CS206768B1 - Držák pro křížový posuv optické clony - Google Patents

Držák pro křížový posuv optické clony Download PDF

Info

Publication number
CS206768B1
CS206768B1 CS158579A CS158579A CS206768B1 CS 206768 B1 CS206768 B1 CS 206768B1 CS 158579 A CS158579 A CS 158579A CS 158579 A CS158579 A CS 158579A CS 206768 B1 CS206768 B1 CS 206768B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
holder
terminated
aperture
control rod
support tube
Prior art date
Application number
CS158579A
Other languages
English (en)
Inventor
Jiri Petr
Miroslav Florian
Original Assignee
Jiri Petr
Miroslav Florian
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiri Petr, Miroslav Florian filed Critical Jiri Petr
Priority to CS158579A priority Critical patent/CS206768B1/cs
Publication of CS206768B1 publication Critical patent/CS206768B1/cs

Links

Landscapes

  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Description

(54) Držák pro křížový posuv optické clony
Vynález se týká držáku pro křížový posuv optické clony, zejména pro elektronový mikroskop.
Jednou z funkčních součástí tubusu elektronového mikroskopu jsou clony, které slouží k vystředění a dimenzování svazku elektronů na určený průřez v rozmezí desítky μιη. Tyto clony jsou obvykle provedeny na kovovém pásku s jedním nebo s několika postupně se zmenšujícími otvory. Nastavení pásku se clonovými otvory do optické osy elektronového svazku a možnost dalšího centróvání je konstrukčně náročné. Dosavadní konstrukce používají například ovládací stolek s rámem, jehož středem prochází ovládací tyč mající na konci clonový otvor. Křížový posuv clony je obstaráván jednak posuvem ovládací tyče a jednak posuvem šroubu kolmo na ovládací tyč, opírající se o pružný element. Centrické clony s jedním otvorem, lže jednoduše centrovat pomocí dvou šroubů a jednóho pružně uloženého kolíku, umístěných o 120° po obvodě kruhového stolku. Posuv clonového pásku s několika otvory sa provádí buď pomocí aretačního systému upraveného na posuvné tyči, nebo složitějším kloubovým mechanizmem s mechanickými tlačnými převody a podobně.
: Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje držák pro křížový posuv optické clony, zejména pro elektronový mikroskop, sestávající z ovládací tyče suvně procházející otvorem nosné trubky, jehož podstatou je, že nosná trubka je ukončena nástavcem, ke kterému je pomocí dvou planžet upevněn držák clon se clonovými otvory, zakončený klínově sešikmenou ploškou, ke které dosedá kulovou plochou ukončená ovládací tyč.
Hlavní předností držáku je snadná, rychlá a bez vůlí reprodukovatelná ovladatelnost pásku se clonovými otvory. Držák je výrobně jednoduchý, skládá se z několika snadno sestavitelných dílů. Držák umožňuje křížový posuv ve dvou směrech na sebe kolmých, které lze snadno nastavit a po justáži aretačně upevnit v požadované poloze.
Vynález blíže objasní výkres, kde na obr. 1 a 2 jsou naznačeny praktické příklady provedení držáku, na obr. 3 a obr. 4 je naznačen schematicky konstrukční princip držáku, na němž bude objasněna podstata vynálezu.
Držák, jak patrno z obr. 1, sestává z nosné trubky .2, procházející základním tělesem 1. V nosné trubce 2 je suvně uložena ovládací tyč 4 zakončená kulovou plochou 5. Konec nosné trubky 2 je opatřen nástavcem 3, ke kterému jsou připevněny šrouby 12 dvě planžety 6, druhým koncem spojené šrouby s držákem clony 7, do kterého je vsazen clonový pásek 9 se clonovými otvory 10,11. Držák clony 7 je opatřen klínovitě sešikmenou ploškou 8, o kterou se opírá kulová plocha 5, kterou je ukončena ovládací tyč 47Předpětípíanžet 6 zabez^ pečuje stálý mechanický kontakt mezi kulovou plochou 5 a ploškou 8. V některých případech je ' výhodné kulovou plochu 5 ovládací tyče 4 nahradit stavěcím šroubkem 13, jak naznačeno na obr. 2. Toto opatření umožňuje nastavit clonový pásek 9 mimo osu držáku, s možností justáže nastaveného směru.
Funkční princip držáku podle obr. 1 je založen na konstrukčním základě, schematicky znázorněném na. obr, 3 a 4, kde na obr. 3 je mechanizmus v základní poloze a na obr. 4 v jedné z okrajových poloh. Oboustranně vetknuté planžety 6 lze kine maticky obecně nahradit čtyrkloubovým mechanizmem o délce pohyblivých ramen přibližně rovné dvěma třetinám jejich délky „1“.
Volbou konstrukčních rozměrů označených na obr. 3 písmeny 1, L, k, m, n a úhlu a lze dosáhnout různého převodu mezi velikostí ovládacího pohybu A a funkčního pohybu b, jak je naznačeno na obr.
4. Úhel naklonění osy 7 je při tom roven úhlu β. Pro případ, že rozměr „m“ je roven rozměru „n“, jsou planžety 6 voleny vzájemně rovnoběžně, přičemž úhel β je vždy roven mule. V některých případech, kde vznikne požadavek nesymetrického vychýlení mimo osu držáku, jsou planžety nestejně dlouhé.

Claims (2)

  1. PŘEDMĚT j 1. Držák pro křížový posuv optické clony zej-| ména pro elektronové mikroskopy, sestávající; iz ovládací tyče suvně procházející otvorem nosné: trubky, vyznačený tím, že nosná trubka (2) je ukončena nástavcem (3), ke kterému je pomocí dvou planžet (6) upevněn držák clon (7) se clonovými otvory (10, 11), zakončený klínovitě
    VYNÁLEZU sešikmenou ploškouXS), Jce které dosedá kulovou plochou (5) ukončená ovládací tyč (4).
  2. 2. Zařízení podle hodu 1, vyznačené tůn, že ovládací tyč (4) je zakončena stavěcím šroubkem (13), dosedajícím na klínovitě sešikmenou plošku
CS158579A 1979-03-09 1979-03-09 Držák pro křížový posuv optické clony CS206768B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS158579A CS206768B1 (cs) 1979-03-09 1979-03-09 Držák pro křížový posuv optické clony

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS158579A CS206768B1 (cs) 1979-03-09 1979-03-09 Držák pro křížový posuv optické clony

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS206768B1 true CS206768B1 (cs) 1981-06-30

Family

ID=5350595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS158579A CS206768B1 (cs) 1979-03-09 1979-03-09 Držák pro křížový posuv optické clony

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS206768B1 (cs)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1014030B1 (de) Messtischanordnung mit einem verfahrbaren X/Y-Koordinaten-Messtisch
DE69325841T2 (de) Rasterkraftmikroskop mit integrierter Optik und Auslegerhalterung, sowie Methode zu dessen Gebrauch
DE10344178B4 (de) Halte- und Positioniervorrichtung für ein optisches Element
EP0726479A2 (de) Kippspiegelanordnung
EP1092944A2 (de) Vorrichtung zur Feinpositionierung eines Bauteils und Koordinaten-Messmaschine mit einer Vorrichtung zur Feinpositionierung eines Bauteils
DE10205425A1 (de) Facettenspiegel mit mehreren Spiegelfacetten
DE2443230A1 (de) Kamera mit eingebautem beleuchtungssystem
DE102010025222A1 (de) Steuerbare Spiegelanordnung, optisches System mit einer steuerbaren Spiegelanordnung und Verfahren zur Ansteuerung einer steuerbaren Spiegelanordnung
DE1472298A1 (de) Anordnung zur Fuehrung des Objektivs eines optischen Geraetes
GB2152704A (en) Mask ring assembly for x-ray lithography
CS206768B1 (cs) Držák pro křížový posuv optické clony
US3330979A (en) Adjustable supports for electromagnetic means for influencing the beam of an electric discharge device
DE102018216964A1 (de) Aktuatoreinrichtung zur Ausrichtung eines Elements, Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur Ausrichtung eines Elements
DE10112024A1 (de) Anordnung und Verfahren zum Erzeugen mehrerer zueinander definiert ausgerichteter optischer Achsen
DE19944857A1 (de) Elektronenoptische Linsenanordnung mit weit verschiebbarer Achse
DE102005045315A1 (de) Mikrotisch, der ein piezoelektrisches Element verwendet
DE3330901C2 (cs)
DE10392396B4 (de) Interferometer
DE3328349A1 (de) Haltevorrichtung fuer justierbare geraeteteile, z.b. laserspiegel
DE1639346B2 (de) Vorrichtung zum Verstellen des Objektes quer zur Strahlennchtung in einem Korpuskularstrahlengerat
DE10204249A1 (de) Spiegelfacette für einen Facettenspiegel
EP1395859B1 (de) Laserjustierbarer Aktor, optisches Bauelement und Justierverfahren
DE1040649B (de) Temperaturwaechter
WO2003003099A2 (de) Mikroskoptubus
WO2017220510A1 (de) Optischer scanner