CS201568B1

CS201568B1 - Rolling adjusting of the shaft with protection against corrosion

Info

Publication number: CS201568B1
Application number: CS425079A
Authority: CS
Inventors: Jan Stepanek
Original assignee: Jan Stepanek
Priority date: 1979-06-20
Filing date: 1979-06-20
Publication date: 1980-11-28

Description

Předmětem vynálezu je valivé uložení hřídele s ochranou před korozí způsobovanou obzvláště agresivními kapalinami nebo jejich parami, kde komora kapalinové uzávěry je zcela oddělena od sběrné nádoby, zatímco sběrná nádoba prstencového tvaru s odpadním otvorem ve dně je uspořádána nadkomorou kapalinové uzávěry soustředně vzhledem k válcovému ložiskovému tělesu.The subject of the invention is a roller bearing with protection against corrosion caused by particularly aggressive liquids or vapors thereof, wherein the liquid seal chamber is completely separated from the collecting vessel, while the annular-shaped collection vessel with a drain hole in the bottom is arranged above the liquid seal concentrically with respect to the cylindrical bearing .

Při výrobě silnoproudých polovodičových součástek (usměrňovačů) se používá pro oleptání rozšíření přechodu PN, zvaného „fazetka“, tzv. tryskového leptání. Tento způsob leptání je vyznačen tím, že leptadlo přiváděné pod mírným přetlakem do trysky je touto tryskou nasměrováno na fazetu, vytvořenou na obvodě kruhové desky polovodičového systému. Deska polovodičového systému s připájenou dilatační podložkou je za obvod této podložky vystředěna a upnuta v jednoduchém upínači na horním konci svislého hřídele a během leptání se otáčí. Použitá leptadla, která jsou velmi agresivní, například směs HF a HNO3; H2SO4J, stékají, resp. odstřikují působením odstředivé síly do sběrné nádoby, odkud jsou odváděna do odpadu.In the manufacture of heavy-current semiconductor devices (rectifiers), an extension of the PN junction, called the "jet", is used for etching. This etching method is characterized in that the etch supplied to the nozzle under slight overpressure is directed by the nozzle to a facet formed on the periphery of the circular plate of the semiconductor system. A semiconductor system board with a soldered expansion pad is centered around the perimeter of the pad and clamped in a simple fixture at the upper end of the vertical shaft and rotates during etching. The etchings used are very aggressive, for example a mixture of HF and HNO3; H2SO4J, run down, respectively. they are sprayed by centrifugal force into a collecting container from where they are discharged to waste.

U zařízení pro tryskové leptání, na kterém 56 provádí výše popisovaný způsob leptání docházelo k mimořádně rychlému opotřebení valivých ložisek svislého hřídele, které se projevovalo především zvýšeným hlukem a nerovnoměrností chodu (kolísáním počtu otáček) hřídele. Po rozebrání bylo zjištěno silné korozní napadení ložisek.The jet etching apparatus, which carries out the etching method described above, exhibited extremely rapid wear on the rolling bearings of the vertical shaft, manifested in particular by increased noise and unevenness of the shaft (speed variation). After disassembly, a strong corrosion attack of the bearings was found.

Ochrana ložisek před korozními účinky leptadel a jejich par byla u tohoto zařízení provedena tak, že prostor ložisek byl od sběrné nádoby oddělen kapalinovou uzávěrou. Ta byla sice vytvořena jakú samostatná komora umístěná pod sběrnou nádobou, ale otvory ve dně sběrné nádoby do ní stékalo leptadlo zachycované ve sběrné nádobě. Otvorem ve dně komory pak do ní byla přiváděna voda, která měla ředit leptadlo. Komora tedy byla až po přepadovou hranu naplněna směsí vody a leptadla. Při malém průtoku vody bylo ředění leptadla nedostatečné a docházelo ke korozi ložisek parami leptadla, což bylo hlavní nevýhodou tohoto uspořádání. Při velkém průtoku vody mohlo docházet k zahlcování odpadního otvoru, který byl umístěn pod přepadovou hranou, tj. dosti vysoko, a tím ke stoupnutí hladiny vody a zaplavení ložiskového prostoru vodou. To bylo další nevýhodou.To protect the bearings against the corrosive effects of etchings and their vapors, the bearing space was separated from the collecting vessel by a liquid seal. Although this was formed as a separate chamber located below the collecting vessel, but through the holes in the bottom of the collecting vessel flowed into it etched trapped in the collecting vessel. Water was then fed through the hole in the bottom of the chamber to dilute the etch. The chamber was then filled up to the overflow edge with a mixture of water and etch. At low water flow, the etching dilution was insufficient and the bearings were corroded by the etching vapors, which was a major drawback of this arrangement. At high water flow, the drain hole could be flooded, which was located below the overflow edge, ie quite high, causing the water level to rise and flooding the bearing space with water. This was another drawback.

Ložiskové těleso, v němž byla uložena ložiska hřídele přicházelo svým povrchem do styku se směsí vody a leptadel. Proto muselo být zhotoveno z materiálu napříkladThe bearing housing in which the shaft bearings were received came into contact with a mixture of water and etchings. Therefore, it had to be made of a material for example

PTFE, který odolává působení výše zmíněných· agresivních kapalin. V důsledku celé řady vlivů docházelo· k vymačkávání lícovaného otvoru a k‘protáčení vnějších kroužků ložisek v ložiskovém tělese, což bylo další . nevýhodou.PTFE that resists aggressive fluids. Due to a variety of influences, the fitting hole was squeezed and the outer bearing rings rotated in the bearing housing, which was another. disadvantage.

Uvedené nevýhody podstatně snižuje nový způsob ochrany ložisek valivého uložení hřídele podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že komora kapalinové uzávěry vytvořená na spodní části ložiskového tělesa má trvalou náplň inertní kapaliny. Pouzdro připevněné na horním konci hřídele prochází -mezerou tvaru mezikruží, mezi ložiskovým tělesem a centrálním otvorem sběrné nádoby a svým spodním koncem je ponořeno do kapaliny v komoře. Nákružek sběrné nádoby přitom zasahuje do čelního válcového vybrání pouzdra.The above-mentioned disadvantages are substantially reduced by the novel method of bearing protection of the roller bearings according to the invention, which is characterized in that the fluid seal chamber formed on the lower part of the bearing housing has a permanent charge of inert liquid. The housing mounted at the upper end of the shaft extends through an annular gap, between the bearing body and the central opening of the collecting vessel, and is immersed in its liquid end in the chamber. The collar of the collecting container extends into the front cylindrical recess of the housing.

Výhoda' vynálezu spočívá v tom, že leptadlo odstřikující z rotující kruhové desky polovodičového stystému je nejkratší cestou odváděno do odpadu. Zcela oddělená komora kapalinové uzávěry s trvalou náplní inertní kapaliny, například silikonového oleje, bezpečně chrání ložiskový prostor před vniknutím par leptadel. Dále odpadá nutnost přivádět do komory kapalinové uzávěry vodu, nemůže proto dojít k zaplavení ložiskového prostoru vodou při eventuálním zahlcení odpadu, což je další výhodou vynálezu.An advantage of the invention is that the etch spraying from the rotating circular plate of the semiconductor stystem is discharged in the shortest way. A completely separate liquid seal chamber with a permanent charge of an inert liquid, such as silicone oil, safely protects the bearing area from the ingress of etching vapors. Furthermore, there is no need to supply water to the liquid seal chamber, so that the bearing space cannot be flooded with water if the waste is eventually flooded, which is a further advantage of the invention.

Ložiskové těleso nepřichází vůbec do přímého styku s leptadlem, takže nemusí být zhotoveno z njateriálu odolného proti agresivnímu působení leptadel. Pfi správné volbě uložení prakticky nemůže nastat případ uvolnění a protáčení vnějších kroužků ložisek v ložiskovém tělese, což je další výhodou vynálezu.The bearing body does not come into direct contact with the etch at all, so it need not be made of a material resistant to the aggressive action of the etch. If the bearing is correctly selected, there is practically no possibility of loosening and twisting the outer bearing rings in the bearing housing, which is another advantage of the invention.

Na připojeném výkresu je schematicky znázorněn příklad provedení vynálezu. -An exemplary embodiment of the invention is shown schematically in the accompanying drawing. -

Claims

SUBJECT

A roller bearing with corrosion protection due to particularly aggressive liquids or vapors thereof, wherein the fluid lock chamber is completely separated from the collection container, while the annular collecting container with a drain hole in the bottom is arranged above the fluid lock chamber concentrically relative to the cylindrical bearing housing. wherein the liquid seal chamber (61) formed on the

A circular plate 10 of a semiconductor system with a brazed expansion pad 20 is centered behind the circumference 21 of this pad and clamped in a fixture 30 mounted at the upper end of the vertical shaft 40. The shaft 40 is supported by two rolling bearings 50 to provide radial and axial guidance. . At the lower end, the shaft is driven (indicated by an arrow) The bearings 50 of the vertical shaft 40 are housed in a cylindrical bearing body 60 having a fluid seal chamber 61 formed at its bottom. 63. The annular collecting vessel 70 has a cylindrical recess 72 in the bottom of the bottom, into which a cylindrical centering surface 62 is positioned and thus the bearing body 60 is concentrically positioned. The front surface 73 of the collecting vessel bottom 70 abuts the face 63 of the body 60. 70 is positioned vertically against the body 60. Further, at the upper end of the shaft 40, a housing 80 is mounted, which is immersed in its liquid at the lower end 81 with the liquid cap chamber 61. The housing 80 rotates with the shaft 40. a housing 80, a front cylindrical recess 82 into which a collar 71 of the collecting container 70 engages; This creates a simple labyrinth that prevents the etch droplets from entering the chamber 61. Also, the permanent filling of the liquid seal is not impaired. The collecting container 70 has a drain hole 75 in the bottom, so that the run-off etch is discharged to the waste in the shortest way.

A ring 90 is provided at the upper edge of the collecting vessel 60, which by its bevel 91 prevents splashing of the etch droplets * outside the collecting vessel 60. A nozzle 100 is partially indicated above the collecting vessel.

BACKGROUND OF THE INVENTION The lower portion of the bearing body (60) has a permanent charge of inert fluid, the housing (80) mounted at the upper end of the shaft (40) extending through the annular gap, the bearing housing and the central bore of the collecting vessel (70) and its lower end (81). is immersed in the liquid in the chamber (61), wherein the collar (71) of the collection container (70) extends into the front cylindrical recess (82) of the housing (80),