CS239279B1 - Manipulační mechanismus - Google Patents

Abstract

Manipulační mechanismus, sestávající z víceúčelových průchodek, které jsou umístěny ve stěnách vakuové komory, kde se provádí např. napravování magnetronovou depozicí. S výhodou se používá 3 průchodek, kde jedna průchodka je vysouvací a podpěrná, druhá průchodka má ještě navíc otáčecí mechanismus a třetí průchodka je vysouvací, podpěrná a proudová. < Používá se v naprašovacích zařízeních, kde se provádí vytváření tenkých vrstev na kovových, nekovových, el. vodivých i nevodivých součástkách. Zejména výhodné pro dvoukomorové, vertikálně uspořádané zařízení.

Description

(54) Manipulační mechanismus

Manipulační mechanismus, sestávající z víceúčelových průchodek, které jsou umístěny ve stěnách vakuové komory, kde se provádí např. napravování magnetronovou depozicí.

S výhodou se používá 3 průchodek, kde jedna průchodka je vysouvací a podpěrná, druhá průchodka má ještě navíc otáčecí mechanismus a třetí průchodka je vysouvací, podpěrná a proudová. <

Používá se v naprašovacích zařízeních, kde se provádí vytváření tenkých vrstev na kovových, nekovových, el. vodivých i nevodivých součástkách. Zejména výhodné pro dvoukomorové, vertikálně uspořádané zařízení.

OSR. 1

Vynález se týká mechanismu pro manipulaci se vsázkou ve vakuových, vícekomorových napraš ovacích zařízeních.

Známá vakuová zařízení pro vytváření tenkých vrstev jsou řešena jako jednokomorová nebo vícekomorová s horizontálním uspořádáním. Vzhledem k tomuto uspořádání jsou horizontálně řešena i různá manipulační zařízení.

Pohyb těchto zařízení je vyvoláván pomocí reversních elektromotorů, které přes rotační průchodky a vnitřní třecí elementy pohybují s nosiči vsázky. Dále jsou známa páková manipulační zařízení, válečkové dopravníky atd.

Manipulační mechanismus pro vícekomorové, vakuové naprašovací komory podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že ve stěnách komory jsou umístěny průchodky, které jsou od stěn izolovány, přičemž první průchodka je řešena jako vysouvací a podpěrná, druhá průchodka je řešena jako vysouvací, podpěrná a má mechanismus pro otáčení základnou a třetí průchodka je konstruována jako vysouvací, podpěrná a současně proudová průchodka.

Vyšší účinek podle vynálezu lze spatřovat v tom, že průchodky slučují několik funkcí najednou, čímž je počet průchodů do vakuové komory omezen na minimum. Tím se zlepšuje vakuotěsnost zařízení.

Manipulační mechanismus umožňuje vertikální uspořádání vakuových komor, čímž je dosaženo úspory stavební plochy a zjednodušení výroby technologického zařízení. Manipulační mechanismus podle vynálezu je zobrazen na přiložených výkresech, kde značí obr. 1 řez vícekomorovým naprašovacím zařízením a obr. 2 půdorys komory 5. v řezu /schematicky/ se znázorněním umístění průchodek.

Na obr. 1 je vícekomorové vakuové naprašovací zařízení s komorou _1_ a komorou v komoře 1 je nosič se vsázkou 2_ umístěn na základně _3, která je pohybově ovládána /vysouvání a spouštění/ pomocí manipulačního válce 4_.

Obě komory jsou odděleny vakuově těsnicím uzávěrem £. V komoře _5 jsou ve stěnách umístěny průchodky 7, 8, 9, které jsou víceúčelové. Všechny průchodky jsou ve stěnách těsněny a odizolovány izolací 10.

Do komory je vsázka vložena na nosič vsázky 2., který je uložen na základně _3 manipulačního válce £. Po ukončení příslušných technologických operací ve vakuové komoře 1_ je potřeba přemístit vsázku do komory 5.

Tento úkol je možno provést po otevření vakuového uzávěru 6_. Dále se vykoná pracovní zdvih manipulačního válce 4 se základnou 3_, na které je uložen nosič vsázky 2_. Manipulační válec 4 zůstává ve vysunuté poloze do té doby, než se vysunou průchodky 7_, 8_, 9_.

Tím je nosič vsázky 2 podepřen a manipulační válec £ se vrací do výchozí polohy v komoře 1_. Po tomto úkonu je vakuový uzávěr opět uzavřen. Tím je vsázka v komoře 5_ připravena pro operace naprašování.

Tyto operace jsou umožněny pomocí specielních průchodek 7.r 8? 2.' které ve vysunuté poloze-podpírají nosič vsázky 2_, otáčejí základnou 2 ^a jedna z nich má též funkci proudové průchodky pro zajištění přívodu proudu-viz další popis.

První průchodka ]_ konstrukována tak, že slouží jako vysouvací a podpěrná průchodka, protože ve vysunuté poloze podpírá nosič vsázky Druhá průchodka Q_ je také víceúčelová, je vybavena mechanismem, sloužícím pro otáčení nosiče vsázky 2_·

Nosič vsázky 2 vykonává během procesu rotační pohyb. V případě, že z technologických důvodů je nutné přivést na nosič vsázky 2_ elektrický proud, dává nám tuto možnost třetí průchodka 9_> která je konstruována také jako víceúčelová a slouží jako podpěrná, vysouvací a k přívodu proudu.

Všechny průchodky 7_, Q, 2. 3^SOU °d vakuové komory 2 odizolovány izolací 10, aby byly splněny požadavky technologie.

Manipulační mechanismus je použitelný v naprašovacích nebo napařovacích vakuových zařízeních, kde se provádí vytváření tenkých vrstev na kovových, nekovových, elektricky vodivých i nevodivých součástkách. S výhodou ho,lze použít u dvoukomorového, vertikálně uspořádaného naprašovacího zařízení.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Manipulační mechanismus pro vícekomorové vakuové naprašovací komory vybavené v komoře zdvihacím válcem, základnou a vakuovým uzávěrem, vyznačující se tím, Že ve stěnách komory /5/ jsou umístěny průchodky /7, 8, 9/, které jsou od stěn izolovány izolací /10/, přičemž první průchodka /7/ je konstruována jako vysouvací a podpěrná, druhá průchodka /8/ je konstruována jako vysouvací i podpěrná a je současně vybavena mechanismem pro.otáčení základnou /3/ a třetí průchodka /9/ je konstruována jako vysouvací, podpěrná i proudová průchodka.