CS257716B1 - Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku - Google Patents

Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku Download PDF

Info

Publication number
CS257716B1
CS257716B1 CS863800A CS380086A CS257716B1 CS 257716 B1 CS257716 B1 CS 257716B1 CS 863800 A CS863800 A CS 863800A CS 380086 A CS380086 A CS 380086A CS 257716 B1 CS257716 B1 CS 257716B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
laser beam
mirror
lenses
continuous measurement
axis
Prior art date
Application number
CS863800A
Other languages
English (en)
Other versions
CS380086A1 (en
Inventor
Miroslav Miler
Zbynek Mosna
Original Assignee
Miroslav Miler
Zbynek Mosna
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Miroslav Miler, Zbynek Mosna filed Critical Miroslav Miler
Priority to CS863800A priority Critical patent/CS257716B1/cs
Publication of CS380086A1 publication Critical patent/CS380086A1/cs
Publication of CS257716B1 publication Critical patent/CS257716B1/cs

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Řešení se týká optické soustavy z oboru optických měřicích přístrojů pro bezdotykové měření lineárních rozměrů. Podstata zařízení spočívá v tom, že do optické dráhy mezi halografický difrakční rozmítač a optickou soustavu složenou z čoček je zařazeno zrcadlo.

Description

Vynález se týká zařízení k bezdotykovému průběžnému měření příčného rozihěru předmětu rozmítáním laserového paprsku, sestávájícího ze zdroje laserového paprsku, holografického difrakčního rozmítače, soustavy čoček, světelného detektoru a elektronické vyhodnocovací jednotky.
Dosud se v zařízeni k bezdotykovému průběžnému měření příčného rozměru používá různých rozmítacích jednotek, z nichž velice příznivé parametry má holografický difrakční rozmítač, jehož princip spočívá ve využití odchylky paprsku difraktovaného na optické mřížce při šikmém dopadu. Nejčastěji jde o plochý rozmítač tvořený řadou segmentů difrakčních mřížek rozmístěných na kotouči. Mřížky mají mřížkové linie orientovány tečně.
Při rotaci kotouče je difraktovaný paprsek rozmítán v rovině kolmé k rovině tvořené osou rozmítače a bodem dopadu paprsku na něj, ve které leží dopadající paprsek. Paprsek difraktovaný na rozmítači dopadá přímo na kolimační čočku, za kterou je paprsek rozmítán rovnoběžně s osou optické soustavy.
Zařízení, ve kterém paprsek rozmítaný holografickým difrakčním rozmítačem dopadá přímo na kolimační čočku má některé nedostatky. Základním nedostatkem je to, že osa rotace rozmítače je orientována šikmo k ose optické sestavy, protože paprsek difraktovaný na rozmítači není rovnoběžný s normálou k rovině kotouče a tedy s osou rotace. To s sebou přináší další následné nevýhody. Protože celé zařízení měřiče pracuje obvykle tak, že osa soustavy je vodorovná a rozmítání se děje buá ve vodorovné, nebo svislé rovině podle toho, jestli se měří válcovaný nebo vytahovaný materiál, jsou podmínky pro provoz motorku pohánějícího rozmítač v obou případech navzájem zcela odlišné. Jedou má osu vodorovnou a podruhé šikmou.
S šikmou orientaci osy rotace rozmítače vzhledem k ose sestavy také souvisí obtížná justáž difrakčního rozmítače, která vyžaduje celé jednotky, sestávající z rozmítače a motorku, popřípadě ústrojí přenosu síly z motorku na rozmítač.
Mnohé z těchto nedostatků odstraňuje zařízení podle vynález, jehož podstata spočívá v tom, že do optické dráhy mezi holografický difrakční rozmítač a soustavou čoček je zařazené zrcadlo.
Výhody zařízení podle vynálezu spočívají v tom, že přítomnost zrcadla umožňuje orientovat osu rozmítače rovnoběžně s osou optické soustavy. Zrcadlo také může na sebe převzít částečně i funkci justáže rozmítače vzhledem ke kolimační čočce. Příčným a podélným přesunem se nastavuje poloha rozmítací roviny. Úhlovým nastavením se justuje správný úhel difrakoe. Samozřejmě í režim práce motorku nezávisí na tom, zda rovina rozmítání je vodorovná nebo svislá.
Na připojeném výkresu jsou na obr. 1 a 2 znázorněna různá provedení zařízení podle vynálezu ve schematickém náčrtu.
Za zdrojem _1 laserového paprsku 11 je upraveno pomocné zrcátko 2· Za ním ve směru laserového paprsku 11 je upraven holografický difrakční rozmítač 2 s motorkem jl. Dále je v cestě difraktovaného laserového paprsku 11 upraveno zrcadlo jj. Následuje potom optická soustava, sestávající z čoček 6 a 8, která je upravena tak, že její přední ohnisko je totožné s bodem dopadu laserového paprsku 11 na rozmítač 3 a v zadním ohnisku je upraven detektor světla !)·
Mezi čočky 6 a 8 se vkládá měřený předmět T_. Signál z detektoru j? pokračuje do elektronické jednotky 10. Rozdíl provedení zařízení podle vynálezu na obr. 2 proti zařízení na obr. 1 spočívá v tom, že holografický difrakční rozmítač _4 i zdroj 2 laserového paprsku 11 s pomocným zrcátkem 2 jsou otočený o 180°, z čehož vyplývá i rozdílné naklonění zrcadla

Claims (2)

  1. Funkce zařízení je tatos laserový paprsek ze zdroje J. je pomocným zrcátkem 2 odchýlen do vhodného směru zajištujícího při dopadu na holografický difrakční rozmítač 2 difrakci v patřičném směru. Rotací holografického difrakčního rozmítače 2 prováděnou motorkem £ je difraktovaný laserový paprsek 11 rozmítán v rovině kolmé k nákresně.
    Rovina rozmítání je potom pootočena odrazem laserového paprsku 11 na zrcadlo 2 tak, aby v ní ležela osa optické soustavy, sestávající z čoček 6_ a Q, přičemž orientace roviny rozmítání před odrazem na zrcadlo 2 umožňuje orientovat rozmítač 2 svou plochou kolmo k ose optického soustavy sestávající z čoček 6,
  2. 2· Mezi čočkami 6 a 2 se vytvoří dynamická clona laserovým paprskem 11 rozmítaným rovnoběžně s osou optické soustavy, sestávající z čoček 6, 2· Měřený předmět Ί_ zacloní na určitý čas laserový paprsek 11 a v tuto dobu potom nedopadá na detektor 2 signál. Dobu zaclonění potom elektronická jednotka 10 zpracovává na údaj o příčném rozměru měřeného'předmětu 2·
    Zařízení podle vynálezu je možno s výhodou použít pro bezdotykové průběžné měření příčného rozměru předmětu, zejména vytahovaných nebo válcovaných materiálů.
    předmEt vynalezu
    Zařízení k bezdotykovému průběžnému měření příčného rozměru předmětu rozmítáním laserového paprsku, sestávající ze zdroje laserového paprsku, holografického difrakčního rozmítače soustavy čoček, světelného detektoru a elektronické vyhodnocovací jednotky, vyznačené tím, že do optické dráhy mezi holografický difrakční rozmítač (3^ a soustavou čoček (6, 8) je zařazeno zrcadlo (5).
CS863800A 1986-05-26 1986-05-26 Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku CS257716B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS863800A CS257716B1 (cs) 1986-05-26 1986-05-26 Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS863800A CS257716B1 (cs) 1986-05-26 1986-05-26 Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS380086A1 CS380086A1 (en) 1987-10-15
CS257716B1 true CS257716B1 (cs) 1988-06-15

Family

ID=5379140

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS863800A CS257716B1 (cs) 1986-05-26 1986-05-26 Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS257716B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS380086A1 (en) 1987-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100660952B1 (ko) 레이저 스캐너 측정 시스템
EP0022263B1 (en) Light curtain apparatus with provision for generating a cyclically varying scale signal
US3667846A (en) Optical surface inspection apparatus
US4254337A (en) Infrared interference type film thickness measuring method and instrument therefor
US3781110A (en) Optical range finding system
US4861982A (en) Scanning optical microscope with position detection grating
EP0002428B1 (en) Optical system for use with apparatus for contouring surfaces with coherent light
GB2248109A (en) Non-contact measuring device
EP0872722B1 (en) Particle measuring apparatus and its calibration method
US4125317A (en) Optical inspection system employing dual path pickup system with single spherical mirror
US3826578A (en) Scanning inspection system and method
US4523093A (en) Scanning beam reference and read system
US5298727A (en) Device for reading bar codes on semiconductor surfaces
US4689480A (en) Arrangement for improved scanned 3-D measurement
KR900010679A (ko) 주사장치 및 이 장치의 사용에 적합한 미러
US4390277A (en) Flat sheet scatterometer
CA1224256A (en) Apparatus for the inspection of sheets of material
CS257716B1 (cs) Zařízeni k bezdotykovému průběžnému měřeni příčného rozměru předmětu rozmitáním laserového paprsku
US4425041A (en) Measuring apparatus
US4629885A (en) Scanning apparatus
US3970842A (en) Automatic focus control device
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
US5448355A (en) System for measuring tilt of image plane of optical system using diffracted light
US3296921A (en) Alignment autocollimator
JPS5981617A (ja) 光学走査装置に用いるビ−ム位置検出装置