CS231108B1 - Způsob odčerpáváni vysocereaktivních, toxických plynů nebo par vývěvou a lamelovým rotorem - Google Patents

Abstract

Vynález se týká způsobu odčerpávání vysocereaktivních, toxických plynů nebo par vývěvou s lamelovým rotorem pro účely použiti pro chemické zpracování podložek v oblasti mikroelektrotechniky. Úkolem vynálezu je zabránit uvnitř vývěvy tvorbě nežádoucích reakcí produktů, korozí oleje a také zahuštování odčerpávaných plynů nebo par bez významných technických nákladů a rovněž nalezení způsobu výroby čerstvého oleje v samotné vývěvě. Podle vynálezu se olej pro vývěvu přečerpává za účelem nového plnění vývě- - vy olejem ze zásobníku oleje a po ukončení přidávání oleje se konečně nepřetržitě přečerpává v cirkulačním okruhu ze zásobníku oleje vývěvy s využitím rozdílů tlaků v pracující vývěvě nezávisle připojeným vedením a škrticím ventilem • do sacího hrdla pracující vývěvy. Současně se do balastního vstupu vývěvy škrticím ventilem přidává vyčištěný dusík a průřez výtlačného hrdla vývěvy ge zužuje tak, aby bylo zabráněno možnosti recirkulace vzduchu do olejového zásobníku.

Description

ΗΑ3ΒΑΗΠΕ Η30ΕΡΕΤΕΗΠΗ -y-

OJ co

NJ σ o co. r-

O

CO rOOCO í

Cnocod OTKa^KH BHcoKopeaKTKBHux ejie τοκοΗΉΗΗΧ ra30B ejie napoBUpE nOMOUIH UJiaCTJÍHHaTO-pOTOpHiJX BaKyyMHHX HaCOCOB

OÓJiaCTB ΙίρΕΜΘΗθΗΕΗ B30dpeTeHEH H3oópeTeinie pacnpocTpaHHeTCH Ha cnocod ejie οτκθηκε BHCOKopeaK-TEBHHX EJIE TOKCEHHíJX Γ330Β EJIE HapOB ΙφΗ ΠΟΜΟΙΙ{Π IIJiaCTEHHaTO-ροτορΗΗΧ·B8KyyMHtix HacocoB. ΠρΗ 3T0M nspsHHcjisHHHs xapaKTepn-GTEKH OTKaHEBaeMOĚ cpejm MOryT Β0ΤρθΗ3ΤΒ0Η OT^eJILHO EJIE BKOMdHHHpOBaHHOM ΒΒ^ζθ. TaKEe CEOSHHe Η33Η3ΉΘΗΕΗ IUaCTEHHaTO-ροτορΗΗΧ BaKyyMHtix HacocoB HMetóT mscto npes^e Bcero b nponec-ce cenapaiíHÉ tohkex cjioob E3 napoBoS ejie ra3oodpa3Ho2 φθ3 ποβyMeHLineHHHM BaBJíeHEeM (LPCVD - low pressure Chemicalvapour deposition - XHMEnecKoe ocasmaHES napoB b ycjiOBE- hx yMeHBiaeHHoro, T.e. ποηβκθηηογο ^βλθηεη), b nponecce njia3-ΜβΗΗΟ-ΧΗΜΗΗβΟΚΟΓΟ OCaH^eHEH Ξ3 HapOBOZ Č>a3H, B yCJIOBEHX ΟΠΗΤΘΚ-CEE C nOHHSeHHHM ^ΒΛΘΗΗΘΜ EJIE B ΠρΟΙίθΟΟΘ 1Μ33ΜΘΗΗ0—XEMEHeCKO—ro TpaBJKíHHH, T.e. juih τθχηοζογεηθοκεχ nponeccoB MHKposjíeKTpo-heke. XapaKTepHHDJE cpe^aMH jplh sthx odjiacTez ερημβηθηεη hbjih-KTCHÍ MOHOCEJiaH - SiH4 - (ΠΕροφορΗΗΖ); AEXflOpCEJiaH - síh2ci2~(ΠΕροφορίΙΗδ, KDPP03EBHHE) ;XJI0pHCTH2 EOflOpO#- HCl -(Κ0ρρ03ΕΒ-HHe) J HeTHpeXXJIOpECTHE KpeMHES - SiCl4 - (K0pp03EBHiffi) ; coc-ΤΘΒΗΗθ ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΗ φΤΟρΠΟΤΗΧ yraeB0A0p0Jí0B-(K0pp03EBHHe, TOK—cEHHue); φοοφΕΗ - PHg - ; apcEH - AsH^-; /pidopaH - Β^Ηθ -(TOKCHHHIlS, ΠΕροφορκώΟ.

XapaKTepECTEKa ε3βθοτηηχ τθχηεηθοκβχ pemeHEH ΠρΗ nojjane ra30B ejie napoB c Η3βθοτηημε τθχηεήθοκημη xapaKTe-.pncTEKaMH b miacTEHnaTO-ροτορΗΗΕ Hacoc, ohh MoryT npeodpa3OBH-b8tl BHyTpE Hacoca He&ezaTejiBHHe rjisi ηθγο e ero padoTocnocod-hocte BpejíHHe nposyKTH peaKHEE, ohh MoryT 0Ka3aTLcn arpeccEB-hhmh jyin Hacoca e jpih Macaa, ejie MoryT odoramaTLcn b Hacoce'ejie ra3e. B odmeM b BaKyyMHHfi προΒοη οτ penEimeHTa κ Hacocy - 2 - » -BCTpaHBaDTCH ποβχοΑΗΐίξΗθ ycTpoíícTBa, y^epoBaioiuue BpejcHHe julhHacoca ra3H ho napu. B dojitinHHCTBe cjiynaeB πρΒΜθΗΗθτοπ oÓLraHaH χοτιο,ίξΗθΗ jiOByuncajyiH a3OTa. OHa řípa ycjioBHB noflxojmmeĚ npoB3BO,nHTejii>HocTH odecnewBaeT ποληοθ y^eps^Baroie cooTBeTGTByioiipíx bsiusctb.

He,nocTaTKOM hbjuwtch βηοοκβθ pacxo^H, 33τρ3ηηβ3Θμηθ Ha caMy©xojio>íyio jioByniKy b Ha ee OKCiuyaTaiw. 0βη33ηηοθ c 3KcimyaTa-ββθβ JioBymKB yBejiBHSHBS οοιιροτββλθηβη noTOKy npe^CTaBJLřieTeodofi eme ojmy jmimaipno, KOTopy© b coctohhbb κομπ6ηοηροβ3τβTOJIBKO HaCOCH G ΠΟΒΗΙΠΘΗΗΟΗ Πρ0Η3Β0,ΙζΕΪΤθ·ΚΙ>Η00ΤΒΚ>. OCHOBHOÉ He^OCTaTOK B CBH3B C ΠρΒΜβΗβΚΒβΜ rJiydOKOOXJiasmaeMHXjioByweK oshoko cboahtch k TOMy, hto b hbx b onacHoS κοηβθητ-partHB odoraiiíaioTCH τοκοβηηηθ bjib BHCOKopeaKTBBHHé BeinecTBa. B cjiynae 0TKa3a oxjiawHBH Moryr βο3ηβκ8τβ cymecTBeHHne onac-hoctb. IIoaTOMy no KpaSHen wepe SKCiuiyaTBpyeMiie jvlh προΗ3Βθβ-CTB8HHHX yCTaHOBOK ΧΟΛΟΛΗΗΘ JIOByiHKB JÍOJIXHH dHTB OCHaqeHN 3a-KpHBaHIWHGH βΒΤΟΜβΤΗΗβΟΚΒ KJianaHaMB ΒΗ00Κ0Γ0 JE BJieHBfl.jBpnojiHHTGJiBHiie 3aTpy£H6HHH npeflCTaBJLH6T codofi yHBnToxeHBeyjiaBJLBBaGMHX b xojioítHoS jioBymKofi BemecTB.

JfeMOHTax h TpaHcnopTnpoBKa κ MecTy ^γηβητοκθηβη b bxaasmae-MOM COCTOHHBB ΗΘ 33CJiyXBBa©T BHBMaHHH flffil Πρ0Η3Β0,Ιξ0ΤΒΘΗΗΗΧBejieá. UosTOMy xono^Han noBynnca MejyieHHO no^orpeBaeTCH b yc-JIOBBHX HOpMaJL&HOrO BaBJíeHHH BO ΒΟΤρΟΘΗΗΟΜ COCTOHHBB. ΠρΟΜΗΒ-ho2 ra3 TpaHcnopTHpyeT B03HBKa©mB6 napu ho ra3H HenpepuBHOb ycTaHOBKy jyiH τηβητοχθηβη (jyw SiH^ HanpnMep upomhbhoždanoK c HadBBKOB NaOH).

Btot npoizecc οηθηβ TpyzzoeMOK bo βρθμθηε. Ποθτομυ. xonojmuenoBynncB b HeodxojpíMHe rpoMO3;zKHe apwaTypH, odecneHBBawntBeHenpepHBHyra padoTy ycTaHOBKB jzohxhh ycTaHaBJíBBaTBCH cnapeH-hhmb. B eiye zzpyrow β3βθοτηομ τθχηβηθοκομ pemeHBB οτκ33ηβ3©τ—CH OT BCTpa.H BaeMHX B BaKyyMHHB npOBOfl yCTpOHCTB CHeiXBaJIBHOrOΗ33Η3ήθηβη. JZonycKaeTcn peaKiZBH rasoB BHyTpB Hacoca (npeodpa-30BaHne npB noMOiiíB BJias-HOCTB bjib KBCJiepo^a; ocax^eHiies uac-ie; εοθζιθηοτββθ Ha Macao b Hacoc). ; Zíjih BíuepKoaHMfl sthx bo3^6mctbhíí B onpe^eaeHHLix npe^eaax#onojiHMTejiHoro LiacJiHHoro iwpxyjiwioHHoro Hacoca aarpa3-ηθηηοθ Macao oTKaosaeTca H3 pe3epBiipyioniero ÓaxaHacoca h npouejKHBaeTCH gkbo3b žhjiltp c οοοτβθτοτβυιοιιιημη pa3-MepaMH. ΟτφΟΒτροΒθΗΗΟθ Macao penupKyjnípyeT b pe3'epBHpyioiqHSdanoK Hacoca. Hapamy co 3HaHETeaiHHMH ήοποληϊϊτθτιβηημη Tpyno-3aTpaTaMH b θτομ pemeHHH φΐϊΛΒτρθίχο MacaoM npe^CTaBaaeTCH npod-jieMaTiiHHoíí BBUxy τογο, hto nposyKTH peawra ηθοτο BCTpenaioTCHb wacae b kojuiohjíhom BHjie (Hanpiwp Si02 npH padoTe HaT3K ΗΤΟ ΟΗΗ npOTHBOHCKCTByíOT TaKHM 0dpa30M 3φφθΚΤΗΒΗ0Η φΗΛΒΤ-pano. Hapasy c Φόβτρθμη aaa yaaaeHHH TBepjijix cocTaBHux kom-hohsht H3 Macaa npHMeHjWTCH Tarase η τθκιϊθ ωιυΐΒτρπ, κοτορκθy^aarnoT pacTBopeHHue b Macae οοοτθβηηθ κομποηθητηί^τθμ ajx—copdiw hjih xeivmcopdiw (naiipEMep, φΗΛΒτρπ c θκτηβηροβθηηημ-yraeM cpu HcnojiB3OBaHHH Síh^ 0ji2 oTedjiHBaioinaH iuíMHa npx ec-n0JIL30BaHHH HC1 HJIH SiH^ip. CMeHa φΗΛΒτροΒ npejíCTaBJLseTCH kpethhhoé b ηθοτηοοτη b cbh3ec 3KónjiyaTaixHeÉ Hacoca jpra tokchhhhx ra30B h βο3ηηκ3Π50μηOnaCHOCTHMH.

Bjiarosapia πρημθηθηηώ #oporocTOHHHx οπθιϊηθλβηηχ Macea julh Haco-cob (desBOSHHX, B;era3HpoBaHHHx), a Tarase npoMHBKe pe3epBnpyío-mero MacaodaKa 33otom yjíaaocB 3aTopMO3BTi> pearaw b Hacoce 2yTyiHHHTL· οροκ cjiysdN Hacoca Mesjy jtByMH ομθηθμε Macaa, He 50-óHBaacL πρζ θτομ ηεκ3κογο npHHuanHaaLHoro pemeHHH Bonpoca.

He MoseT πρεμθηητβοη oduHHHfi aaa yaaaeHHH κοηλθηοθτοβ pessMpadoTH «uByxcTyneircaTHX naacTEHnaTo—ροτορΗΗΧ BaKyyMHHX HacocoBhojí B03íyiiiHHM daaaacTOM, T3K K3K BMecTe c daaaacTOM b HacocBcacHBaK)Tca βο3Ε3ππηηη RHcaopoa η BaasHocTB, ητο πόηβολητ knpeBpameHBB cooTBeTCTBywix ra30B h napoB b Hacoce.

HeaL E3odpeTeH2H

UejiB E3odpe'TeHEH 3aranoHaeTca b tom, HToda yBeazHHTB b ycaoBE-ax HCnoaB3OBaHEH HopMaaiHnx Macea jyiH φθρΒ3ΚγγΜΗΗΧ HacocoBοροκ cayadn (HapadoTKH) naacTEHaaTO-ροτορΗΗΧ BaicyyMHHX Haco-coB Mesjy. SByMH nwiaMH ομθηη Macaa πρπ οτκ3ηκθ BHcoKopeaKTHB—HHX EXE TOKCEHHHX Γ330Β, Π0ΒΕΠ13Η ΤΘΜ C3MHM IipOH3BOJXHTeaBHOCTLSKCnayaTnpyeMoro b KOMdHHannn c steme Hacocaio odopyjxoBaHEHsaa XEMunecKofi odpadoTKE nojpioseK.

ΙΙδΠΟΚβΗΗβ CyTIJHOCTH H30dpeTeHHH 3a,nana HacToninero n3oópeTeHHH 3aKjnonaeTcn b co3^amiii cnocoda,jtaioinero bo3Mojkhoctb oTcactiBaHHH πρη noMoujn mracTHHHaTo-po-TopHoro BaKyyMHoro Hacoca BucoKopeaKTHBHtix hjih tokchhhhx ra-30B HJIH napOB, HCKJIIOHaH ΠρΗ 3T0MJ . - peaKinm hx BHyTpu Hacoca c odpa3OBaHnew HesejiaTejiBHHXπροΛγκτοΒ peaKiXHH; - BO3fle0cTBHe Ha wacjio ujez Hacoc tok, ητο nponcxojiHT Heno-cpe^CTBeHHoe βο3£Θηοτβηθ. Ha npon3BOjíZTejiBHOCTB Hacoca; - ocasmeHHe hx b Hacoce hjez b Macjie.

KpoMe Toro 3a#aHa H3odpeTeHHH 3aKjnonaeTCH: b co3^aHHH ποχτο-τοβλθηηογο npenapaTa HopMajiBHoro CBesero Macjia jyra miacTHHHa-το-ροτορΗΗΧ BaKyyMHHX HacocoB c nejiLD cymKH h ,nera3aiíZH Macjiab caMOM Hacoce.

Sahana H3odpeTeHHH pemaeTcn τβΜ, hto Macjio H3 MacjiocdopHHKaHacoca upoBOflHTCH nepe3 βηθπηθζ προΒΟβ HenpepHBHo bo Bcacu-BawH naTpydoK Hacoca, npnneM b npoBo# βοτροθηο cohjio hjezBCTpoeH KJianaH ^jlh jjpoccejizpoBaHHH m peryjEzpoBaHHH ποτοκβMacjia c iíHpKyjLHUHeS c HcnojiB3OBaHzeM cymecTByioinero npn pado-.TawM Hacoce 3HaneHHH pa3HHHH αθβλθηηη nopnsKa okojio 100 KilaOflHOBpeMeHHo bo? bxoahoh naTpydoK daoacTa Hacoca nepe3 OT£e-jibhhh jipoccejiHpyioiitZH KJianaH nojwrHBaeTCH oHHineHHHfi a30T hnonepeHHoe cenenze Hanopnoro naTpydKa Hacoca cysHBaeTCH no'jjnaMeTpy c τοκημ pacneTOM, · HToda npejioTBpamaTB penzpKyjLHííHK)BO3,nyxa b pe3epBnpyioinHH MacjiocdopHHK.

Kas^oe ηοβοθ HanojmeHne Hacoca οβθκεμ wacjioM ocymecTBJíneTCHnpn padoTaioineM Hacoce ηοίζΠΗτκοδ HeodxojpaMoro odtewa Macjiaco CKopocTBio προτοκθ, paBHoS npHMepHO 0,1 ... 0,3 ji/mhh cHcnojiB3OBaHneM cyuíecTByiomefi pa3H0CTn naBJíeHEH nopninca okojio100 Kila nepe3 TpydonpoBojí, odecneHHBawní KOMMyHHKanziQ Mes,nyMacnodaKOM h BcacimaioníHM naTpydKOM Hacoca, npiraeM b nerojvih nejien jspoccejizpoBaHZH hjez peryjEzpoBaHHH noTOKa cBeseroMacaa BCTpoeHO hjez cohjio hjih KJianaH bo BcacmaioupiH naTpydoKHacoca. OjmoBpeweHHO b daoacTHHH bxojí Hacoca nepe3 OTjiejiL·-hhS £O3HpyioiirííH KJianaH ποιηιητηβθθτοη οηηπιθηη&η a30T h nonepen- -5-

Hoe ceH(3Hne HanopHoro naTpydna Hacoca cymBaeTCH c TaK2M pac-ηθτομ, HTodu npe,n;oTBpaiiíaTL pennpKyjiw™ B03,nyxa b pe3epB2-pywifi MacjiocdopHHK.

Hocjie οκοηηθηηη onepaipra ηθποληθηβη nepepímaeTcn no^ana ne-pe3 MacjionpoBOA ot. MacjiodaKa λο BcacimaKmero naTpydKa, οτκρκ-BaeTCH προβολ wesmy MacjiocdopHHKOM jyin Hacoca 2 BcacmaioiipMnaTpyÓKOM 2 Hacoc saJiLrae sKcruiyaTHpyeTcn βηθπιη™ MacjioímpKy-ΛΗΗΗΟΗΗΗΜ KOHTypOM B ΤΘΒΘΗΗΘ ΠΟρΗβΚδ 40 ... SO MHHyT. 3a cneT MeponpnnTHH b cootbstctb22 c HacToniw 23odpeTeH2eM£OCTHraiOTCfl HzsenepeHHCJieHHHe θφφθκτκ:. JÍ3-3a τογο, hto Macjio HenpepHBHO noxBepraeTca b TeneHne Ηθκο-Toporo ΒρθΜΘΗΗ BaKyyMHHM yCJIOBHHM , Πρ63®θ ΗΘΜ ΟΗΟ ΠθρθΚΘΗΒΒβ—eTCH πρπ HOMOUŠ pOTOpHHX ΠΛΘΟΤΗΗΟΚ OÓpaTHO B MaCJIOCdopHHK, E3 Macaa yflaJiflioTCH pacTBopeHHne ra3H. B cbh32 c τθμ, hto bHacoc nepe3 cnennaaLHHH apocceanpyioiipja opraH b dajiaacTHHHxos no#aeTCH οήηιιιθηηηη a30T, sto odecnennBaeT, πτο sKCTparx-poBaHHne 23 Macaa ra3H nepeaaioTCíi θώφεκτΗΒΗο 2 dncTpo ckbo3bMacao b naTpydoK oTxojywrx ra30B Hacoca. Kraro^apH Haa2H2K)a30THoro daaaacTa co3aaeTca bosmohhoctb οτκ333τέ>όη οτ οτβθ-HaíOUíeS ypOBHK) ΤβΧΗ2Κ2 He3aB2C2M0É a30TH02 UpOMHBKH MacjiodaKa23-3a ΤΟΓΟ, HTO daaaaCTHHH ra3 OJJHOBpeMeHHO CJiyXZT ΠρΟΜΗΒΗΗΜra30M julh MacjiocdopHHKa. CysHBaHHeM nonepenHoro ceneHna Ha-nopHoro naTpydna Ha ynacTne jtjihhoh npnMepHO 100 mm ao anaMeT-pa 10 mm Ha 3tom ynacTne ocyinecTBaneTca BHConaa ckopoctlπροτοκθ OTKanHBaeMHX ra30B 2 daaaacTHoro a30Ta, b pe3yai>TaTeaero smmeKTHBHO npeaoTBpaaaeTca odpaTHaa peiaipnyama bo3-aymHoro nncaopoaa nan BJiasHocT2 b Hacoc. BB2ay τογο, hto-MaCJIO np2'Ka££OM Η0Β0Μ ΗΘΠΟΛΈβΗΒΗ HaCOCa Ηθ ΠΟβΒΟ,ίζΗΤΟΗ K3K£0 C2X nop pe3epBEpyioineMy Macaocdopminy Hacoca, a HenpepHB- .hhm ποτοκομ noaaeTca Bo BcacHBaionínfi naTpydoK, b coneTaH22 cdaJL7iacTH02 noannTnoS a30Ta π co cys2Ba.H2eM nonepenHoro. cene-H2H HanopHoro naTpydna Hacoca no BHmeon2caHHOH Μθτοβπκβ npo23boshtch aera3anjni 2 cyinna Macaa, Tan ητο θτο Macao 3aTeM noa-ΧΟΖΠΤ OTKanK2 BHCOKOpeaKTZBHHX ra30B. - 6 -

Bhmienepe^íircjieHHHMH MeponpHHTHHMH oóecnenHBaeTca to, htoóh ot-KawBaeMHe βηοοκορθηκτηβηηθ hjih τοκοηήηηθ ra3H nan napu ηθoóoramajiBCL hh b Macjie, hh b Haooce, htoóh B03jxefi'cTBHe Ha Ha-coc 0 Ha MaOJIO ΗΘ 0Ka3HBaa0CB T3K0M, πτούπ ΟΚ331ΙΒ3ΤΒ ηθπο-CpefíCTBeHHQe ΒΤΙΗΗΗΗΘ Ha npO03BOJXHTeaBHOCTL H3— coca 0 ΉτοόΗ b Hacoce He nponcxójxnao ηηκθκογο pa3aoseH0Hra30B h/bb napoB c oópa3OBaHneM HeseaaTeaBHHX npoayKTOB peaK-1X00. JIocTHraeMHe pemenneM b οοοτβθτοτβηη c 03οόρβτβΗ0βΜ no cpaBHe-H0io c TexH0necK0M ypoBHeM npeHMymecTBa cbo&htch k cpoKy caysÓHc npoaanHeHHoS HapadoTKon HacocoB Mesjy jxByMn π-ηκηθμη ομθηηMacaa Ha Tanoe 3HannTeaBHoe BpeMH, htoóh bo3Mokho úhjio otkh—3aTBCH ot ycT3HOBK0 xoaojxHHX jioBymeK b BaicyyMHofi οηοτθμθ, aΤΘΚΚΘ MaCJIHHHX HaCOCOB 0 $0aBTpHpyiOIIí2X yCTpoSCTB B OTJXeaBHOMKOHType ixnpKyaHunn Macaa 0 htoóh odecnennBaTB bo3mojkhoótbΠρΟΒθΧξθΗΗΗ MeponpBHTHt JOT OKOHHaTeaBHOrO yH0HTOSeH0H OTXOJXH-mnx ra30B no odtraHOH npoixejxype 0 TexHoaornn (Hanpnwep μθτολομπροΜΗΒκη nan οκηγθηηη) nocae npoxosjxeH0H ckbo3b Hacoc b ycao-Β0ΗΧ HopMaamoro jxaBaeHna.

Oraa^aeT HeodxojxHMOCTB 0cnoai>3OBaH0H cnennaaBHHX Macea nanhojxiotobkh Macaa b cneixnaaLHOM npHcnoccóaeHnn. Πρηκίβρ ocyměcTBaeHHH H3oópe.TeHHH ·

Haaroamee 03odpeTeHne mu coónpaeMca onncaTB óoaee ποτχροόΗο .

Ha npnMepe οτκηηκη cnaaHa ( SiH4 ) npn homoiuh aByxcTynemiaToronaacTHimaToro ροτορΗΟ-BaKyyMHoro Hacoca Tnna 2LS60. 3Ta TexHoaorBH npHMeHJieTCíi b npejxeaax jxaBaeHHa nopajxKa13 . ICT3 ... 13 . ICT2 Kila jot SKcnayaTaixnn ycTaHOBOK jotxHiíOmscKoro HanHaeHna’noa h03kbm jjaBaeHneM b ixeaax cenapaixnnnaenoK 03 noa0Kp0CTaaa0necKoro κρβΜΗΗΗ b ΜηκροθηθκτροΗηκη.

He BCBKnfi ββθχχθηηηη b TaKyio ycTaHOBKy cnaaH npeBpamaeTcn nanoaorpeTHX- Ha TeMnepaTypy npnMepHO 630° C nojxrosKax e KpeM-Hnfi, T3K, hto BaKyyMHHfí Hacoc HarpysaeTca πηροφορΗΗΜ ocTaTon-HHM Γ330Μ. . B npEJiaraeMOM nepTese Hacoc noKá3aH Bpa3pe3e, a τθκηθ noKa3a-Ha KonoHOBOHHan cxeMa jyta peaansaiw mianaHOB, ηθο0χο£πμηχJVIH peajní3aiw cnocoda B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΙΠΪ G HaCTOHIW H30dpeTeHH—eM. 1. ΙΙοίρΒτκβ 0 noaroTOBKa Macaa aaa Hacoca .

Coefl0HJWii{HScH nepe3 apocceaupyioiip-íH KaanaH I co BcacHBaiouíHMnaTpydKOM 2 BaKyyMHoro Hacoca MacaonpoBoa coeáHHHeTcn nocaeοτκρΗΒ3Η0Η 3anopHoro KaanaHa II c MacaodaKOM 3 h Hacoc BKwqa-6tch b padoTy npa saKpaTOM npoxoanoM KaanaHe 4. 3a cneT bo3-HkKawS Mesay MacaodaKOM 3 π BcacHBaw^ naTpydKOM 2 pa3H0CTEaaBJísHHH b Hacoc npoTeKaeT Macao, J3pocceanpyE)níHfi KaanaH I pe-ryanpyeTca Τ3κ, HTodn aaa noaauBKn peraaMeHTnpoBaHHoro odteMaMacaa ok. 2 a TpedoBaancB 15 ... 20 MHHyr. Οβηοβρθμθηηο nepe3apocceanpyraiínn KaanaH 5, 33ΜθΗΗΚΠξηδ odírajm KaanaH c B03aynHHMdaaaacTOM, bo BTopyio CTyneHB Hacoca ββο^ητοη daaaacTHHfi tokOHnmeHHoro a30Ta c pacxoaoM 5 a/MHHyry. Hocae oKOHnaHun noa-hhbkh Macaa nepeBoaoM 3anopHHx KaanaHOB II h 6 3aKpuBaeTcnwacaonpoBoa Mesay MacaodaKOM n BcacHBaioinHM naTpydKOM n tskhmodpa3QM oTKpHBaeTCH βηθπιηιιζ npoBoa ot MacaocdopHHKa Hacoca 7 .ao BcacEDBawro naTpydna Hacoca 2. jQpoccennpyioinnií KaanaH IperyaspyeTca c pacneToM προτβηκΗ 0,15 a/MHH Macaa. BcTpoeHHanb Hanopníffl naTpydoK 9 Hacoca auaápan.ia c npuBapcHHHM naTpyd-KOM 8 (j^aMeTpoM 10 m, aanHa 100 mm) npeaHa3HaneHa aaa cysn-BaHHH nonepenHoro ceneHun npoBoaa aitH τογο, HTodu npeaoTBpa-thtb peííHpKyaaiw B03ayxa. to: aera3ai}HH h cyuncn Macaa Hacoc3KCnayaTnpyeTcs b Teneme 30-h MHHyT b τθκομ peszMe. 2. OTxaHKa cnaaHa

Yse onBcaHHHt pessM Hacoca co βκθπιηημ MacaonnpKyaanHOHHHMKOHiypoM (οτκρκτ aBnopHKH KaanaH 6, 33κρυτ 3anopHKH KaanaH II)\CoxpaH.HeTCH; odneM θ3οτηογο daaaacia yMeHBinaeTCH ao 1,5 a/MHH.TenepL B03M0XHa OTKanna cnaaHa, npnneM BHyrps Hacoca He npo-ncxoanT· hh pa3aoseHne, hh odoraaeHHe. Βμθοτο bhthkhoh Tpydu10, B KOTOpoS OTXOaHIW ra3H Hacoca COOdmaiOTCH C B03HyWÍHMKHcaopoaoM, cnaaH npeBpamaeTca b πηχβ Si02 (aByoKHCL KpeMHzn). - 8 -

Upn HaJISHETH flOCTaTOHHO BHCOKOfi KOHUeHTpaiXHB CMJiaHa B 9T0MMecTe 3aropaeT οτκρκτοθ ιμθμη. B cjiynae 3annTKH od^eMa60 cm3/mhh czjiaHa b HenpeptiBHo oTKanuBacMyio h no^orpeTyra HaTeMnepaTypy 630° C KBapixeByio Tpydy c ynacTKOM c ποοτοήηηοζTewnepaTypoH ok. 600 mm j^jihhoh h c jpiaMeTpoM 100 mm MacJio.jyiH 3anojnieHHH Hacoca ocTaeTCH hhcthm eine cnycTH οροκ skc-njiyaTaura 100 nacoB. B ycjioBHnx HcnojiB3OBaHHfl Hacoca de3ΠρΗΜΘΗΘΗΗΗ CHOCOda B COOTBeTCTBHH C HaCTOHHíHM H30dpeTeHlieMMacao yxe nocae jymTejiBHocTH aKcnayaTanyra 2-5 nacoB npeBpamaeTCH b rycTyro KopunHeByra nyaBiiy, KOTopan yze npennTCTByeTaaaBHefiuieá sKcnayaTaiínH Hacoca h cynjecTBeHHo οολοηηηθτ cMe-Hy Macaa.

I -9-

5CP.'ffjLA H30EPETEHMH 1. CnOGOÓ JVLH ΟΤΚΘΗΚΗ BHCOKOpeaKTHBHHX HJIH TOKCKHHHX ra30Bhji0 napoB npn homoíiíh iuac ranná thx ροτορΗθ-BaKyyMHnx HacocoB,OTJiEHaíOíTtxHCJi ' τθμ, hto Macjio &7LH Hacoca jyiH ixejieS HanojiHe-hhh Hacoca MacjioM H3 MacjiodaKa (3) h nocjie οκοηήηηηη Hanojme-hhh MacaoM nocjiejijíee HenpepHBHO nepeKawBaeTcn b nupKyjiHUHOH-hom KOHTyps H3 MacaocdopHHKa Hacoca (7) c Hcnoai>3OBaHiíeM cyiqe-cTByToiqež npn paóOTaioineM Hácoce pa3HHHH ^βλθηηη nepe3 He3aBH~CHMNfi, nOJHUímaeMHH npH ΠΟΜΟΠξΗ 3anopHHX KJianaHOB (6), (II) Mac-ΛοπροΒΟ,ϋ; h flpoccejiírpyioímifi KJianaH (I) bo BcacHBaioiííHH naTpydoK -(2) padoTaiomero Hacoca h tsm, ητο ο^οβρθμθηηο nepe3 jipoccejrH-pywúí KJianaH (5) b daJuiacranS bxojí (12) Hacoca 33πητηβ3θτοηOHHIHeHHHÉ a30T Η Π0Π8ρθΗΗ0θ CSHSHHS Η3Π0ΌΗ0Γ0 naTpyÓKa (9)Hacoca cyoBaoTCH c τθκημ pacneTOM, htočh npesoTBpainaTB odpaT-Hyra peííHpKyjiHHjno B03syxa b MacaocdopHHK. 2. Cnocod B COOTBSTCTBHH C HyHKTOM I, OTJfflHa&ITHKCH TOMhto dajmacTHHŽ ποτοκ a30Ta ojíhobpsmshho HcnoaB3ysTcn b Kane-ctbs npoMHBHoro norana flM pesepBHpywro MacjiocdopHHKa.

I ., ,

AHHOTAW

HacTowe 03odpeTeHne pacnpocTpaHHeTCH Ha cnocod οτκθηκη bhco-KOpeaKTHBHHX HJffl TOKCHHHHX Γ330Β EJIH IiapOB npH ΠΟΜΟΙΙίΗ IUiaCTHHHa-thx ροτορΗΟ-BaKyyMHux HacocoB pjia uejieů πρημθηθηηη julh χημηήθο-koS odpadoTKH πο,ινιοχθκ b odaacTH MHKpo3JieKTpoH0KH. Sahana 03od-P6T6HHH CBOKHTCH K TOMy, HTOdtJ ΠρθβΟΤΒρθΙΙ^ΤΒ BHyTpH HaCOCaodpa3oBaHse HexeaaTeaBHHX npojjyxTOB peaxníní, κορρο30κ Macaa,a TaKse odoraiqeHne oTxanHBaeMux ra30B nan napoB de3 3Han0TeaL-hux τθχηηήθοκιτχ pacxojíOB, a Taxise yxa3aTL cnocod πο,ξΓοτοΒΚΗcBesero Macaa b comom Hacoce. B cooTBeTCTBKH c HacTomííHM 03odpeTeHneM nacocHoe Macao npo-KaniíBaeTGH aan neaeíí ηοβογο HanoaHeHHH Hacoca MacaoM 03 Macao-daxa 0 nocae οκοηήθηηη πολπητκπ wacaoM nocaeanee HenpepHBHOnepeKanHBaeTCH b rpipKyawroHHOM KOHType 03 MacaocdopHHKa Hacocac 0cnoaB3OBaH0eM cyinecTByioineS npn padoiaioineM Hacoce pa3H0HH.naBaeHHH nepe3 He3aB0CHMo no^coejt0BHeMHÉ iipobos 2 ApocceaHpyD-ithh xaanaH bo BcacHBawiH naTpydox padoTaiomero Hacoca. Ojího-BpeMeHHO nepe3 .npocceanpyioiííHS: xaanaH b daáaacTHHfi βχολ HacocanoíPHTHBaeTCH οηηιιιθηηηη a30T, a nonepennoe ceneHne HanopHoronaTpydxa Hacoca cyxnBaeTcn HacToaBKo, HTodH ηοκηιοηητβ τθμ ca-MHM BO3MOSHyi0 permpKyaHWzno B03ayxa B MacaOCdopHHK.

Claims (2)

11 Předmět vynálezu

1. Způsob odčerpávání vysocereaktivních, toxických plynů nebopar vývěvou s lamelovým rotorem, vyznačující se tím, že po naplnení vývěvy olejem ze zásobníku (3) se olej nepřetržitě přečer-pává v cirkulačním oběhu ze zásobníku (7) oleje vývětiou pomocírozdílů tlaků, který existuje při provozu vývěvy, nezývislýmiuzavíracími ventily (6, 11), připojeným olejovým vedením a škr-ticím ventilem (1) do sacího hrdla (2) pracující vývěvy,přičenž, současně se škrticím ventilem (5) přidává do balast-ního vstupu (12) vývěvy vyčištěný dusík a průřez výtlačnéhohrdla se reguluje pro zabránění recirkulace vzduchu do zásob-níku oleje.

2. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že balastní prouddusíku se současně využívá jako promývací plyn pro rezervnízásobník oleje. 1 výkres