CS265627B1 - Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu - Google Patents
Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu Download PDFInfo
- Publication number
- CS265627B1 CS265627B1 CS879455A CS945587A CS265627B1 CS 265627 B1 CS265627 B1 CS 265627B1 CS 879455 A CS879455 A CS 879455A CS 945587 A CS945587 A CS 945587A CS 265627 B1 CS265627 B1 CS 265627B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- tube
- aperture
- microscope
- electron microscope
- diaphragm
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Je tvořen trubkou clony, která je ve své rozpěrné části opatřena podélnými zářezy, uvnitř trubky clony je vytvořeno lůžko clonového terčíku, přičemž trubka clony je svou rozpěrnou částí s přesahem suvně uložena v centrální trubce mikroskopu. Držák lze využít při konstrukci elektronových mikroskopů.
Description
Vynález se týká nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu.
Elektronové mikroskopy jsou podél optické osy opatřeny několika clonami, které mají za úkol oddělit od středového svazku elektronů okrajové elektrony, které nejsou opticky kvalitní, a vymezit aperturu elektronového svazku, vytvořeného elektronově optickým tubusem. Tyto clony bývají bud stavitelné s možností jemného centrování zvnějšku mikroskopu, nebo pevné, nehybně umístěné podél optické osy tubusu. Pevné clony ve^tvaru terčíků s malým středovým otvorem bývají v držácích, jejichž poloha je pevně určena konstrukcí mikroskopu.
Nevýhodou tohoto stavu je, že vertikální polohu clony není možno měnit ani při přechodu k jinému režimu elektronově optické soustavy, což má za následek, že soustava clon může být optimalizována pouze pro jeden režim elektronově optické soustavy.
Uvedenou nevýhodu dosavadního stavu do značné míry odstraňuje nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu podle vynálezu, jehož podstatou je, že je tvořen trubkou clony, která je ve své rozpěrné části opatřena podélnými zářezy, uvnitř trubky clony je vytvořeno lůžko clonového terčíku, přičemž trubka clony je svou rozpěrnou částí a přesahem suvně uložena v centrální trubce mikroskopu.
Výhody nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu spočívají zejména v tom, že umožňuje libovolné nastavení vertikální polohy clon, takže polohu clon je možno optimalizovat pro každý režim elektronového mikroskopu.
Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiloženého výkresu, na němž je znázorněno příkladné provedení nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu.
Držák clony je v příkladném provedení tvořen trubkou 2 clony, která je ve své rozpěrné části 2 opatřena podélnými zářezy 3.· Uvnitř trubky 1. clony je vytvořeno lůžko £ clonového terčíku 5.. Trubka JL clony je svou rozpěrnou částí 2 s přesahem suvně uložena v centrální trubce £ mikroskopu. Clonový terčík 5 je v lůžku 4_ přidržován pružnou zátkou J7· Ve spodní Části trubky clony je vytvořen vnitřní manipulační závit _8. '
V činnosti nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu se manipulační závit 8^ trubky 1. clony našroubuje na neznázorněnou vytahovací tyčku a s její pomocí se nasune do centrální trubky mikroskopu do polohy optimální pro zamýšlený režim činnosti. Centrální trubka 6 prochází pólovými nástavci cívek mikroskopu, přičemž její osa je současně osou pólových nástavců, a umožňuje minimalizaci počtu vakuových spojů v oblasti elektronového svazku. Trubka .1 clony je držena v centrální trubce j5 mikroskopu třením rozpěrné části o vnitřní povrch centrální trubky Toto tření spolehlivě fixuje polohu clonového terčíku _5 v průběhu práce s mikroskopem, nezamezuje však přestavění polohy trubky 1. clony s clonovým terčíkem 5. do jiné polohy pomocí vytahovací tyčky při změně režimu mikroskopu, ani úplnému vyjmutí trubky 1_ clony z elektronového mikroskopu za účelem vyčištění clonového terčíku _5.
Vynález lze využít při konstrukci elektronových mikroskopů.
Claims (1)
- PŘEDMĚT VYNALEZU /Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu, vyznačující se tím, že je tvořen trubkou (1) clony, která je ve své rozpěrné části (2) opatřena podélnými zářezy (3), uvnitř trubky (1) clony je vytvořeno lůžko (4) clonového terčíku (5), přičemž trubka (1) clony je svou rozpěrnou částí (2) s přesahem suvně uložena v centrální trubce (6) mikroskopu.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS879455A CS265627B1 (cs) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS879455A CS265627B1 (cs) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS945587A1 CS945587A1 (en) | 1989-02-10 |
| CS265627B1 true CS265627B1 (cs) | 1989-11-14 |
Family
ID=5444768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS879455A CS265627B1 (cs) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS265627B1 (cs) |
-
1987
- 1987-12-18 CS CS879455A patent/CS265627B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS945587A1 (en) | 1989-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4596934A (en) | Electron beam apparatus with improved specimen holder | |
| US5013913A (en) | Method of illuminating an object in a transmission electron microscope | |
| WO1995001647A1 (en) | Enhanced imaging mode for transmission electron microscopy | |
| US4209698A (en) | Transmission-type charged particle beam apparatus | |
| JPH0357571B2 (cs) | ||
| JP4361603B2 (ja) | 環境走査型電子顕微鏡用高温試料ステージ及び検出器 | |
| US5276324A (en) | Composite scanning tunneling microscope | |
| US3924126A (en) | Electron microscopes | |
| US2464419A (en) | Method of and apparatus for selectively achieving electronic darkfield and bright field illumation | |
| GB2040065A (en) | Microscope | |
| CS265627B1 (cs) | Nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu | |
| JP4354197B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| KR920007183B1 (ko) | 코마 조정부재를 가진 인라인 전자총을 구비한 칼라 수상관 | |
| US7501638B1 (en) | Charged particle beam emitting device and method for operating a charged particle beam emitting device | |
| US5296669A (en) | Specimen heating device for use with an electron microscope | |
| EP1087420A2 (de) | Teilchenoptisches Beleuchtungs-und Abbildungssystem mit einer Kondensor-Objektiv-Einfeldlinse | |
| JPH02126545A (ja) | 走査型電子線装置 | |
| GB2118361A (en) | Scanning electron beam apparatus | |
| US4121100A (en) | Electron microscope | |
| HK146594A (en) | Cathode-ray tube electron gun having improved screen grid | |
| US2728840A (en) | Specimen heating means | |
| US2655601A (en) | Electron microscope | |
| US2575067A (en) | Ion trap | |
| JPH01319237A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3178592B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 |