CS248343B1 - Grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BBRNAS - Google Patents

Abstract

Grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS má obdélníkový tvar ae zaoblením (2) poloměru r na kratších stranách obdélníka. Z vnější strany (7) má grafitové víko válcové vybrání (6) poloměru R. Podstata řešení spočívá v tom, že výstupní štěrbina má zmenšenou délku sražené hrany (5). čímž vznikne plošné ukončení okrajů (8) výstupní štěrbiny grafitového víka.

Description

(54) Grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BBRNAS

Grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS má obdélníkový tvar ae zaoblením (2) poloměru r na kratších stranách obdélníka. Z vnější strany (7) má grafitové víko válcové vybrání (6) poloměru R. Podstata řešení spočívá v tom, že výstupní štěrbina má zmenšenou délku sražené hrany (5). čímž vznikne plošné ukončení okrajů (8) výstupní štěrbiny grafitového víka.

(51) Int. ClA

H 01 L 21/265

248 543

248 343

Vynález se týká grafitového víka ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS používaného například v iontovém implantátoru, u něhož se řeží zvýšení životnosti při dodržení zaručovaných parametrů vycházejícího iontového svazku, jehož kritériem je ostrost, plošná homogenita a dosahovaný iontový proud.

Dosud známé řešení grafitového víka ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS má výstupní štěrbinu, jejíž okraje jsou opracovány do sražené hranjr která je velmi choulostivá na mechanické poškození. Za provozu dochází k odprašování materiálu z vnitřní plochy a k současnému nanášení frakcí zdrojových plynů, nebo naprašování tantalu ze žhavené katody, které je nutné pravidelně odstraňovat. Odprašováním a čištěním dochází k rozšiřování výstupní štěrbiny. Životnost grafitového víka ionizační komůrky iontového zdroje týpu RENE BERNAS je určena maximálním povoleným opotřebením, nebo-li rozšířením výstupní štěrbiny.

Uvedené nedostatky odstraňuje grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že výstupní štěrbina má zmenšenou délku sražená hrany, čímž vznikne plošné ukončení okrajů výstižní štěr biny.

U grafitového víka ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS, kterého výstupní Štěrbina má vlivem zmenšení dálky sražené hrany plošné ukončení okrajů, dochází při opotřebení nejdříve ke zmenšování šířky plošného ukončení okrajů výstupní Štěrbiny, čímž se dosahuje absolutní prodloužení životnosti a až pak dochází k rozšiřování výstupní štěrbiny.

- 3 248 343

Na přiložených výkresech je na obr. 1 znázorněno grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS, na obr. 2 jeho bokorys, na obr. 3 je původní provedení opracování okrajů výstupní Štěrbiny a na obr. 4 je provedení opracování okrajů výstupní štěrbiny podle vynálezu.

Grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS 1 má obdélníkový tvar se zaoblením 2 poloměru r na kratších stranách obdélníka. Z vnější strany 7 má grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje válcové vybrání 6 poloměru R. Uprostřed je výstupní štěrbina 2» jejíž okraje 4 jsou opracovány do sražené hrany Zmenšením délky sražené hrany vznikne plošné ukončení okrajů 8 výstupní štěrbiny 2·

Grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS se využívá zvláště u iontových implantátorů.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   I

   248 343

   Grafitové víko ionizační komůrky iontového zdroje typu RENE BERNAS obdélníkového tvaru se zaoblením poloměru r na kratších stranách obdélníka s válcovým vybráním poloměru R z vnější strany* vyznačené tím, že výstupní štěrbina /3/ má zmenšenou délku sražené hrany /5/, čímž vznikne plošné ukončení okrajů /8/ výstupní štěrbiny/3/.

   1 výkres