CS258702B1 - Sposob výroby kyseliny chlorovodíkové] pro mikroelektroniku - Google Patents
Sposob výroby kyseliny chlorovodíkové] pro mikroelektroniku Download PDFInfo
- Publication number
- CS258702B1 CS258702B1 CS85315A CS31585A CS258702B1 CS 258702 B1 CS258702 B1 CS 258702B1 CS 85315 A CS85315 A CS 85315A CS 31585 A CS31585 A CS 31585A CS 258702 B1 CS258702 B1 CS 258702B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- hydrochloric acid
- hydrogen chloride
- microelectronics
- weight
- less
- Prior art date
Links
Landscapes
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Kyselina sírová sa postupné přidává k vodným roztokom chlorovodíka a/alebo chloridov. Uvolňujúci sa chlorovodík sa protiprúdne zbavuje vody v kyselině sírovej a kvapiek v odlučovači kvapiek. Vyčištěný chlorovodík sa adsorbuje vo vodě čistoty pre mikroelektroniku na vodný roztok kyseliny chlorovodíkové]. V čistenej kyselme chlorovodíkovej sa kovové kationy, predovšetkým železo adsorbujú s kremičitanmi s aktívnymi adsorbčnými miestami. Riešenie je možné použit v elektrotechnickou! priemysle.
Description
Vynález sa týká výroby kyseliny chlorovodíkové] pre mikroelektroniku, ktorá je vhodná predovšetkým na planárnu technologiu výroby integrovaných obvodov.
Výroba kyseliny chlorovodíkové] je jedna z najstarších výrob chemického priemyslu. V súčasnosti sa najváčšie množstvo kyseliny chlorovodíkové]' vyrába syntézou vodíka a chlóru a absorpciou vzniklého chlorovodíka vo vodě. Rozvoj mikroelektroniky vzrástali požiadavky na čistotu chemikálií použitých pri ich výrobě, pretože nečistoty z chemikálií spósobujú výrobu nekvalitných mikroelektronických súčiastok. Čistěním kyseliny chlorovodíkovej destiláciou vodného roztoku chlorovodíka sa získá destilát o vysokej chemickej čistotě následné na mikroflltroch o velkosti ok 0,2 až 0,45 mikrometre sa filtruje na požadovanú fyzikálnu čisto- ·. tu.
Uvedené poznatky boli čerpané z nasledovných práč a materiálov: E. D. Stepun a kol. — Metody polučenija osobo čistých neorganičeskich vešěestv. Moskva 1969; Katalog fy Sartórius 1984; Katalog fy Millipore 1983; Katalog fy Ferck — Selectipur MOS 1983 a Katalog fy Carlo· Erba — Montedison 1983.
Běžné připravovaná kyselina chlorovodíková obsahuje rádovo 106 heteročastíc na jeden liter vačších ako· 0,5 mikrometra, preto je mikrofiltrácia kyseliny chlorovodíkovej nákladná.
Tak isto rektifikácia kyseliny chlorovodíkovej je energeticky náročný proces.
V USA patente 3 855 400 (z roku 1974) od autora Paolieri R. a kol. je popísaný sposob čistenia kyseliny chlorovodíkovej získanej ako druhotný produkt z výroby organických zlúčenín, metodou stripovania a preplachom prúdom inertného plynu, čím sa čistočne odstránia rozpustné organické látky a volný chlór. Nerozpustné organické látky sa odstránia prietokom kyseliny cez póry koolercenčného prostredia, pričom sá zhlukujú a oddeíujú. Čistota takto pripravenej a čistenej kyseliny chlorovodíkovej nedosahuje kvalitu pre mikroelektroniku.
Vyššie uvedené nedostatky sú zmiernené spósobom výroby kyseliny chlorovodíkovej pre mikroelektroniku, podstata ktorého je v tom, že sa k vodným roztokom chloridov a/alebo kyseliny chlorovodíkovej přidává postupné koncentrovaná kyselina sírová, Reakčným a/alebo smiešovacím teplom je reakčná zmes udržiavaná vo vare, pričom sa uvolňuje plynný chlorovodík, ktorý sa vysušuje protiprúdne stekajúcou koncentrovanou kyselinou sírovou, ktorá sa přidává k vodným roztokom chloridov a/alebo chlorovodíka. Vysušený chlorovodík sa zbavuje strhnutých kvapiek kyseliny sírovej lapačom kvapiek. Vyčištěný chlorovodík sa absorbuje vo vysokočistej vodě čistoty pre mikroelektroniku na vodný roztok kyseliny chlorovodíkovej. Materiál na zhotovenie sa volí podía požadovaného stupňa získanej kyseliny chlorovodíkovej. Nečistoty, predovšetkým polárné látky sa adsorbujú s kremičitanmi s aktívnymi adsorbčnými miestami. Ide predovšetkým o kationy kovov najmá železa.
Vynález je možné využiť na výrobu kyseliny chlorovodíkovej pre mikroelektroniku, ktorá nájde využitie hlavně pri výrobě Integrovaných obvodov v elektronickom priemysle.
Příklad 1
Do trojhrdlej banky sa dala 37 % hmot. kyselina chlorovodíková. Banka bola opatřená teplomerom, oddělovacím lievikom na pridávanie kyseliny chlorovodíkovej a kolonou s náplňou s Raschigovými krúžkami. Na hlavu kolony sa dávkovala 96· % hmot. kyselina sírová. Uvolněný plynný chlorovodík sa protiprúdne vysušuje v kyselině sírovej. Plynný chlorovodík po vysušení sa zbavil strhnutých kvapiek kyseliny sírovej, v odlučovači kvapiek. Vyčištěný plynný chlorovodík sa absorboval vo vysokočistej vodě čistoty pre mikroelektroniku s měrným odporom 18 megaohmov/cm, ktorá bola filtrovaná cez filter 0,2 mikrometra. Získaná kyselina chlorovodíková obsahovala 36,7 % hmot. chlorovodíka a mala nasledovnú analýzu:
i '?
Odpař ok menej ako 10“3 °/o hmot., sírany
4.10“5 % hmot., siričltany 2.10”5 % hmot., ťažké kovy menej ako 10“4 % hmot., železo 2.10“5 % hmot., arzén menej ako 10“6 % hmot., lítium menej ako 1O“0 % hmot., vodík 3.105 % hmot., draslík 10-5· hmot. hořčík, menej ako 10“5 pere. hmot.
Počet častíc v 1 1 volkostnom intervale: 1— 5 μτα — 8 946
5—25 μτα — 835 nad 25 um — 58
Příklad 2
Postupovalo sa podía příkladu 1 s tým rozdielom, že miesto kyseliny chlorovodíkovej do banky sa dal nasýtený roztok chloridu sodného.
Získaná kyselina chlorovodíková s obsahom 36,9 % hmot. chlorovodíka mala nasledovnú analýzu:
Odpař ok menej ako 10 “3 hmot., sírany S
10“5 % hmot., síričitany 3.105 % hmot., ťažké kovy menej ako 10“4 % hmot., železo 105 % hmot., arzén menej ako 10~6 pere. hmot., lítium menej ako 10“6 % hmot., vápník 3.10“5 % hmot., sodík 5 . .10-5 o/o hmot., draslík 2.10“5 % hmot., hořčík menej ako 10“5 hmot.
Počet častíc vilo verkostnom intervale:
5—25 /tm — 1 210
1—- 5 μΐη — 5 537 nad 25 μπι — 84
Příklad 3
Postupovalo sa podl’a příkladu 1 s tým rozdielom, že sa ku vodnému roztoku kyseliny chlorovodíkovej přidalo 5 g silikagélu, pričom poklesol obsah železa z 2.10-5 °/o hmot. pod hranicu 10~5 % hmot.
Získaná kyselina chlorovodíková s obsahom 36,6 % hmot. chlorovodíka mala nasledovnú analýzu:
Odparok menej ako 10~3 % hmot., sírany . 10~5 % hmot. síričitany menej ako 10δ pere. hmot. ťažké kovy menej ako 10~4 pere. hmot., železo menej ako 10~5 % hmot., arzén menej ako 10-6 hmot., lítium menej ako 10-6 % hmot., vodík 10~5 pere. hmot., draslík menej ako 10~5 % hmot., vápník 10~5 % hmot., hořčík menej ako líto5 % hmot.
Počet častíc vilo vefkostnom intervale:
1— 5 μπι 7 458
5—25 μπι 1 128 nad 25 μία 49
Claims (2)
1. Sposob výroby kyseliny chlorovodíkovej pre mikroelektroniku pozostávajúci z postupného pridávania kyseliny sírovej k vodným roztokom kyseliny chlorovodíkovej a/ /alebo chloridov, pričom zmiešavacie a/alebo reakčné teplo udržiava získanú zmes vo vare za uvofňovania chlorovodíka vyznačujúci sa tým, že chlorovodík sa protiprúdne vysušuje kyselinou sírovou, získaný chlorovodík sa zbavuje kvapiek v odlučovači kvapiek, a vyčištěný chlorovodík sa absorbuje vo vodě čistoty pre mikroelektroniku na vodný roztok kyseliny chlorovodíkovej.
2. Sposob pódia bodu 1 vyznačujúci sa tým, že z vodných roztokov chloridov a chlorovodíka sa nečistoty adsorbujú s kremičitanmi s aktívnymi adsorbčnými miestami.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS85315A CS258702B1 (sk) | 1985-01-17 | 1985-01-17 | Sposob výroby kyseliny chlorovodíkové] pro mikroelektroniku |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS85315A CS258702B1 (sk) | 1985-01-17 | 1985-01-17 | Sposob výroby kyseliny chlorovodíkové] pro mikroelektroniku |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS31585A1 CS31585A1 (en) | 1988-01-15 |
| CS258702B1 true CS258702B1 (sk) | 1988-09-16 |
Family
ID=5335056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS85315A CS258702B1 (sk) | 1985-01-17 | 1985-01-17 | Sposob výroby kyseliny chlorovodíkové] pro mikroelektroniku |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS258702B1 (sk) |
-
1985
- 1985-01-17 CS CS85315A patent/CS258702B1/sk unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS31585A1 (en) | 1988-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100522063B1 (ko) | 유리 히드록실아민 수용액의 제조 방법 | |
| US5456898A (en) | Method for enrichment and purification of aqueous hydrogen peroxide solution | |
| US3972987A (en) | Process for regenerating sulfuric acid | |
| US2375164A (en) | Recovery of betaine and betaine salts from sugar beet wastes | |
| JPS6348568B2 (sk) | ||
| US4490343A (en) | Method for the separation of chlorosilanes from a gaseous mixture containing hydrogen chloride and hydrogen | |
| US5324499A (en) | Fluoride removal from sulphuric acid | |
| US2756841A (en) | Process for the separation of hydrocyanic acid from ammonia in gas mixtures containing the same | |
| US4465655A (en) | Process for the purification of exhaust gases containing sulfuryl fluoride | |
| US5679315A (en) | Method of production of high purity silica | |
| JP3175942B2 (ja) | ジメチルスルホキシド（ｄｍｓｏ）の精製方法 | |
| JP3171058B2 (ja) | 過酸化水素水の精製方法 | |
| CS258702B1 (sk) | Sposob výroby kyseliny chlorovodíkové] pro mikroelektroniku | |
| IL45043A (en) | Purification of phosphoric acid by means of organic solvents | |
| JP4183286B2 (ja) | 高純度ヒドロキシルアミン水溶液の製造 | |
| JP2520260B2 (ja) | 純粋なホウ酸の製法 | |
| US3568409A (en) | Hydrochloric acid treatment for chlorine | |
| JP3250591B2 (ja) | 過酸化水素水溶液の濃縮精製方法 | |
| US3047363A (en) | Manufacture of inorganic thiocyanates | |
| CN101049919A (zh) | 高纯度羟胺游离碱及其水溶液的生产方法 | |
| JPS6354641B2 (sk) | ||
| US1708287A (en) | Method of recovering iodine | |
| US3315441A (en) | Process for separating ammonia from methyl chloride | |
| JPH09278416A (ja) | 高純度過酸化水素水溶液の製造法 | |
| JP2608825B2 (ja) | 過酸化水素水溶液の精製法 |