CS269119B1 - Pracovní stůl pro speciální procesy - Google Patents

Abstract

V nosné konstrukci otočného stolu je7jako součást hnacího mechanismu planet uloženo jednak ozubené kolo, s nímž jsou v záběru pastorky pevně přichycené k planetový* pouzdrům a jednak v ložiskách hnací hřídel pevně spojený s ložiskovými pouzdry, které jaou součástí otočného stolu a v kterých jsou otočně uložena pomocí planetových ložisek planetová pouzdra a vyjímatelně usaznými planetami, a otočný stůl je a výhodou opatřen ďvčma stínícími deskami.

Description

Vynález ee týká pracovního atolu pro speciální procesy, zejměns ve vakuu.

Současné pracovní stoly pro vakuové pokovování Jsou řešeny bez aožnosti ode tranit přídavný rotační pohyb substrátu. Tím Je značně omezena universálnost pracovního atolu, zvláčté pro rozměrné předměty, pokud se má u známých řešení přídavný rotační pohyb substáru odstranit, není to obvykle možné bez značného montážního zásahu do konstrukce zařízení, což Je značně namáhavé zejména a ohledem na vakuovou hygienu, avšak i časově náročné. Tato zařízení nejsou opatřena stínícími plechy, což způsobuje jejich nežádoucí tepelné zatížení, má značné energetické nároky e velké množství asterlálu, obvykle strategického, ulpívá pasivně na plochách zařízení. Tato známá zařízení nemají navíc plynulý pohyb planet, které Jaou natáčeny krokově. Tento nerovnoměrný pohyb ovlivňuje nepříznivě provoz celého zařízení po stránce mechanické 1 fyzikální.

Tyto nevýhody odstraňuje pracovní stůl pro speciální procesy podle vynálezu, sestávající z nosné konstrukce a otočného atolu a planetami, podatatou vynálezu Je, že v nosné konatrukci je Jako součást hnacího mechanismu planet uloženo Jednak ozubené kolo, ae kterým Jaou v záběru pastorky pevně přichycené k planetovým pouzdrům a Jednak v ložiskách hnací hřídel, pevně spojená rameny a ložiskovými pouzdry, které Jsou součástí otočného stolu a v kterých Jsou otočně uložena pomocí planetových ložisek planetová pouzdra s vyjímatelně usazenými planetami, přičemž otočný stůl je a výhodou opatřen atíniclmi deskami se štěrbinami, a to spodní stínící deskou, izolačně uchycenou k nosné konstrukci a horní stínicí deskou, Izolačně uchycenou k otočnému atolu.

Pokrok dosažený vynálezem spočívá v plynulém obecném rotačním pohybu planet, čímž se dosahuje rovnoměrnosti chodu zařízení. To má příznivý vliv na kvalitu technologického procesu i životnoat zařízení, vyjímatelné universální planety umožňují snadno a rychle odatranit přídavný rotační pohyb v případě, kdy je nežádoucí. Stínicí desky svou funkcí snižují značně spotřebu elektrické energie, zabraňují škodlivému ohřevu funkčních prvků, snižují spotřebu strategických kovů a zvětšují depoziční rychlost. Tím, že je zabráněno nežádoucímu nánosu vrstev na důležité elementy zařízení, není narušována činnoat hnacího ayatému planet a všech rotačních uložení.

Vynález je zobrazen na připojeném výkreau, který představuje řez pracovním stolem pro speciální procesy.

Pracovní stůl pro speciální procesy sestává z nosné konstrukce 1_ a otočného stolu 2. V nosné konstrukci 2 je horní ložisko 3 a spodní ložisko 4, v kterých je uložen hnací hřídel 5. Dále Je v noané konatrukci £ uloženo ozubené kolo 6, které Je součástí hnacího mechanismu planet 7. V otočném stole 2 jsou umístěny planety 7, vyjímatelně uložené v planetových pouzdrech 8, která Jsou otočně uložena pomocí horních planetových ložisek 9 a spodních planetových ložisek 10 v ložiskových pouzdrech n , které Jsou pevně spojena rameny 12 s hnacím hřídelem 5. Na každém planetovém pouzdře 8 je pevně přichycen pastorek 13, který je v záběru s ozubeným kolem 6. Otočný stůl 2 je kryt dvěma stínícími deskami, a to spodní stínicí deskou 14, izolačně uchycenou k nosné konstrukci 1_ a horní stínicí deskou 15·» izolačně uchycenou k otočnému stolu 2, Obě stínicí desky 14, 15 jsou z konstrukčních a provozních důvodů opatřeny štěrbinami x, jejichž velikost je dána provozními podmínkami, tj. druhem plynu, teplotou provozu, tlakem plynu a podobně. Na příklad pro vakuové technologie jsou rozměry štěrbin X v pracovním oboru tlaků, teplot a druhů plynů, přicházejících v úvahu, cca 2 mm.

Při rotaci hnacího hřídele 5 je roztáčen otočný stůl 2 společně s osami planet 7. Při tomto rotačním pohybu se pastorky 13 odvalují po pevném ozubeném kole 6 a vzniká tak přídavný plynulý otáčivý pohyb planetových pouzder 8, a tím i planet 7. Volbou převodového poměru mezi ozubeným kolem 6 a pastorky 13 lze měnit relativní rychlost otáčení planet 7 oproti otočnému stolu 2. Podle požadovaného provozu zařízení je možno planety 7 volně vyjmout spolu s horní stínicí deskou 15, čímž je zrušen přídavný rotační pohyb planet 7. Při použití zařízení pro vakuové povlakování zabraňují stínicí desky

CS 269119 Bl

14, 15 nežádoucímu nánosu vrstev na ostatní plochy a pří ohřevu také nežádoucímu ohřevu hmoty celého stolku, což zajišluJi také štěrbiny X. Tím, že nejsou na potenciálu, snižuji při vlastním pokovování ztrátové množství kovu a zvyšuje se rychlost nanášeni vrstev* provoz celého zařízení je možný i s částečně nebo zcela odejmutými stínícími deskami, potom však odpadají výhody dosažené jejich užitím.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Pracovní stůl pro speciální procesy, sestávající z nosné konstrukce a otočného stolu s planetami, vyznačující se tím, že v nosné konstrukci (1) je jako součást hnacího mechanismu planet (7) uloženo jednak ozubené kolo (6), se kterým jsou v záběru pastorky (13) pevně přichycené k planetovým pouzdrům (8) a jednak v ložiskách (3, 4) hnací hřídel (6), pevně spojený rameny (12) s ložiskovými poudry (11), které jsou součástí otočného stolu (2) a V kterých jsou otočně uložena pomocí planetových ložisek (9, 10) planetová pouzdra (8) s vyjímatelně osazenými planetami (7), přičemž otočný stůl (2) je s výhodou opatřen stínícími deskami se Štěrbinami (x), a to spodní stínící deskou (14) izolačně uchycenou k nosné konstrukci (1) a horní stínící deskou (15) Izolačně uchycenou k otočnému stolu (2).