CS256152B1 - Sposob merania dížky kancových mierok na dvoch vzájomné spojených dvojlúčových interferometroch pomocou vlnovej dížky (He-Νε) lasera - Google Patents

Abstract

Predmetom riešenia je sposob merania dížky koncových mierok na dvoch vzájemné spojených dvojlúčových iníerferometoch pri použití He-Ne lasera a bieleho světla, pri ktorom prvé rovinné zrkadlo, ktoré je spojené s kútovým odrážačom, sa pohybuje a koncová mierfca adhézne spojená s druhým rovinným zrkadlom, ktoré je spojené s kútovým odrážačom, stojí.

Description

256152 3

Vynález sa lýka sposobu merania dížkykoncových mierok pomocou vlnovej dížkyHe-Ne lasera a spadá do odboru metrologiedížky.

Doteraz známy sposob merania dížky kon-cové] mierky na dvoch vzájemné spojenýchdvojlúčových interferometroch pomocou vl-novej dížky He-Ne lasera, z ktorých jedeninterferometer je s rovinnými zrkadlami adruhý s kůlovými odrážačmi, pričom prvérovinné zrkadlO' s prvým kůlovým odráža-čom sú uložené pevne a druhý kůlový od-rážač a koncová mierka adhézne spojená sdruhým rovinným zrkadlom sú uložené napohyblivom vozíku. Meria sa takým spůso-bom, že sa privedie monochromatické svět-lo· He-Ne lasera do interferometru s kúto-vými odrážačmi a sůčasne sa privedie bielesvětlo do interferometru s rovinnými zrka-dlami a pohybom vozíku s mierkou, ktorá jeadhézne spojená s druhým rovinným zrka-dlom, vytvára lúč lasera pohyblivý interfe-renčný obraz, ktorého tmavé a světlé práž-ky sa spočítavajú, pričom začúiatok a ko-niec merania dížky koncovej mierky udávávznik achromatického prúžku bleleho svět-la. Celkový posun vozíka s mierkou, ktoráje adhézne spojená s druhým rovinným zr-kadlom, udává skutočnú dížku mierky v pol-vlnách laserového světla. Pri tomto spóso-be merania je nutná vodiaca dráha pohyb-livého· vozíkua 2 m. Už uvedený nedostatok dlhej vodiacejdráhy pohyblivého vozíka dížky 2 m sa od-stráni sposobom merania dížky koncovýchmierok na dvoch vzájomne spojených dvoj-lúčových interferometroch pomocou vlno-vé] dížky Hs-Ne lasera podlá vynálezu, ato takým sposobom merania dížky konco-vých mierok, že prvé rovinné zrkadlo s pr-vým kútovým odrážačom sú uložené na po-hyblivom vozíku a koncová mierka adhéznespojená s druhým rovinným zrkadlom a dru-hým kútovým odrážačom sú nepohyblivé,ktorého· podstata je v tom, že po· přivedenímonochromatického světla He-Ne lasera dointerferometrů s kútovými odrážačmi a bie-leho· světla do interferometre s rovinnýmizrkadlami sa pohybom vozíka so zrkadloma kútovým odrážačom vytvára lúčom He-Nelasera pohyblivý interferenčný obraz na de-liacej doske interferometru indikovaný ,nafotodióde, pričom začiatok a koniec mera-nia dížky koncovej mierky udává vznikachromatického prúžku bieleho světla, kte-rý vznikne pri rovnakej optickej dráhe naj-prv medzi začiatkom a potom medzi kon-com mierky so zrkadlom, indikovaný vo fo-tonásobiči a tým vy,medzi dížku koncovejmierky počtom tmavých a světlých inter-ferenčných prúžkov monochromatickéhosvětla He-Ne lasera v polvlnách laserovéhosvětla, potom sa do· interferometrů s rovin-nými zrkadlami zavedie světlo- He-Ne lase-ra, v ktorom sa zistí k údajů koncovej mier-ky v polvlnách laserového světla zlomok polvlny a tým celková dížka koncovej mier-ky. Výhoda nového spfisobu spočívá v tom, žemiesto· velkého pohyblivého vozíka, ktorýnesie 1 m dlhú koncová mierku spolu sazrkadlom a kútovým odrážačom, sa ,pohybu-je iba zrkadlo a kútový odrážač- na malomvozíku, čím sa skráti dížka vodiacej dráhyz 2 m, na ktorom sa vozík pohybuje, prak-ticky na polovicu. Znížia sa aj požiadavkyna tuhost vedenia, aby sa zaručila priamo-čiárosť pohybu. Okrem toho nie je potřebnépoužívat pohyblivé přívody k snímačomteploty na mierke, lebo stojí.

Na pripojenom výkrese je znázorněnérozmiestnenie optických a mechanickýchčastí a sposob nastavovanía podlá vynále-zu, kde je laser 1 s monochromatickým svet-lom, 2 polarizačná deska ž/2, 3 zdroj biele-ho světla, 4, 19, 20 sú zrkadlá pre nastave-nie směru lúča, 5 kondenzor, B clona, 7 ob-jektiv kolimátora, 8 deliaca doska, 9 kom-penzačná doska, 10 mierka, 11 druhé rovin-né zrkadlo, 12 druhý kútový odrážač, 13vozík, 14 prvé rovinné zrkadlo, 15 prvý kú-tový odrážač, 16 objektiv, 17 fotodióda, 18fotonásobič.

Pri meraní dížky koncovej mierky 10 na-příklad 1000 mm, třeba najprv nastaviťmierku 10 s adhézne spojeným druhým ro-vinným zrkadlom 11, aby sa získal interfe-renčný obraz štyroch tmavých a světlýchinterferenčných prúžkov na fotonásobiči 18pri odklopeném zrkadle 19 v laserovom svět-le. Potom sa vrátí zrkadlo 19 a odklopí zr-kadlo 4, čím sa nahradí laserové světlo bie-lym svetlom v interferometri s rovinným zr-kadlom a posunie sa vozík 13 so zrkadlom•a kútovým odrážačom 14, 15 do najvzdiale-nejšej polohy od deliacej a kompenzačnejdošky 8, 9 tak, aby vznikol achromatickýprúžok v bielom svetle zistený fotonásobi-čom 18, to znamená rovnaká optická dráhamedzi koncom mierky 10, t. j. mistom, kdeje adhézne spojené zrkadlo 11 a zrkadlom14. V tomto· okamžiku sa spustí Čítanie in-terferenčných prúžkov, -ktoré sa čítajú zpohyblivého interferenčného obrazu, ktorývytvoří druhý interferometer s kútovými od-rážačmi 12, 15 pomocou fotodiódy 17. Po-tom sa pohybuje vozíkom 13 rýchlosťou,ktorá nepřekročí hraničnú rýchlosť čítaniainterferenčných prúžkov, t. j. max. 100 mm.. s_1, až sa príde do najbližšej polohy prideliacej a kompenzačnej doske 8, 9, kdepomalým posunom sa nájde opať achroma-tický prúžok pomocou údaja počtu interfe-renčných prúžkov, ktorých počet je prekažďú mierku lí! s toleranciou niekolkýchprúžkov známy. Zastavením čítanie v polo-he achromatického prúžku sa získá údaj odížke koncovej mierky 10 v polvlnách lase-rového světla. Potom sa vráti zrkadlo 4 aodklopí zrkadlo 19 a tým sa zavedie lase-rové světlo z interferometra s kútovými od-rážačmi do interferometra s rovinnými zr-

Claims (1)

1. 256152 kadlami, v ktorom sa odčítá zlomok polvlny fotonásobičom 18. Súčet polvín a zlomku PREDMET Spósob merania -dížky koncových mierokna dvo-ch vzájomne spojených dvojlúčovýchinterferometroch pomocou vlnovej dížkyHe-Ne lasera, z ktorých jeden interfero-meter je s rovinnými zrkadlami a druhý skútovými odrážačmi, pričom prvé rovinnézrkadlo s prvým kútovým odrážačom súuložené na pohyblivom vozíku, druhý kúto-vý odrážač a koncová mierka adhézne spo-jená s druhým rovinným zrkadlom sú ne-pohyblivé, vyznačujúci sa tým, že sa prive-die monochromatické světlo He-Ne laserado interferometru s kútovými odrážačmi(12, 14 J a súčasne sa -privedie biele světlo-do interferometru s rovinnými zrkadlami(11, 14) a pohybom vozíka (13) s-o zrkadlom laserového světla dá presnú dížku koncovejmi-erky 10. VYNALEZU (14) a kútovým odrážačom (15) vytvára lúčHe-Ne lasera (1) pohyblivý interferenčnýobraz, pN-čom začiatok a koniec meraniadížky koncovej mierky (10) udává vznikachrom-atického prúžku bieleho světla a týmsa vymedzí dížk-a koncovej mierky (10) po-čtom tmavých a světlých interferenčnýchprúžko-v monochromatického světla He-Nelasera (1) v polvlnách laserového- svetl-a,potom sa do- interferometru s rovinnými zr-kadlami (11, 14) zavedie svetl-o He-Ne lase-ra (1), v ktorom sa zistí k údajů -koncovejmierky (10) v polvlnách laserového světlazlomok polvlny a tým celková -dížk-a konco-vé j mierky (10). 1 list výkresov-