CS240682B1 - Způsob přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček a přípravek k jeho provádění - Google Patents
Způsob přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček a přípravek k jeho provádění Download PDFInfo
- Publication number
- CS240682B1 CS240682B1 CS847062A CS706284A CS240682B1 CS 240682 B1 CS240682 B1 CS 240682B1 CS 847062 A CS847062 A CS 847062A CS 706284 A CS706284 A CS 706284A CS 240682 B1 CS240682 B1 CS 240682B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- plates
- thickness
- grinding
- metal
- parallel plates
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 2
- XKUKSGPZAADMRA-UHFFFAOYSA-N glycyl-glycyl-glycine Natural products NCC(=O)NCC(=O)NCC(O)=O XKUKSGPZAADMRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 108010067216 glycyl-glycyl-glycine Proteins 0.000 abstract description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N nitrilotriacetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910021653 sulphate ion Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000009472 formulation Methods 0.000 abstract 2
- 239000013521 mastic Substances 0.000 abstract 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- XKENYNILAAWPFQ-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)germane;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ge]([O-])=O XKENYNILAAWPFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
'Způsob přesného tmelení při výrobě
planparalelních destiček a přípravek k
jeho provádění, umožňující při výrobě destiček
z monokrystalů lithiumniobátu, germanátu
olova, triglycinsulfátua pod.,
využívaných jako pyroelektrická čidla, dosáhnout
planparalelity s přesností 1 až
5 /tm tím, že mezi dvě planparalelní desky
ae vloží vyhřátý brousicí nebo leštící
kotouč s ještě plastickým tmelem a na něm
uchycenými opracovávanými destičkami a
poté se tyto desky stahují k sobě až k dosaženi
celkové tloušíky, tvořené tloušíkou
planparalelních kovových desek, brousicí
nebo leštící desky, tloušíkou opracovávaných
destiček a zvolenou tloušíkou tmele,
která činí 1 až 5 /tm v přípravku, tvořeném
dvěma kovovými jolangaralelními deskami
s klínovitostí menší nez 1 /tm, z nichž
horní je svisle posuvná po s výhodou třech
tyčích, opatřených závitem a utahovacími
maticemi.
Description
Vynález se týká způsobu přesného tmelení při výrobě destiček s vysokou planparalelitou, jakož i přípravku pro uvedený způsob.
Dosavadní způsob tmelení především malých destiček na podložní brousicí nebo leštící kotouč je při těchto operacích základním limitujícím faktorem výroby přesných planparalelníoh destiček. I při velké pečlivosti a zručnosti pracovníka lze natmelit destičky v rozmezí planparalality + 10 až 30 /um a v této toleranci se pohybuje i výsledná planparalelita.
U stále většího počtu především tenkých destiček z monokrystalů lithiumniobátu, germanátu olova, triglycinsulfátu, případmě deuterováného, využívaných jako pyroelektrická čidla, je požadováno opracování s podstatně větší přesností na planparalelituja to nejméně + 5 /um, přičemž u těchto destiček nelze aplikovat metodu přisátí na optický kontakt.
Jevilo se proto účelným nalézt takový způsob přesného tmelení, jímž by bylo možno těmto zvýšeným požadavkům na planparalelitu vyhovět a cíle bylo dosaženo způsobem přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že mezi dvě planparalelní desky se vloží vyhřátý brousicí nebo leštící kotouč s ještě plastickým tmelem a na něm uchycenými opracovávanými destičkami a poté se tyto desky stahují k sobě až k dosažení celkové tloušťky, tvořené tloušťkou planparalelníoh
- 2 240 682 kovových desek, brousící nebo leštící desky, tloušťkou opracovávaných destiček a zvolenou tloušťkou tmele, která činí 1 až 3 /um.
Předmětem vynálezu je také přípravek k provádění tohoto způsobu, jehož podstata spočívá v tom, že je tvořen dvěma kovovými planparalelními deskami s klínovitostí menší než 1 /um, z nichž horní je svisle posuvná po s výhodou třech tyčích, opatřených závitem a utahovacírai maticemi.
V dalším je blíže popsán nejprve přípravek s přihlédnutím k připojeným výkresům a dále pak postup podle vynálezu při přesném tmelení.
Na obr.1 je přípravek znázorněn v pohledu shora a na obr.2 v pohledu 9 boku. Jsou tam znázor-něny horní svisle pohyblivá deska 2» svislé tyče 2 opatřené závitem, dolbí pevná planparalelní deska 2» utahovací matice 2» brousící nebo leštící deska 2» opracovávané destičky β a vrstvička tmele 2 ·
Při přesném tmelení se mezi horní planparalelní desku 2 navlečenou na svislých tyčích 2 a dolní planparalelní desku 2 vloží vyhřátý brousící nebo leštící deska 2 a přitraelenými opracovávanými destičkami 6 v ještě pls&ickéra tmelu 2 a pomocí utahovacích matic 2 se obě kovové planparalelní desky 2 a 2 stahují k sobě.
Při jeainém odporu se stahování přeruší a kontroluje indikátorem planparalelita celého přípravku až k dosažení celkové tloušťky, odpovídající tloušťce planparalelních desek, brousící nebo leštící desky, tloušťce Opracovávaných desitček a zvolené tloušťce vsstvy tmele, pohybující se v rozmezí 1 až 3 /um. Tak lze u takto přitmelených destiček dosáhnout při dalším* opracovávání planparalelity s přesností 1 až 5 /um.
Claims (2)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZU 24o6821. Způsob přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček, vyznačený tím, že mezi dvě planparalelní desky se vloží vyhřátý brousicí nebo leštící kotouč s ještě pleitickým tmelem a na něm uchycenými opracovávanými destičkami a poté se tyto desky stahují k sobě až k dosažení celkové tloušťky, tvořené tloušíkou planparalelních kovových desek, brousicí nebo leštící desky, tloušíky opracovávaných destiček a zvolenou tloušíkou tmele, která činí 1 až 3 ^um.
- 2. Přípravek k provádění způsobu podle bodu 4/ vyznačený tím,že je tvořen dvěma kovovými planparalelními deskami s klínovitostí menší než 1 /um, z nichž horní je svisle posuvná po s výhodou třech tyčích, opatřených závitem a utahovacími maticemi.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS847062A CS240682B1 (cs) | 1984-09-20 | 1984-09-20 | Způsob přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček a přípravek k jeho provádění |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS847062A CS240682B1 (cs) | 1984-09-20 | 1984-09-20 | Způsob přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček a přípravek k jeho provádění |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS706284A1 CS706284A1 (en) | 1985-06-13 |
| CS240682B1 true CS240682B1 (cs) | 1986-02-13 |
Family
ID=5419048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS847062A CS240682B1 (cs) | 1984-09-20 | 1984-09-20 | Způsob přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček a přípravek k jeho provádění |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS240682B1 (cs) |
-
1984
- 1984-09-20 CS CS847062A patent/CS240682B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS706284A1 (en) | 1985-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2592390B1 (fr) | Feuille adhesive utilisable notamment pour le decoupage de pastilles semiconductrices sous la forme de microplaquettes | |
| IT8452845V0 (it) | Vite adatta a coppie di serraggio di precisione | |
| CN111285600B (zh) | 用于固定mpo屏段空间位置的定位装置、切片方法与切片检测装置 | |
| CN113787636A (zh) | 一种用于12寸半导体晶圆的手动粘棒方法 | |
| CN109100193A (zh) | 胶层厚度可调的复合材料搭接试验用工装 | |
| CN109500739B (zh) | 一种复合材料灌封试验件固定夹具及其固定方法 | |
| CS240682B1 (cs) | Způsob přesného tmelení při výrobě planparalelních destiček a přípravek k jeho provádění | |
| DE69122683T2 (de) | Optische Magnetfeldfühler | |
| CA2062466A1 (en) | Method of positioning and fixing optical fibres in a row of optical fibres and a coupling device provided with such a row of fibres | |
| US4755340A (en) | Method for producing packs of blades used for cutting crystal bars into wafers | |
| NO307437B1 (no) | Fremgangsmåte og innretning for stabling av substrater, som skal forbindes med hverandre ved hjelp av binding | |
| Macdonald | Strength of bonded shear joints subjected to movement during cure | |
| GB2284484A (en) | Electrophoresis gel-matrix layer | |
| CN107894295A (zh) | 一种薄膜扭矩传感器芯片及制造方法 | |
| JPH0435079Y2 (cs) | ||
| CN219726832U (zh) | 一种可调节的粘棒固定工装 | |
| CN222345349U (zh) | 一种多角度多种类棱镜工装产品的调节治具 | |
| JPH0617856B2 (ja) | 圧縮試験治具 | |
| IT1200878B (it) | Utensile di azionamento a coppia regolabile per centri di lavorazione automatizzati | |
| CN222135445U (zh) | 用于硅棒的粘接工装 | |
| JPS5522818A (en) | Method of semiconductor pressure sensor chip | |
| CN208289455U (zh) | 一种干刻下部电极固定装置 | |
| SU848185A1 (ru) | Способ обработки сотовых заполнителей | |
| JPS6471663A (en) | Lapping method for gaas wafer | |
| SU358120A1 (ru) | ВСЕСОЮЗНАЯ i i? •>&-•>&:E-i'nsn-!!:vt'f:^45;nF-'Si Л<1 i :'.-.iS! ti'J S b.AiitS» i»,.OSb''>&.'iBf''!?DJU''S».J' I r.,S'i,A |