CS244156B1 - Způsob výroby vícenásobných antireflexních vrstev - Google Patents

Abstract

Způsob výroby vícenásobných antiref-< lexních vrstev napařováním v recipientu vakuové napařovací aparatury spočívá v tom, že se recipient před napařováním každé vrstvy vyčerpá na tlak menší než 4 mPa a při napařování vrstvy exidu titaničitého TiOg se do recipientu připouští kyslík do tlaku 26,3 až 53,3 mPa a dalším připouštšním kyslíku ss tento tlak udržuje při rychlosti napařování v intervalu 0,1 až 1,0 nm.s-^ a při napařování vrstvy fluoridu hořečnatého MgPg ee kyslík nepřipouští a napařovací rychlost se pohybuje v intervalu 0,5 až 5,0 nm.s”1.

Description

Způsob výroby vícenásobných antireflexních vrstev

Způsob výroby vícenásobných antiref-< lexních vrstev napařováním v recipientu vakuové napařovací aparatury spočívá v tom, že se recipient před napařováním každé vrstvy vyčerpá na tlak menší než 4 mPa a při napařování vrstvy exidu titaničitého TiOg se do recipientu připouští kyslík do tlaku 26,3 až 53,3 mPa a dalším připouštšním kyslíku ss tento tlak udržuje při rychlosti napařování v intervalu 0,1 až 1,0 nm.s^-^ a při napařování vrstvy fluoridu hořečnatého MgPg ee kyslík nepřipouští a napařovací rychlost se pohybuje v intervalu 0,5 až 5,0 nm.s”¹.

244 156 (51) Int a.*

C 03 c 17/34

- 1 244 156

Vynález se týká způsobu výroby- vícenásobných antlreflexních vrstev naparováním vrstev fluoridu horečnatého MgPg a oxidu titanlčitého TÍO2 v recipientu vakuové napařovací aparatury na optických sklech*

Pro zvýšení propustnosti a snížení parazitního světla u optických soustav se využívají antireflexní vrstvy. K tonuto účelu se nejčastěji používá vrstva fluoridu horečnatého, jejíž účinnost je však závislá na použitém podložním skle a dosahuje nižší hodnoty reflexe než 1 % pouze u některých druhů skel v úzkém spektrál ním intervalu* Z tohoto důvodu se ke snižování reflexních ztrát používají vícenásobné antireflexní vrstvy* Nejširšíhe praktického využití dosáhly syntézy připravované ze tří a více druhů napařovacích materiálů, což však velmi komplikuje technologickou přípravu vrstev*

Další možnost přípravy antlreflexních vrstev spočívá v použití pouze dvou druhů materiálů s nízkým a vysokým indexem lomu* které se periodicky střídají a mají rozdílné optické tlouštky. Teoretická stavba těchto systémů je již známá* avšak velkým problé mem těchto systémů vrstev je jejich praktická realizace* neboť se u nich vyskytují vrstvy s velmi malou optickou tloušťkou* takže roprodukovatelnost výroby je značně nízká a navíc vykazují vysokou zbytkovou absorpci* Například v současné době nejčastěji používaná materiálová báze z oxidů titanu a křemíku* připravovaných reaktivním naparováním v kyslíkové atmosféře podle čs* AO 180 401* se při aplikacích již ve čtyřnásobné antireflexní vrstvě neosvědču je z důvodů úzkého pásma antireflexe a vysoké zbytkové absorpce* Kvalita vrstvy* získaná z této materiálové báze* je závislé do značné míry na druhu podložního skla* což znemožňuje její univerzální použitelnost*

Je proto úkolem navrhnout takový způsob výroby vícenásobných antlreflexních systémů* které by umožnily zhotovení účinných

244 158 antireflexních vrstev složených pouze ze dvou druhů materiálů a které by vykazovaly současně výrazný antlreflexní účinek na všech druzích optických skel při zachování malé absorpce*

Tento úkol řeší předmět vynálezu, kterým je způsob výroby

Claims (1)

1. vícenásobných antireflexních vrstev naparováním vrstev fluoridu horečnatého MgPg a oxidu titaničitého T10₂ v recipientu vakuové napařovací aparatury na optických skel*

   Podstata vynálezu spočívá v tom, že se recipient před napa*· řeváním každé vrstvy vyčerpá na tlak menší než 4 mPa a při naparování vrstvy oxidu titaničitého TiOg se do recipientu připouští kyslík do tlaku 26,3 až 33,3 mPa a na této hodnotě se neustálým připouštěním kyslíku udržuje při rychlosti napařování v intervalu 0,1 až 1,0 nm·®^ a při napařování vrstvy fluoridu hořečnatého

   MgP_o se kyslík nepřipouští a napařovací rychlost se pohybuje < —i v intervalu 0,3 až 3,0 nm,s .

   Výroba vícenásobných antireflexních vrstev spočívá tedy v použití netradiční kombinace materiálů s nízkým a vysokým indexem lomu pro vakuové napařování· Při jejich aplikaci na výrobu antireflexních vrstev z materiálů o dvou indexech lomu dochází vlivem menších tlouštěk a rozladěnosti použitých konstrukčních sestav ke kompenzaci vnitřních pnutí ve vrstvách, což zamezuje popraskání připravené antlreflexní vrstvy. Současně js zaručena časová stabilita a použitelnost při běžných provozních podmínkách u všech optických skel.

   Tuto skutečnost dokumentují přiložené výkresy, kde je znázorněno na obr, 1 grafický průběh výsledného antireflexního účinku na vyznačených druzích optických skel j obr· 2 výsledný antlreflexní účinek šestinásobné antlreflexní vrstvy jednotkové optické tloušiky 160 nm·

   Postup při výrobě vícenásobných antireflexních vrstev podle vynálezu je následující.

   i sIik . Recipient se vyčerpá na tlak 2 mPa a připouští se do něj kyt “že se hodnota tlaku zvýší na 33 mPa· Při této hodnotě se naparuje vrstva oxidu titaničitého TiOg napařovací rychlostí 0,3 nm.»¹ po dobu potřebnou pro vytvoření optické tloušKky vrstvy, která

   244 156 vyplývá z konstrukční sestavy systému vrstev* Pote se proces přeruší a naparuje se vrstva fluoridu hořečnatého MgFg napařovací rychlostí 2 rinue¹ opět po dobu, která je potřebná k vytvořeni požadované optické tloušťky* Opakuje-li se tento postup dvakrát za sebou při přípravě konstrukční sestavy systému vrstev typu

   1/1*0021 0.318H 0*3371 O.257H/n

   S kde 1 značí vrstvu fluoridu hořečnatého MgFg ⁰ optické tloušťce 160 nm

   H značí vrstvu oxidu titaničitého TiOg o optické tlouštce 160 nm n& index lomu podložního skla, dosáhne se antireflexního účinku, vyjádřeného na obr* 1*

   Na něm křivka, vyznačená plnou Čarou, platí pro lehká koruntová