeoeHHH HajyiHceft, hjih hpohsboahtb TaKae onepano, KaKpeaaHne MaTepaajioB c bhcokhm Κ03$φΗηπβΗΤ0Μ OTpaateHHH Jiyneií(aJDOMHHHS) ηλη tohho onpeneJieHHaa 3aKajnca MaTepnajtOB Ta-KHM 0Ópa30M, HTO ÓJiaTOflapH ΟΠρθΛβΛβΗΗΗΜ, ΟΠΤΗΜβΛΒΗΟ COrJia-ooBaHHUM c cooTBeTCTByioiUHM ΒΗΛΟΜ paóoT napaMeTpaM H3Jiyne-HHH Η TOHHOOTH ΠρΟΒβββΗΗΗ UpOIíQCCa OÓpaÓOTKH ΜΟΚβΤ ÓHTBAOCTHrHyTO HaHBHcniee κβηθοτβο oópaóoTKH (HanpHMep, hotkoctbKOHTypa) η βηοοκβη np0H3B0,HHTejiBH0CTB nponecca0 Μ3Λ0«βΗΗβ CymHOCTH Η300ρβΤβΗΗΗ 3.fimanefi H3otípeTeHHH HBJífleTCH co3flanHe ycTpožcTBa oa coeK-ΙξΗΗ ΠΟ JVIHHaM BOJIH Η ΒΗγτρθΗΗβδ MOJjyJWIíHK MOIUHOCTH H3JiyHeHHHBHCOKOMomHHX COg-JiasepoB, oójiajtaromero 3HaHHTejiLH0 jiyqniHMHnapawieTpaMH, πθμ cymecTByiomHe ro chx nop ycTpoÉCTBa, hc-nojiB3yiomHe BHyTpeHHKio MOflyjiaííHK) hjeh no^any θΛβκτροθοκΗΧHMnyjiBOOB jvw ynpaBJíeHHfl raeoBHM paspooM Jia3epa, t.k.ójiarojtapa MojiyjiHUHH moiuhocth, BHÓnpaeMOíí προοβολβηο b ibh-poKHX npejsejiax ot HenpepuBHoro pejKHMa bootb flo Mo^yjianoΛΟόρΟΤΗΟΟΤΗ πρκ ΠΟ^ΗΘΗΗΗ HMnyJIBCQB C OOBHHM BHÓpOCOMΠΗΚ0Β0Ζ MOIUHOCTH H BHCOKOH HaCTOTOĚ CJie^OBaHiífl HMIiyJřBCOBBOOTB flO ΗΘΟΚΟΛΒΚΗΧ KTiJ Hapoy c ΟΠΤΗΜΟΒΗΗΜ npe0Ópa30Ba-ΗΗθΜ HMeiomeftcfl b pacnopaxteHHH moiuhocth jia3epa b mojuhoctbHMnyjiBCOB ojiyHeHHfl jojbkho oóecneqHBaTBCH ΓΗόκοβ corjiacoBa-Hne napawieTpoB Η3λυήθηηη c βηποληηθμημ bhhom paóoT, b nacT-HOCTH, ΠΟΟρθΛΟΤΒΟΜ ΟβΗΟΒρθΜΘΗΗΟίϊ ΟθΛβΚίχΗΗ ΟβΗΟΗ TpeÓyOMOfiftJIHHH BOJtHH, TaK HTO MOryT ÓHTB ΒΗΠΟΛΗβΗΗ pa3JIHHHH6 TpeÓOBa-HHH, npejíBHBJLHeMHe K TOHHOCTH IiapaMeTpOB H B0Cnp0H3B0jpa-MOCTH Jia3epH0r0 H3JiyHeHHH. 5 ΡβΙΠΘΗΗβ 9TOŽ 3aAa^H .HOCTHraeTCH COrJiaCHO Η300ρβΤβΗΗΚ) ΠΟ-CpeflCTBOM MOJiyJtfllíHH ΒβΛΗΗΗΗΗ ΒΗΒΟΛΗ ΒΗΟΟΚΟΜΟΙΠΗΟΓΟ COg-Jiaeepa IipH ΟβΗΟΒρβΜβΗΗΟΖ CeJieKlíHH ΠΟ ΛΛΗΗβΜ ΒΟΛΗ, KOTO-pan ocHOBaHa Ha ηοπολβθοββηηη ηοβογο cnocoóa, 3aKjnoqaioine-ΓΟΟΗ B C03flaHHH ΗΗΤΘΗΟΗΒΗΟΓΟ ΠΛΟΘΚΟΓΟ Η ΜΟΗΟΧρΟΜΗΤΗΗβΟΚΟΓΟΒΟΛΗΟΒΟΓΟ ΠΟΛΗ Πρ0Η3Β0ΛΒΗ0 BHÓUpaeMOft, HO TOHHO ΟΠρθΛβΛβΗ-hoíí λληηη βοληη b Μβοτβ θΛβΜβΗΤΗ βηβολη jia3epHoro JiyHa. ΠροόΛβΜΒ C03,naHHH TaKOrO ΒΟΛΗΟΒΟΓΟ ΠΟΛΗ ΗΛΗ ΟβΛβΚΕξΗΗ noΛΛΗΗβΜ ΒΟΛΗ ΒΗΟΟΚΟΜΟΠξΗΗΧ (Χ^-ΛΗΒβρΟΒ COCTOHT Β Ο0ΠίθΜ CJiy^aeΒ TOM, ΗΤΟ C ΠΟΜΟΠίΒΚ) ΟβΛβΚΤΗρ^ΠΘΠίβΓΟ yCTpOŽCTBa ΛΟΛΚΗΟ ÚHTBΛΟΟΤΗΓΗγΤΟ ΤΟ, Η ΤΟ £ΛΗ KSUKSOŘ Πρ0Η3Β0ΛΒΗ0 BHÓpaHHOŽ ^ΛΗΗΗβοληη C02->aa3epa ηθ3ηβηοημο οτ τογο, ηβληθτοη λη OHa "οηλβ-HOŽ" ΛΗΗΗβΖ C BHCOKHM γΟΗΛΘΗΗΘΜ B Jia3epHOŽ ΟρθΛθ ΗΛΗ ”θΛ3—ÓOŽ” C ΟΗβΗΒ ΗΗ3ΚΗΜ γΟΗΛβΗΗβΜ, paSHHHa MejKJiy γΌΗΛΘΗΗβΜ ΗΠΟΤβρΗΜΗ Β pe30HaT0pe ΛΟΛ3ΚΗΒ ÓHTB όΟΛΒΙΠβ, Η6Μ ΛΛΗ ΒΟθΧapyTHX ΛΗΗΗΖ. Β npOTHBHOM GXpi&Q ΠρΟρβΟΟΗ ΚΟΗΚ3φβΗΙξΗΗ ΒΛΗ3βρβ ΠρΗΒΟΑΗΤ ΗβΗ30βΚΗ0 Κ Β03ΗΗΚΗ0ΒβΗΗΚ) ΗβΚβΛΗΤβΛΒΗΗΧ(napa3HTHHX) ΛΛΗΗ ΒΟΛΗ. 3Ta Πρθ0ΛΘΜΗ Ο0Ο0ΤρΗβΤΟΗ, ΘΟΛΗyCOeHHe ΛΗ3βρΗΟΗ čpěnu CTaHOBHTCH ΘΚΟΤρβΜβΛΒΗΟ BHCOKHM. 3το HacTynaeT ocoÓeHHo β tom ολυηηθ, Kor^a c πθλβκ ΓβΗβρκρο-BaHHH ,. MMnyEbCOB H3Λy1c^eHHH ΠΟΟρβΛΟΤΒΟΜ ΜΦΠ Β ΚΗΗβΟΤΒβ 9Λβ-ΜβΗΤΗ BHBOfla ΛΗ3βρΗΗΖ ΠρΟρβΟΟ ΛΟΛΗβΗ ÓHTB Ha ΟΠρβΛθΛβΗΗΟβΒρθΜΗ npepBaH jyiH ΤΟΓΟ, HTOÓH HHBepCHH ΗΗΟβΛβΗΗΟΟΤβΖ ΒΛΒ3θρβ ΟΜΟΓΛΗ «HOCTHTHyTL· ΟΒΟβΓΟ MaKCHMyMa. Tor^a CTaHOBHT—ch οηθηβ TpynHHM nojwepjKHBaTi» coctohhh© Λa3epa Hnise noporaero BO3ÓyameHHH h npenoTBpaTHTB Bce bo3mojkhocth bq3hhkho-ΒβΗΗΗ napa3HTH0r0 BO 3Óy)KJ],6HHH Β Ηβ3£βΛ3Τ6ΛΒΗΗΧ KaHaHaX.
CorjiacHO H30ÓpeTeHHio onucaHHaH npo<taeMa peuiaeTCH τβΜ, htoBHyTpH Jia3epHoro pe3OHaTopa, cocTonmero H3 nepBoro βηχοληογο3θρΚΗΛΗ C ΠΟΟΤΟΗΗΗΟΖ ΟΤρΗΗίΗΤβΛΒΗΟΖ CnOCOÓHOCTBK) Η ΒΤΟρΟΓΟΒΗΧΟΛΗΟΓΟ 3βρΚΗΛ8. C ÓHCTpO Η3Μ6ΗΗβΜΟΗ ΟΤρβΛ^ΤΘΛΒΗΟΖ CIIOCOÓ- 6 HOCTBD R2» ΠρββΟΤΗΒΛΗΚΠίβΓΟ COÓOÍÍ ΗΗΤθρφβρΟΜβΤρ $aÓpH-IIepOb KaqecTBe θλθμθητη bηβολη, ycTaHOBJíeHH nacTOTHO—οβΛβκτιίΒΗΗΖθΛβΜβΗΤ h Jia3epHafl ra3opa3pfl£Haa TpyÓKa c y3K0H yrjioBO#ΟβΛΘΚΤΗΒΗΟΟΤΒΚ). ΘΤΗ 9ΛΘΜΘΗΤΗ ΒΗΠΟΛΗίΏΟΤ CJieflymyiO φγΗΚίίΗΙΟ.ra3opa3pflflHafl TpyÓKa c y3Koá yrjioBOH οθλθκτηβηοοτβκ), jpaa-Μβτρ kotopoě thk coímacoBaH o pajmycoM kphbh3hh nepeoroβηχοληογο 3epKajia pe3OHaTopa, hto Jia3ep paóoTaeT npeoiy-mecTBeHHO b pejKHMe ΤϊΜθθ moah, cnocoócTByeT TOMy, htoTOJIBKO JIHIilB H3JiyHeHHe B ÓJIH3KOM K ΟΠΤΗΗΘΟΚΟΗ OCH, ΟΗβΗΒ | y3K0M yrjioBOM ^nanasoHe μοχθτ pacnpocTpaHHTBGH b pe3OHa- τορβ όθ3 ποτβρΒ. B stom cjiyqae MoryT b ποληοη Mepe ηοπολβ-soBaTBca GBoňcTBa ’ίηοτοτηο-όθλθκτηβηογο 3jieMeHTa, npeHMy-mecTBeHHO npn3MH H3 nponycKaromero JiasepHoe H3JiyqeHHe MaTe-pwajia, T.eo npn AOCTaTO^HOĚ yrjiGBoá jmcnepcHH θτογο 3Jie~μθητβ μοχθτ BOSÓyamaTBCíi tojcbko oflHa ληηηη jiasepHoro cneKT-pa, t.k. Bce οοτηλβηηθ juhhh βολή, nacTH Η3Λγτί6ΗΐΐΗ κοτορκχ | pacBpocTpaHHETCH πολ óojiee ωκροκΗΜ ymioM κ Jia3epH0H och, nOflBepraiOTCH 3Κ0ΤρθΜβΛΒΗ0 οηλβηημ ΠΟΤβρΗΜο
TaKHM oópa3OM pemaeTcn rjiaBHaa προόΛβΜβ, τ.β. οβΛβκπκΗ nojyuíHaw βολή jiase πρπ οηθηβ bhcokom ycmieHHH b βκτηβηοζcpe^e Jia3epae C noMomBio η3βθοτηογο ΗΗΤβρφβροΜβτρΒ ΦβόρΗ-Πβρο b KanecTBe3JieMeHTa βηβολβ μοηθτ óhtb pemeHa h BTopaa προόΛβΜβ -BHyTpeHHHH ΜΟ^ΛΚΙίΗΗ MOIUHOCTH ΛΗ3βρΗ. JUH 3Τ0Γ0 3ΛβΜβΗΤBHBOfla ΒΗΠΟΛΗΗΘΤΟΗ B BHfle ΗΗΤβρφβρΟΜβΤρΗ <3>aÓpH-IIepO,oópa3OBaHHoro ABywi n^acTHHKaMH H3 npo3paHHoro MaTepHajia,npeuMymecTBeHHO H3 Ge, GaAs ηλη ZnSe. Ha oópameHHHe npyrκ mpyry, pacnoJtojKeHHHe napajuiejiBHO πλοοκηθ ctopohh nmacTH-hok HaHeceHO cooTBeTCTByromee λληηθ βοληη Jia3epa 3βρκβΛΒΗ0βΠΟΚρΗΊΉθ, B TO BpeMff KHK HapyiKHHe CTOpOHH ΠΛΗΟΤΗΗΟΚ ποκρΗ—τη npoTHBOOTpaacaioiHHM ολοθμ. 7 JUHHa ΟΠΤΗΗΘΟΚΟΓΟ nyTH Óa3H ΗΗΤβρφβρΟΜΘΤρΒ n*d (d = flJOIHeÓa3H ΗΗΤβρφθρΟΜβΤρΗ, Π = KO3$$HnHeHTy ΠρβΛΟΜΛβΗΗΗ ΟρβΛΗΗΗΤβρφβρΟΜΘΤρβ) flOJDKHa ÓHTB Ο.ΤΗΟΟΗΤβΛΒΗΟ ΜβΛΟϋί ΗΗΧΗΛΗ ββrpaHHija λθηητ β πρβΛβΛβχ nopacuKa jvuihh βοληη Jia3epa, η Ββρχ-hhh ee rpanima He λοληηβ npeBHHiaTB I mm. ΠρβΒΟοχοΛΗβΗ ΗΗτβρ-$epHpyromafí cnocoóHocTB πλοοκογο MOHOxpoMaTHqecKoro bojihobo-γο πόλη, nojiyqeHHoro c noMoqBio πβοτοτΗΟ-οβΛβκτΗΒΗΟΓο 3ΛβΜβΗ—
Ta H ra3Opa3pHAHOfi TpyÓKH C y3K0ň yiUIOBOŽ ΟβΛβΚΤΗΒΗΟΟΤΒΚ),Π03Β0ΛΗ6Τ ΠΟΟρββΟΤΒΟΜ BapBHpOBaHHfl ΟΠΤΗΗβΟΚΟΖ ΛΛΗΗΗ HyTHη. a Η3ΜΘΗΗΤΒ 3φφθΚΤΗΒΗ3Π0 ΟΤρβ^ΤβΛΒΗγίΟ CnOCOÓHOCTBHHTep$epoMeTpa β πιηροκηχ πρβπβΛβχ Meawy = 0 η μηκοη-ΜβΛΒΗΗΜ 3Η3ΗβΗΗΘΜ ΟΠρβΛβΛΗβΜΗΜ OTpaJKaTe^BHOH cnoCOÓHOCTBK OÓOHX 3βρΚΘΛ ΗΗΤβρφβρΟΜβΤρΒ, ΗΤΟ πρζ ΠρβΗβόρβΗΗΤβΛΒΗΟ Μ3Λ0Μπογλοφθηηη osHanaei, πτο nponycKaHHe οηοτθμη μο^θτ BapBHpo-BaTioa Mejffljr = 1 h Tmln - 1 - . θτοτ cnennajiBHLrií j3eji cKOHCTpynpoBaH TaK, hto c πομοπιβ»cooTBeTCTBynmero ynpaBJíaiomero curHajia οπτκπβοκβΗ jyuiHa nyTHMew ΠΛΒΟΤΗΗΚΒΜΗ ΗΗΤβρφβρΟΜβΤρβ M0JK6T ÓHTB MOSyJIHpOBaHaΠΟ B03M0KH00TH BHCOKOH rpaHHHHOfi HaCTOTOĚ (οτρβΜΗΤΒΟΗ K3HaneHHK) Β ΗβΟΚΟΛΒΚΟ κΓπ) . ΕθΛΗ R2 Η3ΜβΗΗβΤ0Η ΠρΗ 3TOMΒ ΟΠρβΛβΛβΗΗΗΧ ΛΟΟΤΒΤΟΗΗΟ ΙΠΗρΟΚΗΧ ΠρβββΛΒΧ, ΤΟ ΟόΠΠΪΘ ΠΟΤβ-pH pe30HaT0pa, Τ.β. ero flOÓpOTHOGTB Η3ΜβΗΗ6Τ0Η ΤβΚ,ΗΤΟΗΗΤΘΗΟΗΒΗΟΟΤΒ ΓΟΗβρπργβΜΟΓΟ ΛΒ3βρΗΟΓΟ H3JiyHeHHH Η3ΜβΗΗβΤ-CH C ÓOJIBIHOK ΓΛγόΗΗΟδ ΜΟΛΥΛΗΠΗΗ Η BHCOKOH CKOpO ΟΤΒΚ3» ΠρΗ.HOCTaTOHHO ÓHCTpOM Η3ΜβΗβΗΗΗ OÓD5HX ΠΟΤβρΒ pe30HaT0pa Η3COCTOHHHH, ΠρΗ ΚΟΤΟρΟΜ ΛΗ3βρ HaXO£HTCH ΗΗΧβ ΟΒΟβΓΟ paÓO-nero nopora (θτο coctohhh6 cooTBeTCTByeT οτηοοητθλβηο Ma-HOMy 3ΗβΗβΗΗΚ) R2), β ΟΟΟΤΟΗΗΗβ ΠΟΛΗΟΗ paÓOTOCnOCOÓHOCTHΛa3epa (θΤΟ COCTOHHHe COOTBeTCTByeT 0ΤΗ00ΗΤ6ΛΒΗ0 ÓOHBIHOMy3Η3ΗβΗΗΐο r2) ónaronapn npnHUHny neficTBHH ycTpoHCTBa corjiac-HO H30dp6T6HHK> MOryT ÓHTB nOJiyneHH HMnyJIBCH H3HyHeHHH, Mom-HOCTB KOTOptlX 3ΗΒΗΗΤΘΛΒΗ0 ΠρθΒΗΠΙββΤ ΟρθΛΗΚΙΟ MOUIHOCTB Ha3epa. 8 ΠρΗΜβρ OCymeCTBJíeHHfl Η300ρβΤ6ΗΗΗ Ηκχβ Η3Ο0ρβΤ6ΗΗβ ΠΟΗΟΗΗβΤΟΗ Π0Λρ00Ηββ Ha ΠρΗΜβρβ βΓΟocymecTBJíeHiiH.
Ha Φηγ. I npeACTaBJíeHO ycTpoŘCTBO Nin οβΛβκρΗΗ no jpuiHaMΒΟΛΗ Η ΒΗγτρβΗΗβή ΜΟΛγΛΗΓξΗΙΙ MOmHOCTH Η3Λ3ΓΗβΗΗΗ BHCOKO-MOujHoro COg-tfaeepa. ra3opa3pHHHafl TpyÓKa (I) c y3Koňy^OBOĚ ΟβΛβΚΤΗΒΗΟΟΤΒΚ), ΠρβΗΜ^βΟΤΒβΗΗΟ CHeipiaHBHaH 8 ra3opa3panHaH TpyÓKa οογληοηο DD-WP 134 415 h ψιοτοτηο— ΟβΛβΚΤΗΒΗΚώ ΘΛβΜΘΗΤ (2), ΠρβΗΜ^βΟΤΒβΗΗΟ HpH3Ma H3 ΠρΟ-nyCKaromerO ΛΗ3βρΗ0β Η3ΛγΗβΗΗβ ΜΗΤβρΗΗΛΗ CHOCOÓCTByKlT TOMy,a το πρκ cooTBeTCTByiomeň KOH$HrypanHH pe3OHaTopa, b ocoóeH-HOCTH IipH ΟΟΟΤΒθΤΟΤΒγΊΟΠίθΜ ΟΟΓΛΒΟΟΒΗΗΚΗ BHyTp6HH6r0 ΛΗΗΜθT-pa ra3opa3pH£HOĚ TpyÓKH (I) h pajtuyca kphbh3hh pe3OHaTopHoro3βρΚ3ΛΗ (3) C nOCTOHHHOS ΟΤρβΛΙΒΤβΛΒΗΟδ CnOOOÓHOCTLIO ítjΛβ3βρ paóOTaeT b peacHMe ΤΕΜθθ. B Μβοτβ ycTaHOBKH cnepHaHBHO-γο ΗΗΤβρφβροΜθτρΗ (4) co3,D;aeTCH TpeóyeMoe ΠΛΟΟΚΟβ MOHOXpO—MaranecKoe βοληοβοθ πολθ. Cneip^BHHH ΗΗΤβρφβροΜβτρ (4)npe^cTaBJweT coóož MosyjiHTop οογληοηο dd-WP 234 208. :·* ΜθΛ3ΓΛΗΙίΚΗ MOmHOCTH ΛΒ3βρΗ0Γ0 H3HyqeHZH ΟΟ^θΟΤΒΛΗβΤΟΗ OIIHCaHHHM ΒΗΙΠβ CIIOCOÓOM ΠΟΟρθΛΟΤΒΟΜ Η3ΜβΗβΗΗΗ ΟΤρβ3ΚΗΤβΛΒΗθδOnOCOÓHOCTH 9Τ0Γ0 MO^yJIHTOpa 9ΛβΚΤρΗΗβΟΚΗΜΗ ynpaBJIHíOIUHMHHMnyJIBCaMH, reHepHpyeMHMH ΘΛβΚΤρΗΗβΟΚΗΜ 0ΛΟΚΟΜ nHTaHHH (5).Ilonana θΗθρίΉΗ λλη rasoBoro pa3pHHa npoHcxo^HT οτ ycTpožcT-Ba nHTaHHH (6). BnaroAapH ηοπολβ3οβηηηιο βββηοημοοτη moiuhoc-th naeepa οτ βθληηηηη πβρβΜβΗΗοζ OTpaacaTeHBHofi ciiocoóhogthτ&amp;ζ npencTaBHeHHoe ycTpoficTBO μο&amp;θτ óhtb óe3 προόΛβΜ ηοπολβ3ο~BaHO ΛΛΗ ÓHCTpOH ΟΤΗ0ΗΛΗ33ΙίΚΗ MOUtfíOCTH paÓOTanUerO B ΗβΠρβ-Phbhom peMMe BHCOKOMouíHoro COg-nasepa. IlynoK (8) paóoneroHyna (9), OTpaJKOHHHIÍ ΟΤ ΟΒβΤΟΛθΛΗΤβΛΗ (7), HanpaBJlHOTCH HaÓHCTpOAeHCTByKmHH Λθτθκτορ H3HyH6HHH (10). Μ3ΜβρΗΤβΛΒΗΗίίοηγηθλ oópaóaTHBaeTCH 9ΛβκτροΗΗΗΜ óhokom (II), h ynpaBJíHioinaHΒΘΛΗΗΗΗΗ (12), IIOHyHeHHaH B pe3yflBTaTe CpaBHSHHH 3a,naHHoro 9 η fleňcTBHTejiLHoro 3HaqeHHž, nocpejtcTBOM ΘΛβκτροβσκοΓΟÓJIOKa ΠΗΤΒΗΗΗ (5) CneííHaJILHOrO HHTep$epOMeTpa (4) HCIIOJIB-3yeTca řyifl peryjmpoBaHHH πθρθΜθΗΗοδ oTpajfcaTejitHož cnocoó-hocth Rg t&amp;k, qTO oóecneHKBaeTCfl 3an,aHHoe 3ηβηθηη6 μοπιηοοτη Jiaeepa. iái ΙΟ ΦορΜΰΓΛΗ 030(5ρβΤΘΗΗΗ ycTpoftOTBO jvih cejieKUHH no λληηβμ βολή h BHyTpeHHeft Mony-JPHÍ00 MOmHOCTH H3JiyqeHHfl BHCOKOMmHHX COg-tfaSepOB, GOCTOfl-mee H3 ycTaHOBJíeHHHX b pe3OHaTope η&amp;οτοτηο-οθλθκτηβηογο9JieMeHTa (2) η ΗΗτβρφβροΜβτρΗ (4), oópa3yiomero BHXojmoe3ΘΡΚ8ΛΟ pe30HaT0pa, C ÓHCTpO Η3ΜβΗΗβΜ0&amp; oTpa&amp;aTejiBHoS cno-coóhoctbd h no3BOJia»mee Moj^yjunnco Jia3epHofi moqíhocth Buóopoa-ho b npe,nejrax ot HenpepHBHoro pexHMa biuiotb χο MGsyjianaHAoópoTHOGT0 npn reHepnpoBaHHH 0Mnyjn>coB c cobhhm BHÓpocoMΠ0ΚΟΒΟ3 MQfflHQCTH, ΟΤΛΗηΗΚΗζββΟΗ ΤβΜ,ΠΤΟ corjiacoBaHHtiĚ obo3MO3khhm AHana30H0M αληη βολή COg-Jiasepa qacTOTHO-cejieK-thbhhě 9ΛΘΜΘΗΤ (2), npeHMymecTBeHHo npH3wa 03 nponycicaiomeroΛΒ3θρΗ0β H3JiyqeHne MaTepKana 0 ra3opa3pOTan TpyóKa (I) cy3K0ft yiUIOBO# ΟΘΛβΚΤΗΒΗΟΟΤΒ© yCTaH0B£6HH B Jia3epHQM pe30-HaTOpe TaKHM 0Ópa30M, *ITO B ΟΟΟΤΒβΤΟΤΒΗΗ C yGTaHOBΛeHHHMHa ^aCTOTHO—ΟβΛβΚΤΗΒΗΟΜ ΘΛβΜβΗΤβ (2) 3ΗβΠβΗΗβΜ ΛΛ0ΗΗ ΒΟΛΗΗb Μβοτβ ycTaHOBKH ΗΗτβρφβροΜβτρη (4) C03,n;aeTCíi HeoóxojpiMoejyiH «eJiaeMoro Φ^ήκιϊηοηηροβηηηη Jia3epa ruiocKoe mohoxpomhth-HeCKOe ΒΟΛΗΟΒΟβ Π0Λ6ο
Cm. Φηγ. I ycipoficTBO jma cejieKuHH no jvumaie bojih h BHyTpeHHeft
MOflyjnmHH mouíhocth H3JiyqeHHH bhcokomohihhx COg-JiasepoB
AHHOTaiíHH Μ3θόρβτθΗΐιβ KacaeTcn ycTpoíícTBa juih cejieKiizz no jymHaM bojihh BHyTpeHHeií MO^yJiHHza modihocth H3JiyneHHH bhcokomoiuhhxC02~Jia3epoB, ncnoJií>3yeMHX npeHMymecTBeHHo jyifl oópaóoTKHMaTepnajiOB η λλη npoqeccoB, Tpeóywix πρημθηθηηη Z3Jiyqe-hklh cTporo onpenejieHHoS λοηη bojhíh, HanpHMep, npz ceJieK- 'THBHOM BQ3ÓyHWeHZH MOJieKyJI.
UpJIL H30ÓpeT6HHfl COCTOHT B COSflaHHH cooTBeTCTByioinero ycTpoĚ-cTBa, κοτοροβ Hapnay c onTHMajiBHHM npeoópa3OBaHHeM HMeoneácHb pacnopnxeHHH cpejme# μοήηοοτη Jia3epa b μοπηϊοοτβ HMnyjiBCOBH3JiyneHHH πο3βο;ιηθτ reHepHpoBaHne onpejiejieHHHX nocjresoBaTeJn»HOCTeft HMnyJEbCOB C CHJILHHM BHÓpOCOM ΠΗΚΟΒΟΗ MOUCHOCTK H BHCO-kož nacTQTOft cJie^oBaHun HMnyjiBCOB ρ,ο ηθοκολβκηχ kTh npz o#-ΗΟΒρθΜβΗΗοβ ceJieKiíHH ojmoft TpedyeMoft jyiHHu bojhíh b snana3o-He 9 mkmS^sII mkm.
CorJiacHO Η3θόρβτβΗΗΚ) 3Ta 3ajiana peinaeTCfl c πομοπιβκ ycTpoftcT-Ba, κοτοροβ c o^HOft ctopohh, nocpejicTBOM ycTaHOBJíeHHHX b pe-30HaT0pe nacTOTHO—cejieKTHBHoro 3JieMeHTa h ra3opa3pn,HHOftTpyÓKH c y3K0ft yrjiOBoft cejieKTHBHocTBio npHHyamaeT bhcokomoiu-hhž COg-^asep paóoTaTB Ha npoH3BOJiBHo BHÓHpaeMOft, ho ποο.το-hhhoíí jyizHe bojihh, óJiarojiapn Hewiy, c jipyroft ctopohh, cosAa-eTCH B03M0JKH0CTB ÓHCTpOfleftCTByiOnieň MOnyJIHIíHH flOÓpOTHOCTHnocpejicTBOM $yHKiHíOHHpyroniero b KanecTBe 3JieMeHTa BHBO.nacnennaJiLHoro ΗΗτβρφβροΜβτρβ c nepeweHHOH oTpaxcaTeJiBHoftCnOCOÓHOCTBK).
CrincoK HoiiojibaonaniiHX οονλοκηηχ ·οόοβιιαΜθΐΐΗΗ 1 ΟΠβΙΙΜΟΛΒΗβΛ I’a3Optt3pflAHafl TpyÓKa 2 tlacTOTHO-cejieKTHBHWÍí ολθμθητ Β PesonaTppHoe aepwio c iioctohhhoM οτρβχατθΛΒΗοΙΙ
OnOOOtíHOCTWO fl| 4 CuenwajibHnlí «ιιτθρφβροΜβτρ c πθρθμθκηοΜ 0Tpa«a-ΤΘΛ&amp;ΠΟΗ CnOCOÓHOOTWQ Rg 5 OjfOKTpiwaoKwH ójiok πητηιιμπ cnomwfiworo ΜΐιτορΡοροΜΘτρα
6 Rjíok HMTfiHwa ra3opa3pji,mfofó ípytíKH 7 Οβθτο,ηολμτολτ, 8 OTpaxftHHHU" nyqok~pa5oM0ro Jíyna
9 PaóoMMlí uiyM TO BHCTpiíH ,Ηθ'ΐ'θκτορ wajiyMtíiiiin TI ΟΛοκτροΗΗΐίίΐ ójiok ,φΐη cpnBHouwj Bíwnimoro wΛβίίΟΤηΜϊβΛΒΗΟΓΟ SH&amp;HOHKtt 12 ynpaBJínioman βθλμμμηπ

Claims (1)

  1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU Selekční zařízení vln podle délky a vnitřní modulacevy_zařovaného výkonu vysocevýkonných GO^-laserů, skládají-cí ae z umístěného v rezonátoru frekvenčně-selektivníhoprvku (2) a interferometru (4), vytvářející výstupní zrcad-lo rezonátoru, s rychle se měnící odrážecí schopností aumožňující výběrovou modulaci laserového výkonu v rozsahuod trvalého režimu až do modulace jakosti při generaci im-pulzů se silným výronem špičkového výkonu, se vyzna-čuje t í m, že sladěný s možným rozsahem vlnových délekCOg-laseru frekvenčně-selektivní prvek (2), především prizmaz materiálu propouštějící laserové záření a plynová výbojka(1) s úzkou úhlovou selektivitou jsou umístěny v laserovémrezonátoru tak, aby v souladu s umístěným na frekvenčně-selektivním prvku (2) vlnové délky v místě umístění inter-ferometru (4) se vytvořilo potřebné pro žádoucí činnostlaseru plošné monochromatické vlnové pole·
CS869290A 1986-01-09 1986-12-15 Zarizeni pro ziskavani vysokovykonnych impulsu co2 laseru CS929086A1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD86286072A DD256440A3 (de) 1986-01-09 1986-01-09 Anordnung zur wellenlaengenselektion und internen leistungsmodulation der strahlung von hochleistungs-co tief 2-lasern

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS929086A1 true CS929086A1 (en) 1988-06-15

Family

ID=5575789

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS869290A CS929086A1 (en) 1986-01-09 1986-12-15 Zarizeni pro ziskavani vysokovykonnych impulsu co2 laseru

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4845716A (cs)
EP (1) EP0229284B1 (cs)
JP (1) JPS62160783A (cs)
AT (1) ATE141719T1 (cs)
CS (1) CS929086A1 (cs)
DD (1) DD256440A3 (cs)
DE (1) DE3650557D1 (cs)
IN (1) IN167152B (cs)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0310000B1 (en) * 1987-09-28 1994-06-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser apparatus
US4939739A (en) * 1989-04-24 1990-07-03 Coherent, Inc. Laser alignment servo method and apparatus
DE4016579C2 (de) * 1990-05-23 1994-12-15 Fraunhofer Ges Forschung Laser mit Schwingspiegel zur Leistungsmodulation
US6424666B1 (en) 1999-06-23 2002-07-23 Lambda Physik Ag Line-narrowing module for high power laser
US6795473B1 (en) 1999-06-23 2004-09-21 Lambda Physik Ag Narrow band excimer laser with a prism-grating as line-narrowing optical element
US6421365B1 (en) 1999-11-18 2002-07-16 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6678291B2 (en) 1999-12-15 2004-01-13 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser
DE29907349U1 (de) 1999-04-26 2000-07-06 Lambda Physik Gesellschaft zur Herstellung von Lasern mbH, 37079 Göttingen Laser zur Erzeugung schmalbandiger Strahlung
US6603788B1 (en) 1999-11-23 2003-08-05 Lambda Physik Ag Resonator for single line selection
JP2007515765A (ja) * 2003-01-23 2007-06-14 エヌエルジー−ニュー レーザー ジェネレーション ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング レーザ共振器および周波数変換型のレーザ
US20090303555A1 (en) * 2008-06-04 2009-12-10 Lockheed Martin Corporation Camera platen
EP2564976B1 (en) 2011-09-05 2015-06-10 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with at least one gas laser and heat dissipator
EP2564974B1 (en) * 2011-09-05 2015-06-17 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of gas lasers with resonator tubes and individually adjustable deflection means
DK2564975T3 (en) * 2011-09-05 2015-01-12 Alltec Angewandte Laserlicht Technologie Ges Mit Beschränkter Haftung Selection apparatus with a plurality of lasers and sets of deflecting agents that can be individually adjusted
EP2565996B1 (en) 2011-09-05 2013-12-11 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Laser device with a laser unit, and a fluid container for a cooling means of said laser unit
ES2438751T3 (es) 2011-09-05 2014-01-20 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Dispositivo y procedimiento para marcar un objeto por medio de un rayo láser
ES2452529T3 (es) 2011-09-05 2014-04-01 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Dispositivo láser y procedimiento para marcar un objeto
DK2564973T3 (en) * 2011-09-05 2015-01-12 Alltec Angewandte Laserlicht Technologie Ges Mit Beschränkter Haftung Marking apparatus having a plurality of lasers and a kombineringsafbøjningsindretning
EP2564972B1 (en) * 2011-09-05 2015-08-26 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of lasers, deflection means and telescopic means for each laser beam

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1248405A (en) * 1968-11-04 1971-10-06 Sec Dep For Defence Formerly M Q-switched lasers
DE2044280A1 (de) * 1970-09-07 1972-03-09 Siemens Ag Modulierbarer Gaslaser
NL172502A (cs) * 1971-04-30
CH544426A (de) * 1972-04-28 1973-11-15 Bbc Brown Boveri & Cie Laser-Oszillator mit Auskopplungsmodulator
CH564262A5 (cs) * 1973-04-10 1975-07-15 Lasag Sa
IT1096353B (it) * 1977-04-19 1985-08-26 Magneti Marelli Spa Procedimento per aumentare la frequenza di ripetizione degli impulsi di un laser
DD134415A1 (de) * 1977-07-11 1979-02-21 Manfred Poehler Gasentladungsroehre fuer stimulierbare medien,vorzugsweise fuer optische sender oder verstaerker
DD143383A3 (de) * 1978-04-20 1980-08-20 Manfred Poehler Anordnung zur stabilisierung einer laserstrahlung
US4461005A (en) * 1980-10-27 1984-07-17 Ward Ernest M High peak power, high PRF laser system
DD234208A3 (de) * 1984-06-08 1986-03-26 Halle Feinmech Werke Veb Anordnung zur externen modulation von ir-laser-strahlung hoher leistung

Also Published As

Publication number Publication date
DD256440A3 (de) 1988-05-11
EP0229284A3 (en) 1989-04-26
ATE141719T1 (de) 1996-09-15
DE3650557D1 (de) 1996-09-26
JPS62160783A (ja) 1987-07-16
EP0229284B1 (de) 1996-08-21
IN167152B (cs) 1990-09-08
EP0229284A2 (de) 1987-07-22
US4845716A (en) 1989-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CS929086A1 (en) Zarizeni pro ziskavani vysokovykonnych impulsu co2 laseru
RU2017108455A (ru) Rgb-лазерный источник для осветительно-проекционной системы
CA2531353C (en) Pulsed laser light source
JP3421184B2 (ja) 波長可変レーザーにおける波長選択方法および波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置
EP0457479A2 (en) Nonlinear external cavity modelocked laser
DE60035821D1 (de) Abstimmbarer Hochleistungslaser
US4308506A (en) Fast acousto-optic Q-switch laser
CN112582858A (zh) 一种高精度可调谐太赫兹频率梳产生装置及方法
Dunning et al. The generation of tunable near IR radiation using a nitrogen laser pumped dye laser
US4791644A (en) Laser system incorporating broad band optical phase conjugation cell using stimulated brillouin scattering
CN106451032A (zh) 一种太赫兹波增强的内腔太赫兹波参量振荡器
JP4394844B2 (ja) 赤外光発生装置
GB1208048A (en) Gas laser
RU2657345C2 (ru) Мощный импульсный со2-лазер с самоинжекцией излучения
CN112670792B (zh) 一种基于优化级联差频同时产生多频太赫兹波的装置
Decker et al. Difference frequency generation by optical mixing of two dye lasers in proustite
US4112390A (en) Laser generator device emitting at a wavelength close to 1.3 microns
JPWO2021146346A5 (cs)
Bofchenko et al. Picosecond parametric oscillator amplifying radiation from a tunable semiconductor laser
Mahnke Optical Parametric Oscillator with intra cavity sum frequency mixing of alternating signal and idler radiation for generating tunable UV ns impulses
RU2831713C2 (ru) Лазерный источник мощного излучения среднего ИК-диапазона на основе кольцевого параметрического генератора на кристалле ZGP с высокой частотой импульса
US4412332A (en) High efficiency storage laser
CA1216053A (en) Submillimeter wave frequency shifter
Popp et al. A white-light HeSe+ laser
RU2023108371A (ru) Лазерный источник мощного излучения среднего ИК-диапазона на основе кольцевого параметрического генератора на кристалле ZGP с высокой частотой импульса