CS201940B1 - Způsob vytváření carových obrazců na světlocitlivých materiálech - Google Patents
Způsob vytváření carových obrazců na světlocitlivých materiálech Download PDFInfo
- Publication number
- CS201940B1 CS201940B1 CS150879A CS150879A CS201940B1 CS 201940 B1 CS201940 B1 CS 201940B1 CS 150879 A CS150879 A CS 150879A CS 150879 A CS150879 A CS 150879A CS 201940 B1 CS201940 B1 CS 201940B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- mirror
- film
- semipermeable
- photosensitive layer
- deposited
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
Vynález se týká způsobu vytváření carových obrazců na světlocitlivých materiálech interferencí světelného vlnění.
V mnoha případech je třeba vytvořit na fotografickém materiálu, popřípadě jiném materiálu citlivém k záření, carové obrazce s určitou geometrií a předepsaným odstupňováním prostorových frekvencí. Tento problém se často vyskytuje při měření a hodnocení schopností fotografických materiálů, optických přístrojů apod. reprodukovat jemné struktury, zejména při měření rozlišovací schopnosti a funkce přenosů modulace.
K tomu se dobře osvědčila metoda, které využívá interferenci rovinné a kulové světelné vlny podle čs. autorského osvědčení č. 189.882. Jistou nevýhodou této metody však je nutnost realizovat rovinnou(světelnou vlnu. K tomu se používá uspořádaní, ve kterém se svazek koherentního optického záření soustředí do jednoho bodu a dalším, přesně nastaveným optickým členem se takto vzniklá kulová vlna změní na rovinnou.
Tuto nevýhodu odstraňuje způsob vytváření čárových obrazců na světlocitlivých materiálech podle vynálezu. Jeho podstatou je vytváření čárových obrazců interferencí dvou kulových světelných vln na světlocitlivé vrstvě, která je vložena do interferenčního pole.
Světlocitlivá vrstva se s výhodou uloží na povrch rotačního hyperboloidu, jehož ohniska leží v průsečících světelných paprsků, dopadajících na světlocitlivou vrstvu z jednotlivých světelných vln.
Světlocitlivá vrstva může být také s výhodou uložena na povrch kolmého hyperbolického válce, kdy ohniska hyperbol leží na přímkách procházejících průsečíky světelných paprsků, dopadajících na světlocitlivou vrstvu z jednotlivých světelných vln.
Světlocitlivá vrstva také s výhodou tvoří tečnou rovinu k rotačnímu hyperboloidu nebo se uloží na povrchu kruhové válcové plochy aproximující povrch hyperbolického válce anebo tvoří tečnou rovinu k hyperbolickému válci.
Při způsobu podle vynálezu odpadá nutnost transformovat již vytvořenou kulovou vlnu na rovinnou.
Další předností je to, že v tomto případě existuje ve srovnání se starším způsobem další možnost, jak ovlivňovat konfiguraci obrazců. Rozložení extrémů interferenčního pole při dané vlnové délce záření je při interferenci rovinné a kulové vlny závislé na vzdálenosti citlivé vrstvy od zdroje kulové vlny, při interferenci dvou kulových vlň rovněž na vzájemné vzdálenosti obou zdrojů záření.
Způsob využívající interferenci dvou kulových vln tedy zjednodušuje přístroj a současně rozšiřuje jeho možnosti.
Geometrie obrazce zaznamenaného na ozařovaný materiál závisí na způsobu, jakým je citlivá vrstva uložena do interferenčního pole.
Často je nutné, aby exponující záření dopadalo na povrch citlivé vrstvy kolmo. Toho lze dosáhnout tak, že citlivá vrstva má tvar rotačního hyperboloidu, jehož ohniska leží ve středech kulových vln.
Při realizaci zařízení pro interferenci světelných vln je obvykle nutné, aby byl světelný svazek mezi zdroji záření a citlivou vrstvou odkloněn zrcadly apod. Způsob uložení citlivé vrstvy je určen chodem paprsků v blízkosti vrstvy a polohu středů vln určují průsečíky světelných paprsků dopadajících na světlocitlivou vrstvu z jednotlivých kulových světelných vln, nikoliv poloha reálných zdrojů kulových vln.
Uvedený způsob uložení nelze použít pro citlivé vrstvy, nanesené na podložkách, které nemohou sledovat tvar nerozvinutelné plochy, tedy například pro převážnou většinu fotografických materiálů. V takovém případě lze dosáhnout příznivých výsledků tak, že vrstva je uložena na povrchu hyperbolického válce, jehož hyperboly mají ohniska na přímkách procházejících středy kulových vln, potom záření dopadá na citlivou 'vrstvu přesně kolmo na křivce a přibližně kolmo v pásu v jejím okolí.
Vyplývá z toho jisté omezení šířky použitelného záznamu, to však není pro rezolvometrické měření na závadu.
Obvykle postačí uložit citlivou vrstvu na povrchu kruhového válce, který uvedený hyperbolický válec aproximuje; kruhový válec lze vyrobit snadněji než hyperbolický.
Carové obrazce s nízkými prostorovými frekvencemi lze s dobrými výsledky zaznamenat i tehdy, je-li' citlivá vrstva uložena v rovině kolmé ke spojnici obou zdrojů záření.
Citlivé vrstvy nanesené na neohebné položce, například fotografické desky nebo kovové anebo polovodičové materiály pokryté světlocitlivými laky-fotoresisty, je vhodné při exponování umístit tak, aby se vrstva dotýkala na povrchu myšleného rotačního hy-. perboloidu v místě, ležícím v oboru prostorových frekvencí, které jsou pro danou aplikaci nejdůležitější. Záznamy širokého oboru pros-
Claims (6)
- PŘEDMÉT1. Způsob vytváření čárových obrazců na světlocitlivých materiálech, vyznačený tím, že obrazce se vytváří interferencí dvou kulových světelných vln na světiocitlivé vrstvě vložené do interferenčního pole.
- 2. Způsob podle bodu 1, vyznačený tím, že světlocitlivá vrstva se uloží na povrch rotačního hyperboloidu, jehož ohniska leží v průsečících světelných paprsků, dopadajících na světlocitlivou vrstvu z jednotlivých světelných vln.
- 3. Způsob podle bodu 1, vyznačený tím, že světlocitlivá vrstva se uloží na povrch kolmého hyperbolického válce, kdy ohniska torových frekvencí se potom vytvářejí postupným exponováním potřebného počtu vzorků v různých polohách.Jeden příklad způsobu vytváření čárových obrazců podle vynálezu je uveden na obr. 1.Světelné paprsky vystupující z laseru 1 se rozdělí polopropustným prvním zrcadlem 2 nia dva svazky. Jeden ze svazku projde polopropustným prvním zrcadlem 2 ia soustředí se první čočkou 6 do prvého bodu 8. Druhý svazek se odráží na polopropustném prvním zrcadle 2 a dále po odraze na druhém zrcadle 3 je soustředěn druhou čočkou 7 do druhého bodu 9. V bodech 8 a 9 leží skutečné zdroje kulových světelných vln. Vlna, vycházející z druhého bodu 9, dopadá na ozařovanou citlivou vrstvu uloženou na ploše 10 po- průchodu .polopropustným třetím zrcadlem 5; druhá vlna dopadá na citlivou vrstvu po odrazu na čtvrtém zrcadle 4 a polopropustném zrcadle 5. Ohniska plochy 10 leží v tomto případě v reálném zdroji záření, tvořeném druhým bodem 9 a virtuálním zdroji 11.Způsob uložení citlivé vrstvy podle vynálezu lze realizovat například tak, že se do interferenčního pole, vznikajícího v prostoru za polopropustným třetím zrcadlem 5 uloží citlivý materiál — fotografický film — v tělese fotografického přístroje se štěrbinovou závěrkou s vyjmutým objektivem. Filmová dráha bez úprav umožňuje exponovat film uložený na rovině, další mechanismy přístroje jsou využity k posuvu a odměřování filmu. Pro exponování filmu, uloženého na povrchu .kruhového nebo hyperbolického válce, se filmová dráha doplní vložkou pro vedení filmu po příslušné ploše. Film při tom prochází mezi dvěma válcovými plochami, přičemž přední z nich, 'tj. plocha obrácená proti interferujícím svazkům, je opatřena výřezem pro průchod záření.Nerozvinutelný hyperboloid je použitelný zejména tehdy, je-li možné zkoušenou vrstvu nanést v kapalném stavu na povrch tělesa uvedeného tvaru. Těleso s citlivouvrstvou se po usušení vrstvy uloží do zařízení pro expozici a zaznamenají se interferenční obrazce.VYNÁLEZU hyperbol leží na přímkách procházejících průsečíky světelných paprsků, dopadajících na světlocitlivou vrstvu z jednotlivých světelných vln.
- 4. Způsob podle bodů . 1 a 2, vyznačený tím, že světlocitlivá vrstva tvoří tečnou rovinu k rotačnímu hyperboloidu.
- 5. Způsob podle bodů 1 a 3, vyznačený tím, že světlocitlivá vrstva se uloží na povrchu kruhové válcové plochy aproximující povrch hyperbolického válce.
- 6. Způsob podle bodů 1 a 3, vyznačený fím, že světlocitlivá vrstva tvoří tečnou rovinu k hyperbolickému válci.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS150879A CS201940B1 (cs) | 1979-03-06 | 1979-03-06 | Způsob vytváření carových obrazců na světlocitlivých materiálech |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS150879A CS201940B1 (cs) | 1979-03-06 | 1979-03-06 | Způsob vytváření carových obrazců na světlocitlivých materiálech |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS201940B1 true CS201940B1 (cs) | 1980-12-31 |
Family
ID=5349658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS150879A CS201940B1 (cs) | 1979-03-06 | 1979-03-06 | Způsob vytváření carových obrazců na světlocitlivých materiálech |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS201940B1 (cs) |
-
1979
- 1979-03-06 CS CS150879A patent/CS201940B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0092395B1 (en) | Method of forming diffraction gratings | |
| JP3399949B2 (ja) | アライメント装置による潜像検出 | |
| US5583609A (en) | Projection exposure apparatus | |
| US4311389A (en) | Method for the optical alignment of designs in two near planes and alignment apparatus for performing this method | |
| JPH0643393A (ja) | 映像の形成方法と装置 | |
| JPS6137633B2 (cs) | ||
| US4469407A (en) | Laser apodizing filter | |
| US3677634A (en) | Contactless mask pattern exposure process and apparatus system having virtual extended depth of focus | |
| US4212536A (en) | Holographic subtraction with phase modulation to distinguish phase and amplitude differences | |
| JPH034292A (ja) | 反射ホログラムを作る方法および装置 | |
| US6091486A (en) | Blazed grating measurements of lithographic lens aberrations | |
| EP0097257B1 (en) | A method and apparatus for producing a light source of required shape | |
| US5626991A (en) | Manufacture of flat panel displays | |
| EP0152433B1 (en) | Method of producing a filtered beam of light | |
| US4395124A (en) | Apparatus for position encoding | |
| US3795446A (en) | Lithography | |
| CS201940B1 (cs) | Způsob vytváření carových obrazců na světlocitlivých materiálech | |
| US8184264B2 (en) | Calibration methods and devices useful in semiconductor photolithography | |
| US3601017A (en) | Method of suppressing interference fringes in photosensitive material | |
| KR19990067888A (ko) | 내부 전반사 홀로그래픽 장치 및 방법과, 그 장치의 광학 어셈블리 | |
| KR100258265B1 (ko) | 홀로그래픽 석판 인쇄용의 정합 마크 제조 방법 및 장치 | |
| JPH0575246B2 (cs) | ||
| KR100212905B1 (ko) | 내부전반사 홀로그램에 의한 고화질 영상 마스크 | |
| US3689267A (en) | Screen making process utilizing rotation of optical plate | |
| EP1026550A2 (en) | Lithographic projection apparatus |