DE4016579C2 - Laser mit Schwingspiegel zur Leistungsmodulation - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Laser mit den Merkma­ len des Oberbegriffs des Anspruchs 1.

Es ist allgemein bekannt, Laserstrahlungsleistung zu modu­ lieren, indem mechanische Strahlablenker oder Zerhackerscheiben verwendet werden. Diese sind jedoch zu langsam, so daß sie hohe Modulationsfrequenzen nicht ermöglichen. Man kennt auch elek­ tro-optische und akusto-optische Modulatoren, die jedoch den hohen mittleren Strahlungsleistungen auf Dauer nicht standhal­ ten. Es wäre zwar möglich, die kleinere Strahlungsleistung ei­ nes Lasers zu modulieren und nachfolgend Laserverstärker einzu­ setzen, jedoch ist der Aufbau aufwendiger und der Wirkungsgrad ungünstiger als bei einem leistungsmodulierten Laser höherer Leistung.

Es ist auch bekannt, einen der Resonatorendspiegel als Schwingspiegel auszuführen, um durch periodische Änderung der Resonatorlänge den axialen Mode des Resonators zu ändern, oder um durch periodische Verkippung eines Resonatorendspiegels die optischen Verluste zu ändern und damit die Ausgangsleistung des Lasers zu modulieren. Bei vielen Hochleistungslasern, wie z. B. bei Kohlendioxidlasern, sind die physikalischen und baulichen Gegebenheiten jedoch nicht so, daß die Ausbildung eines der Re­ sonatorendspiegel als Schwingspiegel mit ausreichender Modula­ tionswirkung oder mit annehmbarem baulichem Aufwand durchzufüh­ ren sind.

Aus MACINTOSH, I.W.: Repetitive Q-Switching of a Conti­ uously Pumped Nd/YAG Laser Using a Fabry-Perot Interferometer, In: Physics Letters, Vol. 28A, No.7, January 1969, S. 497-498 ist ein Laser mit einem den Laserstrahl in den Resonator reflektie­ renden, periodisch in den Richtungen der Resonatorachse schwin­ genden Spiegel bekannt. Dieser Spiegel ist Bestandteil eines der Leistungsmodulation dienenden Fabry-Perot-Interferometers, welches als variables Auskoppelelement des Resonators wirkt. Die Modulation der Laserleistung erfolgt durch eine Modulation der Transmission des Fabry-Perot-Interferometers. Dessen schwingender Spiegel wird von einem piezokeramischen Tubus ab­ gestützt, der nur am Rand des Spiegels angreift. Infolgedessen ist die Schwingfrequenz des Spiegels begrenzt, der wegen der erforderlichen Auskopplung beispielsweise aus ZnSe besteht und wegen seines endlichen Elastizitätsmoduls bei höheren Frequen­ zen einen Membraneffekt aufweist, der die optischen Eigenschaf­ ten infolge Spannungsdoppelbrechung erheblich verschlechtert. Diese Anordnung ist daher nur für vergleichsweise geringe La­ serleistungen in einem Bereich bis zu wenigen kHz geeignet.

Aus der DE 29 00 609 A1 ist ein piezoelektrisches Stell­ glied zur Steuerung der Laserstrahl-Bahnlänge bekannt, welches sich durch größere Einfachheit und höhere Steifheit eines Sta­ pels piezoelektrischer Scheiben auszeichnet. Die Laser­ strahl-Bahnlänge soll bei Temperaturwechseln konstant bleiben. Diese Temperaturwechsel erfolgen nur sehr langsam, so daß das Stellglied quasi statisch wirkt, keineswegs aber im Ultra­ schallbereich.

Aus der US 4 267 478 ist ebenfalls ein piezoelektrisches Stellglied zur Einstellung der Laserstrahl-Bahnlänge bekannt, das in Abhängigkeit von Temperaturwechseln der Umgebung oder der Eigenerwärmung die Bahnlänge steuert, ohne dabei im Ultra­ schallbereich zu arbeiten.

Aus der US 3 546 620 ist ein Laser mit einem den Laser­ strahl in den Resonator reflektierenden Spiegel bekannt, der von einem als piezioelektrisches Element ausgebildeten Quarz­ block bewegt wird. Dieses piezoelektrische Element wird mit ei­ nem Spannungsimpuls angeregt, so daß der Spiegel aus einer Ru­ heposition in eine Position bewegt wird, in der die Laseremis­ sion unterdrückt wird. Danach kehrt der Spiegel in seine Ruhe­ position zurück. Eine Ultraschallschwingung im Sinne einer Re­ sonanzschwingung findet nicht statt.

Aus MARCUS, S., STEIN, D.T.: Piezoelectric Q-switching of a CO₂ laser. In US-Z.: Rev. Sci. Instrum., Vol. 58, No. 1, 1987, S. 128-130 ist ein Laser mit den eingangs genannten Merkmalen bekannt. Aus einer in dieser Druckschrift genannten Fundstelle geht hervor, daß der Ultraschallschwinger aus Minitranslatoren in Stapelbauweise besteht. Deren Schwingungsfrequenz hängt von der Schwingungsmasse ab, weswegen der Ultraschallschwinger so leicht wie möglich ausgebildet wird, wenn hohe Schwingungsfre­ quenzen erreicht werden sollen. Die Leistung des bekannten La­ sers liegt im Wattbereich.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Laser mit den eingangs genannten Merkmalen so zu verbessern, daß seine Strahlungsleistung im Bereich von einigen Kilowatt mit den ver­ gleichsweisen hohen Modulationsfrequenzen des Ultraschallbe­ reichs moduliert werden kann.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Kennzeichenteils des Anspruchs 1 gelöst.

Erfindungsgemäß wird ein Ultraschallschwinger eingesetzt, der im Bereich oberhalb von 20 kHz arbeitet und mit relativ kleinen Spiegelauslenkungen schwingt. Die Schwingungen erfolgen in den Richtungen der Resonatorachse, demgemäß also der Abstand zwischen dem Schwingspiegel und dem ihm benachbarten teiltrans­ missiven Resonatorendspiegel veränderlich ist. Dementsprechend ändert sich die Resonatorlänge für den durch den Schwingspiegel reflektierten Anteil der Laserstrahlung und es ergibt sich eine daraus herrührende Modulation der Ausgangsleistung des Lasers.

Der Ultraschallschwinger ist insbesondere auch zur Nachrü­ stung von bereits in Betrieb befindlichen Lasern geeignet.

Durch die zeitliche Modulation der Laserstrahlung bzw. ih­ rer Leistung kann eine Verbesserung der Bearbeitung, z. B. des Schneidens, des Schweißens, des Bohrens oder der Oberflächenbe­ handlung erreicht werden, nämlich hinsichtlich der Bearbei­ tungsqualität und der -parameter. Beispielsweise werden die Schneidflächen glatter, oder es kann bei gleicher Rauhigkeit mit höheren Schneidgeschwindigkeiten gearbeitet werden.

Der Laser ist so ausgebildet, daß der Ultraschallschwinger im wesentlichen aus einem Schwingstab besteht, dessen Stabachse mit der Resonatorachse fluchtet, und dessen eines Ende den Schwingspiegel aufweist, der vertikal zur Stabachse angeordnet ist. Die Ausbildung des Ultraschallschwingers als Schwingstab ergibt eine Gestaltung, die dem längsgestreckten Aufbau des La­ sers gemäß ist und sich daher einfach in dessen Aufbau inte­ grieren bzw. an das Lasergehäuse anbauen läßt.

Für den Zusammenbau des Ultraschallschwingers mit dem La­ ser bzw. mit dessen Gehäuse ist der Laser speziell so ausgebil­ det, daß der Schwingstab aus zwei, zwischen sich einen Schwin­ gungserreger aufweisenden Stabteilen besteht, die fest mitein­ ander verbunden und beidseitig einer Haltescheibe angeordnet sind, die einen radialen Lagerflansch hat. Der Aufbau des Ul­ traschallschwingers ist symmetrisch und daher grundsätzlich für hohe Schwingungsfrequenzen geeignet. Die Stabteile können den jeweiligen baulichen und schwingungsmäßigen Erfordernissen ent­ sprechend ausgestaltet werden. Der Schwingstab kann also als Baukastensystem ausgebildet werden.

Der Laser ist so ausgebildet, daß die Haltescheibe des re­ sonant anregbaren Ultraschallschwingers in der Nähe des Schwin­ gungsknotens der niedrigsten Resonanzfrequenz des Schwingstabes angeordnet ist. Durch resonante Anregung des Ultraschallschwin­ gers werden größere Auslenkungen des Schwingspiegels erreicht. Das gilt insbesondere für die niedrigste Resonanzfrequenz. Die Anordnung der Haltescheibe in der Nähe des Schwingungsknotens dieser niedrigsten Resonanzfrequenz bewirkt, daß nur geringe Schwingungsamplituden des Schwingungsstabes auf die Halteschei­ be übertragen werden, deren Befestigung am Lasergehäuse infol­ gedessen entsprechend entlastet ist.

Der Laser bzw. sein Ultraschallschwinger wird so ausgebil­ det, daß der laserseitige Stabteil ein massiver Metallblock ist, dessen freie Stirnseite den Schwingspiegel bildet. Infol­ gedessen ist der laserseitige Stabteil ein einziges massives Bauteil, dessen freie Stirnseite beispielsweise poliert ist. Als Metall wird z. B. Kupfer oder Aluminium verwendet. Die Aus­ bildung des laserabgewandten Stabteils mit einem massiven Me­ tallendstück dient dem symmetrischen Aufbau des Schwingstabs.

Der Laser kann so ausgebildet werden, daß die laserseitige Stirnfläche des massiven Metallblocks mit einer dielektrischen Beschichtung versehen ist. Die dielektrische Beschichtung wird dann vorgesehen, wenn der Reflexionsgrad noch verbessert werden soll.

Der Laser bzw. sein Ultraschallschwinger ist des weiteren so aufgebaut, daß der laserabgewandte Stabteil an die Hal­ tescheibe angrenzend elektrisch anregbare piezoelektrische Scheibenringe als Schwingungserreger hat. Mit Hilfe der Schei­ benringe kann der Schwingstab des Ultraschallschwingers ange­ regt werden, mechanische Schwingungen in Richtung seiner Achse auszuführen.

Die beiden Stabteile sind unter Einschluß der Haltescheibe miteinander verschraubt, wobei durch die Verschraubung die für die Schwingung erforderlichen Rückstellkräfte aufgebracht wer­ den.

Eine zweckmäßige Ausgestaltung des Lasers liegt vor, wenn die Haltescheibe ein begrenzt kippverstellbarer Abschlußdeckel eines etwa hohlzylindrischen, den laserseitigen Stabteil um­ schließenden Anschlußgehäuses des Lasergehäuses ist. Vorteil­ hafterweise ist dabei die Haltescheibe mit federbeaufschlagten Justierschrauben über einen Abdichtungsring am Anschlußgehäuse abgestützt. Der Abdichtungsring gestattet die für das Justieren der Kippstellung der Haltescheibe erforderlichen Relativbewe­ gungen.

Der Laser ist des weiteren so ausgebildet, daß das An­ schlußgehäuse des Schwingspiegels aus einem am Lasergehäuse ab­ gedichtet befestigten unverschieblichen Gehäuseteil und aus ei­ nem daran abgedichtet längsverschieblichen, die Haltescheibe tragenden Gehäuseteil besteht. Mit Hilfe des längsverschiebli­ chen Gehäuseteils kann die Lage des Ultraschallschwingers rela­ tiv zum Resonator eingestellt werden, wodurch die Rückwirkung des Schwingspiegels auf den Resonator vorbestimmt wird. Diese Einstellung des längsverschieblichen Gehäuseteils wird zweck­ mäßigerweise dadurch erreicht, daß der unverschiebliche Gehäu­ seteil des Spiegelanschlußgehäuses einen arretierbaren Drehring mit Innengewinde hat, in das ein Außengewinde des verschiebli­ chen Gehäuseteils eingreift.

Vorteilhaft ist es des weiteren, daß in dem zwischen dem Schwingspiegel und einem feststehenden, teiltransmissiven Reso­ natorendspiegel gelegenen Hohlraum des Spiegelanschlußgehäuses ein laseraktives oder ein nicht laseraktives Medium vorhanden ist. Wird ein laseraktives Medium verwendet, so bildet der Schwingspiegel mit den Endspiegeln des Resonators einen zusätz­ lichen Resonator variabler Länge mit dementsprechenden Modula­ tionen der Laserausgangsleistung. Ist das im Hohlraum befindli­ che Medium nicht laseraktiv, so kann es trotzdem mit der Laser­ strahlung wechselwirken, indem es beispielsweise die Transmis­ sion dieser Strahlung beeinflußt. Diese Beeinflussung ist von der durch den Schwingspiegel bestimmten jeweiligen Länge des Transmissionsweges abhängig, so daß sich dementsprechend die Strahlungsleistung bzw. die Transmissionsverlustleistung än­ dert, wodurch die Laserausgangsleistung demgemäß beeinflußt wird. Das im Hohlraum befindliche Medium kann aber darüber hin­ aus auch Schutzfunktionen haben, beispielsweise eine Oxidation der Metalloberfläche des Schwingspiegels verhindern.

Wenn die Haltescheibe einen ringförmigen Kühlkanal auf­ weist, kann die in der Haltescheibe und im Schwingstab anfal­ lende Wärme abgeführt werden, beispielsweise die vom Schwing­ spiegel bzw. vom gesamten Stab absorbierte Strahlungsleistung oder Wärme bzw. die von den piezoelektrischen Scheibenringen erzeugte Verlustwärme.

Die Erfindung wird anhand eines in der Zeichnung darge­ stellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung der wesentlichen Bau­ teile eines Lasers mit einem periodisch schwingenden Spiegel,

Fig. 2 den Schnitt AB der Fig. 3,

Fig. 3 eine vereinfachte Ansicht in Richtung A der Fig. 2, und

Fig. 4a bis 4c die Abhängigkeit von Laserleistungen und Spiegelauslenkungen von der Zeit.

In Fig. 1 ist ein aus den beiden Endspiegeln S1, S2 gebilde­ ter stabiler Resonator 11 dargestellt. Die Verwendung eines La­ sers mit instabilem Resonator ist jedoch ebenso möglich. Die Spiegel S1, S2 sind teiltransmissiv. Durch den Spiegel S1 wird der mit Hilfe des Lasermediums 13 erzeugte Laserstrahl 10 in der Richtung des Pfeils 10′ ausgekoppelt. Des weiteren ist ein reflektierender Spiegel S3 vorhanden, und zwar in veränderli­ chem Abstand vom Endspiegel S2. Letzterer ist ebenfalls teil­ transmissiv, so daß Laserstrahlung aus dem Resonator 11 auf den Spiegel S3 fällt und von diesem reflektiert wird. Der Spiegel S3 ist also an den Resonator 11 gekoppelt und kann auf die im Resonator 11 erzeugte Laserstrahlung optisch einwirken.

Die Einwirkung des Spiegels S3 erfolgt unter Verstellung in Richtung der Resonatorachse 15. Diese Verstellung erfolgt periodisch hin- und hergehend, so daß Längenänderungen Δz(t) in z-Richtung auftreten. Der Spiegel S3 ist also ein Schwingspie­ gel, dessen optische Einflußnahme auf die Laserstrahlung perio­ disch ist, so daß die vom Laser abgegebene Laserstrahlung 10 zeitlich moduliert ist, also einen periodischen Verlauf P_L(t) hat.

Die optische Kopplung des Schwingspiegels S3 an den Reso­ nator 11 hängt von mehreren Einflußgrößen ab, welche sich auf die Modenanpassung der Strahlung des Resonators 11 und die Rückstrahlung des Schwingspiegels S3 auswirken. Einige dieser Einflußfaktoren sind in Fig. 1 angegeben und können allgemein mit Krümmungsradius ϕ_i und Reflexionsgrad R_i bezeichnet werden.

Betrachtet man in Fig. 1 nur den aus den Spiegeln S1, S2 ge­ bildeten Resonator, so wird dieser im Erregungsfall eine Aus­ gangsleistung P_L(t) haben, die durch Fig. 4a veranschaulicht wird. Die Laserausgangsleistung P_L bleibt während der Zeit t konstant. Wird der Spiegel S3 in die Betrachtung mit einbezo­ gen, so ist ein Resonatorsystem der Spiegel S1 bis S3 vorhan­ den, indem S3 bewegt wird. Die diesbezügliche Spiegelauslenkung von S3 ist in Fig. 4b dargestellt, und zwar idealisiert als si­ nusförmige Schwingung um die Ausgangslage z₀. Aus der Bewegung des Spiegels S3 resultiert eine Modifizierung der Laserausgangsleistung P_L(t) für das System S1 bis S3 gemäß Fig. 4c. Es ist ersichtlich, daß die Modulation der Strahlungs­ leistung P_L(t) mit der doppelten Schwingungsfrequenz des Spie­ gels S3 erfolgt, weil die Relativbewegung S3 zu S2 entscheidend ist.

In Fig. 2 ist der Laser mit dem den Spiegel S2 aufweisenden Ende seines Lasergehäuses 12 dargestellt, das mit einem Kühlka­ nal 36 versehen ist, welcher über einen Kühlmittelanschluß 37 mit Kühlmitteln versorgt wird, um die im Lasergehäuse 12 anfal­ lende Prozeßwärme des Resonators 11 abführen zu können. Der Spiegel S2 liegt an einer Schulter 38 des Lasergehäuses 12 an und ist von einem Druckring 39 über einen elastischen Dich­ tungsring 40 druckbeaufschlagt. Der Druckring 39 wird seiner­ seits von einem Anpreßring 41 beaufschlagt, der abgedichtet am Druckring 39 anliegt und in eine mit Innengewinde versehene Ausnehmung 42 des Endes des Lasergehäuses 12 eingeschraubt ist.

An dem vorbeschriebenen Ende des Lasergehäuses 12 besitzt dieses ein Anschlußgehäuse 25, das im wesentlichen aus einem am Lasergehäuse 12 unverschiebbar befestigten Gehäuseteil 29 und einem daran längsverschiebbaren Gehäuseteil 30 besteht. Das Gehäuseteil 29 greift mit einem Rohrstutzen 43 in den Anpreß­ ring 41 ein. Zwischen dem Anpreßring 41 und dem Rohrstutzen 43 wirkt ein Dichtungsring 44. Der Gehäuseteil 29 ist mit einem Befestigungsflansch 45 von Befestigungsschrauben 46 am Laserge­ häuse 12 fest verschraubt. Er trägt außerdem einen vom Laserge­ häuse 12 abgewandten Drehring 31, der mit einem Ringbund 31′ in einer Umfangsnut des Befestigungsflansches 45 eingreift, die ringinnenseitig von einem Abdeckring 47 im Sinne einer Festle­ gung des Drehrings 31 abgedeckt und mit nicht dargestellten Be­ festigungsschrauben am Befestigungsflansch 47 verschraubt ist. Der Drehring 31 hat ein Innengewinde 32, welches in ein Außen­ gewinde 33 des zweiten Gehäuseteils 30 eingreift. Ein Drehknopf 31′ dient der Arretierung des Drehrings 31.

Der zweite verschiebbare Gehäuseteil 30 ist axial ge­ führt, und zwar mit Hilfe von Führungsstiften 48, die im Befe­ stigungsflansch 45 des ersten Gehäuseteils 29 befestigt sind. Diese Stifte sind von Druckfedern 49 umschlossen, die auf den Gehäuseteil 30 drücken, so daß dieser spielfrei erhalten ist. Der Gehäuseteil 30 gleitet axial auf einem Axialstutzen 51 des Gehäuseteils 29 unter Einschluß eines Abdichtungsrings 50. Der von dem Gehäuseteil 29 und dem Gehäuseteil 30 gebildete Hohl­ raum 34 des im wesentlichen zylindrischen Anschlußgehäuses 25 wird von einer als Abschlußdeckel ausgebildeten Haltescheibe 21 verschlossen. Die Haltescheibe 21 liegt über einen Abdichtungs­ ring 28 am Gehäuseteil 30 an und wird von Justierschrauben 27 beaufschlagt, die in einen das Außengewinde 33 aufweisenden Ge­ windeflansch 52 des Gehäuseteils 30 eingreifen. Die Halteschei­ be 21 ist sowohl über den Abdichtungsring 28 schwingungsdämp­ fend am Gehäuseteil 30 abgestützt, wie auch über Dämpfungsringe 53, über die sich der Schraubenkopf der Justierschrauben 27 an der Haltescheibe 21 abstützt. Die Justierschrauben 27 sind von Druckfedern 54 umgeben, um den Abdichtungsring 28 zu entlasten und damit die Haltescheibe 21 schwingungsmäßig vom Gehäuseteil 30 zu entkoppeln.

Die Haltescheibe 21 trägt den Ultraschallschwinger 14, der im wesentlichen aus einem Schwingstab 16 besteht. Der Schwing­ stab 16 ist mit seiner Stabachse 17 fluchtend mit der Resona­ torachse 15 angeordnet.

Der Schwingstab 16 hat zwei Stabteile 19, 20, die beidsei­ tig der Haltescheibe 21 angeordnet sind. Der laserseitige Stab­ teil 19 greift in den Hohlraum 34 ein und ist ein massiver Me­ tallblock, dessen freie Stirnseite den Schwingspiegel S3 bil­ det. Der Metallblock besteht beispielsweise aus Kupfer oder Aluminium. Der laserabgewandte Stabteil 20 hat zwei piezoelek­ trische Scheibenringe 24, die als Schwingungserreger 18 des Stabs 16 dienen. Sie werden elektrisch angeregt, beispielsweise durch eine Mittenelektrode 55, die mit zwei nicht dargestell­ ten, an den Außenseiten der Scheibenringe 24 angeordneten Elek­ troden zusammenwirkt, welche beispielsweise an die Haltescheibe 21 angeschlossen sind, die ihrerseits ein von der Mittenelek­ trode 55 abweichendes Potential hat. Die Scheibenringe 24 lie­ gen zwischen der Haltescheibe 21 und einem Metallendstück 26, das ebenfalls massiv ist und aus demselben Werkstoff besteht, wie der Stabteil 19. Die Teile 19, 21, 20 und 26 werden von einem alle Teile in entsprechenden Bohrungen durchsetzenden und in den Stabteil 19 eingeschraubten Gewindebolzen 56 zusammengehal­ ten und von einer Spannmutter 57 verspannt. Die Ausbildung des Schwingstabs 16 ist also derart, daß sich die Haltescheibe 21 etwa in der Stabmitte befindet, also etwa dort, wo sich bei der niedrigsten Resonanzfrequenz des resonant angeregten Schwing­ stabs 16 der Schwingungsknoten befindet, so daß nur in geringem Maße Schwingungsenergie auf das Anschlußgehäuse 25 bzw. das La­ sergehäuse 12 übertragen wird. Infolgedessen steht die Schwin­ gungsenergie weitgehend für den Schwingstab 16 zur Verfügung. Dessen Länge bestimmt die Resonanzfrequenz. Je kürzer die Stab­ länge ist, desto höher kann die Resonanzfrequenz sein. Es erge­ ben sich Auslenkungen Δz(t) des Spiegels S3 in z-Richtung. Die dabei im Schwingstab 16 bzw. in der Haltescheibe 21 anfallende Verlustenergie wird mit Hilfe eines ring förmigen Kühlkanals 35 abgeführt. Fig. 3 zeigt Anschlußrohre 58 für den Kühlkanal 35.

Fig. 3 zeigt außerdem eine Anschlußleitung 59, mit der Gas in den Hohlraum 34 geleitet werden kann. Wenn das Gas sauer­ stofffrei ist, wird eine Oxidation der Spiegeloberfläche des Spiegels S3 vermieden. Wird ein mit der Laserstrahlung wechsel­ wirkendes Gas verwendet, beispielsweise Kohlendioxid oder Schwefelhexafluorid, so kann dadurch die optische Rückwirkung zusätzlich beeinflußt werden, und damit die Modulation der Lei­ stung des emittierten Laserstrahls 10. Dabei ist die Einsatz­ möglichkeit der Vorrichtung nur durch die Belastbarkeit der Spiegeloptiken begrenzt, insbesondere der Spiegel S1, S2.

Claims (10)

1. Laser mit einem den Laserstrahl (10) in den Resonator (11) reflektierenden, periodisch in den Richtungen der Resona­ torachse (15) schwingenden Spiegel (S3), der Bestandteil eines Schwingstabes (16) eines am Lasergehäuse (12) mit einer radialen Haltescheibe (21) justierbar angebrachten Ultraschallschwingers (14) ist, dadurch gekennzeichnet,

• - daß der Schwingstab (16) aus zwei, zwischen sich einen Schwingungserreger (18) aufweisenden Stabteilen (19, 20) besteht, die unter Einschluß der radialen Haltescheibe (21) fest miteinander verbunden sind,
• - daß der Schwingspiegel (S3) aus der laserseitigen Stirn­ fläche eines massiven Metallblocks des laserseitigen Stab­ teils (19) besteht,
• - daß der laserabgewandte Stabteil (20) ein massives Me­ tallendstück (26) hat und
• - daß der Schwingstab (16) bei Frequenzen oberhalb von 20 kHz resonant anregbar ist, wobei die Haltescheibe (21) in der Nähe des Schwingungsknotens der niedrigsten Reso­ nanzfrequenz (16) angeordnet ist.

2. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die la­ serseitige Stirnfläche des massiven Metallblocks mit ei­ ner dielektrischen Beschichtung versehen ist.

3. Laser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der laserabgewandte Stabteil (20) an die Haltescheibe (21) angrenzend elektrisch anregbare piezoelektrische Scheiben­ ringe (24) als Schwingungserreger (18) hat.

4. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die beiden Stabteile (19, 20) unter Einschluß der Haltescheibe (21) miteinander verschraubt sind.

5. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Haltescheibe (21) ein begrenzt kippver­ stellbarer Abschlußdeckel eines etwa hohlzylindrischen, den laserseitigen Stabteil umschließenden Anschlußgehäuses (25) des Lasergehäuses (12) ist.

6. Laser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltescheibe (21) mit federbeaufschlagten Justierschrauben (27) über einen Abdichtungsring (28) am Anschlußgehäuse (25) abgestützt ist.

7. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Anschlußgehäuse (25) des Schwingspiegels (S3) aus einem am Lasergehäuse (12) abgedichtet befestig­ ten unverschiebbaren Gehäuseteil (29) und aus einem daran abgedichtet längsverschiebbaren, die Haltescheibe (21) tragenden Gehäuseteil (30) besteht.

8. Laser nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der un­ verschiebbare Gehäuseteil (29) des Spiegelanschlußgehäu­ ses (25) einen arretierbaren Drehring (31) mit Innenge­ winde (32) hat, in das ein Außengewinde (33) des ver­ schiebbaren Gehäuseteils (30) eingreift.

9. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in dem zwischen dem Schwingspiegel (S3) und einem feststehenden, teiltransmissiven Resonatorendspiegel (S2) gelegenen Hohlraum (34) des Spiegelanschlußgehäuses (25) ein laseraktives oder ein nicht laseraktives Medium vorhanden ist.

10. Laser-nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Haltescheibe (21) einen ringförmigen Kühlkanal (35) aufweist.