CS200124B1 - Polohovadlo pro kontaktovací jehly na měření hybridních integrovaných obvodů vyěěí složitosti - Google Patents

Description

(54)

Polohovadlo pro kontaktovací jehly na měření hybridních integrovaných obvodů vyěěí složitosti

Vynález se týká polohovadla pro kontaktovací jehly na měření hybridních integrovaných obvodů vyěěí složitosti, které lze upevnit buď na měřicí karty pro kontrolu odporových a kapacitních sítí hybridních integrovaných obvodů v tenkých i tlustých vrstvách, nebo na přípravky a měřicí hlavice pro kontrolu teplotního koeficientu odporových a kapacitních vrstev jednotlivých prvků během technologického procesu.

V současné době se používá pro měření integrovaných obvodů prakticky dvou skupin upev· novacích zařízení kontaktovacích jehel. První skupinu tvoří stavitelné držáky jehel v ose x, y, z pomocí jemných šroubů, zvané polohovadla s magnetickým nebo šroubovým upínáním na základovou plochu. Do této skupiny lze zahrnout i držáky jehel pro upevnění na kotouče a plošnými spoji, kde jehly se též dostavují do požadované polohy seřizovacími šrouby. Do druhé skupiny patří prosté držáky jehel, bez seřizovačích šroubů, které se pomocí montážního přístroje nastaví do požadované polohy a připájí pájkou na měřieí kartu.

Pomooí polohovadel uvedených v prvé skupině se dají kontaktovací jehly velmi dobře nastavit do žádané polohy, líedostatkem zůstává jejich velký rozměr, takže nejsou vhodné pro měření hybridních integrovaných obvodů vyěěí složitosti, tj. a velkou hustotou prvků.

U některých typů převážně s dlouhými nástavci kontaktovacích jehel se projeví i větří rozptyl polohy jehel vlivem pružicích součástí. Uvedená polohovadla mají poměrně složitý mechanismus, a proto jsou drahá a nedají se ‘snadno zhotovit.

200 124

200 124

Pevných držáků jehel uvedených v druhé skupině se výhodně používá u kontaktovacích zařízení pro měření meněích rovinných ploch integrovaných obvodů s velkou hustotou měřených prvků. Větší spolehlivosti při měření se dosahuje, jsou-li měřicí karty zhotoveny z jakostnějšího materiálu, který se během skladování a hlavně při pájení příliš nedeformuje, To věak něbývá výrobcem zaručeno. D_aiěí nevýhodou pevných držáků jehel je velká tuhost pružnýoh kontaktovacích jehel, která způsobí příliš velkou změnu přítlačné síly. Jinou nevýhodou u některých typů uvedených jehel s delším zahnutým hrotem je, že při větřím přítlaku vznikají posuvy po substrátu, čímž dochází k poškození tenkých nebo tlustých vrstev, fcroto se tyto držáky nedají dobře použít ani pro měřicí karty na kontrolu integrovaných hybridních obvodů větších rozměrů, kde výrobní tolerance substrátu jsou příliš veliké.

Uvedené nedostatky současného stavu konstrukce polohovadel pro kontaktovací jehly odstraňuje vynález, jehož podstata spočívá v tom, že těleso polohovadla, opatřené otvorem pro držák kontaktovací jehly, je opatřeno čepem, na němž je otočně připevněna pružná základna, upravená na straně kontaktovací jehly v opěru a mezi tělesem a šroubem v pružicí část, provedenou s výhodou ve tvaru kuželové plochy, přičemž pružné základna je a měřicí kartou pevně spojena šroubem.

Výhoda vynálezu spočívá v jednoduchosti konstrukce a z toho vyplývající snadné manipulace. Podstatnou výhodou vynálezu je malý přírůstek přítlačné síly na poměrně velkém zdvihu jehly. Velikost přítlačné síly se dá nastavit. Jednotlivé jehly lze nadzvednout pouhým stlačením konce držáku. Další výhodou je, že polohovadlo je úzké, takže umožňuje v

připojení velkého počtu jehel na měřicích kartách, které je nutno vyměňovat pro jednotlivé typy hybridních integrovaných obvodů. Polohovadlo podle vynálezu má tuhou konstrukci, čímž se zamezuje nežádoucím pohybům jehly při měření. Není tak citlivé na deformace karet a snese i větří výrobní tolerance rovinnosti a tlouštky substrátu. Různé typy jehel s příslušnými držáky lze rychle vyměnit β snadno nastavit do měřicí polohy, Polohovadlo podle vynálezu je možno použít i na přípravky pro měření teplotního koeficientu vrstev a jednotlivých prvků během technologického procesu výroby hybridních obvodů.

Vynález bude blíže vysvětlen a popsán pomocí výkresů, znázorňujících možný příklad provedení podle vynálezu, kde na obr. 1 představuje nárys polohovadla v řezu, obr. 2 půdorys polohovadůa, obr. 3 nárys pružné základny v řezu a obr. 4 půdorys pružné základny.

Hlavní součástí polohovadla pro kontaktovací jehly 1 na měření hybridních integrovaných obvodů vyěěí složitosti je pružná základna 4, která je na jednom konci šroubem £ přišroubována s počátečním předpětím na měřicí kartu 8, druhým koncem - opěrou 10 - se o ni opírá. Je jednak nosným elementem tělesa 2 polohovadla, dorazem vertikálního pohybu kontaktovací jehly £ a zároveň pružící součástí vyvozující požadovaný tlak na kontaktovací jehlu 1 pří jejím zvednutí. Kontaktovací j^la 1 je pevně upnuta v tyčovém držáku 2, který je suvně uložen v tělese 2 polohovadla. Držák 2 je možno posouvat a současně natáčet ve směru jeho osy. Po nastavení polohy kontaktovací jehly 1 se držák 2 aretuje ěroubem 6. Těleso 2 polohovadla je opatřeno dutým čepem 9, který slouží k jeho upevnění na pružnou základnu 4. Pomocí podložky 5. a roznýtovaného čepu 9 je těleso 3 otočně epojeno s pružnou základnou 4» po které se dá ztuha natáčet. Změnou úhlu «C - přihnutím pružné základny 4

0 0 1 TAt v místě II - se po utažení ěroubu 7 změní předpětí pružné základny 4. Tímto způsobem je možno seřídit požadovaný počáteční tlak kontaktovací jehly £ na substrát 12« Přihnutím opěry 10 se ustaví požadovaná výška kontaktovací jehly 1 od měřicí karty 8. V případě, že je třeba zvýšit počet kontaktovacích jehel 1 na měřicí kartě 8 a v důsledku toho zúžit šířku pružné základny 4, lze její tuhost zvýšit vytvarováním pružící části 13 pružné základny 4 mezi tělesem £ a šroubem 7 do tvaru pláště komolého kužele (viz. obr. 3 a 4). íro snadnější vyjímání polohovadla z měřioí karty 8 je možno pružnou základnu 4 opatřit drážkou 14 pro upevnění šroubem 7. dožadovaná poloha kontaktovací jehly £ se nastaví po povolení šroubu 6 posuvem držáku 2 ve směru jeho osy, případně malým natočením kolem této osy a dále natočením držáku 2 kolem čepu 9 tělesa 3. do ustavení kontaktovací jehly 1 se dotáhne šroub 6. Stejným způsobem se nestaví i ostatní kontaktovací jehly £ na měřicí kartě 8.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Polohovadlo pro kontaktovací jehly na měření hybridních integrovaných obvodů vyšší složitosti, vyznačené tím, že těleso (3) polohovadla, opatřené otvorem pro držák (2) kontaktovací jehly (1), je opatřeno čepem (9), na němž je otočně připevněna pružná základna (4) upravená na straně kontaktovací jehly (1) v opěru (10) a mezi tělesem (3) a Šroubem (7) v pružicí část (13) provedenou s výhodou ve tvaru kuželové plochy, přičemž pružná základna (4) je s měřicí kartou (8) pevně spojena šroubem (7).