CS244879B1 - Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin - Google Patents

Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin Download PDF

Info

Publication number
CS244879B1
CS244879B1 CS848020A CS802084A CS244879B1 CS 244879 B1 CS244879 B1 CS 244879B1 CS 848020 A CS848020 A CS 848020A CS 802084 A CS802084 A CS 802084A CS 244879 B1 CS244879 B1 CS 244879B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
magnetron
chemical synthesis
superconducting compounds
cathode target
discharge
Prior art date
Application number
CS848020A
Other languages
English (en)
Other versions
CS802084A1 (en
Inventor
Vaclav Husa
Vaclav Klabik
Vaclav Landa
Jindrich Musil
Jaromir Sladky
Jaroslav Smrcka
Original Assignee
Vaclav Husa
Vaclav Klabik
Vaclav Landa
Jindrich Musil
Jaromir Sladky
Jaroslav Smrcka
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaclav Husa, Vaclav Klabik, Vaclav Landa, Jindrich Musil, Jaromir Sladky, Jaroslav Smrcka filed Critical Vaclav Husa
Priority to CS848020A priority Critical patent/CS244879B1/cs
Publication of CS802084A1 publication Critical patent/CS802084A1/cs
Publication of CS244879B1 publication Critical patent/CS244879B1/cs

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Chemická syntéza supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magne- tronu při níž se do chemické reakce postupně zapojuje nejméně jeden prvek obsažený v katodovém terči s plyny inertního vnitřního prostředí magnetronu.

Description

Vynález se týká způsobu chemické syntézy supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magnetronu.
Většina dosud známých supravodičů jsou podvojné nebo potrojné sloučeniny kovů na bázi niobu, zirkonu, olova, molybdenu, titanu, germania a dalších a to sloučeniny těchto kovů navzájem nebo sloučeniny s dusíkem případně uhlíkem nebo sírou.
Všeobecně platí, že výroba těchto sloučenin je velmi náročná, má-li být získána sloučenina v požadované čistotě tak, aby její vlastnosti byly skutečně supravodivé. Další nevýhodou jsou mechanické vlastnosti těchto supravodivých sloučenin, které jsou většinou křehké a proto obtížně zpracovatelné obvyklými tvářecími nebo obráběcími technologiemi.
Supravodivé vrstvy se proto vytvářejí bud naprašováním hotové sloučeniny v magnetronu, na pásek, například měděný, nebo se tvářením vyrobí mnohažilový vodič například z niobu v bronzové matrici, a následným žíháním se dosáhne difuse Sn z bronzu do Nb drátu a na jeho povrchu vznikne požadovaná supravodivá vrstvička NbjSn.
Tyto metoda jsou pracné a zdlouhavé. Při aplikaci hotové sloučeniny naprašováním v magnetronu je nebezpečí jejího znečištění.
Uvedené nevýhody odstraňuje způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magnetronu podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že do chemické reakce se postupně zapojuje nejméně jeden prvek, obsažený v katodovém terči a to s plyny inertního vnitřního prostředí magnetronu.
Výhody podle způsobu vynálezu spočívají v tom, že chemická reakce probíhá těsně před naprášením tenké vrstvy v doutnavém výboji magnetronu. Využívá se toho, že atomy vyrážené z katodového terče mají dostatečnou energii, aby reagovaly s částicemi plynu, kterým je naplněna komora magnetronu.
Na objekt, kterým je například drát nebo pásek se naprašuje již požadovaná sloučenina, přičemž katodový terč je z jednoho prvku- například niobu. Využívá se skutečnosti, že katodový terč bombardovaný urychlenými ionty uvolňuje atomy a současně jim uděluje požadovanou energii potřebnou, aby proběhla žádaná chemická reakce.
Vysoká rotace doutnavého výboje v magnetronu podporuje vzájemné promíchání všech komponent a jejich chemickou reakci. Výhoda tohoto způsobu je především vysoká čistota vznikající sloučeniny, která vzniká bezprostředně před jejím naprášením na měděný pásek.
K reakci je možné použít pouze čistých prvků, ze kterých je požadovaná sloučenina tvořena, odpadá tedy náročná výroba sloučeniny a manipulace s ní. Vhodnou úpravou ploch jednotlivých prvků, jejich mozaiky v katodovém targetu lze dosáhnout i určitých malých odchylek od steohiometrického složení sloučeniny a to takových odchylek, které poskytují nejlepší supravodivé parametry.
Další výhodou je skutečnost, že reakce probíhá při relativně nižší teplotě doutnavého výboje, díky vysokým kinetickým energiím zúčastněných elementárních částic. Platí to zejména pro supravodiče typů NbN, NbC a NBCN.
Příklad 1
Supravodič typu NbN se vytvoří tak, že měděný vodič, který tvoří anodu probíhá před 'katodovým targetem vyrobeným z niobu. Prostředí magnetronu přitom tvoří zředěné páry čpavku NHj. Ionty čpavku v magnetronu bombardují katodový target a vyrážejí atomy niobu, která v doutnavém rotujícím stejnosměrném výboji se promíchávají s disociovaným čpavkem a slučují dusíkem na požadovaný NbN, který se naprašuje na měděný nosič.
Příklad 2'
Supravodič typu NbC se vytvoří tak, že na měděný nosič, který tvoří anodu v magnetronu a probíhá před katodovým targetem, vyrobeným z niobu, dopadá sloučenina NbC, která vzniká v doutnavém rotujícím stejnosměrném výboji tím, že disociovaný methan CH3 vyráží z katodového targetu atomy niobu, které při vysoké rotaci v doutnavém výboji se slučují s přítomným uhlíkem na NbC.
Příklad 3
Supravodič NbCN se vytvoří na měděném nosiči tak, že v magnetronu tvoří anodu, přičemž katodu magnetronu tvoří terč z niobu. Při doutnavém stejnosměrném výboji bombardují ionty směsi plynů čpavku NH^ a methanu CH^ katodu, vyrážejí z ní atomy niobu, které se promíchají v rotujícím výboji s přítomnými atomy dusíku a uhlík a slučují se s nimi na požadovanou sloučeninu NbCN, která dopadá a ulpívá na měděném nosiči.

Claims (1)

  1. Způsob chemické synthézy supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magnetronu vyznačený tím, že do chemické reakce se postupně zapojuje nejméně jeden prvek obsažený v katodovém terči s plyny inertního vnitřního prostředí magnetronu.
CS848020A 1984-10-22 1984-10-22 Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin CS244879B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS848020A CS244879B1 (cs) 1984-10-22 1984-10-22 Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS848020A CS244879B1 (cs) 1984-10-22 1984-10-22 Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS802084A1 CS802084A1 (en) 1985-07-16
CS244879B1 true CS244879B1 (cs) 1986-08-14

Family

ID=5430238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS848020A CS244879B1 (cs) 1984-10-22 1984-10-22 Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS244879B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS802084A1 (en) 1985-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7717987B2 (en) Coating material based on a copper-indium-gallium alloy, in particular for the production of sputter targets, tubular cathodes and the like
JP3064701B2 (ja) カルコパイライト型化合物薄膜の製造方法
US5489372A (en) Process for producing light absorption layer of solar cell
US4673475A (en) Dual ion beam deposition of dense films
Selinder et al. Resputtering effects on the stoichiometry of YBa2Cu3O x thin films
US4746373A (en) Method of manufacturing compound superconductors
JPH07103461B2 (ja) 黒色皮膜の形成方法及びその皮膜
EP0282839A3 (en) Films of high tc oxide superconductors and method for making the same
EP0288711B1 (en) Rapid, large area coating of high-Tc superconductors
CS244879B1 (cs) Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin
US4341572A (en) Method for producing Nb3 Sn superconductors
US4038216A (en) Material and method of making secondary-electron emitters
CA1235385A (en) Hard layer formed by incorporating nitrogen into mo or w metal and method for obtaining this layer
Iwami et al. Resonant-photoemission study of the mechanism for room-temperature-alloyed interface formation of Au and Ag on Si (111)-(2× 1)
Yumoto et al. Properties and surface morphology of indium tin oxide films prepared by electron shower method
Grzesik et al. The sulphidation behavior of Mo Al alloys with low aluminum contents
Thornton Fundamental processes in sputtering of relevance to the fabrication of thin film solar cells
RU2213801C2 (ru) Способ нанесения покрытий на сплавы
Skogsmo et al. The formation of n-phase in cemented carbides during chemical vapour deposition
US4409297A (en) Composite superconductors
CS245243B1 (cs) Katodový terč pro reaktivní magnetronové napraáování
Michel et al. The preparation of YBCO thin films by a four ion beam co-deposition system
US4914080A (en) Method for fabricating superconductive film
Abdullayeva et al. Determination of the negative ion yield of copper sputtered by cesium ions
Shah Effect of deposition conditions on cation composition during reactive magnetron sputtering of high-Tc superconductors