CS233832B1 - Zapojení přesné rotace zobrazení rastrovacího elektronového mikroskopu - Google Patents

Abstract

Zapojení umožňuje rychlou a přesnou rotaci zobrazení o přesný úhel bez dodatečné deformace zobrazení, zejména při proměřování a kontrole rozměrů struktur integrovaných obvodů. Napělové signály určená pro vychylování paprsku jeou invertovány v invertoru a převedeny do přepínače kvadrantů, kde po příslušném přepnutí se přivedou na n-polohový řadič a přee sčítací zeailoveče na výstupní svorky zapojení.

Description

Vynález se týká zapojení přesné rotace zobrazeni preparátu v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomoci řadiče.

Při proměřování vzorků rastrovacím elektronovým mikroskopem, zejména při proměřováni a kontrole struktur integrovaných obvodů, je potřeba rychle natočit zobrazením tak, aby měřený rozměr byl ve vodorovném směru, kde je umístěna přímá měřici úsečka.

Rotace zobrazení preparátu v rastrovacím elektronovém mikroskopu se provádí buč mechanicky^ nebo elektronicky. Při mechanickém otáčení preparátu je třeba současně otáčet rotaci a posuny x a y, n

nebot střed otáčeni leží „daleko mimo střed pozorovaného místa.

Tato metoda je zdlouhavá a při větších zvětšeních nepoužitelná. Elektronické otáčeni preparátu se provádí pomoci speciálního, vysoce přesného dvojitého potenciometru s průběhem sinus a cosinus, sledovačů a součtových zesilovačů. Nevýhodou elektronického otáčení je nepřesnost nastavení úhlu, vysoká cena a složitost potenciometru a omezená přesnost.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení přesné rotace zobrazeni rastrovacího elektronového mikroskopu podle vynálezu.

Podstatou vynálezu je, že první vstupní svorka a druhá vstupní svorka jsou spojeny jednak s přepínačem kvadrantů a jednak přes invertor s přepínačem kvadrantů, jehož první, druhý a třetí výstup jsou spojeny přes n-polohový řadič jednak s prvním a druhým vstupem prvního sčítacího zesilovače, jehož výstup tvoři první výstupní svorku zapojení a jednak s prvním a druhým vstupem druhého sčítacího zesilovače, jehož výstup tvoří druhou výstupní svorku zapojeni,

Hlavní přednosti vynálezu je rychlá a přesná rotace zobrazení o přesný úhel bez dodatečné deformace zobrazeni rastrovacím elektronovým mikroskopem, zejména při proměřování a kontrole rozměrů struktur integrovaných obvodů.

Vynález blíže objasni přiložený výkres, kde je uvedeno blokové schéma zapojení přesné rotace zobrazeni rastrovacího elektronového mikroskopu.

První vstupní svorka JL a druhá vstupní svorka 2 jsou spojeny s přepínačem 4 kvadrantů jednak přímo a jednak přes invertor 3. První, druhý a třetí výstup A, B, C přepínače 4 kvadrantů je spojen přes n-polohový řadič 5 s prvním a druhým vstupem prvního a druhého sčitacího zesilovače 6 a 7. Výstup prvního sčitacího zesilovače 6 tvoři první výstupní svorku 8, výstup druhého sčitacího zesilovače 7 tvoři druhou výstupní svorku 9.

Na první a druhou vstupní svorku 1, Z jsou přivedeny signály (t) a (^t) J®^ vstupuji do přepínače 4 kvadrantů' jednak přímo a jednak invertované -x^ (t), -y^ (t) v invertoru 3.Výstupní signály z přepínače 4 kvadrantů se násobí v n-polohovém řadiči 5 hodnotou a 1 siny cos y a v prvním a druhém sčitacim zesilovači 6, 7 se sečtou. Výstupní signály x₂ (t) a y₂ (t) na první a druhé výstupní svorce 8, 9 zapojeni odpovídají vychylovacím napětím zobrazení,otočeného o úhel y a umístěného do příslušně zvoleného kvadrantu přepínače 4 kvadrantů. Tato napětí slouží jako generátor pro řízení proudů ve vychylovacieh cívkách rastrovacího elektronového mikroskopu.

Pro výstupní signály x₂ (t) a y₂ (t) na první a druhé výstupní svorce 8, 9 zapojení platí x₂ (t) « x-l (t) cos y - y^· (t) sin y V2 ^{= X}1 (*) ®in y + y_x (t) cos y kde x-l (t) - signál na první vstupní svorce 1 y^ (t) - signál na druhé vstupní svorce 2 y - úhel otočení rastru

N-polohovým řadičem 5 a přepínačem 4 kvadrantů otáčíme o přesně stanovený úhel daný krokem n-polohového řadiče J5, až se saěře ný rozměr kryje s měřicí úsečkou. Rozměry, otočené o 45° respektive o 90° snadno otočíme do měřicího směru otočením n-polohového řadiče 5 o polovinu celého rozsahu respektive přepnutím přepínače 4 kvadrantů. Střed rotace je současně středem pozorovaného pole.

Zapojení přesné rotace zobrazení preparátu podle vynálezu nalezne uplatnění v elektronovém rastrovacím mikroskopu.

Claims (1)

1. Zapojeni přesné rotace zobrazeni rastrovacího elektronového mikroskopu,vyznačené tím, že první vstupní svorka (1) a druhá vstupní svorka (2) jsou spojeny jednak e přepínačem (4) kvadrantů a jednak přes invertor (3) s přepínačem (4) kvadrantů, jehož první, druhý a třetí výstup (A, B, C) jsou spojeny přes n-polohový řadič (5) jednak s prvním a druhým vstupem prvního sčitaciho zesilovače (6) , jehož výstup tvoři první výstupní svorku (8) zapojeni a jednak s prvním a druhým vstupem druhého 8čitaclho zesilovače (7), jehož výstup tvoři druhou výstupní svorku (9) zapojeni.