CS201568B1 - Valivé uložení hřídele s ochranou před korozí - Google Patents

Description

Předmětem vynálezu je valivé uložení hřídele s ochranou před korozí způsobovanou obzvláště agresivními kapalinami nebo jejich parami, kde komora kapalinové uzávěry je zcela oddělena od sběrné nádoby, zatímco sběrná nádoba prstencového tvaru s odpadním otvorem ve dně je uspořádána nadkomorou kapalinové uzávěry soustředně vzhledem k válcovému ložiskovému tělesu.

Při výrobě silnoproudých polovodičových součástek (usměrňovačů) se používá pro oleptání rozšíření přechodu PN, zvaného „fazetka“, tzv. tryskového leptání. Tento způsob leptání je vyznačen tím, že leptadlo přiváděné pod mírným přetlakem do trysky je touto tryskou nasměrováno na fazetu, vytvořenou na obvodě kruhové desky polovodičového systému. Deska polovodičového systému s připájenou dilatační podložkou je za obvod této podložky vystředěna a upnuta v jednoduchém upínači na horním konci svislého hřídele a během leptání se otáčí. Použitá leptadla, která jsou velmi agresivní, například směs HF a HNO3; H2SO4J, stékají, resp. odstřikují působením odstředivé síly do sběrné nádoby, odkud jsou odváděna do odpadu.

U zařízení pro tryskové leptání, na kterém 56 provádí výše popisovaný způsob leptání docházelo k mimořádně rychlému opotřebení valivých ložisek svislého hřídele, které se projevovalo především zvýšeným hlukem a nerovnoměrností chodu (kolísáním počtu otáček) hřídele. Po rozebrání bylo zjištěno silné korozní napadení ložisek.

Ochrana ložisek před korozními účinky leptadel a jejich par byla u tohoto zařízení provedena tak, že prostor ložisek byl od sběrné nádoby oddělen kapalinovou uzávěrou. Ta byla sice vytvořena jakú samostatná komora umístěná pod sběrnou nádobou, ale otvory ve dně sběrné nádoby do ní stékalo leptadlo zachycované ve sběrné nádobě. Otvorem ve dně komory pak do ní byla přiváděna voda, která měla ředit leptadlo. Komora tedy byla až po přepadovou hranu naplněna směsí vody a leptadla. Při malém průtoku vody bylo ředění leptadla nedostatečné a docházelo ke korozi ložisek parami leptadla, což bylo hlavní nevýhodou tohoto uspořádání. Při velkém průtoku vody mohlo docházet k zahlcování odpadního otvoru, který byl umístěn pod přepadovou hranou, tj. dosti vysoko, a tím ke stoupnutí hladiny vody a zaplavení ložiskového prostoru vodou. To bylo další nevýhodou.

Ložiskové těleso, v němž byla uložena ložiska hřídele přicházelo svým povrchem do styku se směsí vody a leptadel. Proto muselo být zhotoveno z materiálu například

PTFE, který odolává působení výše zmíněných· agresivních kapalin. V důsledku celé řady vlivů docházelo· k vymačkávání lícovaného otvoru a k‘protáčení vnějších kroužků ložisek v ložiskovém tělese, což bylo další . nevýhodou.

Uvedené nevýhody podstatně snižuje nový způsob ochrany ložisek valivého uložení hřídele podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že komora kapalinové uzávěry vytvořená na spodní části ložiskového tělesa má trvalou náplň inertní kapaliny. Pouzdro připevněné na horním konci hřídele prochází -mezerou tvaru mezikruží, mezi ložiskovým tělesem a centrálním otvorem sběrné nádoby a svým spodním koncem je ponořeno do kapaliny v komoře. Nákružek sběrné nádoby přitom zasahuje do čelního válcového vybrání pouzdra.

Výhoda' vynálezu spočívá v tom, že leptadlo odstřikující z rotující kruhové desky polovodičového stystému je nejkratší cestou odváděno do odpadu. Zcela oddělená komora kapalinové uzávěry s trvalou náplní inertní kapaliny, například silikonového oleje, bezpečně chrání ložiskový prostor před vniknutím par leptadel. Dále odpadá nutnost přivádět do komory kapalinové uzávěry vodu, nemůže proto dojít k zaplavení ložiskového prostoru vodou při eventuálním zahlcení odpadu, což je další výhodou vynálezu.

Ložiskové těleso nepřichází vůbec do přímého styku s leptadlem, takže nemusí být zhotoveno z njateriálu odolného proti agresivnímu působení leptadel. Pfi správné volbě uložení prakticky nemůže nastat případ uvolnění a protáčení vnějších kroužků ložisek v ložiskovém tělese, což je další výhodou vynálezu.

Na připojeném výkresu je schematicky znázorněn příklad provedení vynálezu. -

Claims (1)

1. PŘEDMĚT

   Valivé uložení hřídele s ochranou před korozí způsobovanou obzvláště agresivními kapalinami nebo jejich parami, kde komora kapalinové uzávěry je zcela oddělena od sběrné nádoby zatímco sběrná nádoba prstencového tvaru s odpadním otvorem ve dně je uspořádána nad komorou kapalinové uzávěry soustředně vzhledem k válcovému ložiskovému tělesu, vyznačená tím, že komora (61) kapalinové uzávěry vytvořená na

   Kruhová deska 10 polovodičového systému s připájenou dilatační podložkou 20 je za obvod 21 této podložky vystředěna a upnuta v upínači 30, který je připevněn na horním konci svislého hřídele 40. Hřídel 40 je uložen ve dvou valivých ložiskách 50, která zajišťují jeho radiální a axiální vedení. Na spodním konci je hřídel poháněn (naznačeno šipkou]. Ložiska 50 svislého hřídele 40 jsou uložena ve válcovém ložiskovém tělese 60, které má ve své spodní části vytvořenou komoru 61 kapalinové uzávěry. Na obvodě komory 61 je dále vytvořena válcová středící plocha 62 a čelní plocha 63. Prstencová sběrná nádoba 70 má ve dně ze spodní strany válcové vybrání 72, do kterého je nasazeno válcovou středící plochou 62 a tím soustředně ustaveno ložiskové těleso 60, Celní plocha 73 dna sběrné nádoby 70 dosedá na čelní plochu 63 tělesa 60. Tím je nádoba 70 výškově ustavena proti tělesu 60. Na horním konci hřídele 40 je dále upevněno pouzdro 80, které je svým spodním koncem 81 ponořeno do kapaliny, kterou je naplněna komora 61 kapalinové uzávěry. Pouzdro 80 se otáčí spolu s hřídelem 40. Na horním konci (má pouzdro 80 čelní válcové vybrání 82, do kterého zasahuje nákružek 71 sběrné nádoby 70 a vytváří tak jednoduchý labyrint, který brání proniknutí kapiček leptadla do komory 61. Rovněž nedochází ke znehodnocení trvalé náplně kapalinové uzávěry. Sběrná nádoba 70 má ve dně odpadní otvor 75, takže steklé leptadlo je nejkratší cestou odváděno do odpadu.

   Na horním okraji sběrné nádoby 60 je osazen kroužek 90, který svým zkosením 91 zabraňuje rozstřikování kapiček leptadla* mimo sběrnou nádobu 60. Nad sběrnou nádobou je částečně naznačena tryska 100.

   VYNÁLEZU spodní části ložiskového tělesa (60) má trvalou náplň inertní kapaliny, přičemž pouzdro (80) připevněné na horním konci hřídele (40) prochází mezerou tvaru mezikruží, mezí ložiskovým tělesem a centrálním otvorem sběrné nádoby (70) a svým spodním koncem (81) je ponořeno do kapaliny v komoře (61) přičemž nákružek (71) sběrné nádoby (70) zasahuje do· čelního válcového vybrání (82) pouzdra (80),