CS265627B1 - Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu - Google Patents

Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu Download PDF

Info

Publication number
CS265627B1
CS265627B1 CS879455A CS945587A CS265627B1 CS 265627 B1 CS265627 B1 CS 265627B1 CS 879455 A CS879455 A CS 879455A CS 945587 A CS945587 A CS 945587A CS 265627 B1 CS265627 B1 CS 265627B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
tube
aperture
microscope
electron microscope
diaphragm
Prior art date
Application number
CS879455A
Other languages
English (en)
Other versions
CS945587A1 (en
Inventor
Jaroslav Ing Klima
Lubomir Rndr Tuma
Jiri Ing Petr
Original Assignee
Klima Jaroslav
Tuma Lubomir
Petr Jiri
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Klima Jaroslav, Tuma Lubomir, Petr Jiri filed Critical Klima Jaroslav
Priority to CS879455A priority Critical patent/CS265627B1/cs
Publication of CS945587A1 publication Critical patent/CS945587A1/cs
Publication of CS265627B1 publication Critical patent/CS265627B1/cs

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Je tvořen trubkou clony, která je ve své rozpěrné části opatřena podélnými zářezy, uvnitř trubky clony je vytvořeno lůžko clonového terčíku, přičemž trubka clony je svou rozpěrnou částí s přesahem suvně uložena v centrální trubce mikroskopu. Držák lze využít při konstrukci elektronových mikroskopů.

Description

Vynález se týká nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu.
Elektronové mikroskopy jsou podél optické osy opatřeny několika clonami, které mají za úkol oddělit od středového svazku elektronů okrajové elektrony, které nejsou opticky kvalitní, a vymezit aperturu elektronového svazku, vytvořeného elektronově optickým tubusem. Tyto clony bývají bud stavitelné s možností jemného centrování zvnějšku mikroskopu, nebo pevné, nehybně umístěné podél optické osy tubusu. Pevné clony ve^tvaru terčíků s malým středovým otvorem bývají v držácích, jejichž poloha je pevně určena konstrukcí mikroskopu.
Nevýhodou tohoto stavu je, že vertikální polohu clony není možno měnit ani při přechodu k jinému režimu elektronově optické soustavy, což má za následek, že soustava clon může být optimalizována pouze pro jeden režim elektronově optické soustavy.
Uvedenou nevýhodu dosavadního stavu do značné míry odstraňuje nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu podle vynálezu, jehož podstatou je, že je tvořen trubkou clony, která je ve své rozpěrné části opatřena podélnými zářezy, uvnitř trubky clony je vytvořeno lůžko clonového terčíku, přičemž trubka clony je svou rozpěrnou částí a přesahem suvně uložena v centrální trubce mikroskopu.
Výhody nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu spočívají zejména v tom, že umožňuje libovolné nastavení vertikální polohy clon, takže polohu clon je možno optimalizovat pro každý režim elektronového mikroskopu.
Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiloženého výkresu, na němž je znázorněno příkladné provedení nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu.
Držák clony je v příkladném provedení tvořen trubkou 2 clony, která je ve své rozpěrné části 2 opatřena podélnými zářezy 3.· Uvnitř trubky 1. clony je vytvořeno lůžko £ clonového terčíku 5.. Trubka JL clony je svou rozpěrnou částí 2 s přesahem suvně uložena v centrální trubce £ mikroskopu. Clonový terčík 5 je v lůžku 4_ přidržován pružnou zátkou J7· Ve spodní Části trubky clony je vytvořen vnitřní manipulační závit _8. '
V činnosti nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu se manipulační závit 8^ trubky 1. clony našroubuje na neznázorněnou vytahovací tyčku a s její pomocí se nasune do centrální trubky mikroskopu do polohy optimální pro zamýšlený režim činnosti. Centrální trubka 6 prochází pólovými nástavci cívek mikroskopu, přičemž její osa je současně osou pólových nástavců, a umožňuje minimalizaci počtu vakuových spojů v oblasti elektronového svazku. Trubka .1 clony je držena v centrální trubce j5 mikroskopu třením rozpěrné části o vnitřní povrch centrální trubky Toto tření spolehlivě fixuje polohu clonového terčíku _5 v průběhu práce s mikroskopem, nezamezuje však přestavění polohy trubky 1. clony s clonovým terčíkem 5. do jiné polohy pomocí vytahovací tyčky při změně režimu mikroskopu, ani úplnému vyjmutí trubky 1_ clony z elektronového mikroskopu za účelem vyčištění clonového terčíku _5.
Vynález lze využít při konstrukci elektronových mikroskopů.

Claims (1)

  1. PŘEDMĚT VYNALEZU /
    Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu, vyznačující se tím, že je tvořen trubkou (1) clony, která je ve své rozpěrné části (2) opatřena podélnými zářezy (3), uvnitř trubky (1) clony je vytvořeno lůžko (4) clonového terčíku (5), přičemž trubka (1) clony je svou rozpěrnou částí (2) s přesahem suvně uložena v centrální trubce (6) mikroskopu.
CS879455A 1987-12-18 1987-12-18 Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu CS265627B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS879455A CS265627B1 (cs) 1987-12-18 1987-12-18 Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS879455A CS265627B1 (cs) 1987-12-18 1987-12-18 Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS945587A1 CS945587A1 (en) 1989-02-10
CS265627B1 true CS265627B1 (cs) 1989-11-14

Family

ID=5444768

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS879455A CS265627B1 (cs) 1987-12-18 1987-12-18 Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS265627B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS945587A1 (en) 1989-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4596934A (en) Electron beam apparatus with improved specimen holder
US5013913A (en) Method of illuminating an object in a transmission electron microscope
WO1995001647A1 (en) Enhanced imaging mode for transmission electron microscopy
US4209698A (en) Transmission-type charged particle beam apparatus
JPH0357571B2 (cs)
JP4361603B2 (ja) 環境走査型電子顕微鏡用高温試料ステージ及び検出器
US5276324A (en) Composite scanning tunneling microscope
US3924126A (en) Electron microscopes
US2464419A (en) Method of and apparatus for selectively achieving electronic darkfield and bright field illumation
GB2040065A (en) Microscope
CS265627B1 (cs) Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu
JP4354197B2 (ja) 走査電子顕微鏡
KR920007183B1 (ko) 코마 조정부재를 가진 인라인 전자총을 구비한 칼라 수상관
US7501638B1 (en) Charged particle beam emitting device and method for operating a charged particle beam emitting device
US5296669A (en) Specimen heating device for use with an electron microscope
EP1087420A2 (de) Teilchenoptisches Beleuchtungs-und Abbildungssystem mit einer Kondensor-Objektiv-Einfeldlinse
JPH02126545A (ja) 走査型電子線装置
GB2118361A (en) Scanning electron beam apparatus
US4121100A (en) Electron microscope
HK146594A (en) Cathode-ray tube electron gun having improved screen grid
US2728840A (en) Specimen heating means
US2655601A (en) Electron microscope
US2575067A (en) Ion trap
JPH01319237A (ja) 電子顕微鏡
JP3178592B2 (ja) 共焦点顕微鏡