CS246581B1

CS246581B1 - Photosensitive dielectric compound

Info

Publication number: CS246581B1
Application number: CS831316A
Authority: CS
Inventors: Irina P Stepanova; Vladimir A Sichanov; Natalja A Tichonova
Original assignee: Irina P Stepanova; Vladimir A Sichanov; Natalja A Tichonova
Priority date: 1983-02-09
Filing date: 1983-02-25
Publication date: 1986-10-16
Also published as: DD234197A3; CS131683A1

Description

Ha3BaHHe Η3θ6ρβτβΗΗΗ: ΦΟΤΟΗΥΒΟΤΒΜΤΕΠΒΗΑΗ flPOJIEKTPHHECKAB Κ0ΜΠ03ΗΙΒΪΒ Η3θ6ρεΤβΗΗβ OTHOCHTCH Κ θίΐεΚΤρΟΤβΧΗΗΚβ Η ΜΟ3ΚβΤ HafÍTH ΓίρΗΜεΗεΗΗε, Β^taCTHOCTH, flJIH Η3ΓΟΤΟΒΠεΗΗΗ TOJICTOnJieHOHHblX ΜΗΚρΟΟΧβΜ.

HsBecTHa (JjOTonyBCTBHTajibHafl αηθπθκτρηηθοκβη κομπο3Μη,ηη noJiHMepH3aaHoH-ΗΟΓΟ THna B BHfla naCTbl flJIH TOJlCTOnJiaHOHHblX MHKPOCX8M [i] . OHa COflapJKHTCBHHBUcoflepacamea ετεκπο, ncwiHMepHoe CBH3yromee Ha ocnoBe noJinaKpnjiaTOB hjihnojiHMBTaKpniiaTOB, noJiHMapH3aunoHHo εποεοδΗΗε ΜοποΜερΗ aKpmiaTHoro PHfla,φΟΤΟΗΗΗΏΛΙβΤΟρ - MeTHJIOBbtíí 3<J)Hp 6eH3OHHa, ΗΗΓΗ6ηΤΟΡ ~ HHTpO3OflHM8pHO8 Coe~ΑΗΗεΗΗε, οκΗΟΗοε coeflHHeHHe xpoMa h paCTBopHTejih;

HaflocTaTKaMH H3bbcthoh komiio3Hijhh hbjihiotch εε μηογοκομποηβητηοοτη, yBe-jiHHHBaramaH TpyfloeMKocTb πρΗΓοτοΒπεΗΗΗ nač™ h cpaBHHT8HbHo HH3K3H pa3pe-maioiuaH cnocoBnocTb. B jiynuiHx npHMepax ynaeTCH noJiynHTb pa3Mep KaHaiioB bCJioe flH3Ji8KTpHKa umpHHoň 75 mkm η 6oJiee. Ποβηπιθηηθ pa3peinaiomeň cnocofíHoc-TH (J)OTOHyBCTBHT8JIbHOň ΚΟΜΠΟ3ΗΒΗΗ IIO3BOJIHT yBeJIHHHTb IIJlOTHOCTh paCnOJlO®8“ HHH 3J18MeHTOB TOJICTOnjIBHOHHbJX MHKPOCXBM.

Han6oJ18B ĎJIH3KOH ΠΟ TBXHHHBCKOMy CyifleCTBy HBJIHeTCH H3B8CTHaa ýOTOHyB-CTBHTeJIbHaH flH3JI8KTpHH8CKaH ΚΟΜΠΟ3ΗΒΗΗ flJIH nOJiyqeHHH ρεΛΒεφΗΟΓΟ H3O6pa3K8“HHH B CJIOe I\na3ypn, BKJHOHaiOmaH 31-49 BeCOBblX naCT8H CBHHBIíCOflapJKamBro CT8K-Jia h 51-69 b8cobmx nacTefí pacTBopa HeraTHBHoro hjih πο3ητηβηογο φοτορε3Ηε-Ta [2] . HBflOCTaTKaMH H3B8CTHOH ΚΟΜΠΟ3ΗΙ^ΗΗ HBJIH10TCH 88 nJIOXHe p8OBOrHH8CKH8 Xa~paKTepHCTHKH (HanpHMep, HH3Kafl BH3KOCTb) , HCKJHOHaromHe HCnOJIb3OBaHHe flJIHHaH8C8HHH 3toh κομπο3η«ηη HanSonee yflo6Horo M8Tofla τρεφερβΤΗοή nayaTH', HH8flOCTaTOHHaH pa3p8niaiOIHaH CnOCOSHOCTb ρεΒΒεφΗΟΓΟ H3o6pa®eHHH B CJIO8 rna-3ypH (125 mkm). UBJIbJO H3o6p8T8HHH HBJIB8TCB ΠΟΒΗΙπεΗΗΘ pa3p8IUa)0q8H CIIOCo6hOCTH φΟΤΟ^ΒΟΤ-BHT8JlbHOH ΚΟΜΠΟ3ΗΗΗΗ H yJiyHUI8HH8 88 peOJIOrHHeCKHX CBOÍÍCTB. TIocTaBneHHaH nenb flocruraeTCH τθμ, hto H3BecTHaH Φοτο'^βοτβητ8ΠβηβηflHSJíeKTpHqecKaH κομπο3ηιληη, BKJHoqaromaa CBHHeijcoflepjKamee ετεκπο h HeraTHB-Hbiň φοτορεεκοτ, flonoBHHTeJibHO. coflep>KHT pacTBop 6yTaflneH-HHTpHJibHoro Kayny-Ka b βΗΜβτκπφορΜΒΜΗΛε, a b KanecTBe HeraTHBHoro φοτορε3κοτ3 coflepscHT Hera-THBHblH φθΤθρβ3ΗΟΤ Ha OCHOBe ΟΠΗΓΟΒφΗρΒΚρΗΠβΤβ ΠρΗ CJieflyromeM COflepJKaHHHΚΟΜΠΟΗβΗΤΟΒ, BeCOBblX HaCTefÍÍ CBHHeucoflepjKamee οτβκ-πο 40,2-51,3

HeraTHBHbIH φθΤθρβ3ΗΟΤ Ha OCHOBe 246581 -2- 0jinro3(}>HpaKpnji3T3 25,6-44,8

ByTžmneH-HHTpu_rtbKbiň KaynyK 1,2-2,8 ^ΗΜβΤΚΠφΟΡΜβΜΗΟ 13,0-20,3

CeHHeucoAepxamee ετεκπο ΗΜεετ cneayiomHň coctsb: 45,5% PbO, 29,5% SiOt, 18,5% ZnO, 4,0% TiOt, 2,5% A1.403. B KaweCTBe η6Γ3τηβηογο <fcoTope3HCTa HcnonbsyioT φοτορε3Ηετ "Φοτοοετ-ίΚ",cocToamHň H3 oJinro3<t>HpaKpHnaTa ΜΓΦ-9, ΜεταποΒΟΓο 3(£npa 68H3onna, cnupTo-pacTBopHMoro opaH»8Boro KpacHTana, θτμποβογο cnHpTa h aií8ToHa. ΤεΧΗΟίΙΟΓΗΗ ΠΡΗΓΟΤΟΒΠΒΗΗΗ 4>OTOUyBCTBHT8JIbHOH flH3JI8KTpHM8CKOft KOMno3HUHHflJIH ΠρΗΜερΟΒ 1-4. B φβρφορΟΒΟΗ MaiUKe CM8QIHBaiOT npeABapHTBJIbHO npHrOTOBJIBHHblň paCTBOp 6y-TaflHBH-HHTpHJibHoro KaynyKa b ΑΗΜετκπφορκωΜΜ,υε η8Γ3τηβημμ φοτορε3ΗθτοΜ hβοβεΒΠΗίοτ CBHHaucoflapxcatnac ετεκηο c npaHMytu8CTB8HHbiM pa3McpoM qacTHu0,5-2,5 mkm. CMacb T«aTeJibHo περετΗρ3ΐοτ c uanbto γομογ8ΗΗ33πηη h ycpaflHaHHHcocTaea CHanana b φερφοροΒοίί Ηβπικε b τεκεκκε 5 MHHyT, a 33T8M Ha nacTOTcp-κε c KanponoHOBbíMH BajixaMH b τεπεκΜε 30 MHHyT. nonynaioT nacTy (cm. Ta6-jiHqy) c BH3KocTbio, o6acncunBaiomaň χοροωκε ρεοποΓΗπεοκκε xapaKTepHCTHKHflJIH HaHCCfeHHH MeTOflOM ΤρηφηρβΤΗΟΗ Π8Η3ΤΗ,

IlacTy HaHocaT Ha κερβΜΗηεεκΗε πο/χποχκη περε3 KanpoHoByio ceTKy Ha ycTa-ΗΟΒκε HaHeceHHH h cyrnaT Ha Boanyxa npn 80°C b τεηεΗκε 25 MHHyr. OncpanHHHaHBCCHHH H CyilIKH ΠΟΒΤΟρΗΙΟΤ /XBaXflbl H nOJiyuaiOT o6myfO TOJIHHHy BblCyniBHHoroποκρωτΗΗ 38 mkm. BbicymeHHbift cjioň φοτοπνΒετΒΗτεπΒΗΟΗ κομπο3Ηπηη 3KcnoHHpyioTna ycTaHOBKB c pTyTHoň JiaMnoň MomHocTbro 375 Βτ περε3 φοτοηιβδποΗ c τοποπογη-qecKHM pucyHKOM λπη οπρεπεπεΗΗΗ paspemaromaň cnocoSHocTH, coaepxamHM jihhhhUIHpHHOH 25-200 MKM C paCCTOHHHBM MCJKfly HHMH 25-300 MKM. IloCJie BKCnOHHpO-B3HHH CJIOH πρΟΗΒΠΗΙΟΤ STaJlOHOM, ΓφΗ 3Ť0M H8o6nyM8HHbIC ynaCTKH CJ1OH BblMblBatOT—CH, φορΜΗρνπ pHCyHOK CXCMbl, CyUiaT npH 150aC B ΤεΗβΗΗε 60 MHHyT H B«Hra-k>t b κοΗΒεήερΗΟΗ neuH npw MaKCHMaJibHoň TBMnepaTypc 750°C. ΠρΗ stom b p#-sjibktphhbckom cjiob o6pa3yioTCH KaHaJibi mHpHHoň, HSMepcHHoň Ha ΜΗκροεκοπε honpaflBJífliomeň paspcniawmyio cnoco6nocTb npannaraaMoň φοτοπνΒΟΤΒΗτειίΒΗοή kom-ΠΡ3ΗΙ(ΗΗ . B TaóJiHua 1 flaHbí κομποηβητη cmoch ajih πρΗΓοτοΒπεΗΗΗ npaflJiosceHHoň κομ-πο 3ΗΠΗΗ.

Ta6jnma 1 ΠρΗ— Mep, Ν’ PacTBop 6yTaflHCHHHTpHnb-hofo KayqyKa b πημθτηπ- φθρΜ3ΜΗβε HaraTHBHbiň φοτορε3Ηθτ, F CBHHencoflepjKanaactbkjio c npaHMy- U(8CTB8HHbIM pa3M8~ POM naCTHU 0,5-2,5 mkm KpanocTh, % KOJIHUeCTBO, Γ 1 8,0 13,44 12,06 2 12,1 6,93 7,68 15,39 3 8,0 1,89 .15,06 13,05 4 12,1 9,51 7,23 13,26 246581 B Ta6jrcmje 2 naHbí cocTaBM h cpaBHHTejibHaa oueHKa cboííctb npewiaraeMdňΚΟΜΠ09ΗΙ{ΗΗ ΠΟ ΠΡΗΜβρΒΜ 1“4 Η ΚΟΜΠΟ9ΗηΗΗ—npOTOTHna,

Ta6nnqa 2 npHMep Ν» COCTSB 4>OTO»iyBCTBHTenbHOft ΚΟΜΠΟ3ΗΐρΐΗ, Γ CBHHeiT“ coflep- jftamee οτβκπο HeraTHBHbift φοτορβ3Η<:τ ByTaflHeH- HHTPHJTbHblň Kay^yK flHMeTHJl- φορΜΒΜΗβ 1 2 3 4 5 Προτο- ΤΗΠ 31-49 51-69 - — ’ 1 40,2 44,8 1,2 13,8 2 51,3 25,6 2,8 20,3 3 43,5 50,2 0,5 5,8 4 44,2 24,1 3,8 27,9 npoflOJDKeHHe TaSjíHUM 2‘ ΠρΗΜβρ, Ν’ BpeMH 3KCII0HH-ΡΟΒ&ΗΗΗ,ΜΗΗ UlupHHa KaHa- jiob b cnoe flHajieKTpuKa, MKM ΠρΗΜβΜβΗΗβ 1 6 7 8 ΠρΟΤΟΤΗΠ 1-3 125 WHflKaa κομπο3Ηιρ«ι, HaHeceHHe Ha μεΗτρκφνΓβ 1 1,5 50 IIacToo6pa3HaH κομποβηηηη, Ha-HeceHHe τρβφβρβτΗοβ nenaTbio 2 3,0 65 3 1,5 75 To we 4 3,0 HenoJiHoe IipOHBJíeHHe — n —

KaK BHflHO H3 npHBefleHHbK TaSjIHU, npeAnOXeHHan φΟΤΟ^ΥΒΟΤΒΗΤβΠΒΗβΗ flH-.sxreKTpHqecKaB κομπο3HXíhb HMeeT 6o.nee BbicoKy» no cpaBHeHHio c H3BecTHoň pas-peinaromyio cnocoOHocTb, o6ecneMHBaK>myio nonyHeHHe KaHajióB b CJioe αηβπθκτρη- 246581 xa inHpHHOfl 50-65 mkm. Taxan paapemaioinaH ciioco6hocti> no3BOJineT 3HaMHTeJii>HoyBenHMHTb nnoTHocTh pacnonoxeHHfl 3JieMeHTOB b ToncTonneHoqHbix MHxpocxeMax,τβΜ caMbw noBbnnafl CTeneHb HHTerpaqnH nocneAHHX no TpeTbero ypoBHa. Ilpeftna-raeMaa κομπο3Ηβηη oCna^aeT xopomHMH peoJiorHqecKKMH xapaKTepHCTHKaMH, no3BoJΠΗΙΟΠΙΗΜΗ HCnOJIbBOBaTb &ΠΠ ΗβΗβΟβΗΗβ KOMIIO3HIJHH Η3ΚθθΠβθ yfloOHhlň ΜβΤΟΛ Tpa-ifrapeTHott neqaTH, a Taxxe TpaaHHHOHHoe· oOopyfloBaHHe ajih. nonyueHHH tojicto-aneHOMHbix MHKpocxeM. 24658) .5 ΦΟΡΜΥΠΑ Η30ΕΡΕΤΕΗΚΗ

OoTOMyBCTBHTejibHan flHanexTpHHecxaH κομποβηπηη npeuMymecTBeuHo fljin H3-roTOBJíeHHH TOJiCTonjienoqHbix MHKpocxeM, BKJiioqaiomaH CBUHeycoflepjKamee CTex.noh HeraTHBHbiň φοτορβ3Ηθτ, oTJiHqaiomaacH τβΜ, hto, c uensio nóBume-ijhh paspeniaromeň cnoco6HoČTH h ynynnieHHn peonornnecxnx cboíictb, oHa αοποηηη·TejibHo conepacHT pacTBop SyTaflHeH-HHTpHjibHoro xaynyxa b flHMeTm^opMaMHfle, ab xanecTBe HeraTHBHoro φοτορβ3Ηθτη conepjKHT HeraTHBHbiň φοτορβ3Ηθτ Ha ocho-Ββ οπηγοθΦηιρβκρκπβτβ πρκ cnesyiomeM coflepacaHHH κομποηθητοβ, BecoBbix qacTeň: CBHHeiícoflepjKamee CTex.noHeraTHBHbiň φοτορβ3Ηθτ HaOCHOBe ΟΠΜΓΟθφΐΐρβΚρίυίΗΤΒ 40,2-51,3 25,6-44,8 .ByTaflHeH-HHTpHJibHbiň xaynyx 1,2-2,8 ΑΜΜβΤΗΠφορΜΗΜΗΑ 13,0-20,3 246581 6

OoTo^yBCTBHTejibHaH XHsneKTpHMecKaH κομπο3Ηηηη othochtch κ οπεκτροτεχΗΗκεΗ MOJKeT HaňTH ΠρΗΜΘΗεΗΗε npeHMymeCTBeHHO flJlH Η3ΓΟΤΟΒΗεΗΗΗ ΤΟΠΟΤΟΠ,ΠεΗΟ^ΗΜΧMHKpoexeM.

Uejibio Η3θ6ρετεΗΗΗ HBJíaeTca noBbnneHne pa3pemaiomeň chocoShocth κομπο3Hhhkh ynynnieHne ee peonorHnecKHX cbohctb,

OoToayBCTBHTejibHaa aHsneKTpHnecKaH κομπο3ηηηη, BKrnonaroman CBHHenconepjKa-mee CTexJio h HeraTHBHblň φοτορε3Η0τ, cornacHo Η3ο6ρετεΗΗκ>, flononHHTenbHocoflepacHT pacTBOp 6yTaaneH-HHTpnnbHoro Kayayxa b ΗΗΜβτκπφορΜβΜΗ,ηε» a b xa-aeCTBe ΗεΓΒΙΉΒΗΟΓΟ φ0Τ0ρβ3Η0Τ3 COaepHCHT HeraTHBHblň φθΤθρβ3ΗΟΤ Ha OCHOBe OJIHΓΟ3φΗρΒΚρΗΠ3Τ3 ΠρΗ CJienyiOmeM COAepHtaHHH ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΟΒ, BeCOBblX HaCTeňÍ CBHHeucoflep»amee ετεκποHeraTHBHblň φοτορε3ποτ HaOCHOBe ΟΒΗΓΟ3φΗΡ3ΚρΗΤΣ3Τ3ByTaflHeH-HHTpuabHbift KaynyxflHMeTHJTKjlOpMaMH.a 40,2-51,3 25,6-44,8 1,2-2,8 13,0-20,3 ΠρΗ3Η3Η0 Η3θ6ρετεΗ«εΜ no pe3ynhTaTaM 3xcnepTH3bi, ocymecTBJíeHHoň Tocynap-cTBeHHbM ΚοΜΗτετοΜ CCCP no aenaM H3o6peTenHň h oTKpwTHň. 246581

Claims

246 581 PfiBDMfiT VYNÁLEZU Potocitlivá dielektrická sloučenina, výhodně používanápro výrobu mikroobvodů na silných vrstvách, zahrnujícíolovnaté sklo a negativní fotorezist, vyznačující se tím,že za účelem zvýšení rozlišovací schopnosti a zlepšenireologických vlastností obsahuje kompozice roztok butan-*diennitrilového kaučuku v dimetylformamidu a jako nega-tivní fotorezist obsahuje fotorezist na základě óligoes-terakrylátu a má složení ve hmotnostních dílech : olovnaté sklo 40,2 až 51,3 negativní fotorezist na základě oligoesterakrylátu 25,6 sz az 44,8 butadiennitrilový kaučuk 1.2 v az 2,8 dimetylformamid 13,0 v az 20,3