CS269119B1

CS269119B1 - Work table for special processes

Info

Publication number: CS269119B1
Application number: CS88364A
Authority: CS
Inventors: Vladimir Ing Soudny; Jiri Ing Hart
Original assignee: Vladimir Ing Soudny; Jiri Ing Hart
Priority date: 1988-01-20
Filing date: 1988-01-20
Publication date: 1990-04-11
Also published as: CS36488A1

Abstract

V nosné konstrukci otočného stolu je7jako součást hnacího mechanismu planet uloženo jednak ozubené kolo, s nímž jsou v záběru pastorky pevně přichycené k planetový* pouzdrům a jednak v ložiskách hnací hřídel pevně spojený s ložiskovými pouzdry, které jaou součástí otočného stolu a v kterých jsou otočně uložena pomocí planetových ložisek planetová pouzdra a vyjímatelně usaznými planetami, a otočný stůl je a výhodou opatřen ďvčma stínícími deskami.In the supporting structure of the rotary table, as part of the planetary drive mechanism, there is a gear wheel, with which the pinions firmly attached to the planetary housings are engaged, and in the bearings, the drive shaft is firmly connected to the bearing housings, which are part of the rotary table and in which the planetary housings and removably seated planets are rotatably mounted using planetary bearings, and the rotary table is preferably provided with two shielding plates.

Description

Vynález ee týká pracovního atolu pro speciální procesy, zejměns ve vakuu.The invention ee relates to a working atoll for special processes, in particular in a vacuum.

Současné pracovní stoly pro vakuové pokovování Jsou řešeny bez aožnosti ode tranit přídavný rotační pohyb substrátu. Tím Je značně omezena universálnost pracovního atolu, zvláčté pro rozměrné předměty, pokud se má u známých řešení přídavný rotační pohyb substáru odstranit, není to obvykle možné bez značného montážního zásahu do konstrukce zařízení, což Je značně namáhavé zejména a ohledem na vakuovou hygienu, avšak i časově náročné. Tato zařízení nejsou opatřena stínícími plechy, což způsobuje jejich nežádoucí tepelné zatížení, má značné energetické nároky e velké množství asterlálu, obvykle strategického, ulpívá pasivně na plochách zařízení. Tato známá zařízení nemají navíc plynulý pohyb planet, které Jaou natáčeny krokově. Tento nerovnoměrný pohyb ovlivňuje nepříznivě provoz celého zařízení po stránce mechanické 1 fyzikální.Current workbenches for vacuum plating They are designed without the possibility of additional rotational movement of the substrate from the transit. This considerably limits the versatility of the working atoll, especially for large objects, if in known solutions the additional rotational movement of the substrate is to be eliminated, it is usually not possible without considerable assembly intervention in the structure, which is very strenuous especially time consuming. These devices are not provided with shielding plates, which causes their undesired thermal load, has considerable energy requirements and a large amount of asterral, usually strategic, adheres passively to the surfaces of the device. In addition, these known devices do not have the smooth motion of the planets that Jaou filmed in steps. This uneven movement adversely affects the operation of the entire device in terms of mechanical 1 physical.

Tyto nevýhody odstraňuje pracovní stůl pro speciální procesy podle vynálezu, sestávající z nosné konstrukce a otočného atolu a planetami, podatatou vynálezu Je, že v nosné konatrukci je Jako součást hnacího mechanismu planet uloženo Jednak ozubené kolo, ae kterým Jaou v záběru pastorky pevně přichycené k planetovým pouzdrům a Jednak v ložiskách hnací hřídel, pevně spojená rameny a ložiskovými pouzdry, které Jsou součástí otočného stolu a v kterých Jsou otočně uložena pomocí planetových ložisek planetová pouzdra s vyjímatelně usazenými planetami, přičemž otočný stůl je a výhodou opatřen atíniclmi deskami se štěrbinami, a to spodní stínící deskou, izolačně uchycenou k nosné konstrukci a horní stínicí deskou, Izolačně uchycenou k otočnému atolu.These disadvantages are eliminated by the work table for special processes according to the invention, consisting of a supporting structure and a rotating atoll and planets. and on the one hand drive shafts, firmly connected by arms and bearing bushes which are part of the turntable and in which planetary bushes with removably mounted planets are rotatably mounted by means of planetary bearings, the turntable being preferably provided with slotted plates, namely a lower shielding plate, insulatingly attached to the supporting structure, and an upper shielding plate, insulatingly attached to the rotating atoll.

Pokrok dosažený vynálezem spočívá v plynulém obecném rotačním pohybu planet, čímž se dosahuje rovnoměrnosti chodu zařízení. To má příznivý vliv na kvalitu technologického procesu i životnoat zařízení, vyjímatelné universální planety umožňují snadno a rychle odatranit přídavný rotační pohyb v případě, kdy je nežádoucí. Stínicí desky svou funkcí snižují značně spotřebu elektrické energie, zabraňují škodlivému ohřevu funkčních prvků, snižují spotřebu strategických kovů a zvětšují depoziční rychlost. Tím, že je zabráněno nežádoucímu nánosu vrstev na důležité elementy zařízení, není narušována činnoat hnacího ayatému planet a všech rotačních uložení.The progress achieved by the invention consists in the smooth general rotational motion of the planets, thus achieving a uniform operation of the device. This has a positive effect on the quality of the technological process and the life of the equipment, removable universal planets allow you to easily and quickly eliminate additional rotational motion in case it is undesirable. The function of shielding plates significantly reduces the consumption of electrical energy, prevents harmful heating of functional elements, reduces the consumption of strategic metals and increases the deposition rate. By preventing the undesired deposition of layers on important elements of the device, the operation of the driving ayatém of the planets and all the rotating bearings is not disturbed.

Vynález je zobrazen na připojeném výkreau, který představuje řez pracovním stolem pro speciální procesy.The invention is illustrated in an attached drawing, which is a section of a workbench for special processes.

Pracovní stůl pro speciální procesy sestává z nosné konstrukce 1_ a otočného stolu 2. V nosné konstrukci 2 je horní ložisko 3 a spodní ložisko 4, v kterých je uložen hnací hřídel 5. Dále Je v noané konatrukci £ uloženo ozubené kolo 6, které Je součástí hnacího mechanismu planet 7. V otočném stole 2 jsou umístěny planety 7, vyjímatelně uložené v planetových pouzdrech 8, která Jsou otočně uložena pomocí horních planetových ložisek 9 a spodních planetových ložisek 10 v ložiskových pouzdrech n , které Jsou pevně spojena rameny 12 s hnacím hřídelem 5. Na každém planetovém pouzdře 8 je pevně přichycen pastorek 13, který je v záběru s ozubeným kolem 6. Otočný stůl 2 je kryt dvěma stínícími deskami, a to spodní stínicí deskou 14, izolačně uchycenou k nosné konstrukci 1_ a horní stínicí deskou 15·» izolačně uchycenou k otočnému stolu 2, Obě stínicí desky 14, 15 jsou z konstrukčních a provozních důvodů opatřeny štěrbinami x, jejichž velikost je dána provozními podmínkami, tj. druhem plynu, teplotou provozu, tlakem plynu a podobně. Na příklad pro vakuové technologie jsou rozměry štěrbin X v pracovním oboru tlaků, teplot a druhů plynů, přicházejících v úvahu, cca 2 mm.The work table for special processes consists of a support structure 7 and a rotary table 2. In the support structure 2 there is an upper bearing 3 and a lower bearing 4, in which the drive shaft 5 is mounted. In the turntable 2 are located planets 7, removably mounted in planetary housings 8, which are rotatably mounted by means of upper planetary bearings 9 and lower planetary bearings 10 in bearing housings n, which are firmly connected by arms 12 to the drive shaft 5. A pinion 13 is fixedly attached to each planetary housing 8 and engages a gear 6. The turntable 2 is covered by two shielding plates, namely a lower shielding plate 14, insulated to the support structure 7 and an upper shielding plate 15. insulatingly attached to the turntable 2. Both shielding plates 14, 15 are provided with slots x for design and operational reasons, the size of which is determined by the operating conditions, ie the type of gas, heat operation, gas pressure and the like. For example, for vacuum technologies, the dimensions of the X-slots in the working range of pressures, temperatures and types of gases that can be considered are about 2 mm.

Při rotaci hnacího hřídele 5 je roztáčen otočný stůl 2 společně s osami planet 7. Při tomto rotačním pohybu se pastorky 13 odvalují po pevném ozubeném kole 6 a vzniká tak přídavný plynulý otáčivý pohyb planetových pouzder 8, a tím i planet 7. Volbou převodového poměru mezi ozubeným kolem 6 a pastorky 13 lze měnit relativní rychlost otáčení planet 7 oproti otočnému stolu 2. Podle požadovaného provozu zařízení je možno planety 7 volně vyjmout spolu s horní stínicí deskou 15, čímž je zrušen přídavný rotační pohyb planet 7. Při použití zařízení pro vakuové povlakování zabraňují stínicí deskyDuring the rotation of the drive shaft 5, the rotary table 2 is rotated together with the axes of the planets 7. During this rotational movement, the pinions 13 roll on a fixed gear 6 and thus create an additional smooth rotational movement of the planetary housings 8 and thus the planets. the relative speed of rotation of the planets 7 relative to the turntable 2 can be varied by the gear wheel 6 and the pinion 13. Depending on the desired operation of the device, the planets 7 can be freely removed together with the upper shield plate 15, thus eliminating the additional rotational movement of the planets 7. When using a vacuum coating device prevent shielding plates

CS 269119 BlCS 269119 Bl

14, 15 nežádoucímu nánosu vrstev na ostatní plochy a pří ohřevu také nežádoucímu ohřevu hmoty celého stolku, což zajišluJi také štěrbiny X. Tím, že nejsou na potenciálu, snižuji při vlastním pokovování ztrátové množství kovu a zvyšuje se rychlost nanášeni vrstev* provoz celého zařízení je možný i s částečně nebo zcela odejmutými stínícími deskami, potom však odpadají výhody dosažené jejich užitím.14, 15 undesired application of layers to other surfaces and during heating also undesired heating of the mass of the whole table, which is also ensured by slits X. By not at potential, they reduce the loss of metal during plating possible even with partially or completely removed shielding plates, but then the advantages achieved by their use are eliminated.

Claims

OBJECT OF THE INVENTION

Work table for special processes, consisting of a supporting structure and a rotary table with planets, characterized in that a gear wheel (6) is mounted in the supporting structure (1) as part of the planetary drive mechanism (7), with which the pinions are engaged (13) firmly attached to the planetary bushes (8) and on the one hand in bearings (3, 4) drive shaft (6), firmly connected by arms (12) to bearing bushes (11), which are part of the turntable (2) and in which planetary housings (8) with removably mounted planets (7) are rotatably mounted by means of planetary bearings (9, 10), the rotary table (2) preferably being provided with shielding plates with slots (x), namely a lower shielding plate (14). insulatingly attached to the supporting structure (1) and the upper shielding plate (15) Insulatingly attached to the turntable (2).