CS244879B1 - Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin - Google Patents
Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin Download PDFInfo
- Publication number
- CS244879B1 CS244879B1 CS848020A CS802084A CS244879B1 CS 244879 B1 CS244879 B1 CS 244879B1 CS 848020 A CS848020 A CS 848020A CS 802084 A CS802084 A CS 802084A CS 244879 B1 CS244879 B1 CS 244879B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- magnetron
- chemical synthesis
- superconducting compounds
- cathode target
- discharge
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Chemická syntéza supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magne- tronu při níž se do chemické reakce postupně zapojuje nejméně jeden prvek obsažený v katodovém terči s plyny inertního vnitřního prostředí magnetronu.
Description
Vynález se týká způsobu chemické syntézy supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magnetronu.
Většina dosud známých supravodičů jsou podvojné nebo potrojné sloučeniny kovů na bázi niobu, zirkonu, olova, molybdenu, titanu, germania a dalších a to sloučeniny těchto kovů navzájem nebo sloučeniny s dusíkem případně uhlíkem nebo sírou.
Všeobecně platí, že výroba těchto sloučenin je velmi náročná, má-li být získána sloučenina v požadované čistotě tak, aby její vlastnosti byly skutečně supravodivé. Další nevýhodou jsou mechanické vlastnosti těchto supravodivých sloučenin, které jsou většinou křehké a proto obtížně zpracovatelné obvyklými tvářecími nebo obráběcími technologiemi.
Supravodivé vrstvy se proto vytvářejí bud naprašováním hotové sloučeniny v magnetronu, na pásek, například měděný, nebo se tvářením vyrobí mnohažilový vodič například z niobu v bronzové matrici, a následným žíháním se dosáhne difuse Sn z bronzu do Nb drátu a na jeho povrchu vznikne požadovaná supravodivá vrstvička NbjSn.
Tyto metoda jsou pracné a zdlouhavé. Při aplikaci hotové sloučeniny naprašováním v magnetronu je nebezpečí jejího znečištění.
Uvedené nevýhody odstraňuje způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magnetronu podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že do chemické reakce se postupně zapojuje nejméně jeden prvek, obsažený v katodovém terči a to s plyny inertního vnitřního prostředí magnetronu.
Výhody podle způsobu vynálezu spočívají v tom, že chemická reakce probíhá těsně před naprášením tenké vrstvy v doutnavém výboji magnetronu. Využívá se toho, že atomy vyrážené z katodového terče mají dostatečnou energii, aby reagovaly s částicemi plynu, kterým je naplněna komora magnetronu.
Na objekt, kterým je například drát nebo pásek se naprašuje již požadovaná sloučenina, přičemž katodový terč je z jednoho prvku- například niobu. Využívá se skutečnosti, že katodový terč bombardovaný urychlenými ionty uvolňuje atomy a současně jim uděluje požadovanou energii potřebnou, aby proběhla žádaná chemická reakce.
Vysoká rotace doutnavého výboje v magnetronu podporuje vzájemné promíchání všech komponent a jejich chemickou reakci. Výhoda tohoto způsobu je především vysoká čistota vznikající sloučeniny, která vzniká bezprostředně před jejím naprášením na měděný pásek.
K reakci je možné použít pouze čistých prvků, ze kterých je požadovaná sloučenina tvořena, odpadá tedy náročná výroba sloučeniny a manipulace s ní. Vhodnou úpravou ploch jednotlivých prvků, jejich mozaiky v katodovém targetu lze dosáhnout i určitých malých odchylek od steohiometrického složení sloučeniny a to takových odchylek, které poskytují nejlepší supravodivé parametry.
Další výhodou je skutečnost, že reakce probíhá při relativně nižší teplotě doutnavého výboje, díky vysokým kinetickým energiím zúčastněných elementárních částic. Platí to zejména pro supravodiče typů NbN, NbC a NBCN.
Příklad 1
Supravodič typu NbN se vytvoří tak, že měděný vodič, který tvoří anodu probíhá před 'katodovým targetem vyrobeným z niobu. Prostředí magnetronu přitom tvoří zředěné páry čpavku NHj. Ionty čpavku v magnetronu bombardují katodový target a vyrážejí atomy niobu, která v doutnavém rotujícím stejnosměrném výboji se promíchávají s disociovaným čpavkem a slučují dusíkem na požadovaný NbN, který se naprašuje na měděný nosič.
Příklad 2'
Supravodič typu NbC se vytvoří tak, že na měděný nosič, který tvoří anodu v magnetronu a probíhá před katodovým targetem, vyrobeným z niobu, dopadá sloučenina NbC, která vzniká v doutnavém rotujícím stejnosměrném výboji tím, že disociovaný methan CH3 vyráží z katodového targetu atomy niobu, které při vysoké rotaci v doutnavém výboji se slučují s přítomným uhlíkem na NbC.
Příklad 3
Supravodič NbCN se vytvoří na měděném nosiči tak, že v magnetronu tvoří anodu, přičemž katodu magnetronu tvoří terč z niobu. Při doutnavém stejnosměrném výboji bombardují ionty směsi plynů čpavku NH^ a methanu CH^ katodu, vyrážejí z ní atomy niobu, které se promíchají v rotujícím výboji s přítomnými atomy dusíku a uhlík a slučují se s nimi na požadovanou sloučeninu NbCN, která dopadá a ulpívá na měděném nosiči.
Claims (1)
- Způsob chemické synthézy supravodivých sloučenin v rotujícím stejnosměrném výboji magnetronu vyznačený tím, že do chemické reakce se postupně zapojuje nejméně jeden prvek obsažený v katodovém terči s plyny inertního vnitřního prostředí magnetronu.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS848020A CS244879B1 (cs) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS848020A CS244879B1 (cs) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS802084A1 CS802084A1 (en) | 1985-07-16 |
| CS244879B1 true CS244879B1 (cs) | 1986-08-14 |
Family
ID=5430238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS848020A CS244879B1 (cs) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS244879B1 (cs) |
-
1984
- 1984-10-22 CS CS848020A patent/CS244879B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS802084A1 (en) | 1985-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7717987B2 (en) | Coating material based on a copper-indium-gallium alloy, in particular for the production of sputter targets, tubular cathodes and the like | |
| JP3064701B2 (ja) | カルコパイライト型化合物薄膜の製造方法 | |
| US5489372A (en) | Process for producing light absorption layer of solar cell | |
| US4673475A (en) | Dual ion beam deposition of dense films | |
| Selinder et al. | Resputtering effects on the stoichiometry of YBa2Cu3O x thin films | |
| US4746373A (en) | Method of manufacturing compound superconductors | |
| JPH07103461B2 (ja) | 黒色皮膜の形成方法及びその皮膜 | |
| EP0282839A3 (en) | Films of high tc oxide superconductors and method for making the same | |
| EP0288711B1 (en) | Rapid, large area coating of high-Tc superconductors | |
| CS244879B1 (cs) | Způsob chemické syntézy supravodivých sloučenin | |
| US4341572A (en) | Method for producing Nb3 Sn superconductors | |
| US4038216A (en) | Material and method of making secondary-electron emitters | |
| CA1235385A (en) | Hard layer formed by incorporating nitrogen into mo or w metal and method for obtaining this layer | |
| Iwami et al. | Resonant-photoemission study of the mechanism for room-temperature-alloyed interface formation of Au and Ag on Si (111)-(2× 1) | |
| Yumoto et al. | Properties and surface morphology of indium tin oxide films prepared by electron shower method | |
| Grzesik et al. | The sulphidation behavior of Mo Al alloys with low aluminum contents | |
| Thornton | Fundamental processes in sputtering of relevance to the fabrication of thin film solar cells | |
| RU2213801C2 (ru) | Способ нанесения покрытий на сплавы | |
| Skogsmo et al. | The formation of n-phase in cemented carbides during chemical vapour deposition | |
| US4409297A (en) | Composite superconductors | |
| CS245243B1 (cs) | Katodový terč pro reaktivní magnetronové napraáování | |
| Michel et al. | The preparation of YBCO thin films by a four ion beam co-deposition system | |
| US4914080A (en) | Method for fabricating superconductive film | |
| Abdullayeva et al. | Determination of the negative ion yield of copper sputtered by cesium ions | |
| Shah | Effect of deposition conditions on cation composition during reactive magnetron sputtering of high-Tc superconductors |