CS245231B1 - Způsob orientovaného dělení křemíkových desek - Google Patents
Způsob orientovaného dělení křemíkových desek Download PDFInfo
- Publication number
- CS245231B1 CS245231B1 CS843235A CS323584A CS245231B1 CS 245231 B1 CS245231 B1 CS 245231B1 CS 843235 A CS843235 A CS 843235A CS 323584 A CS323584 A CS 323584A CS 245231 B1 CS245231 B1 CS 245231B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- glass
- silicon wafer
- plate
- drilling
- projector
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
Řešení ae týká způsobu orientovaného
dělení křemíkových desek s vyleptaným motivem
při výrobě systémů polovodičových
součástek. Využívá ultrazvukové vrtání,
kdy obráběcí nástroj je sestaven z trubiček.
Sklo s natmelenou křemíkovou deskou
je přidržováno planžetami na podložce,
s kterou se po neorientování podle předlohy
na matnici projektoru přenese pod
obráběcí nástroj. Nastavení předlohy na
matnici projektoru se provede podle zkušebního
vrtání do skla.
Description
(54)
Způsob orientovaného dělení křemíkových desek
Řešení ae týká způsobu orientovaného dělení křemíkových desek s vyleptaným motivem při výrobě systémů polovodičových součástek. Využívá ultrazvukové vrtání, kdy obráběcí nástroj je sestaven z trubiček. Sklo s natmelenou křemíkovou deskou je přidržováno planžetami na podložce, s kterou se po neorientování podle předlohy na matnici projektoru přenese pod obráběcí nástroj. Nastavení předlohy na matnici projektoru se provede podle zkušebního vrtání do skla.
245 231
Vynález se týká způsobu orientovaného dělení křemíkových desek na kruhové systémy polovodičových součástek vrtáním pomocí ultrazvuku, tzv. vykružováním.
Při výrobě systémů se středově symetrickou strukturou menších než 8 mm se používá nástrojů zhotovených z oceli vrtáním.
Na stůl ultrazvukové vrtačky se připevní základna s ustavovacími kolíky. Vždy při výměně obráběcího nástroje je nutno provádět orientaci základny. Pomocí dvou kuliček vložených do otvorů ocelové orientační šablony se zajistí vzájemná poloha nástroje a šablony. Základna se zajistí v takové poloze, aby poloha kolíků souhlasila s odpovídajícími otvory v šabloně.
K vlastnímu vykružování se používá podložka s kolíky a permanentním magnetem, který přidržuje ocelovou destičku s natmeleným sklem, na kterém je natmelena vlastní křemíková deska. Orientace se provádí posunováním ocelové destičky tak, aby poloha orientačních zpaček vyleptaných na křemíkové desce souhlasila s polohou otvorů v orientační šabloně, která se nasadí na kolíky podložky. Podložka s deskou se po naorientování přenese na základnu pod obráběcí nástroj a vykrouží. Tento způsob nelze užít pro vykružování nástrojem sestaveným z tenkostěných trubiček, nebot by při orientaci základny došlo k jejich deformaci.
Při výrobě systémů s osově symetrickou strukturou se používá nástrojů zhotovených z přesných niklových trubiček pájením. Křemíková deska se seříznutou orientační hranou se natmelí na sklo. K orientaci slouží úhelník, který se přiloží k hraně desky a spolu s deskou k trubičkám. Při spouštění ultrazvukového generátoru je třeba sklo s deskou přidržovat. Přidržováním rukou nelze vždy vyloučit posunutí desky při zapnutí generátoru. Části desek bez orientační hrany nelze tímto způsobem zpracovat.
Při vykružování systémů větších než 8 mm se provádí orientace desky1přímo podle obráběcího nástroje. Pro menší systémy nelze tento způsob pro malou reprodukovatelnost použít.
Popsané způsoby orientace neumožňují použít nástroje sestavené z tenkostěnných trubiček pro vykružování systémů se středově symetrickou strukturou menších než 8 mm. Vykružování vrtanými nástroji je pomalejší a používaný způsob vyžaduje tmelení skel na ocelové destičky. Po vykroužení nelze bezprostředně provádět kontrolu kvality. Při vykružování dochází k zatékání brusné suspenze do mezery mezi ustavovacími kolíky a odpovídajícími ~3245 231 otvory v podložce. Opotřebením dochází ke snižování přesnosti orientace.
Uvedené nevýhody odstraňuje způsob dělení křemíkových desek ultrazvukovým vrtáním podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že sklo s natmelenou křemíkovou deskou je přidržováno planžetami na podložce, se kterou se po neorientování podle předlohy na matnici projektoru přenese pod obráběcí nástroj. Podstatou vynálezu dále je, že nastavení předlohy na matnici projektoru se provede podle zkušebního vrtání do skla. Rovněž je podstatou vynálezu to, že umožňuje použít obráběcí nástroj zhotovený z trubiček i pro vykružování systémů se středově symetrickou strukturou o průměru menším než 8 mm.
Výhodou způsobu dělení křemíkových desek podle vynálezu je to, že umožňuje užít obráběcích nástrojů sestavených z tenkostěnných trubiček i pro systémy se středově symetrickou strukturou menší než 8 mm. Tím dochází ke zvýšení počtu systémů z jedné desky, zkrátí se čas potřebný pro vykroužení, sníží spotřeba brusné suspenze, sníží se nároky na výkon ultrazvukového generátoru. Další výhodou je zjednodušení přípravy desek před vlastním vykružováním, nebot odpadá tmelení skel na ocelové, destičky. Výhodou způsobu,dělení křemíkových desek na systémy s osově symetrickou strukturou podle vynálezu je to,žě vzroste počet systémů z jedné desky, protože není potřeba orientační hrana, lze zpracovat i zlomky desek, nedochází k posuvu křemíkové desky při zapnutí generátoru. Při vykružování systémů větších než 8~mm dochází k podstatnému zpřesnění a usnadnění orientace.
Způsob dělení křemíkových desek podle vynálezu byl použit při výrobě systému triaku o průměru 7 mm. Na stůl ultrazvukové vrtačky £ byl upnut úhelník 2_. Shodný úhelník byl upevněn na základní desce projektoru. Sklo £ používané k tmelení křemíkových desek bylo vsunuto pod přítlačné planžety £ podložky 3. a podložka přiložena k úhelníku na stole ultrazvukové vrtačky 1_.
Po zkušebním vrtání byla podložka se sklem přiložena k úhelníku na základní desce projektoru. Předloha na matnici projektoru byla nastavena a zajištěna v takové poloze, aby souhlasila s obrazem vykrouženého motivu. Sklo s natmelenou křemíkovou deskou 6 bylo vsunuto pod přítlačné planžety 4 podložky 3. a podložka přiložena k úhelníku na základní desce projektoru.
Sklem s natmelenou deskou 6 bylo posunováno pod planžetami 4 podložky 3. tak, až motiv vyleptaný na křemíkové desce souhlasil
245 231
Xs předlohou na matnici. Po přenesení a přiložení podložky k úhelníku 2. na stole ultrazvukové vrtačky byla deska vykroužena.
Claims (2)
- P.ŘEDMĚT VYNÁLEZUí. Způsob orientovaného dělení křemíkových desek s vyleptaným motivem na kruhové systémy polovodičových součástek pomoci ultrazvukového vrtání, vyznačující se tím, že sklo /5/ s natmelenou křemíkovou deskou /6/ je přidržováno planžetami /4/ na podložce /3/, s kterou se po naorientování podle předlohy na matnici projektoru přenese pod obráběcí nástroj, který je sestaven z trubiček.
- 2. Způsob dělení křemíkových desek dle bodu 1, vyznačující še tím, že nastavení předlohy na matnici projektoru se provede podle zkušebního vrtání do skla.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS843235A CS245231B1 (cs) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Způsob orientovaného dělení křemíkových desek |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS843235A CS245231B1 (cs) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Způsob orientovaného dělení křemíkových desek |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS323584A1 CS323584A1 (en) | 1985-07-16 |
| CS245231B1 true CS245231B1 (cs) | 1986-09-18 |
Family
ID=5371852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS843235A CS245231B1 (cs) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Způsob orientovaného dělení křemíkových desek |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS245231B1 (cs) |
-
1984
- 1984-05-02 CS CS843235A patent/CS245231B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS323584A1 (en) | 1985-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106541156A (zh) | 利用激光笔进行四轴加工中心机床尾座定位的装置及方法 | |
| US4682766A (en) | X-Y-Z rotation positioning system using flexible mountings | |
| CS245231B1 (cs) | Způsob orientovaného dělení křemíkových desek | |
| CN112355414A (zh) | 一种磨料水射流与电火花穿孔组合加工机床及其加工方法 | |
| CN217702543U (zh) | 基于单轴机器人的自动倒角设备 | |
| JP2540711B2 (ja) | 半田付け不良の自動修正装置 | |
| JP2002263909A (ja) | 工作機械 | |
| KR100246304B1 (ko) | 2축제어 선반의 드릴가공장치 및 그 제어방법 | |
| CN213350921U (zh) | 一种径向孔夹角可调细轴杆钻孔工装 | |
| KR930008690B1 (ko) | 초소형 핀의 회전방지 면가공용 연삭지그 | |
| KR890005636Y1 (ko) | 선반에 있어서 피스턴 핀구멍의 테이퍼 가공장치 | |
| CN219766834U (zh) | 可钻斜孔的钻床 | |
| JP2004188557A (ja) | レンズ加工装置 | |
| JPS6434641A (en) | Electronic control type rotary transfer machine | |
| CN222873903U (zh) | 辅助三轴立式加工中心加工斜孔及斜面的可调角度装置 | |
| JPS63200920A (ja) | ワイヤ放電加工装置のワーク取付治具 | |
| JPS6249986B2 (cs) | ||
| JPS61142002A (ja) | 光学部材の加工装置 | |
| JPH0742565Y2 (ja) | 斜め穴加工装置 | |
| JPS59224239A (ja) | 任意形状の取付台に宝石を取付ける準備をする方法と装置 | |
| CN109176911A (zh) | 用于精密陶瓷的钻孔加工设备 | |
| JP2844828B2 (ja) | 電子部品装着装置 | |
| CN115815664A (zh) | 一种微小结构件的加工方法 | |
| CN112676892A (zh) | 一种偏心回转零件车削加工的装夹装置 | |
| JPH07266166A (ja) | 工作機械及びその工作機械を使用したワーク加工方法 |