CS257716B1 - Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku - Google Patents
Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku Download PDFInfo
- Publication number
- CS257716B1 CS257716B1 CS863800A CS380086A CS257716B1 CS 257716 B1 CS257716 B1 CS 257716B1 CS 863800 A CS863800 A CS 863800A CS 380086 A CS380086 A CS 380086A CS 257716 B1 CS257716 B1 CS 257716B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- laser beam
- mirror
- lenses
- continuous measurement
- axis
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Řešení se týká optické soustavy z oboru optických měřicích přístrojů pro bezdotykové měření lineárních rozměrů. Podstata zařízení spočívá v tom, že do optické dráhy mezi halografický difrakční rozmítač a optickou soustavu složenou z čoček je zařazeno zrcadlo.
Description
Vynález se týká zařízení k bezdotykovému průběžnému měření příčného rozihěru předmětu rozmítáním laserového paprsku, sestávájícího ze zdroje laserového paprsku, holografického difrakčního rozmítače, soustavy čoček, světelného detektoru a elektronické vyhodnocovací jednotky.
Dosud se v zařízeni k bezdotykovému průběžnému měření příčného rozměru používá různých rozmítacích jednotek, z nichž velice příznivé parametry má holografický difrakční rozmítač, jehož princip spočívá ve využití odchylky paprsku difraktovaného na optické mřížce při šikmém dopadu. Nejčastěji jde o plochý rozmítač tvořený řadou segmentů difrakčních mřížek rozmístěných na kotouči. Mřížky mají mřížkové linie orientovány tečně.
Při rotaci kotouče je difraktovaný paprsek rozmítán v rovině kolmé k rovině tvořené osou rozmítače a bodem dopadu paprsku na něj, ve které leží dopadající paprsek. Paprsek difraktovaný na rozmítači dopadá přímo na kolimační čočku, za kterou je paprsek rozmítán rovnoběžně s osou optické soustavy.
Zařízení, ve kterém paprsek rozmítaný holografickým difrakčním rozmítačem dopadá přímo na kolimační čočku má některé nedostatky. Základním nedostatkem je to, že osa rotace rozmítače je orientována šikmo k ose optické sestavy, protože paprsek difraktovaný na rozmítači není rovnoběžný s normálou k rovině kotouče a tedy s osou rotace. To s sebou přináší další následné nevýhody. Protože celé zařízení měřiče pracuje obvykle tak, že osa soustavy je vodorovná a rozmítání se děje buá ve vodorovné, nebo svislé rovině podle toho, jestli se měří válcovaný nebo vytahovaný materiál, jsou podmínky pro provoz motorku pohánějícího rozmítač v obou případech navzájem zcela odlišné. Jedou má osu vodorovnou a podruhé šikmou.
S šikmou orientaci osy rotace rozmítače vzhledem k ose sestavy také souvisí obtížná justáž difrakčního rozmítače, která vyžaduje celé jednotky, sestávající z rozmítače a motorku, popřípadě ústrojí přenosu síly z motorku na rozmítač.
Mnohé z těchto nedostatků odstraňuje zařízení podle vynález, jehož podstata spočívá v tom, že do optické dráhy mezi holografický difrakční rozmítač a soustavou čoček je zařazené zrcadlo.
Výhody zařízení podle vynálezu spočívají v tom, že přítomnost zrcadla umožňuje orientovat osu rozmítače rovnoběžně s osou optické soustavy. Zrcadlo také může na sebe převzít částečně i funkci justáže rozmítače vzhledem ke kolimační čočce. Příčným a podélným přesunem se nastavuje poloha rozmítací roviny. Úhlovým nastavením se justuje správný úhel difrakoe. Samozřejmě í režim práce motorku nezávisí na tom, zda rovina rozmítání je vodorovná nebo svislá.
Na připojeném výkresu jsou na obr. 1 a 2 znázorněna různá provedení zařízení podle vynálezu ve schematickém náčrtu.
Za zdrojem _1 laserového paprsku 11 je upraveno pomocné zrcátko 2· Za ním ve směru laserového paprsku 11 je upraven holografický difrakční rozmítač 2 s motorkem jl. Dále je v cestě difraktovaného laserového paprsku 11 upraveno zrcadlo jj. Následuje potom optická soustava, sestávající z čoček 6 a 8, která je upravena tak, že její přední ohnisko je totožné s bodem dopadu laserového paprsku 11 na rozmítač 3 a v zadním ohnisku je upraven detektor světla !)·
Mezi čočky 6 a 8 se vkládá měřený předmět T_. Signál z detektoru j? pokračuje do elektronické jednotky 10. Rozdíl provedení zařízení podle vynálezu na obr. 2 proti zařízení na obr. 1 spočívá v tom, že holografický difrakční rozmítač _4 i zdroj 2 laserového paprsku 11 s pomocným zrcátkem 2 jsou otočený o 180°, z čehož vyplývá i rozdílné naklonění zrcadla
Claims (2)
- Funkce zařízení je tatos laserový paprsek ze zdroje J. je pomocným zrcátkem 2 odchýlen do vhodného směru zajištujícího při dopadu na holografický difrakční rozmítač 2 difrakci v patřičném směru. Rotací holografického difrakčního rozmítače 2 prováděnou motorkem £ je difraktovaný laserový paprsek 11 rozmítán v rovině kolmé k nákresně.Rovina rozmítání je potom pootočena odrazem laserového paprsku 11 na zrcadlo 2 tak, aby v ní ležela osa optické soustavy, sestávající z čoček 6_ a Q, přičemž orientace roviny rozmítání před odrazem na zrcadlo 2 umožňuje orientovat rozmítač 2 svou plochou kolmo k ose optického soustavy sestávající z čoček 6,
- 2· Mezi čočkami 6 a 2 se vytvoří dynamická clona laserovým paprskem 11 rozmítaným rovnoběžně s osou optické soustavy, sestávající z čoček 6, 2· Měřený předmět Ί_ zacloní na určitý čas laserový paprsek 11 a v tuto dobu potom nedopadá na detektor 2 signál. Dobu zaclonění potom elektronická jednotka 10 zpracovává na údaj o příčném rozměru měřeného'předmětu 2·Zařízení podle vynálezu je možno s výhodou použít pro bezdotykové průběžné měření příčného rozměru předmětu, zejména vytahovaných nebo válcovaných materiálů.předmEt vynalezuZařízení k bezdotykovému průběžnému měření příčného rozměru předmětu rozmítáním laserového paprsku, sestávající ze zdroje laserového paprsku, holografického difrakčního rozmítače soustavy čoček, světelného detektoru a elektronické vyhodnocovací jednotky, vyznačené tím, že do optické dráhy mezi holografický difrakční rozmítač (3^ a soustavou čoček (6, 8) je zařazeno zrcadlo (5).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS863800A CS257716B1 (cs) | 1986-05-26 | 1986-05-26 | Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS863800A CS257716B1 (cs) | 1986-05-26 | 1986-05-26 | Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS380086A1 CS380086A1 (en) | 1987-10-15 |
| CS257716B1 true CS257716B1 (cs) | 1988-06-15 |
Family
ID=5379140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS863800A CS257716B1 (cs) | 1986-05-26 | 1986-05-26 | Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS257716B1 (cs) |
-
1986
- 1986-05-26 CS CS863800A patent/CS257716B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS380086A1 (en) | 1987-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100660952B1 (ko) | 레이저 스캐너 측정 시스템 | |
| EP0022263B1 (en) | Light curtain apparatus with provision for generating a cyclically varying scale signal | |
| US3667846A (en) | Optical surface inspection apparatus | |
| US4254337A (en) | Infrared interference type film thickness measuring method and instrument therefor | |
| US3781110A (en) | Optical range finding system | |
| US4861982A (en) | Scanning optical microscope with position detection grating | |
| EP0002428B1 (en) | Optical system for use with apparatus for contouring surfaces with coherent light | |
| GB2248109A (en) | Non-contact measuring device | |
| EP0872722B1 (en) | Particle measuring apparatus and its calibration method | |
| US4125317A (en) | Optical inspection system employing dual path pickup system with single spherical mirror | |
| US3826578A (en) | Scanning inspection system and method | |
| US4523093A (en) | Scanning beam reference and read system | |
| US5298727A (en) | Device for reading bar codes on semiconductor surfaces | |
| US4689480A (en) | Arrangement for improved scanned 3-D measurement | |
| KR900010679A (ko) | 주사장치 및 이 장치의 사용에 적합한 미러 | |
| US4390277A (en) | Flat sheet scatterometer | |
| CA1224256A (en) | Apparatus for the inspection of sheets of material | |
| CS257716B1 (cs) | Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku | |
| US4425041A (en) | Measuring apparatus | |
| US4629885A (en) | Scanning apparatus | |
| US3970842A (en) | Automatic focus control device | |
| US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
| US5448355A (en) | System for measuring tilt of image plane of optical system using diffracted light | |
| US3296921A (en) | Alignment autocollimator | |
| JPS5981617A (ja) | 光学走査装置に用いるビ−ム位置検出装置 |