CS206768B1 - Držák pro křížový posuv optické clony - Google Patents
Držák pro křížový posuv optické clony Download PDFInfo
- Publication number
- CS206768B1 CS206768B1 CS158579A CS158579A CS206768B1 CS 206768 B1 CS206768 B1 CS 206768B1 CS 158579 A CS158579 A CS 158579A CS 158579 A CS158579 A CS 158579A CS 206768 B1 CS206768 B1 CS 206768B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- holder
- terminated
- aperture
- control rod
- support tube
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 241001331845 Equus asinus x caballus Species 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
(54) Držák pro křížový posuv optické clony
Vynález se týká držáku pro křížový posuv optické clony, zejména pro elektronový mikroskop.
Jednou z funkčních součástí tubusu elektronového mikroskopu jsou clony, které slouží k vystředění a dimenzování svazku elektronů na určený průřez v rozmezí desítky μιη. Tyto clony jsou obvykle provedeny na kovovém pásku s jedním nebo s několika postupně se zmenšujícími otvory. Nastavení pásku se clonovými otvory do optické osy elektronového svazku a možnost dalšího centróvání je konstrukčně náročné. Dosavadní konstrukce používají například ovládací stolek s rámem, jehož středem prochází ovládací tyč mající na konci clonový otvor. Křížový posuv clony je obstaráván jednak posuvem ovládací tyče a jednak posuvem šroubu kolmo na ovládací tyč, opírající se o pružný element. Centrické clony s jedním otvorem, lže jednoduše centrovat pomocí dvou šroubů a jednóho pružně uloženého kolíku, umístěných o 120° po obvodě kruhového stolku. Posuv clonového pásku s několika otvory sa provádí buď pomocí aretačního systému upraveného na posuvné tyči, nebo složitějším kloubovým mechanizmem s mechanickými tlačnými převody a podobně.
: Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje držák pro křížový posuv optické clony, zejména pro elektronový mikroskop, sestávající z ovládací tyče suvně procházející otvorem nosné trubky, jehož podstatou je, že nosná trubka je ukončena nástavcem, ke kterému je pomocí dvou planžet upevněn držák clon se clonovými otvory, zakončený klínově sešikmenou ploškou, ke které dosedá kulovou plochou ukončená ovládací tyč.
Hlavní předností držáku je snadná, rychlá a bez vůlí reprodukovatelná ovladatelnost pásku se clonovými otvory. Držák je výrobně jednoduchý, skládá se z několika snadno sestavitelných dílů. Držák umožňuje křížový posuv ve dvou směrech na sebe kolmých, které lze snadno nastavit a po justáži aretačně upevnit v požadované poloze.
Vynález blíže objasní výkres, kde na obr. 1 a 2 jsou naznačeny praktické příklady provedení držáku, na obr. 3 a obr. 4 je naznačen schematicky konstrukční princip držáku, na němž bude objasněna podstata vynálezu.
Držák, jak patrno z obr. 1, sestává z nosné trubky .2, procházející základním tělesem 1. V nosné trubce 2 je suvně uložena ovládací tyč 4 zakončená kulovou plochou 5. Konec nosné trubky 2 je opatřen nástavcem 3, ke kterému jsou připevněny šrouby 12 dvě planžety 6, druhým koncem spojené šrouby s držákem clony 7, do kterého je vsazen clonový pásek 9 se clonovými otvory 10,11. Držák clony 7 je opatřen klínovitě sešikmenou ploškou 8, o kterou se opírá kulová plocha 5, kterou je ukončena ovládací tyč 47Předpětípíanžet 6 zabez^ pečuje stálý mechanický kontakt mezi kulovou plochou 5 a ploškou 8. V některých případech je ' výhodné kulovou plochu 5 ovládací tyče 4 nahradit stavěcím šroubkem 13, jak naznačeno na obr. 2. Toto opatření umožňuje nastavit clonový pásek 9 mimo osu držáku, s možností justáže nastaveného směru.
Funkční princip držáku podle obr. 1 je založen na konstrukčním základě, schematicky znázorněném na. obr, 3 a 4, kde na obr. 3 je mechanizmus v základní poloze a na obr. 4 v jedné z okrajových poloh. Oboustranně vetknuté planžety 6 lze kine maticky obecně nahradit čtyrkloubovým mechanizmem o délce pohyblivých ramen přibližně rovné dvěma třetinám jejich délky „1“.
Volbou konstrukčních rozměrů označených na obr. 3 písmeny 1, L, k, m, n a úhlu a lze dosáhnout různého převodu mezi velikostí ovládacího pohybu A a funkčního pohybu b, jak je naznačeno na obr.
4. Úhel naklonění osy 7 je při tom roven úhlu β. Pro případ, že rozměr „m“ je roven rozměru „n“, jsou planžety 6 voleny vzájemně rovnoběžně, přičemž úhel β je vždy roven mule. V některých případech, kde vznikne požadavek nesymetrického vychýlení mimo osu držáku, jsou planžety nestejně dlouhé.
Claims (2)
- PŘEDMĚT j 1. Držák pro křížový posuv optické clony zej-| ména pro elektronové mikroskopy, sestávající; iz ovládací tyče suvně procházející otvorem nosné: trubky, vyznačený tím, že nosná trubka (2) je ukončena nástavcem (3), ke kterému je pomocí dvou planžet (6) upevněn držák clon (7) se clonovými otvory (10, 11), zakončený klínovitěVYNÁLEZU sešikmenou ploškouXS), Jce které dosedá kulovou plochou (5) ukončená ovládací tyč (4).
- 2. Zařízení podle hodu 1, vyznačené tůn, že ovládací tyč (4) je zakončena stavěcím šroubkem (13), dosedajícím na klínovitě sešikmenou plošku
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS158579A CS206768B1 (cs) | 1979-03-09 | 1979-03-09 | Držák pro křížový posuv optické clony |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS158579A CS206768B1 (cs) | 1979-03-09 | 1979-03-09 | Držák pro křížový posuv optické clony |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS206768B1 true CS206768B1 (cs) | 1981-06-30 |
Family
ID=5350595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS158579A CS206768B1 (cs) | 1979-03-09 | 1979-03-09 | Držák pro křížový posuv optické clony |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS206768B1 (cs) |
-
1979
- 1979-03-09 CS CS158579A patent/CS206768B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1014030B1 (de) | Messtischanordnung mit einem verfahrbaren X/Y-Koordinaten-Messtisch | |
| DE69325841T2 (de) | Rasterkraftmikroskop mit integrierter Optik und Auslegerhalterung, sowie Methode zu dessen Gebrauch | |
| DE10344178B4 (de) | Halte- und Positioniervorrichtung für ein optisches Element | |
| EP0726479A2 (de) | Kippspiegelanordnung | |
| EP1092944A2 (de) | Vorrichtung zur Feinpositionierung eines Bauteils und Koordinaten-Messmaschine mit einer Vorrichtung zur Feinpositionierung eines Bauteils | |
| DE10205425A1 (de) | Facettenspiegel mit mehreren Spiegelfacetten | |
| DE2443230A1 (de) | Kamera mit eingebautem beleuchtungssystem | |
| DE102010025222A1 (de) | Steuerbare Spiegelanordnung, optisches System mit einer steuerbaren Spiegelanordnung und Verfahren zur Ansteuerung einer steuerbaren Spiegelanordnung | |
| DE1472298A1 (de) | Anordnung zur Fuehrung des Objektivs eines optischen Geraetes | |
| GB2152704A (en) | Mask ring assembly for x-ray lithography | |
| CS206768B1 (cs) | Držák pro křížový posuv optické clony | |
| US3330979A (en) | Adjustable supports for electromagnetic means for influencing the beam of an electric discharge device | |
| DE102018216964A1 (de) | Aktuatoreinrichtung zur Ausrichtung eines Elements, Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur Ausrichtung eines Elements | |
| DE10112024A1 (de) | Anordnung und Verfahren zum Erzeugen mehrerer zueinander definiert ausgerichteter optischer Achsen | |
| DE19944857A1 (de) | Elektronenoptische Linsenanordnung mit weit verschiebbarer Achse | |
| DE102005045315A1 (de) | Mikrotisch, der ein piezoelektrisches Element verwendet | |
| DE3330901C2 (cs) | ||
| DE10392396B4 (de) | Interferometer | |
| DE3328349A1 (de) | Haltevorrichtung fuer justierbare geraeteteile, z.b. laserspiegel | |
| DE1639346B2 (de) | Vorrichtung zum Verstellen des Objektes quer zur Strahlennchtung in einem Korpuskularstrahlengerat | |
| DE10204249A1 (de) | Spiegelfacette für einen Facettenspiegel | |
| EP1395859B1 (de) | Laserjustierbarer Aktor, optisches Bauelement und Justierverfahren | |
| DE1040649B (de) | Temperaturwaechter | |
| WO2003003099A2 (de) | Mikroskoptubus | |
| WO2017220510A1 (de) | Optischer scanner |