CS267340B1 - Akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akustických vl’n - Google Patents
Akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akustických vl’n Download PDFInfo
- Publication number
- CS267340B1 CS267340B1 CS881206A CS120688A CS267340B1 CS 267340 B1 CS267340 B1 CS 267340B1 CS 881206 A CS881206 A CS 881206A CS 120688 A CS120688 A CS 120688A CS 267340 B1 CS267340 B1 CS 267340B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- surface acoustic
- silicon
- generation
- acoustoelectric
- acoustic waves
- Prior art date
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
CS 267340 B1 1
Vynález sa týká akustoelektrického meniča na generáciu povrchových akustických vl’ns možnosťou priameho zabudovania do integrovaných obvodov na báze kremíka.
Struktura kov-oxid křemičitý - křemík sa doteraz v akustoelektronike používala na de-tekciu objemových ultrazvukových vl’n. štruktúry kov-izolant-polovodič s použitím chalkogénovako selén a ďalšie, slúžia tiež ako akustoelektrické meniče kapacitného typu na detekciuobjemových ultrazvukových vín. Detekcia objemových akustických vín pomocou štruktúr kov-izo-lant-polovodič sa používá aj na nedeštruktívnu kontrolu homogenity oxidu křemičitého vytvo-řeného na křemíku. V súčasnosti sa na generáciu a detekciu povrchových akustických vín v akustoelektronic-kých súčiastkách,ako sú oneskorovacie vedenia a pásmové filtre, používajú interdigitálne me- 1 niče vyhotovené na povrchoch tradičných piezoelektrických materiáloch ako křemeň, LiNbOj apod. ·
Keďže najbežnejšie používaný substrátový materiál v elektrotechnickom priemyslu je ' křemík, nie je v súčasnosti možné vyrábať takéto akustoelektrické súčiastky ako súčasťintegrovaných obvodov. Nevýhodou súčasného spůsobu výroby akustoelektrických súčiastok jeich vysoká cena.
Hoře uvedené nedostatky odstraňuje akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akus-tických vín zložený z vrstiev kovu, oxidu křemičitého a kremíka ktorého podstatou je, že napokovenom povrchu vrstvy oxidu křemičitého připraveného na p-type, alebo n-type substrátekremíka je vytvořená dvojica interdigitálnych meničov povrchovej akustickéj vlny.
Akustoelektrický měnič pódia vynálezu umožňuje vyrábať miniaturně akustoelektrické sú-čiastky využívajúce šírenie sa povrchových akustoelektrických vín ako súčasti integrovanýchobvodov s možnosťou využitia štandardných materiálov a technologii výroby v polovodičovéjvýrobě při nízkých výrobných nákladoch.
Vzhíadom na to, že štruktúra kov-oxid křemičitý - křemík, ktorá sa používá na generáciupovrchových akustických vín je sandwichovou štruktúrou, z akustického híadiska představujevlnovod. Šírenie ultrazvuku sa tu vyznačuje vlnovodnou disperziou. Preto je možné, bučí změ-nou hrubky oxidu křemičitého při konštantnej frekvencii, lebo změnou frekvencie ultrazvukovéjvlny pri konštantnej hrúbke oxidu křemičitého meniť rýchlosť šlrenia sa povrchových akustic-kých vín a tým aj oneskorenie výstupného signálu voči vstupnému, čo neumožňuje ani jedna:dosiaí známých akustoelektrických aplikácii kov-izolant-polovodič s objemovými vlnami. Ta-kéto možnosti tiež neposkytuje ani doposiaí používaný spůsob generácie a detekcie povrcho-vých akustických vín na piezoelektrických materiáloch.
Vynález je schematicky znázorněný na pripojenom výkrese.
Na hliníkom pokovenéj vrstvě 1 oxidu křemičitého, ktorá je štandardnou polovodičovoutechnológiou připravená na povrchu p-typu, alebo π-typu substrátu 2 kremíka, je vyrobena fo-tolitografickou cestou dvojica interdigitálnych meničov 2. £. ktoré sa bežne používajú na ge-neráciu a detekciu povrchových akustických vín.
Na generujúci interdigitálny měnič 2 povrchových akustických vín sa privedú vysoko- < frekvenčně alektrické impulzy v důsledku čoho dochádza k periodickému pohybu elektrickéhonáboja lokalizovaného v štruktúre kov-oxid kremičitý-kremik, ktorý je spůsoberiý elektrickýmpolom. Pohyb tohoto náboja vzhíadom na jeho vazbu so štruktúrou kov-oxid kremičitý-kremikgeneruje povrchové akustické vlnenie. Keň povrchové akustické vlnenie dosiahne detekujúcehointerdigitálneho meniča £, vyvolá periodickú změnu kontaktového rozdielu potenciálov v štruk-túre kov-oxid kremičitý-kremik, čo sa na výstupe tohto meniča prejeví ako elektrický impulz,ktorý je časovo oneskorený voči generujúcemu a vysokofrekvenčnému signálu.
Claims (1)
- 2 CS 267340 B1 PREDMET VYNÁLEZU Akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akustických vln zložený z vrstiev kovu,oxidu křemičitého a kreníka vyznačený tým, že na pokovenom povrchu vrstvy (2) oxidu křemiči-tého, nanesenej ra substráte (1) kremika je vytvořená dvojica interdigitálnych meničov (3, 4) povrchovej akustickej vlny. 1 výkres
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS881206A CS267340B1 (sk) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | Akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akustických vl’n |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS881206A CS267340B1 (sk) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | Akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akustických vl’n |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS120688A1 CS120688A1 (en) | 1989-06-13 |
| CS267340B1 true CS267340B1 (sk) | 1990-02-12 |
Family
ID=5345883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS881206A CS267340B1 (sk) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | Akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akustických vl’n |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS267340B1 (cs) |
-
1988
- 1988-02-25 CS CS881206A patent/CS267340B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS120688A1 (en) | 1989-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6508133B1 (en) | Ultrasonic flowmeter and ultrasonic generator/detector | |
| CN110560351A (zh) | 基于Helmholtz共振腔的可调频声波接收装置 | |
| US4011473A (en) | Ultrasonic transducer with improved transient response and method for utilizing transducer to increase accuracy of measurement of an ultrasonic flow meter | |
| JP2022501614A (ja) | レンズの組み合わせを有する超音波流量計 | |
| Josserand et al. | PVF2 velocity hydrophones | |
| Khuri-Yakub et al. | A new design for air transducers | |
| Uozumi et al. | Generation and detection of ultrasonic Lamb waves in a thin deposited film by using interdigital transducers | |
| CS267340B1 (sk) | Akustoelektrický měnič na generáciu povrchových akustických vl’n | |
| US6005327A (en) | Ultrasonic touch-position sensing device | |
| CN118980744A (zh) | 一种基于AIScN压电薄膜的异质声学结构的表面声波氢气传感器 | |
| JP4857464B2 (ja) | 超音波センサ | |
| JPH0894594A (ja) | 超音波湿度センサ及び超音波温湿度センサ | |
| CN116626338A (zh) | 一种用于矢量水听器十字型压电单晶面剪切模式加速度计 | |
| KR20160009374A (ko) | 니오브산 리튬을 이용한 표면탄성파 바이오센서 | |
| Greve et al. | Robust capacitive MEMS ultrasonics transducers for liquid immersion | |
| CN214471088U (zh) | 超声波流量计振子及超声波流量计 | |
| JPS5852527A (ja) | 温度センサ | |
| US5173667A (en) | Acoustic wave transmission media delay line having internally disposed absorber channels | |
| CN220836469U (zh) | 超声换能器芯片封装结构及电子设备 | |
| AU2021100869A4 (en) | A Type of Sensitive Element Used for Manufacturing a High-sensitivity Underwater Acoustic Transducer and its Preparation Method | |
| Zaitsev et al. | Reflection of ultrasonic Lamb waves produced by thin conducting strips | |
| SU1282362A1 (ru) | Акустический датчик | |
| JP3006861U (ja) | 超音波探触子 | |
| SU1134889A1 (ru) | Устройство дл измерени усилий | |
| CN1566940A (zh) | 可挠式基板的微型超声波换能器 |